【課題】スライダの走行安定性が高強く、小型・軽量なエアスライド装置の構造を提供する。
【解決手段】エアスライド装置１は、スライダ案内面２１１、２１２が磁性体で形成されたレール２と、レール２の長手方向Ｘにレール２のスライダ案内面２１１、２１２上を非接触で移動するスライダ３と、を備えている。スライダ３は、Ｌ字型に組み合わされたスライドプレート３１と、スライドプレート３１およびレール２の間に介在するようにスライドプレート３１に取り付けられた第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂと、を備えている。第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂは、磁力を発生する磁力発生部４１と、磁力発生部４１の周囲に配置され、圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部４２と、を備えている。圧縮空気供給部４２の端面４２１は、磁力発生部４１の端面４１１とともに、レール２のスライダ案内面２１１、２１２と非接触で対面する支持面４０を構成している。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受機構において、部品点数や消費電流の増加を抑制しつつ、ロータに外力方向逆側の力を作用させる。
【解決手段】外力が作用するロータと、ロータの外周面を覆う筒部、筒部の軸方向両側のうち外力方向に形成される第１端壁部、及び筒部の軸方向両側のうち外力方向逆側に形成される第２端壁部を有するステータコアと、第１端壁部からロータに作用する上記外力方向への吸引力、及び上記第２端壁部から上記ロータに作用する上記外力方向逆側への吸引力の双方を発生させるようにステータコアの筒部内に固定される永久磁石とを備えた磁気軸受機構について、上記ステータコア及びロータの一方又は両方を、永久磁石に起因する上記外力方向逆側への吸引力が、永久磁石に起因する上記外力方向への吸引力よりも大きくなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】石油及びガス環境下で、耐食性で使用可能な磁気ベアリングの提供。
【解決手段】回転マシン用の被覆されたアクティブ磁気ベアリングで、プロセスガスと接触するロータに取着された薄層磁気材料のベアリングアーマチュア３１と薄層磁気材料のヨーク４３に巻き付けられた電磁石巻線４２のベアリングステータ４１を有し、ベアリングステータは、第１の耐漏ハウジング４０を形成するために第１のハウジング部分と協働する磁気耐食材料のフェライト系ステンレス鋼の第１のジャケット３４で保護され、第１のハウジング部分は、フェライト系ステンレス鋼ででき、かつ電磁石巻線及びベアリングステータのヨークが適所に置かれる前に、溶接部３６Ａ、３６Ｂ；３７Ａ、３７Ｂで磁気耐食材料のハウジング端壁部分４４に接続された挿入部３８Ａ；３８Ｂを有して、ベアリングアーマチュア及び検出器アーマチュアの薄層磁気材料をフェライト系ステンレス鋼とする。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】流体動圧軸受け装置、およびこれを用いたモータの構造を簡略化するとともに、潤滑流体の漏れを防止することである。
【解決手段】動圧軸受け装置は、軸部２８とフランジ部３２とを有する軸部材２４、および、軸部材２４に対し相対的に回転自在なスリーブ部材２６を備える。軸部２８の外周面とスリーブ部材２６の内周面との間の間隙にはラジアル動圧軸受けが構成され、フランジ部３２の一面とスリーブ部材２６の第一対向面との間の間隙にはスラスト動圧軸受けが構成される。軸部材２４又はスリーブ部材２６は、スラスト動圧軸受けによって発生するスラスト方向の支持力とは反対方向へ磁気力によって吸引されている。 （もっと読む）

【課題】 ロボットや多自由度ステージ等に用いられる球面軸受に要求される、広い揺動角度と高い軸受剛性とを有し、回転揺動方向の平滑な動作と微小な角度の位置決めとを可能にし、且つ、長期間にわたって高精度を維持できる高い耐久性の全てを満足する球面軸受を提供する。
【解決手段】 軸部と球体部とを有する回転揺動体と、この回転揺動体の球体部に外嵌する凹面部を有する軸受体とから構成される球面軸受において、前記軸受体の凹面部を半球若しくはそれより浅い球面状に形成し、且つ、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方を磁石として、この磁石の吸引力によって前記揺動回転体と前記軸受体とを一体に保持すると共に、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方に静圧ポケットを刻設して、該静圧ポケットに圧油を供給して静圧軸受とすることを特徴とする球面軸受によって達成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、運動案内装置における移動体の移動抵抗をより小さくしまたは、より安定させることができる技術を提供する。
【解決手段】移動ブロック１と、移動ブロック１を多数のボール５介して往復移動可能に支持する軌道レール３と、を備えた運動案内装置であって、互いに離間した２部材を有するとともに該２部材の間に非接触力である吸引力または反発力を発生させる非接触力発生手段をさらに備える。接触力発生手段における２部材のうち一方は、移動ブロック１に設けられた永久磁石６であり、非接触力発生手段の２部材のうち他方は、軌道レール３に設けられた磁性体部７である。永久磁石６と磁性体部７とは、軌道レール３に対する移動ブロック１の進行方向に対して平行な平面で互いに対向して配置される。 （もっと読む）

【課題】腐食性、酸性、または粒子を持つ気体雰囲気と接触しているロータを取り付けられている回転機械のための、ジャケット付きアキシアル磁気ベアリングを提供する。
【解決手段】磁気ベアリングは、ロータ６に固定され腐食性、酸性気体雰囲気に設置されているディスク状のロータアーマチャー７と、支持装置１に固定されているステータ磁気回路４とを有し、ステータ４の前記磁気回路は、少なくとも１つのコイル４２，４３と金属性保護カバー２，３中の強磁性体４１とを有する。保護カバー２，３は、ウェブ２０と外側フランジ２２とチャネル−セクションカバー状の環状ジャケット３とを有する。環状ジャケット３は、内側および外側フランジ３１，３２とクロージャーウェブ３０とを有し、環状ジャケット３の内側および外側フランジ３１，３２の自由端は、環状支持部２の内側および外側フランジ２１，２２の自由端に溶接されている。 （もっと読む）

【課題】軸のための磁気ベアリングを備えた蒸気タービンにおいて、磁気ベアリングの過熱、ひいては積層体の破損を避ける。
【解決手段】磁気ベアリングの領域に、軸の軸線方向に延びる冷却空気用の冷却空気通路を設けてあり、該冷却空気通路は、磁気ベアリングの、積層体に向けられた側で、半径方向に延びる冷却空気供給部を含む冷却空気供給装置と接続されていて、支承ケーシング内の軸端部の自由な端部に通じている。 （もっと読む）

【課題】電磁石の電源が入っているときには所定の剛性を維持でき、電源が切られた際にはベアリングにタッチダウン可能で、かつ制御方向に直角な偏心に対しても有効に作用しつつこの偏心方向には磁束の漏れが少ない磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載した固液分離機を搭載した固液分離機を提供する。
【解決手段】ギャップセンサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ、３４Ｄで回転子コア３５までの軸方向の距離（ギャップ）を測る。そして、この計測した距離が所望の値となるように電磁石３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄに流す電流を変化させる。このことより、運転中の軸方向位置を調整可能である。磁束は、永久磁石３７と電磁石３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄとにより上向きに作用し、一方のルートは外筒２１を通る磁路により形成され、他方のルートは内筒２５を通る磁路により形成される。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスなどの腐食環境に適合可能な、ＮＡＣＥ規格準拠の真空ステータアセンブリおよびその製作工程を提供する。
【解決手段】前記真空ステータアセンブリは、一実施形態において、磁性材料製のステータスリーブ１５４、前記ステータスリーブ１５４と同軸かつ前記ステータスリーブ１５４端部の各々に接合部において固定されその後、前記接合部が熱処理された、非磁性材料製のスリーブ拡張部１５２、および前記スリーブ拡張部１５２に固定され、ステータを真空状態で内包し真空ステータアセンブリを構成するよう設けられた非磁性材料製の壁を有する。 （もっと読む）

【課題】 スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができて、翼車とディフューザ間の微小隙間を保って安定した高速回転を行うことができ、またコンパクト化が図れ、かつ軸方向移動の自由側の転がり軸受につき、フレッティング摩耗を防止することができると共に前記転がり軸受の冷却効果を向上した空気サイクル冷凍機用タービンユニットを提供する。
【解決手段】 軸受箱４１のうちの一方の弾性シール材の軸方向位置と他方の弾性シール材の軸方向位置との間で、前記スピンドルハウジング１４の流路１４ｃ，１４ｄに連なる冷却油用流路ＣＬ１を形成し、軸受箱４１をこの軸受箱４１が設けられた主軸端部と反対側へ付勢して前記転がり軸受１５に予圧を与える予圧用ばね２６を設ける。 （もっと読む）

【課題】 軸受全体の剛性を高めること、回転軸の減衰特性を比較的容易に設計・製作時に設定できること、加工機械の特性を左右する回転軸の整定時間を制御できる静圧式の気体軸受を提供する。
【解決手段】 固定軸受筒ＣＪと浮動ブッシュＦＢとの間に配される第一の軸受部Ａと、前記浮動ブッシュＦＢと回転軸ＫＪとの間に配される第二の軸受部Ｂとからなる気体軸受部を備え、前記第一の軸受部Ａの減衰係数およびばね剛性を調整することにより、回転軸ＫＪの外乱に対する整定時間を制御する。また、固定軸受筒ＣＪと浮動ブッシュＦＢとの間に配される第一の軸受部Ａと、前記浮動ブッシュＦＢと回転軸ＫＪとの間に配される第二の軸受部Ｂとからなる気体軸受部を備え、前記第一の軸受部Ａの減衰係数およびばね剛性を調整する手段として、前記第一の軸受部ＡへフルイドダンパＦＤを付加してなる。 （もっと読む）

【課題】移動体を空気静圧軸受を介して固定体に支持してなる空気静圧軸受装置に関し、移動体に生じる振動を容易，確実に減衰する。
【解決手段】移動体３１を空気静圧軸受５３を介して固定体３３に支持してなる空気静圧軸受装置５１において、前記移動体３１と固定体３３との相対速度の増大に伴い前記移動体３１に対する抵抗力を増大させる抵抗手段５５を有する。また、移動体３１を空気静圧軸受５３を介して固定体に支持してなる空気静圧軸受装置５１において、前記移動体３１に、前記移動体３１から突出するフィン部５９を形成して前記抵抗手段５５を構成する。 （もっと読む）

簡単な構成で冷却効果が大きい磁気軸受装置を得るため、回転軸１の後部外径に後方向に空気流を形成するフィン１５を設けると共に、このフィン１５が回転することにより生成される空気流を圧縮された渦流に変換し且つ軸方向に貫通穴を有するジェネレータ１６を、フィン１５と適当な隙間を隔てて固定し、さらにこのジェネレータ１６の後方側に内径がジェネレータ１６の貫通穴１９の直径よりも大きく且つ後方端にコントロールバルブ２１を有するチューブ２０を備える構成として、回転軸１の駆動力で冷却風を生成するようにし、また、回転軸１内部には、冷却風を通過させるための軸方向に貫通する冷却風流通路２２を形成した。
（もっと読む）

【課題】 消費電力の低減を図ることができるとともに、簡易な構造であって保守性にも優れた磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 ラジアル磁気軸受１１は、回転子５の軸方向両側に配置され、軸方向に着磁された円筒形永久磁石である固定子側磁石１４と回転子側磁石１５とを有する。固定子側磁石１４と回転子側磁石１５とは、同心円状であって軸方向において偏位して配置される。スラスト磁気軸受１２は、回転子側の磁性板１７と、固定子側で強磁性板１６に対向配置される永久磁石１７と、これらの間の空隙に磁界を発生可能な電磁石１８とを有する。スラスト磁気軸受１２では、ラジアル磁気軸受１１で生じる第１付勢力と逆向きの第２付勢力が生じるように強磁性板１６と永久磁石１７とが配置される。ゼロパワー制御部１３は、第１付勢力と第２付勢力とによる平衡位置に回転子５が位置するように、電磁石１８の電流をゼロに収束させるように制御する。 （もっと読む）

【課題】ステージが大型化しても温度変化に対する軸受性能の低下を抑え且つ低コストな静圧空気軸受直線案内装置を提供することを課題としている。
【解決手段】基台１から突設するガイド部材２の両側面に所定間隙を置いて対向する一対の対向部４，５をステージ３下部に設けて一対の水平方向空気軸受６を形成する。その各水平方向空気軸受６の位置よりも幅方向外側にそれぞれ上下方向を支持する上下方向空気軸受７を配置する。その各上下用空気軸受７の近傍にそれぞれ、非接触状態でステージ３を基台１に向けて吸引する吸引力発生手段９を設ける。 （もっと読む）

位置の自動検出を行なう能動型磁気ベアリング（１００）であって、このベアリングは、強磁性体（１１０）の両側に配置されている、固定子を形成する対向している少なくとも第１及び第２の電磁石を有し、強磁性体（１１０）は、回転子を形成し、複数の電磁石の間に接触しないで保持される。第１及び第２の電磁石は、各々、第１の強磁性材料により本質的に構成され強磁性体とエアギャップを規定するように協働する磁気回路（１２１；１３１）と、電力増幅器から電力供給される励起コイル（１２２；１３２）とを有し、この電力増幅器の入力電流は、第１及び第２の電磁石の磁気回路に対する強磁性体の位置に応じてサーボ制御される。この強磁性体（１１０）の位置は、システムの閉ループ通過帯域よりも大きな周波数の正弦波電流を両方の対向する電磁石に同時に流すことに応じて２つの前記電磁石（１２０、１３０）の間で検出されるインダクタンスから測定される。
（もっと読む）