【課題】ロータの機器浮上時において、補助軸受に支えられた状態から基準位置までロータを段階的に浮上させるようにして、ロータの急激な浮上を防止した磁気軸受制御システムおよび磁気軸受制御方法を提供する。
【解決手段】ロータの上下に配置され通電によりロータを基準位置に磁気的に浮上させるコイルと、ロータの上下に配置されロータ位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器からの信号に基いて前記各コイルに電流指令を与えるサーボ制御器を備え、前記位置検出器からのロータ位置のフィードバックにより前記コイルへの通電を制御する磁気軸受制御システムにおいて、ロータの上下に配置されロータの磁気浮上前にロータを支える補助軸受と、ロータの磁気浮上時に、前記補助軸受の間でロータを上記基準位置まで段階的に浮上させるように前記サーボ制御器を制御する制御部を設けた。 （もっと読む）

【課題】温度上昇に伴って回転体が膨張して軸方向に伸びた場合でも、静圧気体軸受による良好な軸受性能が発揮できるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】固定軸１はラジアル方向への突出部１ａと、突出部１ａを挟んだ両側の軸受部１ｂを有する。１対の静圧気体軸受３を、軸受部１ｂに外嵌し、Ｏリング５により軸方向で移動可能に取り付ける。これにより、静圧気体軸受３は、ハウジング２の内周面と対向するラジアル軸受面３１と、端部材４および突出部１ａの端面と対向するアキシアル軸受面３２を有する。 （もっと読む）

【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）

【課題】エアの消費が抑制されるとともに、供給されるエアの圧力が低下してもエアスピンドルユニットにカジリ現象が生じないエアスピンドルユニットを提供する。
【解決手段】スラストエアベアリング４２とラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂを画成するスピンドルハウジング３８と、スピンドル２６に連結されてスピンドル２６を回転するモータ４４と、を備えたエアスピンドルユニット３６であって、スラストエアベアリング４２及び第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂに高圧エアを分配するエア分配弁５６を具備している。エア分配弁５６は、エア供給源５８から供給されるエア圧が所定圧以上の場合は、第２のラジアルエアベアリング４０ｂのみにエアを供給し、供給されるエア圧が該所定圧未満の場合は、第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂにエアを供給する。 （もっと読む）

【課題】 可動体の位置補正機能をより向上させた静圧スライダを提供する。
【解決手段】
静圧スライダ（１）は、固定体（２）と可動体（３）とを備え、可動体（３）は、該可動体（３）と固定体（２）との間の隙間（４）に供給される流体を介して固定体（２）に沿って相対移動可能である。固定体（２）および可動体（３）の一方は、隙間（４）に供給される流体が通過する貫通孔（５）を有する。貫通孔（５）の少なくとも一部は、隙間（４）における流体の圧力に応じて径が変化する。 （もっと読む）

【課題】複数のユニットを有するモータ制御装置において、大きな負担を必要とせずに、モータ軸の振れ回りを抑制する。
【解決手段】軸変位検出値α１，β１，α２，β２から、軸変位検出値の並進運動成分αｐ，βｐと回転運動成分αｒ，βｒとを求め、前記並進運動成分αｐ，βｐと回転運動成分αｒ，βｒのそれぞれについて、ローパスフィルタＬＰＦ１によって、軸の回転周波数に同期した直流成分の信号のみを抽出し、周期外乱オブザーバ５０ａ，５０ｂによって前記直流成分の信号に基づいて外乱を推定し、前記推定した外乱を抑制する軸変位指令値の並進運動成分αｐ^*，βｐ^*と回転運動成分αｒ^*，βｒ^*を演算する。そして、軸支持制御部２０において、軸変位指令値の並進運動成分αｐ^*，βｐ^*と回転運動成分αｒ^*，βｒ^*に基づいて、各モータの軸変位指令値を算出する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路１３と、流体流路１３の途中に設けられ、ダイアフラム４３と、弁座４５と、ダイアフラム４３と弁座４５に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部４４ｂを有し、ダイアフラム４３の変形により、ダイアフラム４３と弁座４５との間の絞りの開度Ｄと、絞り空間部４４ｂの体積が変動する可変絞り４０と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム４３を変形させるダイアフラム変形手段５０と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Ｄと絞り空間部４４ｂの体積の変動を制御する制御手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】ポンプ運転中にハイレベル信号およびローレベル信号の生成が不安定になるのを未然に防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータと一体に設けられたセンサターゲットと、そのターゲット面とのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式の回転センサと、センサ信号の電圧レベルとHigh-Low判定用の閾値Ｖ_Ｌ，Ｖ_Ｈとを比較して、凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する回転センサ回路とを備える。電源投入時に、ロータを複数の回転角度位置に順に停止させ、複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベル（Ｖ_Ｕ〜Ｖ_Ｗ）が判定閾値Ｖ_Ｌ以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、電圧レベル（Ｖ_Ｕ〜Ｖ_Ｗ）が判定閾値Ｖ_Ｈ以上となる場合に、センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定する。 （もっと読む）

【課題】超高速回転でも長寿命と安全性を確保することができるスキャナモーターを提供する。
【解決手段】回転可能な軸支用回転軸１４０、及び回転軸１４０を回転可能に支持するために、上部に流体動圧軸系１３１が備えられ、下部に含油焼結軸系１３２が備えられた中空の円筒状ベアリング１３０を含む。また含油焼結軸系１３２と回転軸１４０の間の接触面が曲面であり、流体動圧軸系１３１の長さは含油焼結軸系１３２の長さより長いスキャナモーター。 （もっと読む）

【課題】流体軸受の負荷容量を増大し、且つ軸受の作動に必要となる流体の流量を低減する。
【解決手段】軸５０が挿通される軸受孔７と、流体軸受２の外周面に開口し、外部から流体が流入する流体流入孔９，１０と、流体軸受２内で軸受孔７を外囲し、流体流入孔９，１０に連通する流体流路１１と、流体流路１１を軸受孔７に連通させる流体絞り１４，１５と、を有し、流体流入孔９，１０が複数設けられ、流体流路１１が流体流入孔９，１０に対応して複数の分割流体流路１２，１３に仕切られ、分割流体流路１２，１３にはそれぞれ少なくとも１つの流体絞り１４，１５が連通している。 （もっと読む）

エネルギー変換システムは、静止構造体と、静止構造体に対し回転するよう構成され、回転軸を規定する回転可能な構造体とを含んでもよい。システムは、さらに、少なくとも一つのブレード部材と、少なくとも一つの軸受機構とを含んでもよい。少なくとも一つのブレード部材は、回転可能な構造体に取り付けられ、回転可能な構造体から半径方向外側に延び、回転軸と実質的に平行な方向に流れる流体流と相互作用し、回転可能な構造体を回転軸の回りに回転させるよう構成される。少なくとも一つの軸受機構は、回転可能な構造体が静止構造体の周りを回転するとき、回転可能な構造体および静止構造体の間の半径方向支持および軸方向支持の少なくとも一方を提供するよう、配置される。システムは、回転可能な構造体の回転を、電気および水素生成の少なくとも一つに変換するよう構成されてもよい。
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【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４、５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのリセス体積を増減する体積増減手段７、８と、を備え、変位センサ９、１０により検出された変位を抑制するように、体積増減手段７、８によりリセス体積を増減することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部を前後進させるランド送り手段７、８と、を備え、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位に応じてランド部を前後進することで、外乱力による静圧軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制し、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受にて支持されたスピンドルにベルトを介して回転動力を伝達する回転動力伝達装置において、作業性が良く、より高精度にベルト張力を測定することができる回転動力伝達装置を提供する。
【解決手段】静圧軸受は、スピンドルＳに対向しているハウジングの対向面に形成された、円周方向に並べられた複数の静圧ポケットＰＲ１〜ＰＲ４にて構成され、各静圧ポケットは、回転軸ＴＺを挟んで互いに対向する位置に配置されており、スピンドルは、ベルト２２の張力にてベルト引張り方向に引張られている。回転軸に対してベルト引張り方向に位置している静圧ポケットである増負荷静圧ポケットＰＲ２と、増負荷静圧ポケットに対向する位置の静圧ポケットである対向静圧ポケットＰＲ４と、に加えられている負荷を測定可能な負荷測定手段Ｓ１、Ｓ２を備え、負荷測定手段にて測定した負荷に基づいて、ベルトの張力を算出する張力検出手段５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】流体動圧軸受け装置、およびこれを用いたモータの構造を簡略化するとともに、潤滑流体の漏れを防止することである。
【解決手段】動圧軸受け装置は、軸部２８とフランジ部３２とを有する軸部材２４、および、軸部材２４に対し相対的に回転自在なスリーブ部材２６を備える。軸部２８の外周面とスリーブ部材２６の内周面との間の間隙にはラジアル動圧軸受けが構成され、フランジ部３２の一面とスリーブ部材２６の第一対向面との間の間隙にはスラスト動圧軸受けが構成される。軸部材２４又はスリーブ部材２６は、スラスト動圧軸受けによって発生するスラスト方向の支持力とは反対方向へ磁気力によって吸引されている。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関しており、真空ポンプは軸(12)に支持されたポンプ要素(14)を備えている。軸(12)は、第１の軸受組立体(24)と第２の軸受組立体(26)とによりポンプハウジング(10)内に支持されている。動作中に生じる軸(12)とポンプハウジング(10)との熱膨張の差を補償するために、第１の軸受組立体(24)は、軸方向の移動を少なくとも部分的に補償するための補償要素(32)を有する。
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【課題】大きな振動を受けることがなく、その結果、プロペラユニットの各部の摩耗を減らすことのできる船舶用のリムドライブ・プロペラユニットを提供すること。
【解決手段】本発明は、船舶用リムドライブ・プロペラユニットの軸受装置に係る。複数のプロペラ羽根を備えたプロペラユニットの回転ロータハウジングの周りに複数の永久磁石が配設され、回転ロータハウジングを格納した外部静止ケーシングの周りに複数の永久磁石が配設される。回転ロータハウジングおよび外部静止ケーシングの一部に配設された永久磁石が同じ極性をもって互いに上下に配置される一方、回転ロータハウジングおよび外部静止ケーシングの他の部分に配設された永久磁石は反対の極性をもって相互に対向することにより、ロータハウジングと静止ケーシングとが相互に反発し、また相互に引き合うことで、相互に接触しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、運動案内装置における移動体の移動抵抗をより小さくしまたは、より安定させることができる技術を提供する。
【解決手段】移動ブロック１と、移動ブロック１を多数のボール５介して往復移動可能に支持する軌道レール３と、を備えた運動案内装置であって、互いに離間した２部材を有するとともに該２部材の間に非接触力である吸引力または反発力を発生させる非接触力発生手段をさらに備える。接触力発生手段における２部材のうち一方は、移動ブロック１に設けられた永久磁石６であり、非接触力発生手段の２部材のうち他方は、軌道レール３に設けられた磁性体部７である。永久磁石６と磁性体部７とは、軌道レール３に対する移動ブロック１の進行方向に対して平行な平面で互いに対向して配置される。 （もっと読む）

磁気軸受け構造（１００）を使用した搬送のための方法及びシステムが開示される。一態様では、荷を運ぶための装置は、磁束源（１０４）と、磁化可能構造（２２０）に相対的な磁束源（１０４）の位置を制御するように構成されたコントローラ（２２５）とを含む。磁束源（１０４）は、反対の極性を有する第１の上方部分と第１の下方部分とを含む。これらの第１の部分は、磁化可能構造（２２０）の第１の側から水平方向に間隔を空けられている。磁束源は、更に、反対の極性を有する第２の上方部分と第２の下方部分とを含む。これらの第２の部分は、磁化可能構造の第２の側から水平方向に間隔を空けられている。第２の側は、第１の側の反対側である。第１及び第２の上方部分は、磁化可能構造の上方部分に磁気的に引き付けられ、第１及び第２の下方部分は、磁化可能構造の下方部分に磁気的に引き付けられる。
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