【課題】 半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の処理を行うチャンバーに用いられる圧力制御バルブにおいて、シール部材の長寿命化を達成することができる圧力制御バルブを提供すること。
【解決手段】 チャンバー１１側と排気装置５３，５４側とを連通する開口６１ｂを備えた弁ボディ６１と、前記開口を閉止する封止用弁体６２と、該封止用弁体に設けられたシール部材６２ａ及びその外側の保護シール６２ｂと、前記開口６１ｂを所定の開度だけ開口するシール部材を持たない制御用弁体６３と、を設け、プラズマ処理をする場合は、開口を制御用弁体で所定の開度にし、封止用弁体６２は、弁退避部に退避させておく。弁退避部では、保護シールの内側にシール部材が密封されるので、シール部材はプラズマやラジカルに曝されない。 （もっと読む）

【課題】ロータの耐久性を向上させる。
【解決手段】流路切換えバルブは、接触平面１３をもつステータ１１と接触平面１７をもつロータ１５を備えている。ステータ１１は複数の流路のそれぞれに接続される流通口１９をその接触平面１３にもち、ロータ１５はステータ１１の流通口１９の内の２つを連通させる少なくとも１つの溝２１をもち、ステータ１１の接触平面１３に付勢され、連通すべきステータ１１の流通口１９を切り換えるように回転摺動する。本発明では、ステータ１１とロータ１５の接触平面の一方は樹脂製であり、他方には窒化クロム膜が被膜されている。 （もっと読む）

異なる構成要素を弁の異なる回転位置で選択することができ、更に、回転弁を回すことにより、構成要素を通る流れを逆転させることができる回転選択弁。 （もっと読む）

流体試料を流路に注入するように作られている回転弁。本発明によれば、１つの同じ弁を使って、システムポンプ、試料ポンプ、及びシリンジからの流れを入力することができる。ループには、試料ポンプとシリンジの両方から充填することができ、システムポンプによってループを空にして、例えば、カラムを充填することもできる。更に、試料ポンプを使用して、カラムに直接汲み上げることもできる。 （もっと読む）

【課題】吐出冷媒の温度上昇を抑制し且つ冷媒の圧縮効率を高めることができる冷凍回路の往復動型圧縮機を提供する。
【解決手段】冷凍回路の往復動型圧縮機は、シリンダボア内に圧縮室３３を形成し、主軸３４の回転を受けて往復動可能なピストン３２と、圧縮室３３内に冷凍回路の気液分離室１０から低温冷媒が導かれる中間圧室６８と、圧縮室３３と中間圧室６８との間に設けられ、主軸３４と連動して回転されることにより、圧縮室３３内での冷媒の圧縮過程にて、中間圧室６８から圧縮室３３内に低温冷媒を噴射する開閉可能な回転弁７８とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に強いプライオリティバルブを提供することである。
【解決手段】 メインスプールＳにはサブスプール２７を組み込むとともに、このサブスプールは、その移動位置に応じて第３制御通路部３６の開度を制御する構成にし、しかも、このサブスプールの一端を第１パイロット室２８に臨ませ、他端を第２パイロット室２９に臨ませる。そして、サブスプールは、第１パイロット室と第２パイロット室との作用力がバランスする位置を保つとともに、そのバランス位置で上記第３制御通路部３６を閉じたり、その開度を大きくしたりし、かつ、第３制御通路部を閉じたとき、サブスプールに形成したダンパオリフィス３４が第３制御通路部３６に開口する構成にしている。しかも、上記第１パイロット室２８と一方の圧力室６との直接的な連通を遮断するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、真空露光装置、真空検査装置等に使用されるゲートバルブおよびゲートバルブを備えた露光装置に関し、弁体の開閉に伴う振動の発生を低減することを目的とする。
【解決手段】 バルブ本体の開口部を弁体の移動により開閉するゲートバルブにおいて、前記弁体の移動を案内する静圧軸受を有していることを特徴とする。また、前記静圧軸受を、前記バルブ本体に配置してなることを特徴とする。さらに、前記開口部の閉時に前記開口部を遮蔽する差動排気シールを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 両連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を回避しながら少ない労力で能率良く確実、容易に行うことができ、しかも、仕切板弁の幅の合理的な工夫により漏洩構造の簡素化と小型化を図る。
【解決手段】 両管部に対して、それらの両連結フランジ部の外周を密封する状態で装着自在な遮断作業カバーＢに、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部間の隙間を通して管内流路を遮断する位置にまで差込み移動自在な薄板状の弁板８Ａを備えた仕切板弁８と、この仕切板弁８の弁板８Ａを密封状態で流路遮断位置と流路開放位置とに摺動案内する摺動ガイド手段Ｃが設けられ、仕切板弁８の弁板８Ａの幅が、両管部の内径よりも大で、且つ、両管部の管軸芯を挟んで相対向する締結具５の両ボルト５Ａの対向間隔よりも小に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 既存のダンパ手段に、新たなダンパ手段を追加して、スプールの制振効果を高める。
【解決手段】 電磁油圧制御弁は、バネ室２７とバネ室絞り部３１からなる既存のバネ室ダンパ手段Ａに、軸端部３４（第１径部）とＦ／Ｂランド２４（第２径部）の径差による径差ダンパ室３２と、この径差ダンパ室３２の軸方向に隣接するバネ室２７と径差ダンパ室３２を連通する径差室絞り部３３とからなる径差ダンパ手段Ｂを追加して設けたものである。これにより、２つのダンパ手段Ａ、Ｂのダンパ効果が得られ、デューティ周波数に起因するスプール１２の微振動の制振効果を、従来よりも高めることができる。また、既存の電磁油圧制御弁にダンパ隔壁３５を設けるだけで新たなダンパ手段である「径差ダンパ手段Ｂ」を搭載することができ、制振効果の高い電磁油圧制御弁のコストを低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】コンテナ本体内に比較的粘度の高い液体を収容してもこの液体をスムーズに排出する。
【解決手段】液体コンテナ１０であって、コンテナ本体１１には、その内部に収容された液体Ｌの液面Ｌ１と上蓋部１１ｂとの間に気体を供給して、液面Ｌ１に気体圧を作用させる気体供給手段１６が連結され、 ガイド孔の内周面と、ロッド１４の上端部外周面との間に、これらの間を気密に保持するシール部材が設けられている。 （もっと読む）

【課題】混合弁と流量制御弁の機能を簡単な構成で且つ１つの装置で行うことができる弁装置を提供する。
【解決手段】第１導入口１１、第２導入口１２、及び導出口１３が設けられた弁本体１０と、該弁本体１０内に回動可能に嵌挿された概略円筒状の弁体２０と、該弁体２０を回動させる駆動手段１５とを備え、前記弁体２０の周壁部２２が、前記第１導入口１１及び第２導入口１２を閉塞するシール面部として機能するようにされ、かつ、前記周壁部２２に、前記第１導入口１１及び第２導入口１２の開口面積を前記弁体２０の回転角度に従って連続的に変化させるべく第１開口部３１及び第２開口部３２が設けられるとともに、前記第１導入口が全閉の状態で、前記第２導入口３２の開口面積を前記弁体２０の回転角度に従いつつ最大から最小まで連続的に変化させ得る第３開口部３３が設けられてなる。 （もっと読む）

【課題】 ランドに微操作用の溝を付設したスプール弁において、スプール軸の軸線方向の流体力や騒音を低減できるスプール弁を提供する。
【解決手段】 ランド２２の一端から中間部にかけて溝２３を付設したスプール２０と、このスプール２０がスプール軸２１の軸線方向に移動可能に嵌入される弁室１１を有し第１のポート１２及び第２のポート１３を設けたスリーブ１０とを備え、微操作時にスプール２０の操作量に応じて流量を調整しながら第１のポート１２及び第２のポート１３の一方から他方へランドの溝２３を通じて油を流すことができる流量調整機能を具備したスプール弁において、ランド２２の溝２３を、ランド２２の一端部側に位置する一端部側領域２３１の溝２３と、ランド２２のその余の領域に位置する中間部側領域２３２の溝２３とに区分して、中間部側領域２３２の溝２３の深さが一端部側領域２３１の溝２３の深さよりも深くなるように溝２３を形成した。 （もっと読む）

【課題】吸気通路の上流側と下流側との圧力状態に関係なく、開閉動作の応答性を向上することができる吸気制御装置を提供する。
【解決手段】空気を導入する吸気通路内に固定される固定部２と、筒状に形成され、固定部２と空気の流れ方向に対向し、該固定部２に対して接近離間可能に設けられる可動部３と、吸気通路の壁面と固定部２の外面との間に設けられて吸気通路の上流側又は下流側の一方に連通する外側通路４と、可動部３の内側に設けられて吸気通路の上流側又は下流側の他方に連通する内側通路５とを備え、外側通路４及び内側通路５は、それぞれ通路断面が対称形であり、可動部３は、外側通路４と内側通路５とを連通及び遮断可能であると共に、遮断した状態で外側通路４側及び内側通路５側から作用する圧力方向に対して垂直な方向に移動可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】パイプの流路を選択的に開閉可能なパイプの脱着アセンブリが開示される。
【解決手段】パイプの脱着アセンブリは、流路を備えた第１パイプおよび第２パイプの一端にそれぞれ第１バルブおよび第２バルブが装着され、第１バルブおよび第２バルブの一側にはそれぞれ第１駆動軸および第２駆動軸が装着される。第１バルブおよび第２バルブは内外側面に球面体を成し、曲率半径が同じ第１バルブの内側面と第２バルブの外側面が互いに重なってパイプの流路を閉鎖することができる。したがって、パイプの修理および交換の際に、内部を流れる流体を除去しなくてもパイプの分離および結合が可能であり、曲面状のバルブを通じてパイプ内部の流路を完全に遮断することができるだけでなく、構造が簡単で使用が容易であり維持補修が容易である。 （もっと読む）

【課題】大型の真空用ゲート弁において、シール材を交換するための大きな作業空間を予め確保しておく必要がなく、さらにはシール材の交換作業を容易に行うことができる真空用ゲート弁およびこの真空用ゲート弁におけるシール材の交換方法を提供すること。
【解決手段】弁箱４およびバルブケース２１間を往復移動することにより弁箱４内のゲート開口部１２を閉または開とする弁板１０と、を備えたゲート弁であって、バルブケース２１の下方に、Ｘ、Ｙ両方向に往復移動可能に構成された移動装置３０を着脱自在に取付けし、弁箱４とバルブケース２１との係合を解除した後、移動装置３０を操作することにより、バルブケース２１をＸ方向およびＹ方向に移動させ、シール材２４を交換するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】プロテインスキマー内の海水または淡水中から分離されて出る汚染を含んだ泡沫を十分に収集して排出することができ、泡沫排出レベル自動昇降制御装置の提供。
【解決手段】本体を含み、前記本体上に泡沫収集口、泡沫排出口、泡沫ガイド通路が設けられ、そのうち、前記本体に水または泡沫の浮力に基づき上下に浮動するフロートが設置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に強いプライオリティバルブを提供することである。
【解決手段】 メインスプールＳにはサブスプール１５を組み込むとともに、このサブスプールは、その移動位置に応じて第３制御通路部２５の開度を制御する構成にし、しかも、このサブスプールの一端を第１パイロット室１６に臨ませ、他端を第２パイロット室１７に臨ませる。そして、サブスプールは、第１パイロット室と第２パイロット室との作用力がバランスする位置を保つとともに、そのバランス位置で上記第３制御通路部２５を閉じたり、その開度を大きくしたりし、かつ、第３制御通路部を閉じたとき、サブスプールに形成したダンパオリフィス２２を介してのみ第１制御通路部１０とメインスプールの一端を臨ませた一方の圧力室６とを連通させる構成にした。 （もっと読む）

【課題】 入力ポートが開いた開弁直後のオイルの流れによる「流体反力（スプールに作用する閉弁力）」を小さくできる電磁油圧制御弁を提供する。
【解決手段】 電磁油圧制御弁１０は、出力流により負圧を生じさせる負圧発生手段４１を備える。この負圧発生手段４１は、流路面積の絞り部４３と、流れ方向に対して鉛直方向に開口する負圧ポート４４からなり、絞り部４３はノッチ部３９と入力ポート１７の隙間で構成される。また、電磁油圧制御弁１０は、負圧ポート４４に生じる負圧をＦ／Ｂ室２７へ導く負圧導入通路４２を備える。負圧ポート４４および負圧導入通路４２は、Ｆ／Ｂポート２８を利用したものであり、Ｆ／Ｂポート２８の開口はノッチ部３９の下流直下に設けられる。これにより、開弁直後に生じた負圧がＦ／Ｂポート２８を介してＦ／Ｂ室２７に作用して、「流体反力」を打ち消す「負圧開弁力」が発生する。 （もっと読む）

【課題】管路の遮断修理技術に関し、連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を回避し、少ない労力で能率良く確実、容易に行う。
【解決手段】連結フランジ部２Ａ，３Ａに対して、それの外周面側を密封する状態で装着自在な遮断作業カバーＢが、前記両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周面に対して径方向外方から圧接可能なシール材１１と、このシール材１１を径方向外方から締付け固定する分割構造の締付け輪１２とから構成されているとともに、前記締付け輪１２を構成する複数の締付け分割輪１２Ａの一つには、前記締結具５の緩み操作によって発生した前記両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間を通して管内流路を遮断する位置にまで差込み移動自在な薄板状の仕切板弁８と、この仕切板弁８を密封状態で流路遮断位置と流路開放位置とに摺動案内する摺動ガイド手段が設けられている管内流路遮断装置。 （もっと読む）

【課題】 シリンダの外周面とピストンの外周面との間に、長期にわたってグリスを保持可能な弁装置および整圧器を提供する
【解決手段】 ピストン２７の外周部には、ピストン２７とシリンダ２６との間をシールするシール部材５０が保持される。またピストンの外周部には、シール部材５０に対して軸線方向に間隔あけて、スライダリング５５が保持される。スライダリング５５は、シリンダ２６に対する摩擦抵抗がシール部材５０に比べて小さい材料から成る。シリンダ２６とピストン２７との間の隙間空間５３におけるシール部材５０とスライダリング５５との間に、潤滑剤が保持される。 （もっと読む）