【課題】スライダの走行安定性が高強く、小型・軽量なエアスライド装置の構造を提供する。
【解決手段】エアスライド装置１は、スライダ案内面２１１、２１２が磁性体で形成されたレール２と、レール２の長手方向Ｘにレール２のスライダ案内面２１１、２１２上を非接触で移動するスライダ３と、を備えている。スライダ３は、Ｌ字型に組み合わされたスライドプレート３１と、スライドプレート３１およびレール２の間に介在するようにスライドプレート３１に取り付けられた第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂと、を備えている。第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂは、磁力を発生する磁力発生部４１と、磁力発生部４１の周囲に配置され、圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部４２と、を備えている。圧縮空気供給部４２の端面４２１は、磁力発生部４１の端面４１１とともに、レール２のスライダ案内面２１１、２１２と非接触で対面する支持面４０を構成している。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】気体の運動エネルギーを高効率で回転駆動力に変換するスピンドル装置及び静電塗装装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置のタービン翼９は、回転方向の前方に向く前方面２１と後方に向き気体を受ける後方面２２とを備えている。後方面２２は、曲率半径Ｒ１を有する凹状円柱面であり、前方面２１は、Ｒ１よりも大きい曲率半径Ｒ２を有する凸状円柱面２１ａと平面２１ｃとの間に、Ｒ１よりも小さい曲率半径Ｒ３を有する凸状円柱面２１ｂを配して滑らかに連続させた面である。前方面２１を構成する３面のうち凸状円柱面２１ａが凸状円柱面２１ｂを挟んで流路の流入口側に配され、平面２１ｃが流路の流出口側に配される。隣接するタービン翼９の対向する前方面２１と後方面２２とに挟まれた空間が、気体の流路を構成し、ノズル１０から噴出された気体が流路の流入口３１から流入し、凹状円柱面の円弧状湾曲に沿う方向に流れて流出口３２から流出する。 （もっと読む）

【課題】ＩＰＭ型ベアリングレスモータにおける軸支持力の脈動を抑制する。
【解決手段】２極の電動機巻線と４極の軸支持巻線とが倦回された一つの固定子５と、鉄心１に永久磁石３が埋め込まれた回転子７と、を備えたＩＰＭ型ベアリングレスモータにおいて、前記回転子７の鉄心１に、軸支持力Ｆ_βが最大となる回転角度時に軸支持磁束が界磁磁束に干渉することにより磁束が強弱する場所に対応する永久磁石３の周囲に空隙４を形成する。これにより、軸支持磁束が最大となる回転角度における軸支持力Ｆ_βが小さくなり、軸支持力が最小となる回転角度における軸支持力Ｆ_βとほぼ同一の大きさとなるため、軸支持力Ｆ_βの脈動が抑制される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スピンドルモータに関する。
【解決手段】本発明によるスピンドルモータは、回転軸と、前記回転軸を収容して回転可能に支持する軸受と、軸受が内部に取付けられる軸受ホルダと、前記軸受ホルダの外径に積層されて取付けられたコア及び前記コアに巻線されたコイルからなる電機子と、前記電機子との電磁気力により回転するように、内部に磁石が取付けられ、前記回転軸の外径に取付けられるロータケースと、前記ロータケースに対向するように前記電機子または前記軸受ホルダに選択的に取付けられ、吸引力により前記ロータケースの浮上及び離脱を防止する電磁石と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受機構において、部品点数や消費電流の増加を抑制しつつ、ロータに外力方向逆側の力を作用させる。
【解決手段】外力が作用するロータと、ロータの外周面を覆う筒部、筒部の軸方向両側のうち外力方向に形成される第１端壁部、及び筒部の軸方向両側のうち外力方向逆側に形成される第２端壁部を有するステータコアと、第１端壁部からロータに作用する上記外力方向への吸引力、及び上記第２端壁部から上記ロータに作用する上記外力方向逆側への吸引力の双方を発生させるようにステータコアの筒部内に固定される永久磁石とを備えた磁気軸受機構について、上記ステータコア及びロータの一方又は両方を、永久磁石に起因する上記外力方向逆側への吸引力が、永久磁石に起因する上記外力方向への吸引力よりも大きくなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】石油及びガス環境下で、耐食性で使用可能な磁気ベアリングの提供。
【解決手段】回転マシン用の被覆されたアクティブ磁気ベアリングで、プロセスガスと接触するロータに取着された薄層磁気材料のベアリングアーマチュア３１と薄層磁気材料のヨーク４３に巻き付けられた電磁石巻線４２のベアリングステータ４１を有し、ベアリングステータは、第１の耐漏ハウジング４０を形成するために第１のハウジング部分と協働する磁気耐食材料のフェライト系ステンレス鋼の第１のジャケット３４で保護され、第１のハウジング部分は、フェライト系ステンレス鋼ででき、かつ電磁石巻線及びベアリングステータのヨークが適所に置かれる前に、溶接部３６Ａ、３６Ｂ；３７Ａ、３７Ｂで磁気耐食材料のハウジング端壁部分４４に接続された挿入部３８Ａ；３８Ｂを有して、ベアリングアーマチュア及び検出器アーマチュアの薄層磁気材料をフェライト系ステンレス鋼とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができるラジアル磁気軸受装置の提供。
【解決手段】ラジアル磁気軸受装置は、ロータに固定されたシャフト３を磁気的に非接触支持するラジアル電磁石と、変位センサと、ラジアル電磁石の電流を制御する磁気軸受駆動制御部と、を備えている。そして、ラジアル電磁石は、ロータのシャフト３を挟むように対向配置された一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍおよびシャフト３を挟むように対向配置された一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍが形成された環状のコア５０と、一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍおよび一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍの各々に巻き回された４つの電磁石コイル５３と、を有している。磁気軸受駆動制御部は、変位センサの検出値に基づいて、一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍから出た磁束線が一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍへと入るように４つの電磁石コイル５３に流れる電流を制御する。 （もっと読む）

【課題】曲げ振動モードの固有周波数を安定化できる磁気軸受装置と、このスラスト磁気軸受を備えた回転機械を提供する。
【解決手段】シャフト５と一体に回転するスラストディスク２７と、磁力によりスラストディスク２７のスラスト力を支持するスラスト磁気軸受２５と、スラストディスク２７の傾きを検出する第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂ（傾斜検出手段）と、第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂに検出された傾きに起因する所定周期の振動によって、スラスト磁気軸受２５の磁力を制御するコントローラ２１（制御部）と、から構成され、スラスト磁気軸受２５は、周方向に複数に分割された第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂ（磁力発生部）を有し、コントローラ２１は、第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂを各々制御することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】駆動軸と円筒部材とのクリアランスを確保しつつ、磁気軸受の起動時に、駆動軸を磁気軸受の中心軸方向へ移動させる際に必要な最大電磁力を低減する。
【解決手段】水平方向に延びるように配置される駆動軸（13）を、通電時に非接触状態で回転自在に支持する磁気軸受（14）と、駆動軸（13）を囲む円筒状に形成され、磁気軸受（14）の非通電時に駆動軸（13）を内周下部で支持する円筒部材（19）と、磁気軸受（14）の通電開始時に円筒部材（19）の内周下部に支持される駆動軸（13）が、円筒部材（19）の内周面に沿って上方へ移動する旋回動作と、該旋回動作後の駆動軸（13）が磁気軸受（14）の中心軸方向へ移動する軸移動動作と、を行うように、磁気軸受（14）の電磁力を制御する制御部（20）と、を備える軸受機構を構成する。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されていると共に一端部２１が転動体２から突出している軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

ラジアル・アキシアル複合磁気軸受の内部のコアは、それぞれが半径方向の切れ目を少なくとも１つ備えた複数の被膜された層から成るスタックである。これらの切れ目は、スタックの中心孔を通る変動する軸方向制御磁束によって引き起こされる循環電流の誘起を防止する。各層をその前の層に対して特定の角度だけ旋回させることによって、磁気対称性が維持される。この配置は、軸受における損失を減らすだけでなく、軸方向チャネルの性能も向上させる。 （もっと読む）

【課題】前回り成分と後回り成分の両方を安定化することができ、複数の周波数帯域の減衰を増加させることが可能な磁気軸受制御装置と方法を提供する。
【解決手段】ロータの変位Ｘ，Ｙに基づきロータを中立位置に保持するフィードバック制御器３２と、ターゲット周波数Ｎｆが含まれる予め設定した前回りターゲット周波数帯域に一致するロータの前回り変位信号のみを抽出するＦクロス制御フィルタ３６Ａ，３６Ｂと、ターゲット周波数Ｎｂが含まれる予め設定した後回りターゲット周波数帯域に一致するロータの後回り変位信号のみを抽出するＢクロス制御フィルタ３７と、抽出したｘ軸の入力信号に所定のゲインｋをかけてｙ軸用電磁石の電流指令信号Ｉｙに重畳させ、抽出したｙ軸の入力信号に所定のゲインｋをかけてｘ軸用電磁石の電流指令信号Ｉｘに重畳させるクロス回路３８Ａ〜３８Ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト１１及びその周囲に取付けられた動翼１２を有するロータ１３と、ロータ１３を囲むケーシング１４及びケーシング１４の内側に設けられた静翼１５を有するステータ１６と、シャフト１１を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ１０であり、軸受に超電導磁気軸受１７、１８が使用され、かつステータ１６を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受１７、１８に用いる冷媒が使用されている。 （もっと読む）

【課題】流体動圧軸受け装置、およびこれを用いたモータの構造を簡略化するとともに、潤滑流体の漏れを防止することである。
【解決手段】動圧軸受け装置は、軸部２８とフランジ部３２とを有する軸部材２４、および、軸部材２４に対し相対的に回転自在なスリーブ部材２６を備える。軸部２８の外周面とスリーブ部材２６の内周面との間の間隙にはラジアル動圧軸受けが構成され、フランジ部３２の一面とスリーブ部材２６の第一対向面との間の間隙にはスラスト動圧軸受けが構成される。軸部材２４又はスリーブ部材２６は、スラスト動圧軸受けによって発生するスラスト方向の支持力とは反対方向へ磁気力によって吸引されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、運動案内装置における移動体の移動抵抗をより小さくしまたは、より安定させることができる技術を提供する。
【解決手段】移動ブロック１と、移動ブロック１を多数のボール５介して往復移動可能に支持する軌道レール３と、を備えた運動案内装置であって、互いに離間した２部材を有するとともに該２部材の間に非接触力である吸引力または反発力を発生させる非接触力発生手段をさらに備える。接触力発生手段における２部材のうち一方は、移動ブロック１に設けられた永久磁石６であり、非接触力発生手段の２部材のうち他方は、軌道レール３に設けられた磁性体部７である。永久磁石６と磁性体部７とは、軌道レール３に対する移動ブロック１の進行方向に対して平行な平面で互いに対向して配置される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でコストを抑えつつスラスト軸受に作用するスラスト荷重を低減させることが可能なスラストバランス調整装置及び回転機械を提供する。
【解決手段】スラストバランス調整装置１０は、回転体４に設けられたバランスピストン１１と、バランスピストン１１を回転可能に収容し、流体が流通可能に連通する略環状のバランス室１２と、バランス室１２内の外周側に設けられて流体の軸方向Ａへの流通を制限し、相対的にバランスピストン１１の軸方向Ａ一方側を高圧室１５に、他方側を低圧室１６に設定する第一のシール手段１３と、高圧室１５または低圧室１６の少なくとも一方に設けられてバランス室１２とバランス室１２の外側との流体の流通を制限する第二のシール手段１４と、スラスト磁気軸受を駆動させて、バランスピストン１１の軸方向Ａの位置を調整して、高圧室１５と低圧室１６との圧力差を制御する圧力制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】空転停止性能に優れたタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】内輪６１と、外輪６２と、内輪６１及び外輪６２の間で転動可能に配置された転動体とを有するタッチダウン軸受であって、少なくとも１個の転動体６３ｂの比重又は径を、他の転動体６３ａの比重又は径と異なるようにする。このように構成することにより、タッチダウン軸受が空転し始まる際、重量または径の異なる転動体が、慣性の違いから隣接する転動体に追いつくか、遅れるかして接触し、そのまま摺勤し続ける。この接触により、タッチダウン軸受の回転エネルギーを減少させ、タッチダウン軸受を早く停止させることができる。 （もっと読む）