【課題】弁の開閉動作の際に弁の発塵により発生する汚染物を洗浄槽内に混入させずに外部に排出し、洗浄処理中に洗浄槽内の汚染物を排出弁からのリークにより排出することができ、洗浄槽から洗浄液を効率よく短時間で排出することができる排出弁及び排出弁を有する洗浄装置を提供する。
【解決手段】弁本体１内部に設けられた弁座１０に当接又は離間することにより、排出口２と排出窓３とを連通又は遮断する弁体２６と、弁本体１又はシリンダ部１４側面に設けられ、シリンダ底部１５上面及びシリンダ部１４内周面とピストン２２下面とで囲まれた第一空間部１８と、シリンダ上部１６下面及びシリンダ部１４内周面とピストン２２上面とで囲まれた第二空間部１９とにそれぞれ連通される一対の作動流体供給口２０、２１とを具備する排出弁において、弁体２５と弁座１０が当接したときに排出口２と排出窓３とを連通する複数の溝２６を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ピストンの推力を抑えて弁座のシール性を向上することができ、かつ製作コストを抑えることができ、配管設計や装置設計がしやすくなり、さらにコンパクト化を図ることができるエアオペレイトバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリンダ１２の内側にピストン２２を備えるものであって、エアを供給することによりピストン２２を弁本体１１側に移動させて弁閉状態とするＮＯタイプまたは複動タイプのエアオペレイトバルブにおいて、シリンダ１２の内径よりも小さい内径の内周面１４ａを備えるカラー１４を有し、内周面１４ａをピストン２２が摺動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの駆動力を利用して弁体を弁座に対して離接する弁装置において、シール性を向上させる。
【解決手段】アシスト機構４０は、遮蔽板４２で仕切られた二つの圧力室４１Ａ，４１Ｂを有するチャンバー４１と、チャンバー４１に配置されチャンバー４１内の水素を吸収する水素吸蔵合金４３Ａ，４３Ｂとを備える。水素吸蔵合金４３Ａ，４３Ｂは、チャンバー４１内の水素温度に応じて二つの圧力室４１Ａ，４１Ｂ間に差圧が発生するように構成される。アシスト機構４０は、上記差圧により遮蔽板４２に作用する力をアシスト部材４４により弁体３２に作用させ、これにより弁体３２の弁座２４への当接をアシストする。 （もっと読む）

【課題】 従来のパイロット作動式電磁弁は、耐久性および信頼性に問題があった。
【解決手段】 弁本体２１に収容されて第１弁室２２ａと第２弁室２２ｂ側とに仕切り、第１弁室２２ａに臨む弁座２６に当接し得る弁体３６と、第２弁室２２ｂとタンク室２２ｃとに仕切るピストン２３と、このピストン２３と弁体３６との間隔が拡がるように付勢する圧縮ばね４２と、弁体３６に形成されて第１弁室２２ａと第２弁室２２ｂとを連通する第１の絞り通路３７と、ピストン２３に形成されて第２弁室２２ｂとタンク室２２ｃとを連通する第２の絞り通路４１と、弁体３６が弁座２６に当接した状態において弁体３６とピストン２３との間に形成される隙間を規定する段差部２４と、段差部２４に向けてピストン２３を付勢するベローズ３８と、出口ポート２７と第２弁室２２ｂとに連通するパイロット流路３０を開閉するパイロット弁３１とを具える。 （もっと読む）

本発明は、ピストン、メンブレン、スライド、または、これらの組み合わせ等の内、少なくとも１つの空気圧アクチュエータを有する本体と、少なくとも１つの被覆部材と、を備えた流体制御装置に関する。本体および／または少なくとも１つの被覆部材には、本体内に設けられた流体管路と流体伝達が行われる制御／供給管路が配置されている。制御／供給管路は、本体と少なくとも１つの被覆部材との間で、レーザ溶接により生成された溶接継目により密封される。
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【課題】 開閉弁が閉止に要する時間を短縮する。
【課題手段】
一次側配管Ｗ１と二次側配管Ｗ２とを接続する開閉弁本体１０と、この開閉弁本体１０の連通口Ｓを開閉する弁主体１１と、この弁主体１１と流路を介して対向するピストン室Ｔと、このピストン室Ｔを加圧室Ｋと減圧室Ｇに区切って配設されるピストン１５と、このピストン１５と上記弁主体１１とを連動させるステム１３とを有する開閉弁１００において、上記一次側配管Ｗ１と上記加圧室Ｋとの間に導水管Ｒ１１を有し、上記導水管Ｒ１１に当該導水管Ｒ１１の圧力で開閉制御を行う排水弁１０１を設ける。 （もっと読む）

【課題】ニードル弁体の進退による液体の定量吐出に当って、ニードル弁体の移動に起因する液室内の圧力変動を相殺して、高精度で安定した液体吐出および吐出停止を行うこと。
【解決手段】吐出口を閉止開放するニードル弁体の進退移動に同期して、その弁体の移動によって生じる液室内の圧力変動を相殺するような方向に、液室の体積を変化させる圧力補償手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】弁体の開閉動作の速度を制御して、弁体が弁座に激しく衝突するのを確実に防止し得るスイング逆止弁を提供する。
【解決手段】スイング逆止弁３の弁箱９の外壁にシリンダー装置２０を付設し、弁体を開状態と閉状態に揺動可能に支持する弁棒１１とシリンダー装置２０のピストン２２を連結機構で連結し、弁体の開閉動作とピストン２２の往復移動が連動するようにする。さらに、シリンダー装置２０のシリンダー室２５内に流出入する流体の流路となる連通管２８に流量調整弁２６を介装して、流量を適宜に設定する。シリンダー室２５内に流出入する流体の流量を調整することで、ピストン２２の移動が緩慢となって弁体の開閉動作のブレーキとして作用し、弁体を緩慢に動作させることができる。弁体の開動作と連動するピストン２２の移動により容積を拡大させるシリンダー室２５を連通管２８により弁体の上流側に連通しても良い。 （もっと読む）

【課題】 ダイアフラムに設けられた弁体部のシート性を向上させることである。
【解決手段】 ダイアフラム１６には流入側流路１４の開口部１４ａを開閉する弁体部１６ｂが設けられる。この弁体部１６ｂには固定軸部３５が設けられ、この固定軸部３５は駆動軸２１の先端に形成された取付孔３６にねじ結合される。固定軸部３５には摺動リング３８が装着され、この摺動リング３８はそのテーパ面３８ｂにおいて駆動軸２１の先端に形成された球面状の摺動面３７に摺動自在に接触している。また、取付孔３６の開口部側には大径部３６ｂが形成され、固定軸部３５との間には隙間が形成されている。これにより、駆動軸２１が傾斜すると弁体部１６ｂは弁座１８に均一に接触するように駆動軸２１に対して傾斜する。 （もっと読む）

【課題】 バルブハウジングに形成した２つの取付溝の所定の位置に、弁閉止位置と弁開放位置とを検出するための２つの磁気センサーを、簡単にしかも位置を間違えることなく確実に取り付けることができる切換弁を得る。
【解決手段】 バルブハウジング４の内部に、弁座を開閉する弁部材と、パイロット流体圧の作用により動作して上記弁部材を駆動するピストンとを備えた切換弁１Ａにおいて、上記ピストンに位置検出用のマグネットを取り付けると共に、上記バルブハウジング４の側面に、切換弁の軸線Ｌ方向に延びかつピストンの動作位置に応じて互いの溝長を異ならしめた２つのセンサー用取付溝４６ａ，４６ｂを並列に形成し、各取付溝４６ａ，４６ｂにおける奥端壁４９寄りの位置にそれぞれ磁気センサー４２ａ，４２ｂを取り付ける。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構成で真空容器内の圧力を制御することが可能な真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】弁開度制御回路３０よりパイロット圧調整機構２０に弁開度制御信号が供給され、給気用電磁弁１６が弁開状態となり且つ排気用電磁弁１８が弁閉状態となれば、ボリュームブースタ１４よりパイロット室３６に流体が供給されてパイロット圧が急速に増大し、弁体７４は全閉状態より全開状態に速やかに変化する。一方、前記パイロット圧調整機構２０に弁開度制御信号が供給されて、前記給気用電磁弁１６が弁閉状態となり且つ前記排気用電磁弁１８が弁開状態となれば、前記ボリュームブースタ１４は前記パイロット室３６の排気を行う。この結果、前記パイロット圧は急速に減少して、前記弁体７４の弁開度は全開状態より所望の弁開度に速やかに変化する。 （もっと読む）

【課題】弁動作時のパーティクルの発生を低減できるとともに、弁の開口面積の変化率を小さくして制御流体を微小調整することができるダイアフラム弁を提供すること。
【解決手段】ハウジングに第１作動室９と第２作動室１２とが弁孔１３を介して連通するように形成され、第１作動室９に収納される第１ダイアフラム７と、第２作動室１２に収納される第２ダイアフラム１０とを連結機構２６で連結し、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０を同期して移動させるダイアフラム弁１において、連結機構２６を弁孔１３の外側に配設する。 （もっと読む）

【課題】 ロータリーアクチュエータと回転弁との間に生ずるトルクを負担し得るようにすると共に、ロータリーアクチュエータの構造を簡単にし、中間部品の交換により、接続構造の適宜の選定を可能とする。
【解決手段】 シリンダ１内を往復動するピストンに出力軸を連結し、ピストンの往復動を回転運動に変換して出力軸を駆動回転し、該出力軸に接続された回転弁の弁棒を駆動するようにしたロータリーアクチュエータと回転弁の接続装置において、ロータリーアクチュエータと回転弁との間にベースプレート５を介在させ、該ベースプレートに設けた嵌合部にロータリーアクチュエータのシリンダ本体１０を嵌合して回り止め状態でロータリーアクチュエータとベースプレートを接続すると共に、ベースプレート内においてアクチュエータの出力軸と回転弁の弁棒を回転方向に接続し、ベースプレート内に開度調整手段を設けて出力軸の開度を調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】 容器に充填する液体の乱流を抑制して、泡立ちの発生を防止しつつ液体充填をする。
【解決手段】貯液タンク３０内の液体３１は、液体供給管４０，充填ノズル部１０の流路１２及び充填ノズル１５を介して、容器３に充填される。充填開始時には液弁１３が全開となり充填終了時には液弁１３が全閉となる。充填期間において、流量可変手段１００は、液体３１の液量を充填初期では小流量としその後の期間では大流量とする流量制御をする。流量可変手段１００の下流側に配置した整流用縮流路２００では、液体３１の液流を絞り込むことにより乱流を抑制する。このため乱流成分が抑制された液体３１が、充填ノズル１５を介して容器３に充填されるため、泡立ちの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 高圧流体を供給制御する場合にも、ダイアフラムの弁体部と膜部との境界付近への応力集中を防止してダイアフラムの耐久性を向上させることができるダイアフラム弁を提供すること。
【解決手段】 ダイアフラム弁１は、弁座１３に当接する弁体部２１と、弁体部２１から外側に広がった膜部２２と、膜部２２の外周縁に形成された固定部２３とを有するダイアフラム弁体２０を備える。そして、膜部２２に、弁体部２１に接続され鉛直方向に形成された鉛直部２２ａと、固定部２３に接続され水平方向に形成された水平部２２ｃと、鉛直部２２ａと水平部２２ｃとを接続するために断面円弧状（上方凸形状）に形成された接続部２２ｂとを設けることにより、鉛直部２２ａをバックアップ４０の外周面に常時接触させる。 （もっと読む）

【課題】メカニカルモードとＦＢＷモードの間のモード切換え途中でモード切換弁が固着しても、バイパスモードとならないモード切換弁を実現し、操縦不能状態等に陥ることがないアクチュエーションシステムを提供する。
【解決手段】モード切換え弁３３の弁体が一方側のストロークエンドに位置するとき給排モード位置のいずれかに切り換わり、他方側のストロークエンドに位置するときバイパスモード位置に切り換わるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 弁に流入する流体に異物が混入している場合でも確実に流体をシールし、かつ繰り返し開閉に対する耐久性に優れ、流体圧力によりシール部材が変形して脱離することがなく、分解可能で部品単品ごとの交換が可能なダイヤフラム弁を提供すること。
【解決手段】 フッ素系樹脂からなるダイヤフラム本体２の下面に、弾性体からなるシール部材３を支持体４により挟持、固定し、シール部材３のシール部１２を弁座部３０に圧接、離間させることにより弁を開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】 初期排気の段階では絞り弁を通して排気し、その後に主弁部材を開放して高速排気する真空流量調整弁において、副生成物が初期排気のための絞り弁やその前後の流通路に堆積するのを可及的に抑制する。
【解決手段】 成膜用ガスを供給して成膜処理を行う真空チャンバーと真空ポンプとの間に介装し、真空チャンバー内を大気圧状態から真空に排気する初期排気の段階では絞り弁３４を通して上記真空ポンプで徐々に排気し、一定圧力に低下後には主弁部材１０により開放される流路を通して高速または制御排気する真空流量調整弁において、上記絞り弁３４の入口３１側及び出口３２側に、少なくとも上記成膜用ガスが真空チャンバーに存在する間は開放しないように制御される開閉弁３５，３６を設ける。 （もっと読む）

射出成形用の三方遮断バルブ組立体及び方法であって、三方バルブ組立体は、射出ユニットからランナーシステムへの溶融材料の流れを制御すべく配置され構成されている。好ましくは、バルブ組立体は、射出ユニットとランナーシステムとの間に配置されるべく構成されてなるバルブプランジャーを有していて、バルブプランジャーは流通通路とパージ通路とを有している。移動構造部は、（ｉ）溶融材料が流通通路を通って流れる溶融材料流通位置と、（ｉｉ）流通通路を通って流れる溶融材料が遮断される溶融材料遮断位置と、（ｉｉｉ）射出ユニットをランナーシステムから切り離さずに、溶融材料がパージ通路を通って流れる溶融材料パージ位置との間において、前記バルブプランジャーの位置を制御すべく構成されている。
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【課題】 蓄圧室に一次圧よりも低圧の二次圧を導入するようにして、例えば、弁体開放時に、弁体の開度が大きな状態でも調圧機能を維持すること。
【解決手段】 一次側と二次側とを連通する弁座を開閉する弁体と、該弁体の背面側に設けられたシリンダと、該弁体に設けられ、かつ、前記シリンダ内を加圧室と蓄圧室とに仕切るピストンと、を備え、前記加圧室に一次圧が導入される開放弁において、前記ピストンは、前記シリンダを貫通し、かつ、前記弁体の前面側に延在するロッドを有し、該ロッドの前記弁体の前面側に延在する部位には、前記蓄圧室と連通する連通路の流体出入口が形成されている。 （もっと読む）