【課題】 プラズマ処理チャンバーのアイソレーションバルブの周囲のプラズマ漏洩を防止する方法及び装置を提供する。
【解決手段】このバルブを接地するための方法及び装置が提供される。一般に、この方法は、導電性エラストマー部材を使用してチャンバーアイソレーションバルブ及び／又はアイソレーションバルブドアを効果的に接地しながら、処理システムの可動部品間の金属対金属接触を回避する。一実施形態では、エラストマー部材は、このバルブのドアに取り付けられて電気的に連通する。エラストマー部材は、ドアが閉位置にあるときにプラズマ処理システムの接地された要素に接触させられる。別の実施形態では、導電性エラストマー部材は、アイソレーションバルブの突っ張り部材に取り付けられ、この突っ張り部材が基板処理中にアイソレーションバルブドアを位置保持するように配置されたときにプラズマ処理システムの接地された要素に接触させられる。 （もっと読む）

【課題】 液状体が筒状体の外側へ回り込むことを防止して、吐出量の管理を高い精度で行い、充填時間を短縮することが可能な液状体吐出用バルブの提供。
【解決手段】 シャットバルブ２０を構成するプランジャ２２の縮径部２２Ｂの外径は、筒状体２１の縮径部２１Ｃの内径よりも僅かに小さく、縮径部２１Ｃの内周面により画成される貫通孔内空間２１ｂ内を摺動可能である。プランジャ２２の縮径部２２Ｂが液状体排出位置にあるときには、プランジャ２２は液状体流入貫通孔２１ｄに対向し、液状体流入貫通孔２１ｄが閉鎖される。また、プランジャ２２の先端部は筒状体２１の一端部開口端２１Ａから突出する。プランジャ２２の下端面２２Ｃは半球状をなす曲面によって構成され、鉛直下方へ開口する凹部形状をなし、プランジャ２２の下端面２２Ｃとプランジャ２２の縮径部２２Ｂの側面２２Ｄとは鋭角をなす。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、所定量の流動物を流した後に、流路を切り換え、別の流動物を所定量流すことができる回転式切換バルブを提供すること、および、包装体の所定長さ毎に異なる内容物を充填した包装体を工業的に製造する充填包装体製造装置および方法を提供すること。
【解決手段】回転体形の空間が形成され、該空間に開口し、流動物を導入する２以上の導入流路１０４とを有する筐体１０２と、前記空間に嵌入され、前記回転体の軸廻りに回転することにより導入流路と連通して前記流動物が流入する受配流路１３２を有する中子１３０とを備える回転式切換バルブ１００。筐体１０２は、流量調整用のリング１２０と筐体本体１１０とで構成されるとよい。また、帯状フィルムの側縁部を重ね合わせて接合し筒状フィルムを成形する縦接合装置と、筒状フィルムに上記の回転式切換バルブを介して内容物を充填する充填装置とを備える充填包装体製造装置。 （もっと読む）

【課題】スプール位置検出装置付スプール弁にプリント基板を設け、スプール弁の作動状態を検出する。
【解決手段】スプール２の移動、位置決め手段とは別に、該スプール２に検出用段部２ａ，２ｂを設ける。段付貫通穴２２ａ，２２ｂ内に検出用段部２ａ，２ｂが出入り可能に設けられたリング３ａ，３ｂと、接触子４ａ，４ｂと、ソレノイドガイド１１ａ，１１ｂとを備えるスイッチ６１ａ，６１ｂをリード端子８６ａ〜８６ｃによりプリント基板８１に接続し、該プリント基板８１をスルーホール８７ａ〜８７ｃにより入力機器８２に接続する。 （もっと読む）

【課題】 弁体の表面および弁座面（シート面）が、流体中に含まれた粉体等の異物により傷つけられてしまうことを防止することができる弁装置を提供する。
【解決手段】 流体通路１４ｃが設けられた弁箱１４と、前記流体通路１４ｃを遮って設けられ、当該流体通路１４ｃを開閉する弁体１１と、前記弁箱１４に設けられ、前記弁体１１と前記流体通路１４ｃとの隙間をシールする弁座２０，２１とを有し、前記弁体１１は、傾斜面１１ｃを介して３分割された弁体１１を当該傾斜面１１ｃが接するように組み合わせてなり、前記傾斜面１１ｃにおいて、中央部に位置する分割された弁体１１ｅとその両側に位置する弁体１１ｄ，１１ｆとを相対的に摺動させることにより、流体流れ方向の幅が変化するように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 両連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を抑制しながら少ない労力で能率良く確実、容易に行うことができ、しかも、両連結フランジ部間の隙間寸法も各種条件に応じて最も遮断作業性の高い状態に調節する。
【解決手段】 両連結フランジ部２Ａ，３Ａの接合面間にシール材を介装した状態で締結具５にて締付け連結されている両管部２，３にわたって、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ全体を密封囲繞可能で、かつ、締結具５を外部から緩み操作する締結操作手段Ｅと、両連結フランジ部２Ａ，３Ａの接合面間を通して抜き差し操作自在な仕切板弁８が備えられている遮断作業ケースＢを装着し、締結操作手段Ｅで締結具５を外部から緩み操作したのち、仕切板弁８を、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間を通して流路遮断位置にまで差し入れることにより、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間において流路を遮断する。 （もっと読む）

複数のバルブを有するロータリディスクバルブを含むロータリディスクバルブユニット及び冷凍機であって、少なくとも１つのロータリバルブは、蓄冷器に接続するポートを有し、少なくとも１つのロータリバルブは、１つ以上のパルスチューブに接続するポートを有し、蓄冷器用のポートを備えるロータリバルブは、パルスチューブ用のポートを備えるロータリバルブよりも軽い接触を有する。バルブ面は、パルスチューブ用のポートを備えた内側領域と、蓄冷器用のポートを備えた外側領域とに分割され、内側領域が外側領域よりも大きいシーリング圧を有する。
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【課題】 粉粒体の弁箱内堆積による作動不良を防止し、良好なシール性と高い耐久性を備え、構造が単純で、かつ点検およびメンテナンスが容易に行える仕切弁を提供することを目的とする。
【解決手段】 石炭ガス化プラントにおける粉粒体を含む流体を輸送する輸送ラインに設置される仕切弁１において、輸送ラインの一部を構成する流路が形成された流入部１３および排出部１７を有する弁箱３と、流入部１３と排出部１７との間に、流路の軸線方向に対し直交する開閉方向に延在されるとともに開閉方向に移動可能に設けられた弁体２３と、弁体２３と流入部との間に、開閉方向に延在して設けられた楔板２１と、弁体２３と排出部１７との間に、開閉方向に延在して設けられた案内板２５と、弁体２３に係合し開閉方向に移動させる移動手段７３と、を備え、弁体２３と楔板２１との間および弁体２３と案内板２５との間が面接触によってシールされることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧力下でラインを閉鎖することなくパイプが設置されてサービスを受けるときにバルブが設置され得るようにする。
【解決手段】 バルブは、中空バルブボディとアクセス開口を画定する開口画定部分を含む。開口画定部分は、バルブから隔離バルブアセンブリを通ってバルブ停止機構の取り外し及び交換を可能にするアクセス開口上に位置する開口画定部分に対する別個の隔離バルブアセンブリの耐流体接続を容易化するための接続容易化構造として配置される。それは、フランジ、雄ネジ、多少の環状溝又はリング、及び／又はセグメントカムロック配置を含んで良い。関連する方法は、（ｉ）隔離バルブアセンブリと、バルブ停止機構が嵌め合う耐流体圧力チャンバを画定する、取り付けられたチャンバ画定構造を有するバルブサービスアセンブリを提供する工程と、（ｉｉ）バルブボディの開口画定部分に対する予備のバルブアセンブリを接続する工程と、及び（ｉｉｉ）隔離バルブアセンブリを通って圧力チャンバ内にバルブ停止機構を後退させる工程とを含む。
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【課題】配置上の制約がなく，しかも作動初期にオイルをダンパ油室に迅速に供給することができて，ダンパ油室の作動遅れを生じさせない油圧制御弁を提供する。
【解決手段】リニアソレノイド部Ｓ，このリニアソレノイド部Ｓの出力により前進駆動されるスプール２２，このスプール２２を嵌装するバルブボディ２０，及びスプール２２を後退方向に付勢する戻しばね２３を備え，バルブボディ２０には，スプール２２をリニアソレノイド部Ｓの出力と対抗すべく押圧する油圧を出力ポート３８から導入する反力油室３５と，スプール２２の制振を行うダンパ油室３６とを設けた油圧制御弁において，バルブボディ２０に，反力油室３６にスプール２２の第３ランド部２５₃ を挟んで隣接するダンパ油室３６を設け，反力油室３６からダンパ油室３６にオイルをリーク供給し得る摺動間隙ｇを第３ランド部２５₃ 及びバルブボディ２０間に設けた。 （もっと読む）

【課題】作動初期にオイルをダンパ油室に迅速に供給できてダンパ油室の作動遅れを生じさせず，しかも常閉型及び常開型の両方の型を簡単に構成し得る油圧制御弁を提供する。【解決手段】バルブボディ２０の第１ポート３７，第２ポート３８及び第３ポート３９をリニアソレノイド部Ｓ側からその順序で配置し，スプール２２には，第１及び第２ポート３７，３８間を遮断・導通する第１ランド部２５₁ と，第２及び第３ポート３８，３９間を導通・遮断する第２ランド部２５₂ と，この第２ランド部２５₂ と直径を異にした第３ランド部２５₃ とをリニアソレノイド部Ｓ側から順次形成し，第２ポート３８に油圧作動部４４を接続すると共に，バルブボディ２０には，第２及び第３ランド部２５₂ ，２５₃ の境界部を臨ませて第２ポート３８と連通する反力油室３５と，この反力油室３５に第３ランド部２５₃ を挟んで隣接するダンパ油室を設け，第３ランド部２５₃ の周囲にオイルのリーク用間隙３６を設けた。 （もっと読む）

【課題】空圧工具のエアモータなどの出力の微細調節を可能とする。
【解決手段】空圧工具の可変絞り機構を、先端開口が傾斜している円筒形回転式絞り弁32と、この回転式絞り弁と嵌合し周面に空気出口が形成された絞り弁ホルダー部34とによって構成する。ダイアル33に連結された絞り弁を回転することにより、絞り弁ホルダー部の空気出口の開口面積が無段階に変化し、エアモータ2などの出力の微細な調節が可能となり、空圧工具の使い勝手が向上する。 （もっと読む）

バルブは、ボア（bore）を規定するハウジングを有している。ハウジングの中の２つのサイド・ポートおよび２つのボトム・ポートは、ボアに連絡している。ボアに受け入れられたスプールの外側表面に、２つの環状溝が設けられている。スプール内において、環状溝からバイパス・ポートへバイパスが延びている。１つの態様例では、ボアはハウジングを部分的にだけ通って延びており、バイパス・ポートはスプールの端部にある。別の態様例では、バイパス・ポートは、スプールの外側筒状表面において、環状溝がその中に実質的に存在しない位置にある。アクチュエータは、ボア内において、第１のボトム・ポートが第１のサイド・ポートと連絡して、第２のボトム・ポートが第２のサイド・ポートと連絡する第１の状態と、第１のボトム・ポートと第２のボトム・ポートとが相互に連絡し、および第１のサイド・ポートと第２のサイド・ポートとが相互に連絡する第２の状態との間で、スプールを選択的に動作させることができる。このバルブは、デッドスペースを減少させることによって、活性の高い化学薬品に好ましく用いることができる。
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【課題】弁体の開閉操作を円滑に行える弁開閉装置を提供する。
【解決手段】本発明は、継手管と、継手管内に設けた弁体と、この弁体から立ち上がる操作杵と、操作杵の上端部に設けられた回転ハンドルと、継手管から立設して操作杵を外装する立ち上り管とを備え、操作杵の上側にある螺着構造の接合部材を有するとともに、弁体の上部に位置するクランプ状部材を設けた弁開閉装置にあって、弁体とクランプ状部材内部に収納している操作杵端部の操作杵軸受部が分離している弁開閉装置である。さらに、接合部材の雌ネジ部と操作杵の雄ネジ部が、螺着接続されており、又、操作杆は立ち上り管内で長手方向に分割されており、伸縮自在なロッドにより接続されている。 （もっと読む）

【課題】この発明は、供給側ノッチ２３と戻り側ノッチ２５とを別々に形成できるようにすることを目的にする。
【解決手段】 第１アクチュエータポートａｐに対応する第１環状凹溝Ｂを、分割ランド部１７を境にして第１凹部１８と第２凹部１９とに分割する一方、上記分割ランド部１７には、供給流路８から第１分岐通路２０への流通に対して機能する供給側ノッチ２３を形成し、第２凹部１９と第３環状凹溝１４とを区画する区画ランド部１５には第２分岐通路２１からタンク流路９への流通に対して機能する戻り側ノッチ２５を形成してなる。 （もっと読む）

本バルブ組立体は、出口（２０）まで延びる流路（１４）を持つハウジング（１２）と、流路内にあり且つ出口の周囲に設けられた弁座（２４）と、前記ハウジング内に配置された、弁座と接触して流路を通る流れを遮断する閉鎖位置と、流路を通る流れを許容する開放位置との間で、流路の長さ方向軸線に対して横方向に移動自在の摺動板（２６）とを含み、摺動板及び弁座の少なくとも一方が、摺動板と弁座との間に所定量の導通性を提供する少なくとも一つの通路（７６）を備えている。
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【課題】 低コストで信頼性の高い真空処理装置を提供する。
【解決手段】 ２つの真空容器２０３，２０４の間に配置され各々を連通して一方から他方に処理対象の試料が搬送される封止されたゲート１１０と、このゲートの経路上に配置され第１の開口２０５および第２の開口２０６の各々に面する第１の弁体２１０ａおよび第２の弁体２１０ｂとこれら弁体が連結されたシャフト２１１とを有して前記開口の各々を選択的に開閉するゲートバルブ２０８とを備えた真空処理装置であって、ゲートバルブ２０８は、２１１シャフトの他端側に連結されシャフトをその軸の方向に移動させる軸方向駆動部３０１と、シャフト２１１の一端側と他端側との間に配置されシャフト２１１の軸と交差する所定の回転軸２０７の周りにシャフトを回転させる回転駆動部２１３とを有し、シャフト２１１の軸方向について回転軸２０７と他端との間のシャフト上の部位に回転させる力が伝達される。 （もっと読む）

【課題】 水蒸気を含む処理ガスを複数の処理工程へ供給するための、固体潤滑材を用いた回転バルブを提供する。
【解決手段】 ブラスト加工面７を設けた固定部材２と、処理ガスの分配溝８を設けた回転部材である固体潤滑材３とで構成された回転バルブである。処理ガス中の水が摺動面で凝縮、結露現象を起こしても安定した回転トルクと良好なシール性を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 高湿度環境化においても、最小トルクで回転する回転バルブを提供する。
【解決手段】 流体流路と接続された少なくとも1つのポート穴を表面に持つ固定子と、該ポート穴同士の接続をその回転運動により切り替えるための接続流路を表面に持つ回転子よりなり、該固定子と該回転子がそれぞれ該ポート穴を持つ面および該接続流路を持つ面を摺動面として摺動しながら回転することにより該流体流路同士の接続を切り替える回転バルブにおいて、該回転子の摺動面上に、該接続流路と接続せず、且つ摺動中に該ポート穴同士を接続しない位置に、閉鎖系の溝部を有することを特徴とする回転バルブ。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、高温冷媒と低温冷媒が接近して流れても、両者間で熱漏洩による熱損失の発生が抑制され、冷暖房能力が向上し、また圧縮機入口冷媒ガスの過熱防止による圧縮機効率の向上により空調装置の省エネ性が向上された四方弁を得る。
【解決手段】弁室５１を有するハウジング部材５と、上記弁室に設けられた座面部６１を有する弁座６と、この弁座の座面部に互いに隣接する開口部１ａ、２ａを有しそれぞれ該弁座を貫通して上記弁室の外に引き出された所定時に高温流体を通流する第１の流路１及び低温流体を通流する第２の流路２と、上記弁座の座面部に対して移動するように設けられた弁体７とを備え、上記第１及び第２の流路相互間の上記開口部に近い位置に、これら流路相互間の熱移動を抑制する熱抵抗部８を形成したものである。 （もっと読む）