【課題】負荷変動に強く、かつ搭載装置の小型・軽量化を可能とする静圧気体軸受構造を提供する。
【解決手段】エアベアリング１は、相手部材を引き寄せる磁力を発生する磁力発生部１１と、磁力発生部１１の周囲に配置され、相手部材に向けて圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部１２と、磁力発生部１１および圧縮空気供給部１２が取り付けられるベースプレート１３と、エアベアリング１の傾きを調整自在に保持するボールジョイント１４と、を備えている。磁力発生部１１は、円柱状に形成されたネオジム磁石等の永久磁石である。圧縮空気供給部１２は、貫通孔１２３が中央に形成された円板状部材であり、この貫通孔１２３に磁力発生部１１が嵌入されている。圧縮空気供給部１２の一方の端面１２１は、貫通孔１２３に嵌入された磁力発生部１１の一方の端面１１１とともに、相手部材の表面と非接触で対面する支持面１０を構成している。 （もっと読む）

【課題】板ばねを用いた可変絞りの構成部材の加工精度が低くても、剛性のばらつきが小さく所望の剛性を容易に得られる可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体供給室３２ａと、中央部に突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａと、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を仕切る板ばね３３により構成される可変絞り３により、静圧軸受のポケット２ａに供給される流体の流量を絞る。ポケット２ａから流体を排出する経路として、ポケット２ａとベース１０の間隔ｔ_１以外に、ポケット２ａの側面から流体を排出するための固定絞り２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】スラストフォイル軸受の負荷容量を高める。
【解決手段】回転部材（フランジ部４０）及び固定部材（スラスト部材２１）にそれぞれ磁石２３、２４を取り付け、磁石２３、２４間に生じるスラスト方向の斥力により、回転部材と固定部材とのスラスト方向に支持力を補助する。 （もっと読む）

【課題】電磁石の電源が入っているときには所定の剛性を維持でき、電源が切られた際にはベアリングにタッチダウン可能で、かつ制御方向に直角な偏心に対しても有効に作用しつつこの偏心方向には磁束の漏れが少ない磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載した固液分離機を搭載した固液分離機を提供する。
【解決手段】固定子コア２９の下面には２つの電磁石鉄心２９ａ、２９ｂが突設されている。この２つの電磁石鉄心２９ａ、２９ｂの間に一つの環状スロット４９が形成されている。この環状スロット４９と電磁石鉄心２９ａの内側及び環状スロット４９と電磁石鉄心２９ｂの外側とにそれぞれ巻線を配設する。一方、回転子コア３５の上面には、この電磁石鉄心２９ａ、２９ｂに対峙するように回転軸を中心として環状に磁性体５１、５３が突設されている。この磁性体５１、５３の間に環状の永久磁石５５が固着されている。 （もっと読む）

【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材４と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体５と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部１３ａ〜１３ｈと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材４ａ，４ａと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材４ｂとを備えた横断面コ字状の部材である。


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【課題】自動補償静圧ジャーナル軸受の提供。
【解決手段】この自動補償静圧ジャーナル軸受は、軸を取り付ける座体を有し、座体に軸を取り付ける孔が穿たれて円周面が形成され、軸と円周面の間に液圧液体を流通させる間隙があり、座体に少なくとも二つの注油孔が設けられ、円周面上に相互に対向するように設けられた少なくとも二つの第１チェンバ一がそれぞれ一つの注油孔に連通し、且つ各第１チェンバ一に隣接するようにそれぞれ第２チェンバ一が設けられ、座体に少なくとも二つのチャンネルが設けられ、各チャンネルの第２端はそれぞれ第１端と対向する第２チェンバ一に２連通する。これにより、軸受力が偏る時、その偏り方向とその対向の間隙を変更して、液圧液体に各通路をとおり、対向する第１チェンバ一と第２チェンバ一間で流量自動補償作用を発生させる。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、静圧ポケットの圧力低下を抑制することで、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受面に設けられた静圧ポケット１１と、静圧ポケット１１に加圧流体を供給する流体供給手段Ｐと、流体供給手段Ｐから静圧ポケット１１に至る流体の通路を形成する流体供給流路１３と、流体供給流路１３の途中に設けられた供給側絞り手段４０と、静圧ポケット１１からドレン２３に至る流体の通路を形成する流体排出流路１５と、流体排出流路１５の途中に設けられた排出側絞り手段６０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】スラスト給気孔から供給する加圧空気で形成されるスラスト空気軸受のスラスト力を高めて、回転軸の自重をスラスト空気軸受のみで支持することができ、かつスラスト空気軸受及びラジアル空気軸受に供給する加圧空気の圧力を独立に制御してそれぞれの剛性を独立に制御することができる縦型バランス計測装置を提供する。
【解決手段】羽根車１ａがシール円板１ｂより大きい外径の円形端面１ｅをシール円板側に有しており、縦型バランス計測装置が、回転軸１をその軸心を鉛直に保持して支持する軸受マウント１０を備える。軸受マウント１０は、羽根車の円形端面１ｅの下面に加圧空気を供給するスラスト給気孔１２と、ラジアル支持用の円筒部１ｃに加圧空気を供給するラジアル給気孔１４と、スラスト給気孔１２とラジアル給気孔１４の間に位置しその間から加圧空気を排気するスラスト側排気孔１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】 コロガリ軸受および静圧軸受の両者の優れた面、すなわちコロガリ軸受においては、負荷荷重、剛性で優れた特性を発揮し、また静圧軸受においては、アキシャル方向の精度の良いロール軸受とした特性を発揮できるロールの軸受方法を提供することを課題とする。

【解決手段】 ロールの幅方向の両端部にある軸に、それぞれロールの幅方向の中心側から順に、静圧軸受次いでコロガリ軸受を直列に取り付け、回転自在に支承することを特徴とするロールの軸受方法とした。また、ロールの幅方向の両端部にある軸に、それぞれロールの幅方向の中心側から順に、コロガリ軸受次いで静圧軸受を直列に取り付け、回転自在に支承することを特徴とするロールの軸受方法とした。 静圧軸受は、空気静圧軸受であることを特徴とするロールの軸受方法とした。 静圧軸受は、前述の空気軸受に替えて、油静圧軸受としたことを特徴とするロールの軸受方法とした。 （もっと読む）

【課題】電磁石ターゲットを挟むように電磁石および永久磁石を設けた構成において、支持する浮上体の重量が変化した場合にも、所望の磁気軸受特性を維持することが可能な磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このスラスト磁気軸受装置１００（磁気軸受装置）は、浮上体１１０に取り付けられ、磁性材からなる電磁石ターゲット１と、上側磁極部２１と励磁コイル２２とを含み、電磁石ターゲット１に対向するように配置され、電磁石ターゲット１を磁気吸引力により支持するスラスト電磁石２と、電磁石ターゲット１のスラスト電磁石２とは反対側の部分に対向するように配置され、電磁石ターゲット１を磁気吸引力により吸引する永久磁石３１を含むスラスト磁極３とを備え、電磁石ターゲット１とスラスト磁極３との距離を調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】所望の精度を保持し、かつスラスト負荷容量を高める。
【解決手段】エアスピンドル１では、ハウジング２にスラスト方向エア噴出手段及びラジアル方向エア噴出手段としてのステータ３が固定される。このステータ３の上面、下面、内径面には上エア噴出し面３ａ、下エア噴出し面３ｂ、内径エア噴出し面３ｃが形成されている。上エア噴出し面３ａの外周周りには、外周側負荷容量生成手段としての複数、例えば６個のパッド型エアベアリング１１〜１６が均等に配置されて構成される。このパッド型エアベアリング１１〜１６は、スラスト板上６と同一平面を受けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】流体軸受の負荷容量を増大し、且つ軸受の作動に必要となる流体の流量を低減する。
【解決手段】軸５０が挿通される軸受孔７と、流体軸受２の外周面に開口し、外部から流体が流入する流体流入孔９，１０と、流体軸受２内で軸受孔７を外囲し、流体流入孔９，１０に連通する流体流路１１と、流体流路１１を軸受孔７に連通させる流体絞り１４，１５と、を有し、流体流入孔９，１０が複数設けられ、流体流路１１が流体流入孔９，１０に対応して複数の分割流体流路１２，１３に仕切られ、分割流体流路１２，１３にはそれぞれ少なくとも１つの流体絞り１４，１５が連通している。 （もっと読む）

【課題】可変絞り手段を有する静圧流体軸受装置において、絞り開度を増減させた際に発生する流体の流出層の厚さ（２部材の間隔）の変動を適切に抑制し、加工精度をより向上させることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受ポケットと、流体を圧送する流体供給手段と、流体流路と、絞り量を変更可能な可変絞り手段と、を備え、絞り量を直接的または間接的に検出可能な絞り量検出手段と、可変絞り手段５６Ｖから軸受ポケット５６Ｐまでの経路における、可変絞り手段５６Ｖまたは流体流路５６Ｈまたは軸受ポケット５６Ｐの少なくとも一部に設けられて流体が充填されている部分の体積を増減可能な体積可変手段５６Ｅと、絞り量検出手段にて検出した絞り量に応じた体積変化量を算出するとともに、算出した体積変化量を相殺するように体積可変手段５６Ｅの体積を増減させる制御手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部の圧油を供給・吸引するランド圧油供給吸引手段７、８と、を備え、外乱力による軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制するようにランド部へ圧油を供給またはランド部の圧油を吸引することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部を前後進させるランド送り手段７、８と、を備え、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位に応じてランド部を前後進することで、外乱力による静圧軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制し、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】従来の静圧軸受よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受および圧力制御ユニットの提供。
【解決手段】軸受面１Ａを有する軸受本体１と、軸受本体１の軸受面１Ａに圧力油を吐出する吐出流路３と、軸受本体１の内部に形成され、吐出流路３に圧力油を供給する圧力油供給室２と、圧力油供給室２内部に収容され、吐出流路３に供給される圧力油の流量を制御する弾性ヒンジ機構１０と、圧力油供給室２に圧力油を供給する給油流路４と、を備え、弾性ヒンジ機構１０は、絞り板１１と、絞り板１１を案内する保持板１２およびリンク板１３と、絞り板１１を付勢して所定の位置に保持する弾性ヒンジ１４と、を備える静圧軸受および圧力制御ユニット。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】高い応答性を有する可変自成絞りにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受面の一部に、可撓性を持つ可撓部材７による可撓性軸受面１を有し、前記可撓部材に、自成絞りを形成する給気孔３を設け、可変自成絞りとして作用させる。軸受隙間Ｃｒ内の気体の圧力変化を、ダイレクトに可撓性軸受面１に伝えることができ、また、可動物体を持たないために、高い応答性を有する可変自成絞りを実現できる。これにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供できる。 （もっと読む）