【課題】高価な質量流量制御器を使用せずに、導入ガスを大量に消費することがなく、真空容器内の圧力を制御することができる真空装置及び真空装置の真空容器内の圧力制御方法を提供する
【解決手段】真空装置１は、真空容器２と、真空容器２の内部の圧力を測定する真空計３と、真空容器２を真空排気する第１真空ポンプ４と、コンダクタンスバルブ５と、コンダクタンスバルブ５を介して真空容器２に接続される第２真空ポンプ６と、真空容器２にガスを供給するガス供給手段７と、真空計３の出力に基づいて真空容器２の内部の圧力を制御圧力に制御する制御装置８と、を備えている。第２真空ポンプ６は、内部の圧力が真空容器２の内部の圧力（制御圧力）よりも高くなるように選定されたドライ真空ポンプであり、ガス供給手段７により供給されるガスが、ポンプ内部で排気口６ｂから吸気口６ａに向かって流通可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で固定子のコアとコイルエンドを十分に冷却することができるキャンドモータを安価に提供する。
【解決手段】本発明のキャンドモータ１は、ケーシング２と、ケーシング２内に設けられ、シャフト９に取り付けられた回転子１０を収容する気密構造のキャン５と、ケーシング２内のキャン５によって隔離された固定子空間４Ａに配置された固定子４とを有する。ケーシング２に、固定子空間４Ａに連通し、ケーシング２の外部の空気を固定子空間４Ａに導入するための第１の通気口１１が設けられるとともに、第１の通気口１１に対して送風するファン１３が設けられている。ケーシング２のキャン５を挟んで反対側の位置には、ケーシング２内の空気を排出するための第２の通気口１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】比較的小型に製造でき、連続的に対象物の負圧処理を行える負圧作用装置を提供する。
【解決手段】内部で対象物Ｆを負圧処理する負圧作用部１２と、負圧作用部１２に負圧を形成する負圧形成装置１４と、負圧作用部１２内で対象物Ｆを搬送する搬送装置１６と、負圧を保持させた状態で外部ＥＸから負圧作用部１２内に対象物Ｆを投入する投入装置１８と、負圧を保持させた状態で負圧作用部１２内から外部ＥＸに対象物Ｆを排出する排出装置２０と、を備えた負圧作用装置１０からなる。投入装置１８と排出装置２０は、液体Ｌを介して外部と負圧作用部とを遮断した液体遮断態様と、外部側を開放して負圧作用部側を閉鎖した外部側開放態様と、外部側を閉鎖して負圧作用部側を開放した負圧側開放態様と、に切り換える切換手段３８を備え、これらの態様を切換ながら対象物Ｆを外部から負圧作用部内へ投入又は負圧作用部内から外部へ排出する。 （もっと読む）

【課題】駆動室の通気口などが何らかの原因で塞がれた場合にも、気体ポンプの能力に影響が及び難い気体ポンプを提供する。
【解決手段】シリンダ１の内部で往復作動するピストン２を備え、シリンダヘッド側に配置された圧力操作室Ａと反対側にピストン２に往復駆動力を伝える駆動室Ｂを備え、ピストン２の往復作動に応じて圧力操作室Ａに対する気体の給排を制御する弁ユニットＶを備え、弁ユニットＶから排出される排気を装置外に排出する排気部としてサイレンサ室Ｓを設け、所定範囲を逸脱した駆動室Ｂまたはサイレンサ室Ｓの圧力によって駆動室Ｂおよびサイレンサ室Ｓの少なくともいずれか一方の圧力を調整する圧力解放機構９，ＲＶを設けた。 （もっと読む）

【課題】ピストンを排気方向に作動させた場合に駆動室に対する外気の吸入を抑制する真空ポンプを構成する。
【解決手段】ピストン２の排気方向への作動時に負圧室Ａから空気が送られる排気経路Ｅと、駆動室Ｂの通気口７Ａに連通する通気経路Ｆとが合流空間としてのサイレンサ１８で合流し、このサイレンサ１８はフィルタ空間Ｇのエアーフィルタ１７の外側位置の開放口１５Ａによりポンプ外空間と連通している。ピストン２の排気方向への作動時にはピストンリング３０の変位により連通孔２Ｔが開放し、負圧室Ａの空気を連通孔２Ｔから駆動室Ｂに送り、これと同時に負圧室Ａの空気が排気経路Ｅに送られるため、サイレンサ１８から駆動室Ｂに空気が流れることになり、駆動室Ｂの外気の吸入を抑制する。 （もっと読む）

【課題】より効果的な防音効果を得ることが可能なパッケージ型の回転ポンプユニットを提供すること。
【解決手段】回転ポンプ１０と、電動モータ１１と、それらを収納するパッケージ２０と、冷却ファン１４とを構成要素とするパッケージ型の回転ポンプユニットであって、回転ポンプ１０が電動モータ１１とカップリング１３を介して水平方向へ直列に連結されることで、連結方向である水平方向に長い組み立て形態に設けられ、パッケージ２０が、回転ポンプ１０と電動モータ１１とをそれらの連結方向が前後方向となるように収納するため、左右方向に比較して前後方向の奥行きが長く設けられ、電動モータ１１が、回転ポンプ１０よりもパッケージ２０の前部側に配されて収納されている。 （もっと読む）

【課題】ロータリバルブと環状摺動面との隙間の寸法管理を簡略化可能とする。
【解決手段】シリンダ２１とピストン８との組合せによって流体圧室２５が構成され、流体圧室に流入通路２ｂ及び流出通路１ｂが連通され、流入通路及び流出通路は環状の摺動面１ｄ、２ｄ上に開口され、ピストンの直線往復運動に連動して環状の摺動面内でロータリバルブ２３，２４が回転することにより、ピストンが流体圧室内に流体を流入するときは流入通路を開くと共に流出通路を閉じ、ピストンが流体圧室内の流体を流出するときは流出通路を開くと共に流入通路を閉じる。ロータリバルブは、環状の摺動面に内接しながら流入通路及び流出通路を開閉する環状の弁体を有し、弁体の樹脂板２３ｃ、２４ｃは外周方向に常時バイアスされ、環状の摺動面との隙間に応じて外径を変化可能とされている。 （もっと読む）

【課題】軸部材の摺動面の潤滑性を維持しつつ、真空容器へ空気の進入を防止して装置の信頼性の向上を図ることが可能な粒子加速器を提供すること。
【解決手段】本発明の粒子加速器は、真空容器の壁体３ａを貫通して容器内の真空環境に達すると共に進退可能である軸部材２１の周面２１ａ上に潤滑剤を供給すると共に、軸部材２１の周面２１ａ上に形成された空孔３８Ａに対して真空排気を行う軸封装置３０を有する構成とする。これにより、供給された潤滑剤によって軸部材の潤滑性を維持し、軸部材２１の周面上２１ａに形成された空孔３８Ａに対して真空排気を行うことで、真空容器への空気の進入を防止する。 （もっと読む）

【課題】真空引き開始時に真空排気装置にかかる負荷を低減し、駆動音を抑制する真空排気方法を提供する。
【解決手段】真空引きの際に、真空排気装置の排気ガス流量、真空排気装置の電流値、真空排気装置の駆動音のモニター値を使い圧力制御板部を制御することにより、これらの値の経時変化を新排気シーケンス線１７に示す上昇工程２０、水平工程２１、下降工程２２の３工程からなる排気シーケンスにそって排気を制御する。 （もっと読む）

【課題】シリンダとピストンとの間のシール性を維持しつつポンプの耐久性の向上を図ることができるシール部材の製造方法を提供する。
【解決手段】平面部５０ａとシール部５０ｂとを有するシール部材の製造方法であって、第１の円筒部１１１と第１の底面部１１２とを有する第１の治具１１０に、第１の円筒部１１１の内径よりも大きい外径を有する円形の樹脂シート５０Ｓを装着し、第１の円筒部１１１の内径よりも小さい外径を有する第２の円筒部１２１と、第２の底面部１２２とを有する第２の治具１２０を第１の治具１１０に装着し、第１の底面部１１２と第２の底面部１２２とによりシート部材５０Ｓを所定圧力で挟圧し所定温度に加熱することで、第１の底面部１１２と第２の底面部１２２との間に平面部５０ａを形成し、第１の円筒部１１１と第２の円筒部１２１との間にシール部５０ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】排気口からポンプ部への水や異物の浸入を抑制することができる負圧ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】排出通路１０４の一端部から固定部４１に向けて雌ねじ縦通路１３２が延ばされ、この雌ねじ縦通路１３２に中空ボルト２２が締め付けられている。中空ボルト２２の中空部１３３は排出通路１０４に連通する。また、中空部１３３の端部が排出口１３０を兼ねる。これにより、排気室１１０からの排気を外部に放出する排気口１３０は、中空ボルト２２の中空部１３３によってのみ、外部と連通する。また、負圧ポンプ１０はブラケット２１の上面１０７側に配置され、排気口１３０はブラケット２１の下面１０９側に開口する。
【効果】排気口を兼ねる中空ボルトは、ブラケットを挟んで負圧ポンプの反対側にあるので、ブラケットの一方の面上に溜まった水や異物等のポンプ部への浸入を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】重量物であって防振部材が配設される空気圧装置について、点検や修理或いは交換などをするための移動作業を、容易且つ適切に行うことができるパッケージ型空気圧装置ユニットを提供すること。
【解決手段】空気圧装置が、収納ボックス２０内に固定されることで構成されるパッケージ型空気圧装置ユニットであって、収納ボックス２０内に設けられ、電動モータ１１と空気圧ポンプ部１２とがユニット化した構造を備える空気圧装置の本体部１０が固定される載置台部２１と、空気圧装置の本体部１０の下側に固定されて設けられ、空気圧装置の本体部１０と載置台部２１との間に介在される複数の防振部材１４と、複数の防振部材１４の少なくとも一部に亘って下側に固定されて設けられ、複数の防振部材１４と載置台部２１との間に介在されるスライドベース１５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】常に効果的に優れたブリーザ機能とポンピングロス低減を実現するバキュームポンプの取付構造を提供する。
【解決手段】エンジンケース内を吸引し、エンジンケース内の圧力を負圧にさせる。バキュームポンプ２４よりも上方にブリーザ室２２をする。バキュームポンプ２４の上部にブローバイガスの吸入口４４を配置する。バキュームポンプ２４の下部にブローバイガスの吐出口４５をする。 （もっと読む）

【課題】密閉室と真空ポンプとを接続する吸込み流路の開閉又は流量制御を行なうバルブ機構を設けることによって、真空ポンプの吸込部を閉鎖可能にする。
【解決手段】ケーシング５内を吸込み流路３に連通した第１室７と吸込み流路と隔離された第２室８とに仕切る仕切り壁６と、仕切り壁を貫通するピストンロッド９と、ピストンロッドの一端に設けられ第１室に収容された弁体１０と、ピストンロッドの他端に設けられ第２室に収容されたピストン１１と、弁体１０を真空ポンプ２の吸込み口を閉鎖する方向に付勢する弾性体１３と、ケーシング内面に形成された弁座２１とからなり、ピストン１１によって第２室８を第１空間１４と第２空間１５に分離され、真空ポンプの作動時第２空間１５を真空ポンプの吸込部２４と連通させて吸込み流路３を開放し、真空ポンプの停止時第２空間１５を大気又は真空ポンプの吐出域と連通させて吸込み流路３を閉鎖するバルブ機構を備える。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプのメンテナンス時期と、真空ポンプまたは真空経路の異常との両方を検出してユーザに認識させることが可能な電子部品移載装置の真空異常判定方法を提供する。
【解決手段】この部品実装装置１００（電子部品移載装置）の真空異常判定方法は、真空ポンプ６３により真空圧を発生させるステップと、真空圧センサ６５により、真空ポンプ６３と吸着ノズル６ａとの間の真空経路６４内の真空圧を検知するステップと、真空圧センサ６５により検知された真空圧がメンテナンス閾値以下の場合に、真空ポンプ６３のメンテナンス時期であると判断するとともに、真空圧センサ６５により検知された真空圧が真空異常閾値以下の場合に、真空ポンプ６３または真空経路６４に異常があると判断するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】１台又は直列に接続された複数台の多段容積型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置で、多段容積型ドライ真空ポンプの最終段吐出口及び中段中抜吐出口から吐出される気体の騒音を小型化が可能で、低周波数領域から高周波数領域までの広い周波数帯域で効果的に低減できるサイレンサを備えたドライ真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】最終段吐出口、中段中抜吐出口（圧力逃し孔１９）を備えた多段容積型ドライ真空ポンプ１０を備えたドライ真空ポンプ装置であって、最終段吐出口１８に排気部逆止弁５１を接続すると共に、中段中抜吐出口（圧力逃し孔１９）に過圧縮防止逆止弁（中間部逆止弁５２）を接続し、逆止弁と過圧縮防止逆止弁の吐出口を排気流路５６に接続し、該排気流路５６にサイレンサ５３を設け、該サイレンサ５３より下流側の該排気流路５６を排気口に接続した。 （もっと読む）

【課題】不品点数が少なく安価で、小型化が可能で、且つ騒音を消音できる排気ユニット、及び該排気ユニットを装備したドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】最終段に気体を吐出す吐出口１８、中間部に圧力逃し孔１９を備えた多段真空ポンプに装備する排気ユニット５０であって、多段真空ポンプ１０の吐出口１８に接続する排気部逆止弁５１と、中間部の圧力逃し孔１９に接続する中間部逆止弁５２と、該排気部逆止弁５１及び中間部逆止弁５２の後流側に設けるサイレンサ５３を一体構成とした。 （もっと読む）

【課題】インバータ駆動のドライ真空ポンプ装置において、インバータを構成するスイッチング素子で代表される自己発熱量の大きい大電流回路構成部品を冷却液により高効率冷で冷却することにより、装置全体の小型化が可能なドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】交流電源１９からの交流電力を整流器１３及びＤＣ／ＤＣ変換回路１６を介して所定電圧の直流電力に変換し、インバータ１７で所定周波数の交流電力に変換し、ドライ真空ポンプ１２を駆動する電動機１１に供給するように構成したドライ真空ポンプ装置において、インバータ１７を含む制御用電子回路全体を収納した電装エンクロージャ２１と、ドライ真空ポンプ１２及び運転監視用センサ類を収納したポンプエンクロージャ２２と、電装エンクロージャ２１とポンプエンクロージャ２２との間に内部に冷却液が循環する液冷隔壁２３を介在させ、一体のエンクロージャ２４を構成した。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、低周波数領域から高周波数領域までの広い週数帯域での騒音を効果的に低減できる複合型サイレンサ、及び該サイレンサを備えたドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ガス流路６１のガス流れの上流側に共鳴型サイレンサ５３−１を、下流側に膨張型サイレンサ５３−２を配置し、該共鳴型サイレンサ５３−１と膨張型サイレンサ５３−２を一体に構成した。また、ドライ真空ポンプを備え、該ドライ真空ポンプの排気流路に上記複合型サイレンサを、排気ガス流れの上流側に共鳴型サイレンサを、下流側に膨張型サイレンサを配置して設けたドライ真空ポンプ装置。 （もっと読む）