【課題】薄肉でかつ高いＰＴＣ特性を有するとともに、高信頼性を有する面状発熱体を提供する。
【解決手段】不織布６と、前記不織布６にカレンダー加工により薄膜状に貼り合わされたＰＴＣ抵抗体５と、２０ｍｍから２５０ｍｍの間隔で前記ＰＴＣ抵抗体５と電気的に接続された一対の電極８と、前記不織布６と前記ＰＴＣ抵抗体５と前記電極８を両面よりホットメルト接着剤４を介して被覆する２枚のポリエステルフィルム２，３と、前記ポリエステルフィルム２，３の外側の少なくとも一面に接着された熱伝導性部材１１とからなる。 （もっと読む）

【課題】基板を格段に薄くして温度変更を高速化した場合でも、確実に接地しつつ、基板の撓みを生じ難くでき、かつ熱逃げの影響を小さくできる加熱装置を提供すること。
【解決手段】加熱装置は、導電性を有するベースプレート２と、ベースプレート２の上方に位置してウェハが載置されるフェイスプレート３と、ベースプレート２およびフェイスプレート３の間に配置されて互いを導通させるアース部材８とを備え、フェイスプレート３は、表面がアース部材８との導通部分を除いて電気的に絶縁されたアルミ基板と、アルミ基板に設けられてウェハを加熱するフィルムヒータとを備え、アルミ基板のアース部材８との導通部分は、当該アルミ基板の中央に設けられているとともに、アース部材８の長手方向の途中には、複数の折曲部８Ａ〜８Ｄが設けられている。 （もっと読む）

【課題】発泡押圧成形金型を使用しないで面状採暖具の生産を可能とし、しかもクッション性および耐久強度に優れた面状採暖具を提供することを目的とする。
【解決手段】表面材２００と、金属シート４１１の上下両面に樹脂を含む接着剤４１２をコーティングした均熱シート４１０の下面にヒータ線４２０が配設された面状のヒータユニット４００の下面側に設けられた断熱シート５００の下面側に設けられた裏面材６００を備え、断熱シート５００は発泡シート５０１の上下両面に不織布５０２，５０３が接着されたものである。
これにより、発泡押圧成形金型を使用しないで面状採暖具の生産を可能とし、しかもクッション性および耐久強度に優れた面状採暖具を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】強化補修の対象となる微小な孔や隙間が沢山ある構造物の状態を必要以上に把握確認することなく、然も極めて簡単な作業で品質保証が行えるヒータユニットを提供する。
【解決手段】断熱材とヒータ、該ヒータの下側に金属板を積層状態に配設形成し、積層各部材を確実に一体的に形成した面状発熱体であって、前記ヒータに於けるヒータ線を熱伝導性が高く比較的薄い金属板でサンドイッチ状に挟持する。 （もっと読む）

【課題】金型を使用しないで面状採暖具の接着加工を可能とし、しかも形状やサイズが異なる面状採暖具に対応可能な製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】加熱工程では、アルミシート４１１を含む均熱シート４１０にヒータ線４２０を配設したヒータユニット４００とシート状部材とを積み重ねたワーク１１０を移動させながら電磁誘導加熱装置７２１によりアルミシート４１１を発熱させる。その後、ローラユニット７３５または７３３により、加熱後のワーク１１０を移動させながら、その両面を矩形状の押圧面で押圧することで、シート状部材を良好に接着することができる。 （もっと読む）

【課題】金型を使用しないで面状採暖具の接着加工を可能とし、しかも形状やサイズが異なる面状採暖具に対応可能な製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】加熱工程では、アルミシート４１１を含む均熱シート４１０にヒータ線４２０を配設したヒータユニット４００とシート状部材とを積み重ねたワーク１１０を移動させながら電磁誘導加熱装置７２１によりアルミシート４１１を発熱させる。このとき、複数（例えば２個）の加熱コイル７２２ａ，７２２ｂを用いることで、熱溶融型の接着剤を安定して溶融させることができるので、製造工程の省エネルギー化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】便座と発熱線とを確実に絶縁しつつ、便座を迅速に昇温させ、確実に絶縁破壊検知することができるヒータユニットおよびそれを用いた便座装置を提供する。
【解決手段】線状ヒータ４６０は発熱線４６３ａおよびエナメル層４６３ｂにより構成されるエナメル線４６３からなる。便座ケーシング４１０の裏面の耐熱塗装絶縁層４１４と粘着層４５２ａとの間には便座側絶縁層４５５が設けられる。線状ヒータ４６０は例えばアルミニウムからなる金属箔４５１と金属箔４５３との間に挟み込まれるように上部便座ケーシング４１０の下面に貼着される。発熱線４６３ａで発生された熱が、発熱線４６３ａの外周の絶縁層４６２を介して金属箔に伝達される。そして発熱線の外周の絶縁層の絶縁破壊が生じた場合でも、金属箔４５１，４５３の外周に防水絶縁層４７０を備えた構成であるため、発熱線とヒータユニット外側との絶縁を確実にする。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ載置面における均熱性に優れている上に急速昇温および急速冷却が可能であり、且つ高い剛性を備えた加熱冷却デバイスを提供する。
【解決手段】 ヒータ１０と可動式冷却モジュール２０とを備えた加熱冷却デバイス１であって、ヒータ１０は、ウエハ載置面１１ａを有し金属からなる第１均熱板１１と、第１均熱板１１を支持しセラミックスなどからなる第２均熱板１２と、これら均熱板１１、１２の間に設けられた抵抗発熱体１３とを有している。均熱板１１、１２の熱伝導率をＫ１、Ｋ２、ヤング率をＹ１、Ｙ２としたとき、Ｋ１＞Ｋ２、Ｙ２＞Ｙ１であり、均熱板１１、１２の厚みの合計は第１均熱板１１の直径の１／４０以下である。抵抗発熱体１３はポリイミドなどの耐熱性絶縁物１３ｂによって一体化されており、その厚みは０.５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】十分に持続荷重性があり、耐食性があり、低コストに製造可能である加熱要素を提供する。
【解決手段】電気エネルギーを供給するための前記他の導体素線２が加熱ゾーン１００を加熱するための少なくとも１個の前記導体素線１と導電結合されている接触領域２００と、を備えた加熱要素２０、特に車両の車室の利用者接触面を加熱するための加熱要素２０であって、前記導体素線１と前記他の導体素線２の少なくとも一方が局所的に機能不全を起こした場合に、機能不全部位を橋絡する電気橋絡導線の少なくとも一部を前記機能不全部位に形成させる少なくとも１個の補助導体３が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム製の支持板を使用したものであっても、高温時の剛性を確保し、高温の下で反りや曲がりが無く、しかもアルミニウム製の支持板としての諸特性（耐食性の優れた絶縁皮膜いわゆるアルマイト処理）を満足することが出来る基板加熱プレートヒータを得る。
【解決手段】基板加熱プレートヒータは、金属製の板体からなる支持板１と、この支持板１の中に埋設されたヒータ線３とを有する。支持板１にヒータ線３に沿って同支持板１より剛性の高い補強部材４が埋め込まれ、この補強部材４が支持板１と同じ材質の蓋体７により覆われている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、熱効率、信頼性及び保守性に優れた面状発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体１と、コーティング層３を介して該発熱体１を挟み込む加熱板２とを有する面状発熱体１０において、前記コーティング層３は、前記加熱板の厚み方向のうち前記発熱体に対向する該加熱板のそれぞれの面に、窒化珪素又はアルミナを含むセラミックス材料で形成され、かつ、該コーティング層３に、線状又は箔状の該発熱体１を収容するための溝部４が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体の周囲に均一に発熱させることができ、また加工性よく設置することができる熱安定性の高い面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】内側電極としての芯電極２、前記芯電極２に周設された主成分が反応性樹脂を介して架橋された導電体を含有して成る高分子抵抗体３、および前記高分子抵抗体３の表面に周設された外側電極４を有する発熱体５と、この発熱体５を保持する金属フィルム６、熱融着フィルム７からなるシート状の積層フィルムとにより構成した。したがって、長期にわたり均熱性の優れたＰＴＣ特性を有する面状発熱体を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】加熱面に取り付けられた被加熱物を面内で均一に加熱することのできる、しかも広い温度範囲で良好に均熱性を維持することが可能な加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、加熱面１１ａを有し抵抗発熱体１２が埋設されたセラミックス基体１１と、このセラミックス基体１１の背面１１ｂに近接して取り付け固定された温度調節部材２１とを備えている。このセラミックス基体１１の加熱面と抵抗発熱体１２との間に、セラミックス基体１１の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する熱伝導性部材１４が配設されている。セラミックス基体１１と温度調節部材２１との間の空隙３１に、ガスが圧力を調節可能に導かれる。 （もっと読む）

【課題】従来のプレートヒータでは、大面積のものでは重量が大きくなるとともに、反り、たわみが発生し、熱効率が悪い欠点があった。
【解決手段】本発明のプレートヒータは、互いに重ねられた複数枚の金属プレートと、互いに対向する２枚の金属プレートの間に介挿された多角断面形状の複数の金属パイプヒータから成り、上記各金属プレートが上記金属パイプヒータに接する面に絶縁被覆を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 少量の発熱部材でマット全面を均一に発熱させることができる安価で耐久性に優れたヒータマットを提供する。
【解決手段】 ヒータマット１のベース部材２上に発熱部材３を装着する。発熱部材３に薄くて細長いリボンヒータ７を用い、リボンヒータ７の発熱導体を帯状のステンレス鋼で形成する。発熱導体に接着層を介して表裏二枚の絶縁フィルムを加圧接着する。リボンヒータ７をジグザグ状に折り曲げて配線し、上下二枚の絶縁用ゴムシート１６，１７で被覆する。上側のゴムシート１６に伝熱用の金属板８を被せ、金属板８にコントローラ１０をネジ１８で組み付ける。金属板８に接合するクッション部材５を通水性のゴムチップ集合材で成形する。 （もっと読む）

【課題】大きな設置スペースを必要とせず、必要なときに必要な量の湯を得ることができ、しかも湯温が不安定になりにくい電気給湯器を提供することである。
【解決手段】熱伝導性の良い材料で伝熱体６を形成し、この伝熱体６の外周面にステンレススチール製の複数の帯状の薄膜を樹脂で被覆してなる面状ヒータ４を装着する。モータ１２で回転駆動される羽根車９を伝熱体６内に配置し、羽根車９で伝熱体６の内周面に形成される境膜を剥ぎ取る。 （もっと読む）

【課題】 近年ＬＣＤ基板の生産性向上に伴って、加熱板の更なる大面積化が進み、加熱板の軽量化だけでなく均熱性の確保が問題となってきている。したがって、急速な昇降温が可能であり、かつ、急速な昇降温の条件下でも加熱基板の均熱性を確保できる基板加熱装置を提供する。
【解決手段】 加熱板と気流攪拌ファンとを具備する基板加熱装置であって、前記加熱板が発熱体と伝熱板と板状支持体とで構成され、かつ、前記板状支持体が隔壁に空孔を有する格子型構造物の上下に平板を取り付けた構造物からなることを特徴とする基板加熱装置。
基板加熱装置をこのような構成にすることにより、板状支持体の各格子間の空気の移動が可能となり、また、気流攪拌ファンにより気流を生じせしめることにより、従来よりも均熱性が改善される効果がある。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスにおいて被加熱物を均一に加熱することのできる加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、加熱面を有するセラミックス基体１１と、このセラミックス基体１１の内部に埋設された発熱体１２とを備える。このセラミックス基体１１内部における加熱面１１ａと前記発熱体１２との間に、熱伝導性部材１４を有している。熱伝導性部材１４は、セラミックス基体よりも高い熱伝導率を有している。 （もっと読む）

【目的】 ホットプレートの構成の変更を柔軟に且つ低コストで行うことができ、ホットプレートの重量を軽量化でき、ホットプレートを加熱するための消費電力を節減することができ、ホットプレートの加熱による反りや撓みなどの変形を抑えてガラス基板への均一な加熱を実現することができる、ガラス基板の熱処理装置を提供する。
【構成】 ガラス基板を加熱するためのホットプレートであって、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材が所定の長さで切断されて成る複数のアルミ押出板が、それぞれの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で載置されて成るホットプレートと、前記ホットプレートの少なくとも前記ガラス基板と対向する面を加熱するための加熱部であって、前記各アルミ押出板の内部に挿入される複数の棒状ヒーターから成る加熱部と、を含む、ガラス基板の熱処理装置である。 （もっと読む）

【課題】優秀なＰＴＣ特性と低い初期電気抵抗とを兼備し、局部過熱を生じない優れた発熱機能を有し、かつ優れた柔軟性及び良好な形態安定性を有し、かつ厚さの薄い新規な面状発熱体を提供すること。
【解決手段】
カーボンブラック或いはグラファイト、パラフィン、及び熱可塑性エラストマからなるＰＴＣ導電性組成物が合成繊維からなる長繊維織物に含浸乃至塗布及び焼成されて成る面状発熱シートに対して順次その両面に絶縁フィルムを、片面もしくは両面に均熱シートを被覆してなり、かつ下記▲１▼〜▲５▼の条件を満足するＰＴＣ面状発熱体；
▲１▼厚さが０．６ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲内であること
▲２▼Ｄ_２０が２５０Ｗ／ｍ^２〜６００Ｗ／ｍ^２の範囲内であること
▲３▼Ｄ_２５／Ｄ_４５が２以下であること
▲４▼Ｄ_４５／Ｄ_８０が１０以上であること
▲５▼Ｄ_２５／Ｄ_８０が２０以上
ただし、Ｄ_２５、Ｄ_４５、Ｄ_８０は、それぞれ２５℃、４５℃、８０℃における電力密度を意味する。 （もっと読む）