【課題】量産に適しかつ圧力損失を極小化することができるスライド式バルブを提供すること。
【解決手段】２方弁は、固定流路構成部材１と組付部材５と可動流路構成部材７とスライドシール部材２１とコイルばね１８とアクチュエータとを備える。可動流路構成部材７は、収容孔６の形状に略合致する外形形状を有し、収容孔６内に第１端面３と垂直な方向へ摺動可能に収容される。スライドシール部材２１は、第１端面３及び第２端面９に対し摺動可能である。コイルばね１８は、可動流路構成部材７の第２端面９がスライドシール部材２１の第２シール摺動面２３に圧接されるよう可動流路構成部材７を押圧する。 （もっと読む）

【課題】使い勝手が良好でメンテナンス性に優れると共に、容易に且つ安価に製作することのできる真空ゲート弁及びこれを備えた真空処理装置を提供する。
【解決手段】一対の開口部４ａ、４ｂが対向して設けられる弁箱１と、前記開口部４ａ、４ｂの何れか一方を開閉すべく前記弁箱１内に設けられる弁体５とを有する真空ゲート弁Ａであって、前記一方の開口部４ａに着脱自在に装着される弁座６と、前記弁体５が着座する弁座６の着座面６ａに設けられるシール部材７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ラジカルの攻撃によるシール部材の劣化を防止すると同時に、かつ電磁波（マイクロ波）の漏洩を防止することができるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】第１弁座３６と第２弁座３８とを有し、開口部２８が形成された弁箱２６と、開口部２８を閉塞したときに、第１弁座３６に接触して開口部２８をシールするシール部材４６を有する弁体３０と、を備えたゲートバルブ装置１０であって、弁体３０に、当該弁体３０が開口部２８を閉塞したときに、第２弁座３８に接触して撓み変形し、開口部２８とシール部材４６との間の空間を遮断する遮蔽部材５８を設け、常温環境下及び高温環境下において、弁体３０が開口部を閉塞している状態で遮蔽部材５８が撓み変形しており、遮蔽部材５８と第２弁座３８との接触状態を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、高粘性媒体用の切換え弁（１００）であって、１つの流入開口（２３）と少なくとも２つの流出開口（２１，２２）とを備えたハウジング（１０）が設けられていて、流入開口（２３）及び流出開口（２１，２２）は共に弁孔に開口しており、該弁孔には弁タペット（１０；１０′）が支承されていて、軸方向移動可能な該弁タペット（１０；１０′）は溝を有していて、該溝を介して流入開口（２３）は選択的に、流出開口（２１，２２）のうちの１つと接続される形式のものに関する。このような形式の切換え弁において本発明の構成では、溝は、軸方向に延びる流入ゾーン（１２）と軸方向に延びる流出ゾーン（１１；１１′）とから成っており、流入ゾーン（１２，１２′）と流出ゾーン（１１，１１′）とはそれぞれ両端部において接続通路（１３，１４；１３′，１４′）を介して接続されていて、無端のリング通路を形成している。
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【課題】弁部材の偏摩耗を防止して安定した流量調整を行うことが可能な電磁弁を提供すること。
【解決手段】弁部材４０の燃料通路４１と空間９３とを連通する連通孔４３が外周面部４４で開口する部位では、弁ボディ３０の内周面部３４と弁部材４０の外周面部４４と径方向の距離ｈ１、ｈ２が、弁ボディ３０円筒部の周方向において、連通孔４３開口両端では不等となっており、連通孔４３から空間９３へ流出する燃料や空間９３から連通孔４３へ流入する燃料の流通抵抗は、弁ボディ３０周方向で異なっている。 （もっと読む）

【課題】ゴム添加剤の溶け出し量を抑制できるソフトシール仕切弁の弁体を簡単で安価に製造可能とすることと、弁体の重量を軽減することである。
【解決手段】弁体４を、流体通路に対する上流側部と下流側部とを形成するカップ状体８を内向きに突き合わせて溶接した中空の殻構造とし、閉弁状態で弁箱の開口部および開口部での流体通路内面との間をシールするゴムシール材７を、弁体４が弁箱の開口部および開口部での流体通路内面と対向する外径側部分を覆う環状のものとすることにより、ゴムシール材７が水道水等に晒される表面領域を少なくして、ゴム添加剤の溶け出し量を抑制できるソフトシール仕切弁の弁体４を簡単で安価に製造可能とするとともに、弁体４の重量を軽減できるようにした。 （もっと読む）

【課題】スリット部が上方に開口していても液体の進入による不具合が生じない火力調節装置を提供する。
【解決手段】ニードル弁３を挟んでスリット部４３の下方に位置するようにケーシング４を貫通するドレン部４４を設け、ニードル部３に進入した煮こぼれ等の液体がドレン部４４からケーシング４外に流出するようにした。 （もっと読む）

ゲートバルブは一対の対向する筺体部材、ゲート、一次シールスリーブ、および二次シール部材を含む。一次シールスリーブは筺体部材の各々に配設される。ゲートは筺体が互いに接合されるとき画定される横断方向のゲートチャンバを通って滑動可能に通過するように構成される。二次シール部材は筺体部材の間に固定され、潤滑流体が、筺体部材の少なくとも１つを通り、二次シール部材を通ってゲートに塗布されるのを可能にするように構成された少なくとも１つの通路または開口部を含む。
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【課題】 スプールに回転を防止する構成を格別に施すことなくスプールの回転を防止し、構成を簡素化し得るもの。
【解決手段】 スプール６を軸方向へ摺動自在に挿入する嵌合穴５の第１拡径部５Ａ内周面に流体を供給する供給流路Ｐ１を開口し、第１拡径部５Ａ内周面とスプール６外周面との間に環状隙間７を形成し、供給流路Ｐ１には円柱形状に形成した流量調整部材８１を設け、流量調整部材８１は供給流路Ｐ１より環状隙間７に流入する流体の流量を、環状隙間７の周方向の一方向に流れる流量Ｑ１と他方向に流れる流量Ｑ２とに略同等にするよう軸方向寸法Ｈを設定する。 （もっと読む）

【課題】スプールの摺動位置に対する流量変化の度合いを一定とすることが可能な新たな切り欠き形状を得ること。
【解決手段】バルブボデイ２００の内部に形成されたバルブ孔２０６に沿って摺動可能に設けられたスプール２０２を備え、前記スプール２０２の第１ランド部２１６ａのランド端面部２２２の近傍に周方向に沿って等角度離間する第１〜第４面取り部２２６ａ〜２２６ｄが形成され、第１及び第３面取り部２２６ａ、２２６ｃと、第２及び第４面取り部２２６ｂ、２２６ｄとは、前記ランド端面部２２２からランド中央部２２４方向への軸方向に沿った切り欠きが、それぞれ、寸法Ｘ１と寸法Ｘ２とで異なるように設定される。 （もっと読む）

【課題】 保守維持費の増大を抑制することが可能な真空装置を提供すること。
【解決手段】 被処理基板Ｇを真空状態下におくことが可能な、気密に構成された容器本体５０と、容器本体５０に設けられた、被処理基板Ｇを出し入れする開口部５１と、開口部５１を開閉する弁体６１と、開口部５１を囲むように枠状に形成され、容器本体側表面７１ａ、及びこの容器本体側表面７１ａに相対する弁体側表面７１ｂの双方に枠状シール部材７２ａ、７２ｂを備えた、開口部５１の周囲に着脱自在に取り付けられるシール板７０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 仕切弁の逆流を目視によって容易に確認できるようにする。
【解決手段】 水Ｗと空気Ａとを仕切弁４で仕切り、水Ｗの圧力が空気Ａの圧力よりも高い場合には、仕切弁４の空気側弁体４４が空気側弁座４３に当接して水Ｗと空気Ａとが仕切られ、空気Ａの圧力を水Ｗの圧力よりも高くすると、仕切弁４の水側弁体４５が水側弁座４２に当接して水Ｗと空気Ａとが仕切られるとともに、水側弁体４５に設けられたバランスホール４５ａから空気Ａが水Ｗ内に流入するようにする。 （もっと読む）

【課題】シール性能を低下させることがなく構造を簡素化すると共に、製造工程を簡略化することにより製造コストを低減すること。
【解決手段】インレットポート１２とアウトレットポート１４とを有するバルブボデイ１６と、帯状の弾性シート体２０ａを側面視して略Ｕ字形状に折曲して形成された弁体２０と、前記弁体２０を空間部１８の内周面に沿って回動させる回動機構２２とを備え、前記弁体２０は、前記バルブボデイ１６の内周面に沿って回動可能に設けられ、前記弁体２０が第１シート部２４ａ及び第２シート部２４ｂに着座した際、形状弾性力によって前記弁体２０の側部２８ｂが前記第１シート部２４ａ及び第２シート部２４ｂに対して押圧されることにより、シール性能が発揮される。 （もっと読む）

【課題】 バルブにおいて開放および閉動作時に変位する部材のための位置センサを必要とせずに、動作の規則性に関して高い信頼性がある真空バルブを提供する。
【解決手段】 真空バルブの開動作時に第１開過程において、第２開機能空間１４の加圧のための第２開媒体通路３７が遮断される。第１開過程の終了時において、第１作動要素２８により第２開媒体通路３７が開放される。真空バルブの閉動作時に第１閉過程において、第１閉機能空間１１の加圧のための第１閉媒体通路３６が遮断される。第１閉過程の終了時において、第２作動要素２９により第１閉媒体通路３６が開放される。 （もっと読む）

【課題】シール部材の摩耗を抑制し、ゲートバルブの開閉動作を高速で行うことを可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】複数のチャンバの間に設けられて、キャリアが通過する通路１０１を開閉するゲートバルブ１００は、通路１０１を分断する方向に移動操作される弁体１０５と、弁体１０５を挟んだ両側に配置されて通路１０１を形成する開口部１０２ａ，１０２ｂが設けられた一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂと、一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂの開口部１０２ａ，１０２ｂを囲む位置に配置されたシール部材１０４とを有し、弁体１０５は、通路１０１を閉塞する方向に向かって漸次幅狭となるテーパー形状を有し、通路１０１を閉塞する位置において、その両側面１０５ａ，１０５ｂが一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂと相対向しながらシール部材１０４と圧接可能とされている。 （もっと読む）

【課題】水口に取付けられた水抜栓をワンタッチで開閉でき、作業性を向上した水抜装置を提供する。
【解決手段】排水流路を有する水口体１０と、水口体１０に取付けられる水抜栓５０を備え、水口体１０には、水抜栓５０の取付部７１を誘導する第１のガイド部２１と、第１のガイド部２１に隣接し、取付部７１を誘導する第２のガイド部２２と、第２のガイド部２２に隣接し、取付部７１を周方向に誘導する第３のガイド部２３が形成され、取付部７１は、隣接するガイド部間を移動可能であると共に、第２のガイド部２２の一部及び第３のガイド部２３の一部に係止され、水抜栓５０は、取付部７１が第３のガイド部２３に誘導された際に閉状態をロックし、取付部７１が第２のガイド部２２に誘導された際に、閉状態と開状態とを切り替え、取付部７１が第１のガイド部２１に誘導された際に水口体１０から取外し可能となる。 （もっと読む）

互いに相対的に回転する第１の表面および第２の表面のそれぞれの開口が整列されるとき、入口から出口に少なくとも周期的に流体流れをもたらす、具体的には回転タイミング弁であってよい回転供給継手であって、気体軸受が第１の表面と第２の表面の間に軸受力をもたらすように構成される、回転供給継手が提供される。 （もっと読む）

【課題】差圧がバルブプレートに対して２方向に作用する場合に適応する改良された真空バルブを提案する。
【解決手段】バルブプレート(5)が開位置及び中間位置の区間で動かされる際、バルブロッド(12)は縦駆動装置(15)(15’)により縦方向(6)に動かされる。バルブプレート(5)が閉位置及び中間位置の間で動かされる際、バルブロッド(12)は横駆動装置(16)(16’)により縦方向(7)に動かされる。真空バルブの真空領域外に配置されているベアリングユニット(17)(17’)が壁部(1)に対して固定されている。バルブロッド(12)を縦方向(6)に案内するガイドユニット(20)(20’)がベアリングユニットによって横方向(7)に案内される。 （もっと読む）

【課題】バルブ流量を調節するアクチュエータの駆動力を減少させ、かつバルブの入口または出口に急激な圧力変化が発生しても、常に一定の流量が流れる流量調節バルブを提供する。
【解決手段】流路１１１が形成されたバルブ本体１１０と、流入された流体がバルブ本体の流路に流出する流出ホール１２３が形成された第１ポペット１２０と、バルブ本体の流路から流体が流入する流入ホール１３３が形成された第２ポペット１３０と、アクチュエータによって第１ポペットの外面に沿ってスライディングして第１ポペットの流出ホールを遮り、流出ホールの面積を調節するスリーブ１４０と、第１ポペットおよび第２ポペットの外面に沿ってスライディングが可能なように、第１ポペットに流入する流体の圧力によってスライディングして第２ポペットの流入ホールを遮り、流入ホールの面積を調節するスプール１５０を備える。 （もっと読む）

【課題】高温環境において使用された場合でもラジカルによりシール部材が劣化することを防止できるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁座６３に対して所定の距離が離間した状態で着座して開口部を閉塞する弁体と、弁体が弁座に着座したときに弁体と弁座との間をシールするシール部材と、を有するゲートバルブ装置であって、シール部材は、常温環境下で弁座を押圧することにより弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第１シール部５８と、高温環境下で熱膨張することにより弁座を押圧すると同時に弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第２シール部６０と、を有し、第１シール部５８の体積は第２シール部６０の体積よりも小さく設定され、第１シール部５８の弁座側の先端部は第２シール部６０の弁座側の先端部よりも弁座側に位置している。 （もっと読む）