【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】比較的高圧の駆動用ガスを用いて、第１流路と第２流路とを高速で選択的に切り替えて第３流路に連通させることができる流路切替弁及びそれを備えた内燃機関を提供する。
【解決手段】第１流路５１と第２流路５２をケース５４内の一方側に設け、第３流路５３を前記第１流路５１と前記第２流路５２の両方に対向して前記ケース内５４の他方側に設けると共に、前記第１流路５１と前記第３流路５３との間と、前記第２流路５２と前記第３流路５３との間を交互に連通及び閉鎖するようにスライドするシャッター部材５５を設け、該シャッター部材５５を駆動用ガスＡｐで駆動するピストン５６でスライドさせる。 （もっと読む）

【課題】比較的高圧の駆動用ガスを用いて、複数の入口側流路を高速で選択的に切り替えて出口側流路に連通させることができると共に、流路をシールするシール部材の破損を防止できる流路切替弁、内燃機関及び内燃機関のＥＧＲ方法を提供する。
【解決手段】複数の入口側流路５１ａ、５１ｂのいずれか一つ又は複数を選択的に単数又は複数の出口側流路５２ａに連通させたり、遮断したりする流路切替弁５０Ａにおいて、ケース５４内に設けられた入口側流路５１ａ、５１ｂ側と、出口側流路５２ａ側との間でスライドするシャッター部材５５を設け、出口側流路５２ａのシールのためにシャッター部材５５とケース５４の間にシール部材を配置し、更に、シャッター部材５５をケース５４の出口側流路側５２ａの内壁面から浮かせてスライドさせるための案内部材５３を設けて、シャッター部材５５と内壁面との間に隙間Ｐを形成する。 （もっと読む）

【課題】内側部分及び外側部分の引っ掻きを低減又は除去し、インクバルブの性能を改善する。
【解決手段】本体により連結される第１及び第２の端部を有する固定された外側部分１６と、実質的に管状の内側部分１８を含み、この内側部分１８は、外側部分１６の円筒形の内部領域内に回転可能に位置し、側壁によって連結される第１及び第２の端部を有し、内側部分１８の第１の端部に隣接する側壁に少なくとも１つのバイパス開口部を有し、内側部分１８の第２の端部に隣接する側壁に少なくとも１つのインク流出開口部を有し、第２の端部は開かれており、及び第１の端部は閉じられている。さらに、少なくとも１つの実質的に円筒形の内部領域と、複数の溝１１０、１１１、１１２、１１３を有する側壁とを含み、複数の溝１１０、１１１、１１２、１１３のそれぞれが潤滑剤を保持する。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の圧力解除状態において閉塞部材が所定の位置にあるようなバルブを提供する。
【解決手段】バルブの一又は複数の貫通開口部（２）を閉塞するための閉塞部材（１）が、駆動機構（３）により閉位置と開位置との間で動かされる。駆動機構（３）が、閉塞部材（１）を閉位置に変位させるための第１圧力作用空間（４）と、閉塞部材（１）を開位置に変位させるための第２圧力作用空間（５）とを備えている。バルブは、閉塞部材（１）を閉位置又は開位置に向かって付勢する弾性要素（６）を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】弁箱１０に回動自在に設けられた回転軸２０を中心として揺動回転する可動弁部４０を設け、可動弁部４０の揺動により開口部を開閉すると共に、回転軸２０を、内部に流体通路を設けたスイベルジョイント構造を採用し、制御流体の制御により可動弁部４０の弁座への圧接分離可能とし、また、回転軸２０をピストンにより駆動可能なラックピニオン機構により揺動回転させる。 （もっと読む）

【課題】真空装置に用いられる回転式スライド弁に於いて、衝撃の少ない回転操作が可能な操作部構造を提供する。
【解決手段】ピストンの直線運動を、ピニオンラックを介して回転運動に変換し、弁体を回動作動させる弁構造に於いて、ピストン１１２の突起部１１２ｃの円筒面にに形成され、突起部１１２ｃの根本部分から、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した緩衝溝１１８を設け、圧力空間１１３内の流体を緩衝溝１１８を介して排出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、潤滑用オイルの粘度に適した動作を行えるリリーフ機構を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、バルブボディの基端に設けられてオイルポンプの吐出側に連通する第１開口部と、バルブボディの先端に設けられて内燃機関のオイル溜まりに連通する第２開口部と、バルブボディの基端と先端の間に設けられてオイルポンプの吸引側と連通するリリーフ孔と、スプールが摺動方向の基端に位置するときは第１開口部とリリーフ孔を導通させるとともにスプールが摺動方向の先端に位置するときは第１開口部とリリーフ孔を遮断させる連通路と、スプールを基端側へ付勢する付勢部材と、第２開口部とオイル溜まりとの間に設けられるオリフィスと、を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】各開口部に接続される配管等の輸送路の接続方向の自由度を向上させ得る切替弁装置、及びこれを備えた輸送切替装置を提供する。
【解決手段】切替弁装置１は、略直方体形状とされ、かつ、スライド方向に略直交する方向に対向配置された対向両側壁のうちの一側壁１１に設けられるとともに一系統の輸送路２に連通される第１開口部１７と、前記対向両側壁のうちの他側壁１２に設けられるとともに二系統の輸送路の一方３に連通される第２開口部１８と、スライド方向に略直交する方向に対向配置された残余の対向両側壁の一方１３に設けられるとともに前記二系統の輸送路の他方４に連通される第３開口部１９とを有した弁体ハウジング１０と、一方側へスライドされた際に前記第１開口部と前記第２開口部とを連通させる第１貫通孔２７と、他方側へスライドされた際に前記第１開口部と前記第３開口部とを連通させる第２貫通孔２９とを、スライド方向に沿って有したスライド弁体２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上させることが可能なピストンバルブを提供する。
【解決手段】流体が供給される入口ポート１２、出口ポート１３およびこれらに連通する流路１５，１４，１６を有するバルブ本体１１と、前記流路の途中に設けられ弁座１９を有する弁座部材１７と、この弁座部材の弁座を開閉する弁棒３１と、この弁棒を弁座に対して接離動作させ弁座を開閉する駆動部５０とを備えたピストンバルブ。弁座部材および弁棒の少なくとも一方は、基材と、この基材の表面に形成された硬質被覆層とを含んで構成されている。硬質被覆層は、基材の表面からの距離が大きくなるに従って硬さが次第に低下するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】ドーム部１１の内側の椀状凹部１１ａ内に開口部１１ｂを横断して補強ピン１３を配設し、ドーム部１１の外側を高圧、椀状凹部１１ａ内を低圧とする流路切換弁用の弁体１０において、補強ピン１３の端部を支持する段部１１ｃ（補強部材支持部）で応力集中が発生しても弁体１０の両端が浮きやすくなるのを防止する。弁漏れの減少、ならびに弁体の摺動による生じる、弁体と弁座の双方の局部的な磨耗を低減する。
【解決手段】摺動部１２の上面１２ｂに、その４箇所に「応力均一化形状部」としての凹形状部１を形成する。２つの凹形状部１，１は軸Ｌ２の両側においてそれぞれ組を成し、各組の凹形状部１，１は、段部１１ｃ（補強部材支持部）に対して補強ピン１３と直交する方向の対称な位置に形成する。凹形状部１で応力を集中させて弁体１０の全体での応力を略均一化する。 （もっと読む）

【課題】制御弁のスライド弁体の動作を安定させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】
第１スライド部３と第２スライド部４を有する弁体２を弁軸方向に摺動可能に収納し、圧力流体源１０からの圧力流体を両スライド部間に供給する圧力流体供給路５と、弁体２の作動により圧力流体を制御しつつ出力する圧力流体出力路６を備え、圧力流体供給路５を第２スライド部４と弁箱１端間で形成される第２外方室Ｋ２に連通させる連通路、５Ｐを設けた制御弁である。これら各連通路に第２のオリフィスＯＦ２を介設したものである。 （もっと読む）

【課題】流路内を流れる流体の圧力が高くなった際に、自動的に流路を閉状態とする高圧遮断バルブに関して、簡易な構造で、高圧異常時の緊急遮断を実現するバルブ、ならびに前記高圧遮断バルブを用いた燃料カートリッジ、及び燃料電池システムを提供する。
【解決手段】流入口２、流出口３、及び大気解放口４を有する筺体１と、前記筺体１の内部に摺動可能に設けられた弁体１０とを備え、前記弁体１０は連通路が設けられており、通常時には、前記流入口２と前記流出口３は前記連通路を含む流路によって連通され、前記流入口２からの流体の圧力が通常よりも高いときには、前記弁体１０を摺動させて前記流路を遮断する。 （もっと読む）

【課題】シートリングを弁体に接離させるタイプのボールバルブを粉粒体の空気輸送に用いたときに懸念されるシートリングと弁体間の隙間からの粉粒体の洩れ出しを防止し、洩れた粉粒体が弁体の摺動隙間などに噛み込む現象をなくすることを課題としている。
【解決手段】弁体４に押し付けて弁体外周の摺動隙間を封鎖するシートリング５を有し、そのシートリング５を弁体４から離反させて弁部の開閉操作を行なうボールバルブに、弁体４とその弁体から離反させたシートリング５との間に生じる隙間の外周を取り巻いて外部から供給された空気を前記隙間に向けて噴射するパージ環８を設けた。 （もっと読む）

【課題】四方切換弁の流路切換の際の衝撃の発生を効果的に防止し、構成が簡単で製造コストの低い電動弁等を提供する。
【解決手段】相対向して配置された第１弁室２ａ及び第２弁室２ｂと、第１弁室に連通する第１流路２ｃと、第２弁室に連通する第２流路２ｄと、第１弁室に配置された第１弁座と２ｆ第２弁室に配置された第２弁座２ｇとの間に介在して両弁室及び流出管又は流入管に連通する第３流路２ｅとを有する弁本体２と、第１弁室に収容され、先端部が第３流路に挿入される第１弁体１０ａと、第２弁室に収容され、先端部が第１弁体の先端部に当接する第２弁体１９と、ステータコイル２４に励磁することにより回転するロータ７と、ロータの回転によって第１弁体を第１弁座に接離させるねじ送り機構９、１３と、第２弁体を第１弁体側に付勢し、第２弁体を第１弁体に追随して移動させて第２弁体を第２弁座に接離させる付勢手段２０とを備える電動弁１等。 （もっと読む）

【課題】弁ハウジング１内を２つのピストン２，２により主弁室１１Ａとその両側の副弁室１２Ａ，１２Ａに仕切り、一方の副弁室１２Ａを減圧することにより主弁室１１Ａ内の冷媒圧力との差圧により、ピストン２及び主弁体５を移動し、冷凍サイクルの冷媒の流路を切り換える流路切換弁１０において、ピストン２の移動後に、主弁室１１Ａと副弁室１２Ａとを速やかに均圧し、ピストン２の耐久性を確保する。
【解決手段】ピストン２の中央に均圧通路を設け、この均圧通路内に副弁２５を配設する。ピストン２がキャップ部１２側に移動したとき、副弁２５により副弁座部１２２の抽排気通路１２ａ開口を閉塞し、かつ、均圧通路を導通する。 （もっと読む）

【課題】冷凍サイクルを構成する主弁部をパイロット弁で駆動して冷媒の流路を切り換える流路切換弁において、パイロット弁のパイロット弁体に高圧の冷媒圧力が加わっても、パイロット弁体の切換動作を確実に行うとともに、切り換え時の冷媒騒音等を低減すること。
【解決手段】冷凍サイクルの高圧冷媒をパイロット弁２０の高圧継手管２４ｄから流入させ、切換継手管２４ａまたは切換継手管２４ｂを介して四方切換弁１０の副弁室１８ａまたは副弁室１８ｂに流入させ、主弁体１３を主弁座２２上で摺動させる。パイロット弁２０において、ロータ５とステータユニット６とからなる電動モータを駆動し、ロータ５の回転力をねじ送り機構によりパイロット弁体２３を直線状に移動させて、四方切換弁１０に対する高圧冷媒の流入先を切り換えて四方切換弁１０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 電動オイルポンプの補助なしに油圧アクチュエータおよびエンジン潤滑装置へ適切に油圧を作用し、小型な車両用オイル供給装置を提供する。
【解決手段】 第一供給油路４４に接続される第一供給油路部２５と第二供給油路４５に接続される第二供給油路部２６とを具備する油流制御部２１と、油流制御部２１内をスライドし、油圧アクチュエータ５およびエンジン潤滑装置６のオイル供給状態を可変する優先弁３と、優先弁３を油流制御部２１方向へスライドさせる圧力部２２と、を有するオイル供給調整バルブ２を備える。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁において、制御上の有効ストローク幅をより大きくし、分解能をより高くするとともに、それに伴い、外乱等によるストロークの微小変動に対しての許容幅も大きくする。
【解決手段】流量制御弁１に、内部に入口側流路３及び出口側流路４を有する弁ボディ２と、この弁ボディ２の入口側流路３と出口側流路４との間に設けられ、前記入口側流路３に連通する横孔５ａを設けてなる筒状のスリーブ５と、このスリーブ５の内部を進退可能である球状の弁体６とを具備し、この弁体とスリーブの横孔との隙間を流体が通過する。 （もっと読む）

【課題】低作動差圧で弁体を摺動させ、弁体の位置を円滑に切り換えることを可能にする。
【解決手段】四方切換弁１は、密閉空間２ａを有する弁本体２と、弁本体２に接続された高圧管３、低圧管４及び導管５、６と、低圧管４及び導管５、６の各々に連通する接続口が設けられた弁座１０と、弁座１０上を摺動する弁体１６とを備える。また、弁体１６は、内側に冷媒の流通空間１６ｃを形成する膨出部１６ａと、膨出部１６ａを囲繞し、弁座１０上を摺動する鍔部１６ｂとを有する。この構成において、弁体１６が摺動する過程で、導管５を高圧室１３に連通させる第１の開口部１７と、導管５を流通空間１６ｃに連通させる第２の開口部１８とが導管５の接続口７に形成され、かつ、それら開口部１７、１８の開口面積Ａ１、Ａ２が同一となるときに、開口面積Ａ１（＝Ａ２）が導管５の弁口径面積Ｂの１％以上、１０％以下となるようにする。 （もっと読む）