【課題】停電時に電源を用いずに電動真空弁を閉弁すること。
【解決手段】
第１ポート５１と第２ポート５２と、弁室５３と、弁座５４と、を備える弁部２２と、ステッピングモータ２７に接続した送りねじ３４と、シャフト３６と、送りねじ３４とシャフト３６により構成される送りねじ機構と、シャフト３６の回転を止める回転止手段と、シャフト３６の先端に取り付けられた弁体４２と、復帰ばね４４と、を有する電動真空弁２１において、停電時に、ステッピングモータ２７のステータとロータの間にディテントトルクが発生すること、復帰ばね４４の推進力がディテントトルクを送りねじ機構により変換した抵抗力より大きいことにより閉弁するものである。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６とを備えている。モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上でバルブプレート１４に直接伝達される。この場合、モーター１６の回転力は、モーター１６の回転軸１６Ａに連結されて回転軸１６Ａと共に回転し回転軸１６Ａよりも大径に形成されたフランジ２０と、このフランジ２０及びバルブプレート１４に連結されてフランジ２０と共に回転する回転体２２と、この回転体２２をケーシング１２から離反するように付勢するスプリング２４を介して、バルブプレートに伝達される。フランジ２０は、中空部２０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、ケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４を駆動するモーター１６を備え、モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸１６Ａと共に回転するフランジ２０と、フランジ２０及びバルブプレート１４に連結される回転体２２を介してバルブプレート１４に直接伝達される。回転体２２は、本体部２２Ａと、本体部２２Ａから延びるシャフト部２２Ｂを有し、本体部２２Ａは、横方向においてはローラーベアリング２８を介して、上下方向においては本体部２２Ａの上下に配置された２つのスラストベアリング３０Ａ、３０Ｂを介して保持されることによりカバー２６内に回転自在に設置される。 （もっと読む）

バタフライ弁は、弁開口部（１４）を含む本体（１２）と、弁開口部に対して可動であるように回転軸（２２）を中心として回転可能に取り付けられたフラッパ（１６）とを備える。フラッパは、少なくとも１つの全開位置、全開位置から９０°離れた少なくとも１つの全閉位置、およびもう一方の同じ位置から１８０°離れた、全開位置または全閉位置のどちらかの第３の位置まで可動であるように、回転軸を中心として少なくとも１８０°回転可能である。一実施形態では、フラッパは、１８０°離れた２つの開位置のそれぞれまで、および互いに１８０°離れかつ全開位置のそれぞれから９０°および２７０°離れた２つの閉位置まで可動であるように、回転軸を中心として少なくとも３６０°回転可能である。本弁は、容易に較正および制御することができ、また洗浄と次の洗浄との間の耐用期間を延長させるために洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、多量の流体を速い応答速度で流通および遮断させることができるバルブ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】バルブ装置２０は、負圧チャンバ５に接続した上流側吸気管２２ａをつないだ第１ブロック２４、ポンプ１３に接続した下流側吸気管２２ｂをつないだ第２ブロック２６、これら第１および第２ブロックの間に回転可能に配置された第１および第２の遮断板３１、３２、および各遮断板３１、３２を回転させるサーボモータ３３、３４を有する。各遮断板３１、３２には、複数の流通孔３１ａ、３２ａが形成されており、２枚の遮断板３１、３２は、逆方向に回転される。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空ポンプ５を介して真空容器４内の真空圧力を変化させる開閉弁２と、真空容器４内の真空圧力を計測する真空圧力センサ３を介して開閉弁２の開度を制御する真空圧力制御システムであり、到達関数ｆ(ｘ)を算出する演算機能と、開閉弁２を任意の時間幅でオープンクローズするタイマー６０と、オープン・クローズ開度値を真空圧力センサ３の出力と到達関数ｆ(ｘ)から演算する機能とを有する制御ユニット手段１０と、開度値を駆動する駆動手段１２と、圧力低下の所要時間Ｔと到達圧力Ｐを外部からコマンド入力する入力手段１３とを設けて、大気圧又は任意の圧力から目標とする任意の圧力まで低下させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下に於いても、高精度な安定した流量制御を行えると共に、金属ダイヤフラム８に加わる圧縮力を調整できるようにする。
【解決手段】 圧電素子１３の伸長によりダイヤフラム押え１２を介して弁座７ｃへ当座又は弁座７ｃから離座する金属ダイヤフラム８を備えた圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁において、圧電素子１３と金属ダイヤフラム８との間に配設される皿バネ機構１４を、下端部にダイヤフラム押え１２が挿着されると共に上端部に上方が開放された収納空間２２ｂを形成したダイヤフラム押えホルダー２２と、ダイヤフラム押えホルダー２２の収納空間２２ｂに配設された複数枚の皿バネ２３と、最上位の皿バネ２３の上面に載置され、圧電素子１３の下方に位置して圧電素子１３の伸長を皿バネ２３へ伝達するボール受け２４と、皿バネ２３の反発力を調整すると共にボール受け２４及び皿バネ２３を抜け止めするようダイヤフラム押えホルダー２２に螺着されたバネ調整用ナット２５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】真空領域内を圧力制御することに好適なバタフライ式圧力制御バルブであり、設置スペースが小さく、小さい操作力により高速制御して、弁閉時には弁閉状態を維持して高シール性を発揮し、流量制御時には微小流量から大流量まで正確に制御でき、一般的なバタフライバルブと同等の耐久性を発揮しつつ、単体でアイソレーション機能を発揮して大気圧から低真空までのソフト排気の排気時間を制御できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】バタフライ式圧力制御バルブは、バルブ開閉機構２２を有する。バルブ開閉機構２２は、エア流路２５へのエアの供給によりシートリング２４を弁体２３から離間させた状態でこの弁体２３を無摺動で回転させ、弁体２３を弁閉状態に回転したときにエア流路２５へのエアの供給とスプリング２６の付勢力とにより弁体２３にシートリング２４を接離させて流路２１内の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】高温環境において使用された場合でもラジカルによりシール部材が劣化することを防止できるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁座６３に対して所定の距離が離間した状態で着座して開口部を閉塞する弁体と、弁体が弁座に着座したときに弁体と弁座との間をシールするシール部材と、を有するゲートバルブ装置であって、シール部材は、常温環境下で弁座を押圧することにより弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第１シール部５８と、高温環境下で熱膨張することにより弁座を押圧すると同時に弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第２シール部６０と、を有し、第１シール部５８の体積は第２シール部６０の体積よりも小さく設定され、第１シール部５８の弁座側の先端部は第２シール部６０の弁座側の先端部よりも弁座側に位置している。 （もっと読む）

【課題】第１ポートと第２ポートとが連通状態であっても、シール部材を構成する第１シール部材をプラズマや腐食性ガスから確実に保護してシール性能を長期にわたり維持（シール性能の低下を防止）できるバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁体部２２を駆動する偏心シャフト２４を支持部材５２に対して軸方向に位置決めするためのホールドナット６６を設けることにより、偏心シャフト２４をその軸方向に確実に位置決めし、弁体部２２を高精度に位置制御する。また、第１ポート１２と第２ポート１４とが連通状態のときに、偏心シャフト２４による駆動で弁体部２２がハウジングの内壁面１８Ａに着座したときに、第１シール部材３０は外側に位置する比較的硬質な第２シール部材３２によってハウジング１８内部の流路１６から区画される。 （もっと読む）

【課題】塑性変形させることがないため全閉状態を再現性よく一定の流量のガスを調整できるようにする。
【解決手段】内部に気体の流路３が形成され、流路にピストン６を有する弁体２と、弁体が離接する弁座４とが配され、弁体と弁座とが離接することにより気体の流量が制御される弁開閉装置であって、ピストンの移動を制御し、弁体と弁座が接触している場合に、弁体が弁座を所定の圧力以下で押す駆動体９を具備する。この弁開閉装置を具備する真空処理装置。 （もっと読む）

【課題】 真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図る。
【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備えている。制御装置(9)により閉塞部材(3)の閉位置において弾性シール(4)に作用する圧力が調節される。ユーザにより入力されうる少なくとも１つのパラメータの関数としてシール部材(4)に作用する圧力が制御される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流路（Ｆ）を遮断するシャトルバルブに関する。
【解決手段】シャトルバルブは、流路（Ｆ）となる開口部（３）を取り囲むバルブシート（４）を有するバルブハウジング（１）を備えている。バルブディスク（５）を、回転可能に取り付けたシャフト（６）に設けている。駆動部ユニット（７）で、バルブディスク（５）を、規定した移動曲線（Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３）に沿って、開位置から閉位置に旋回する。バルブディスク（５）を、第１の駆動部（９ａ，９ｂ）で、シャフト（６）のピボット軸（８）中心の回転運動（Ｒ１）で、流路（Ｆ）を遮らない開位置から旋回させ、第２の駆動部（１０ａ，１０ｂ）で、ピボット軸（８）に平行に、バルブシート（４）の方向に直線運動（Ｌ１）させ、バルブディスク（５）とバルブシート（４）間をシール接触で気密にシールし、閉位置にする。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下に於いても、高精度な安定した流量制御を行えると共に、制御弁自体を分解することなく、圧電素子に加わる圧縮力を調整できるようにする。
【解決手段】 弁室７ａ′及び弁座７ｃを形成したボディ７と、弁室７ａ′内に配設され、弁座７ｃに当離座する金属ダイヤフラム８と、ボディ７側に固定されたアクチュエータボックス１０と、アクチュエータボックス１０内に配設され、電圧の印加により下方へ伸長して金属ダイヤフラム押え１２を介して金属ダイヤフラム８を押圧する圧電素子１３と、金属ダイヤフラム８が弁座７ｃへ当座したときに圧電素子１３の伸長を吸収すると共に、弁座７ｃ等へ所定の押圧力を印加する皿バネ機構１４と、圧電素子１３に常時上向きの圧縮力を加えると共に、圧電素子１３に加わる圧縮力を外部から調整可能な予圧機構２１とから構成する。 （もっと読む）

【課題】弁部材を駆動するためのピストンの停止位置を設定する調整部材の駆動を、小型で安価な電動モータによって行うことを可能にする。
【解決手段】弁部材１５によりメインポート１１，１２間の弁座１４を開閉する弁主体部１と、弁部材を開閉操作するピストン１６を有する流体圧駆動部２と、電動モータ４５で駆動される調整部材４１により弁部材の開度を設定する弁開度調節部３と、上記流体圧駆動部２にパイロット流体を給排し、非通電時にはパイロット流体を排出する電磁弁装置４と、弁部材の開度を制御するコントローラとを備える。上記コントローラは、電動モータの回転負荷を検出する負荷検出手段の出力、及び外部からの制御指令等が入力され、それらに基づいて、電動モータへの駆動電流の制御により、調整部材の位置が指定の位置になるように制御する位置制御、及び、上記電磁弁装置の駆動によりパイロット流体圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２ポートを通じて弁ボディを流通する流体の流量を高精度に制御する。
【解決手段】処理室３７に接続される第１ポート１２と真空ポンプ３９に接続される第２ポート１４とを有する弁ボディ１６には、前記第１ポート１２に臨む内壁面に第１弁体３０が着座する第１弁座部３２が形成され、前記第１弁座部３２より半径外方向に第２弁体３４が着座する第２弁座部３６が形成されている。そして、ガイドボディ２２の内部に設けられたピストン２０を圧力流体によって変位させることにより、第２弁体３４が第２弁座部３６より離間して第１弁体３０と第１弁座部３２との間を通じて流体が流通し、駆動部２４による駆動作用下に第１弁体３０と第１弁座部３２との間の離間距離を変化させることにより、前記第１ポート１２から第２ポート１４へと流通する流体の流量を制御している。 （もっと読む）

【課題】 流体に腐食性流体を使用しても各部品の腐食を防止でき、半導体製造装置内などへの設置および配管や配線接続が容易であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な、電気駆動による流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、電気式駆動部１１と流量制御部５からなる電動制御弁と、超音波を流体中に発信する超音波振動子１８と超音波振動子１９から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部９に出力する超音波振動子１８、１９を有する流量計センサ部４と、流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部９と、流量計アンプ部９で演算された流量値に基づいて電動制御弁の開度を調整しフィードバック制御するための制御部１０とを具備し、少なくとも流量計アンプ部９と制御部１０と電気式駆動部１１とを具備する電装モジュール７が１つのケーシング８内に設置される。 （もっと読む）

【課題】 弁部材の開度を小型で安価な電動モータによって迅速且つ正確に制御することができる制御性のよい真空調圧用バルブを提供する。
【解決手段】 弁部材１５によりメインポート１１，１２間の弁座１４を開閉する弁主体部１と、弁部材を開閉操作するピストン３２を有するシリンダ部２と、電動モータ４５で駆動されるストッパー４１により弁部材の開度を設定する弁開度調節部３と、真空チャンバ内の圧力センサー６０の出力に基づいて弁部材の開度を制御する弁制御部４とを備える。弁制御部のメインコントローラ６３は、圧力設定値の信号及び上記圧力センサーからの圧力信号に基づいて、電動モータ４５を制御するモータコントローラ６４に弁部材の開度を設定するための信号を出力すると共に、上記ピストンの受圧室３７にパイロット流体を供給するように制御し、ストッパーに当接する位置まで上記ピストン３２を移動させる。 （もっと読む）