【課題】 配管部等の取り付け・取り外し操作に伴う不純物の混入を排除するとともに、簡易な構成によって、高純度ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 パージガス流路Ｌｓと配管部Ｌの接続部Ｓを有し、該配管部Ｌの一部として、容器バルブ１ａとの接合部Ｓｏと、接合部Ｓｏと容器バルブ１ａの中間に設けられた第１バイパス流路Ｂ１と、接続部Ｓとプロセス装置２の中間に設けられた第２バイパス流路Ｂ２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】需要変動を確実に吸収できると共に、地震時等の災害により導管によるガスの供給が絶たれた場合でも継続して需要家へのガス供給を可能とする分散型ガス供給システムを提供する。
【解決手段】都市ガスの高圧導管に接続されて該高圧導管から供給される都市ガスを需要者側に供給する中低圧ガス導管網１において、ガス需要の変動を吸収するためのガスタンク３を各需要家５にガスを供給する各枝管７に分散して設けたことを特徴とする分散型ガス供給システム。 （もっと読む）

【課題】ネットワーク接続状態の有無により器具の使用制限機能を適切に制御することを目的とする。
【解決手段】ガス通路内のガス流量を求め、該流量値が器具流量と判定したとき登録する流量情報取得手段１１０と、流量値が登録されてからの連続使用時間を計測し、使用時間設定手段１１２の設定値と比較して使用時間の適否を判断する異常使用判定手段１０３と、外部と各種情報の送受信を行う通信手段１１３と、外部との通信状態が正常か否かで使用時間設定手段の設定値を変更する使用時間切替手段１０８とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】可燃性流体の配管内で火焔が伝播するのをフレームアレスタで阻止すると共に防焔フィルターでの消焔が不十分なときは火焔熱を検知して消焔ガスにより消焔することができる配管防焔方法とその配管防焔装置を提供すること。
【解決手段】可燃性流体の流入路と流出路を備えた本体内に防焔フィルターを配置してなるフレームアレスタと、該フレームアレスタの少なくとも上流側に設置された遮断弁と、消焔ガスが充填されたガス貯留部と、前記フレームアレスタに設置された感熱型の火焔検知器と、該火焔検知器に接続されたインラインチャッキ弁と、該インラインチャッキ弁と前記ガス貯留部とを連結する連結管と、を備えた装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】配管内のガスを空気に置換するに際して、空気置換時間の短縮および空気吹き込み動力の低減を図ることができる配管内のガス置換方法を提供する。
【解決手段】圧縮空気供給管１５から供給される圧縮空気の牽引作用によって大気を吸引する空気置換用エジェクター１０を用いることによって、圧縮空気供給管１５を経由して供給された圧縮空気に加えて、空気置換用エジェクター１０で吸引された大気を一緒に高炉ガス輸送配管１内に吹き込む。 （もっと読む）

【解決手段】一実施形態において、複数のガスのガス混合物を提供する装置は、複数の質量流量コントローラ（ＭＦＣ）と、複数のＭＦＣのそれぞれと流体連通する混合マニホールドと、混合マニホールド上に位置決めされた複数の混合マニホールド出口と、複数の混合マニホールド出口のそれぞれと流体連通する隔離デバイスと、を有し得る。 （もっと読む）

【課題】 充填容器の交換時や配管部の保守点検時などにおいて、取り付け・取り外し操作に伴い清浄化のためのパージを必要とする配管内容積を低減し、パージによって排気される供給用ガスの量を最小限にするとともに、簡易な構成によって、供給用ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 容器バルブ１ａに近接する位置に設けられた開閉弁Ｖａと圧力調整部３の１次側の近接する位置に設けられた開閉弁Ｖｂを両端部に有する配管Ｌｏを配設するとともに、容器バルブ１ａと開閉弁Ｖａを接続する配管Ｌａに、開閉弁Ｖｃを介して減圧処理部および不活性ガス供給部を有するパージ操作部５を接続することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流量制御機器が流量制御を開始した直後から流量特性を検定することができる流量検定システムを提供すること。
【解決手段】第１遮断弁７Ａと、第１遮断弁７Ａの下流側に配置された流量制御機器８Ａと、流量制御機器８Ａの下流側の圧力を測定する圧力センサ１２とを有するガス配管系の流量を、圧力センサ１２が測定した圧力に基づいて検定する流量検定システム１６において、流量制御機器８Ａの正常時に圧力センサ１２が測定する圧力を積算した標準値を記憶する標準値記憶手段２７と、第１遮断弁７Ａを介して流量制御機器８Ａに供給され、流量制御機器８Ａに流量を制御されたプロセスガスを、圧力センサ１２に供給したときに、圧力センサ１２が測定する圧力を積算して圧力積算値を算出し、圧力積算値を標準値と比較して、流量の異常を検知する異常検知手段１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】可燃ガスと空気の比重の違いに起因して新設ガス管内の一部へ空気が残留する事態は発生し得ず、エアパージ具本体からの空気の排出及び可燃ガスへの置換作業は確実に行われるようにする。
【解決手段】既設ガス管２１と新設ガス管１７との接続部近傍の新設ガス管１７の開口部２２に可搬式ガスボンベ３４から新設ガス管１７内の攪拌具２の方向へ向かって可燃ガス２７を噴射する可燃ガス導入管３２が挿入され、更に、新設ガス管１７の開口部１８にはエアパージ具本体１を嵌め込み、垂直部分４には透明部分が設けられている略Ｌ字形をなした気体抽出筒３内には判別用球体７が段差部６に転動自在に配置され、屈曲部５には大径のダクト１６と開閉自在のシャッター弁１４が取り付けられたエアパージ具本体１とから、可燃ガス配管工事用エアパージ装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】蒸気などの漏洩の発生し易いフランジ部の漏れをすみやかに検知し、すみやかに伝達することのできる保温システムを得る。
【解決手段】フランジ２ａ，２ｂと該フランジを囲んで設けられた保温材４Ｃ，４Ｄを含むフランジ部１と、保温材に設置されフランジから漏洩する湿分を検知する湿度センサ５と、該湿度センサによる測定結果を無線送信するデータ送信機７と、該データを無線受信する受信機８とを有し、フランジからの漏洩は、的確に測定検知でき、しかも、無線でその測定結果を速やかに伝達できる。 （もっと読む）

【課題】ガス供給ラインに異常が発生した場合に迅速に対応することができるうえ監視員の人数を減少させることができ、しかも、技術担当者にすぐに連絡することのできる通信システムを提供する。
【解決手段】ガスボンベを配設した特定製造所１内においてガス供給ラインに異常が発生したことを発信する高圧圧力スイッチ１１等と、この高圧圧力スイッチ１１等から発信される異常発生信号を受信する監視センター３と、この監視センター３で受信した異常発生信号が入力される現地連動サーバー３９とを備え、この現地連動サーバー３９に異常発生信号が入力されると自動的に、異常の内容を音声で所定の技術担当者の携帯電話４４，４５に送信し、かつ、所定の場所に設けられたパーソナルコンピュータ４２，４３に警告信号を送信し、パトランプ４２ａ，４３ａを点灯させるようにしていている。 （もっと読む）

【課題】比較的小さい消費電力の監視装置を提供すること、比較的広範囲で使用可能な低消費電力の監視装置提供すること、流体経路または流体経路内の流体を簡単に監視することができる情報処理装置を提供すること、上記監視装置および情報処理装置を有する監視システムを提供すること、等。
【解決手段】可搬式の監視装置１が、通信距離内の情報処理装置２、または、通信距離内の他の監視装置を介して情報処理装置２と無線通信を行う無線通信部１２と、流体経路７または流体７１に関するデータを取得するセンサ部１１と、センサ部１１による検出結果に応じた信号を規定されたタイミングで無線通信部１２を介して情報処理装置２に送信する制御部１９とを有し、情報処理装置２は、監視装置１と無線通信を行う無線通信部と、無線通信部を介して受信した信号に基づいて、流体経路７または流体７１に関する監視処理を行う制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】シリンダーキャビネットからのプロセスガスの排気量を制御して除害装置の負荷を低減させることができ、十分な安全性を保ちながらプロセスガス供給設備の装置コストや除害装置の保守コストの削減を図れるシリンダーキャビネットを提供する。
【解決手段】ガス供給経路２２から高圧側排気弁２６，低圧側排気弁３１を介して分岐し、排気弁を介して真空排気手段に接続する排気経路４１を備えたシリンダーキャビネット１１において、前記排気経路として、主排気弁４２を備えた主排気経路４３と、該主排気経路に並列に設けられ、ガス流量を前記主排気経路のガス流量より少なく制御される流量調整手段４４及び副排気弁４５を備えた副排気経路４６とを設けるとともに、前記主排気弁と副排気弁とを切替開閉する弁制御部を設ける。 （もっと読む）

【課題】バーストディスクの容易なアクセス及び迅速な交換を可能とする。
【解決手段】高圧導管（１２）の端部に形成された高圧フランジ（６０）と低圧導管（１４）の端部に形成された低圧フランジ（６０）の間に圧縮して保持された交換可能なバーストディスク（５２）を備えるクライオスタットのためのバーストディスク装置において、バーストディスクが通れるようにするのに十分な大きさの第１の開口部（２０）を有する前記高圧及び低圧フランジを密閉するハウジング（５０）と、ハウジングのまわりに割り振られて、前記フランジ（６０）の少なくとも一方を押しやって、フランジのもう一方に向かわせ、その結果、前記バーストディスク（５２）が前記低圧フランジ（６０）と前記高圧フランジ（６０）との間に圧縮して保持されるようにする圧縮手段（５６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】都市ガス供給を行う導管を用いて水素ガスを需要家に供給することが可能な、水素ガスの供給方法およびシステムを提供する。
【解決手段】水素ガスと都市ガスとの混合ガスを導管に流す工程；および、導管によって供給される混合ガスから水素分離膜を用いて水素ガスを分離し分離した水素ガスを需要家に供給する工程を有する水素ガスの供給方法。水素ガスと都市ガスとの混合ガスを流す導管；導管に混合ガスを供給する混合ガス供給設備；混合ガス導管によって供給される混合ガスから水素ガスを分離する水素分離膜；および、水素分離膜で分離した水素ガスを需要家に供給する配管を有する水素ガスの供給システム。 （もっと読む）

【課題】ガスの輸送導管を成分の異なる複数種類のガス輸送に使用する場合における、導管内の物性変化推定方法であって、当該推定に用いられる拡散定数を時間や費用をかけることなく容易に決定することができる物性変化推定方法等を提供する。
【解決手段】ガス導管内を流れる互いに種類の異なるガスの混合比を変更させた場合における、ガス導管内を流れるガスの物性変化挙動を推定する物性変化推定方法において、各ガスの動粘度係数、ガス流速、及び導管の内径に基づいて、ガス導管内の流れが、層流領域、乱流領域、又は、両領域間の遷移領域、のいずれの領域に属するかを判定し、拡散方程式で用いる拡散定数を、層流領域、乱流領域、及び遷移領域のそれぞれに対して用意されている、互いに異なる、所定の関係式のうちの、前記判定された領域に対して用意されている関係式を用いて決定する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置に腐食性ガスを供給する際に，被処理基板に対する金属性汚染物質の混入を極力抑える。
【解決手段】 複数の流体制御機器（ハンドバルブ２３１，減圧弁（レギュレータ）２３２，圧力計（ＰＴ）２３３，逆止弁２３４，第１遮断弁２３５，第２遮断弁２３６，マスフローコントローラ（ＭＦＣ）２３７，ガスフィルタ（ＦＥ）２３８）を備え，これらを接続する流路を構成する流路ブロック２４１〜２４９を非金属の炭素材料で構成した。 （もっと読む）

【課題】留守宅であっても、管内のガス置換と気密検査を行うことができ、しかも交換工事で使用するガスの費用を需要者負担としないガス配管交換方法を提供すること。
【解決手段】一次側配管７の接続口７１とガスメータ１０の一次側口金１１とを切り離すとともに、一次側配管７の接続口７１には接続プラグ２１を装着し、ガスメータ１０の一次側口金１１には、接続キャップ２２を装着する。接続プラグ２１に開閉弁２３を装着して計測装置１６に接続し、接続キャップ２２に開閉弁２４を装着して計測装置１６に接続する。一次側配管７において、新管に交換する前に、気密検査工程、空気パージ工程を行った後、一次側配管７内を閉ループにした状態で、本支管１からガスを供給することによって一次側配管７のガス置換を行う。 （もっと読む）

光ファイバ検出用途用のパイプラインを配置するための改良の方法及びシステム。各々が、多層で包囲された内側パイプ（１３）を有する複数のパイプ部分（１１）を準備する。各パイプ部分の両端（１７Ａ）は、包囲層を取り除き、又は省いた部分を有する。チューブ状部材（１９）が、包囲層内で、各パイプ部分に沿って長さ方向に延び、さらに、包囲層の末端壁から延びる自由端（１９Ａ）を有する。隣接したパイプ部分のチューブ状部材は、互いに接合され、パイプラインに沿って延びる一本の導管を形成する。導管は、中に、一つ又はそれ以上の光ファイバ導波管を収容するようになっている。少なくとも一つの第２材料層が、接合されたパイプ部分の間に施される。包囲層及び少なくとも一つの第２層は、パイプラインの内側パイプの断熱／保護を提供する。
（もっと読む）

【課題】不必要な緊急遮断装置の作動を防止することが可能なガス遮断システムの提供を目的とする。
【解決手段】本発明のガス遮断システム１００によれば、基準震度以上の地震と、整圧器１１を流れるガス流量に連動した整圧器１１の弁開度の異常との両方が発生したことを必要条件にして、緊急遮断装置１２を作動させるから、不必要な緊急遮断装置１２の作動（ガス供給の停止）を防止できる。また、地震が実際に発生した場合でも、災害の発生し得る規模の地震に対してのみ緊急遮断装置１２を作動させることができるから、利便性の向上を図りつつ安全を確保することができる。そして、緊急遮断装置１２が、都市ガス供給網の各地域ブロック毎に設置されたガバナ室１０に設けられているので、広範囲においてガスに起因した災害を防止することができる。 （もっと読む）