ガラス基板の熱処理装置
【目的】 ホットプレートの構成の変更を柔軟に且つ低コストで行うことができ、ホットプレートの重量を軽量化でき、ホットプレートを加熱するための消費電力を節減することができ、ホットプレートの加熱による反りや撓みなどの変形を抑えてガラス基板への均一な加熱を実現することができる、ガラス基板の熱処理装置を提供する。
【構成】 ガラス基板を加熱するためのホットプレートであって、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材が所定の長さで切断されて成る複数のアルミ押出板が、それぞれの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で載置されて成るホットプレートと、前記ホットプレートの少なくとも前記ガラス基板と対向する面を加熱するための加熱部であって、前記各アルミ押出板の内部に挿入される複数の棒状ヒーターから成る加熱部と、を含む、ガラス基板の熱処理装置である。
【構成】 ガラス基板を加熱するためのホットプレートであって、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材が所定の長さで切断されて成る複数のアルミ押出板が、それぞれの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で載置されて成るホットプレートと、前記ホットプレートの少なくとも前記ガラス基板と対向する面を加熱するための加熱部であって、前記各アルミ押出板の内部に挿入される複数の棒状ヒーターから成る加熱部と、を含む、ガラス基板の熱処理装置である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）用のガラス基板の熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶テレビやプラズマディスプレイテレビなどに使用されるガラス基板の熱処理装置が知られている。このガラス基板の熱処理装置は、例えば、ポリイミドなどの所定の材料を含む被熱処理物質をガラス基板に塗布し、この被熱処理物質が塗布されたガラス基板を所定の温度で加熱することにより、前記ガラス基板の表面に液晶表示パネル用の配向膜を形成するなどの目的で、使用されている。
【０００３】
ところで、図５は特許文献１に開示されている従来のガラス基板の熱処理装置を示す図である。図５に示すように、従来のガラス基板の熱処理装置においては、搬送手段１により容器１０内に搬入され且つ支持手段９により支持されたガラス基板３を、ホットプレート５の上にスペーサ（ピン）２を介して配置し、前記ホットプレート５を、その下方に当接するように配置されたヒーター４により加熱することにより、前記ガラス基板３の熱処理を行っていた。なお、図５において、６は前記支持手段９と接続されたベースプレート、７は前記ベースプレート６を図示上下方向に移動させるためのボールネジ、８は前記ボールネジ７を回動するためのモータ、である。
【特許文献１】特開２０００−１６１８５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上のように、従来のガラス基板の熱処理装置においては、ホットプレートを１個のアルミ板（熱伝導率の高いアルミニウム合金製の板）により構成し、この１個のアルミ板をヒーターで加熱することにより、このアルミ板に対向するように配置されたガラス基板の熱処理を行うようにしていた。
【０００５】
しかしながら、このような従来のガラス基板の熱処理装置においては、技術革新などに伴ってガラス基板のサイズが変更されたときは、その度に、前記の変更されたガラス基板のサイズに対応するサイズを有する１個のアルミ板を別個に新しく製造する必要があった。そして、この場合は、前述のようなアルミ板はサイズが異なる毎に特注する必要があるため、ホットプレートの製造コストが高くなってしまう、という問題があった。
【０００６】
また、従来のガラス基板の熱処理装置においては、前述のようにホットプレートを１個のアルミ板により構成していたため、ホットプレートの重量が大きくなってしまい、その取り扱いのために作業者に大きな負担を掛けてしまう、という問題があった。
【０００７】
また、従来のガラス基板の熱処理装置においては、前述のようにホットプレートを１個のアルミ板により構成していたため、１個のアルミ板を加熱するために多くの熱量を必要とし、ヒーターの消費電力を多量に消費してしまう、という問題があった。
【０００８】
また、従来のガラス基板の熱処理装置においては、前述のようにホットプレートを１個のアルミ板により構成していたため、１個のアルミ板を加熱するとき、そのアルミ板が反りや撓みなどの変形を生じてしまい、その結果、ガラス基板への均一な加熱ができなくなってしまう、という問題があった。
【０００９】
本発明はこのような従来技術の問題点に着目してなされたものであって、ガラス基板のサイズ変更に対応するためのホットプレートの構成の変更を柔軟に且つ低コストで行うことができ、ホットプレートの重量を軽量化して作業者の負担を軽減することができ、ホットプレートを加熱するための消費電力を節減することができ、ホットプレートの加熱による反りや撓みなどの変形を抑えてガラス基板への均一な加熱を実現することができる、ガラス基板の熱処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を解決するための本発明によるガラス基板の熱処理装置は、ガラス基板を加熱するためのホットプレートであって、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっている（内部が空洞で長手方向の両端が開口された略箱状に形成されている）アルミ押出材が所定の長さで切断されて成る複数のアルミ押出板が、それぞれの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で載置されて成るホットプレートと、前記ホットプレートの少なくとも前記ガラス基板と対向する面を加熱するための加熱部であって、前記各アルミ押出板の内部にそれぞれ挿入される一つ又は複数の棒状ヒーターから成る加熱部と、を含んでおり、前記複数のアルミ押出板は、それぞれ、（ａ）前記棒状ヒーターを前記空洞内で収容するための一つ又は複数のヒーター収容部であって、前記空洞の中に前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に沿って配置されており、前記アルミ押出板と一体に形成されている一つ又は複数のヒーター収容部と、（ｂ）前記一つ又は複数のヒーター収容部と前記アルミ押出板の前記ガラス基板と対向する面を有している上板部又は前記下板部とを接続するための接続部であって、前記アルミ押出板と一体に形成されている接続部と、を備えている、ことを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明によるガラス基板の熱処理装置においては、前記ヒーター収容部は前記アルミ押出板の長手方向と略平行に延びる略筒状に形成されており、前記接続部は前記略筒状のヒーター収容部の上面及び下面と前記アルミ押出板の上板部及び下板部とをそれぞれ接続し且つ前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に延びる帯状に形成されている、ことが望ましい。
【００１２】
また、本発明によるガラス基板の熱処理装置においては、前記複数のアルミ押出板を、それらの各上面又は各下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で互いに固定するための固定部を備えていることが望ましい。
【００１３】
さらに、本発明によるガラス基板の熱処理装置においては、前記アルミ押出板の前記空洞内の前記ヒーター収容部から所定距離だけ離れた位置に、前記アルミ押出板の上板部及び下板部をそれらの間の間隔が一定の距離を保持するように支持するために、前記上板部及び下板部を互いに接続し、且つ前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に延びるように、前記アルミ押出板と一体に帯状に形成された帯状支持部が備えられている、ことが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明においては、ホットプレートを、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっている（内部が空洞で長手方向の両端が開口された略箱状に形成されている）アルミ押出材を所定の長さで切断して成るアルミ押出板を、複数個、並べることにより構成している。また、本発明においては、前記ホットプレートを加熱するときは、前記各アルミ押出板の内部に挿入された複数の棒状ヒーターを通電し、この棒状ヒーターからの熱を、前記接続部を介して、前記各アルミ押出板の前記ガラス基板と対向する面を有する上板部又は下板部に、伝導させるようにしている。
【００１５】
したがって、本発明においては、ガラス基板のサイズが技術革新などにより変更されためにホットプレートのサイズを変更する必要が生じた場合でも、前記アルミ押出材を切断して前記アルミ押出板を形成するときの切断する長さを変更すると共に、このようにして切断されて成るアルミ押出板を並べる個数を変更するだけで、ホットプレートのサイズの変更を行うことができる。また、一般に、前述のようなアルミ押出材を製造すること及びそれを所定の長さで切断することは、低コストで行うことができる。よって、本発明によれば、ガラス基板のサイズが変更された場合に必要となるホットプレートのサイズの変更を、柔軟に且つ低コストで行うことができる。
【００１６】
また、本発明によれば、ホットプレートを、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出板を、複数個、並べることにより構成しているので、ホットプレート全体を軽量化することができると共に、作業員の負担を軽減させることができる。
【００１７】
また、本発明によれば、ホットプレートを、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出板を、複数個、並べることにより構成しているので、ホットプレート全体を加熱するために必要な熱量を低減し、前記ヒーターの消費電力を節減することができる。
【００１８】
また、本発明のように、ホットプレートを、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出板を、複数個、並べることにより構成し、前記棒状ヒーターにより前記各アルミ押出板を加熱するようにしたときは、ホットプレートを１個のアルミ板により構成してこれを加熱するようにした場合と異なって、ホットプレート全体が熱によって反りや撓みなどの変形が生じてしまうことが抑制されるので、ホットプレートに対向しているガラス基板の全体を均一に加熱することができる。
【００１９】
また、本発明において、前記ヒーター収容部を略筒状に形成し、且つ、前記接続部を前記略筒状のヒーター収容部の上方向及び下方向から前記アルミ押出板の上板部及び下板部までそれぞれ延びるように形成するようにしたときは、（ａ）前記棒状ヒーターからの熱を前記接続部を介して前記上板部及び下板部に効率的に伝導させることができると共に、（ｂ）前記接続部により、前記アルミ押出板の上板部及び下板部と前記棒状ヒーターとをそれらの間隔が常に一定となるように保持・支持することができるので、加熱時における前記各アルミ押出板の反りや撓みなどの変形を抑制し、前記ガラス基板への均一な加熱を実現できるようになる。
【００２０】
また、本発明において、前記複数のアルミ押出板を、それらの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で互いに固定するための固定部を備えるようにしたときは、前記複数のアルミ押出板の相互の位置がガラス基板の熱処理の途中や前後にずれてしまうことが防止され、ガラス基板の熱処理を高精度に行えるようになる。
【００２１】
さらに、本発明において、前記アルミ押出板の前記空洞内に前記上板部及び下板部を互いに接続し且つ前記アルミ押出板の長手方向に帯状に延びる帯状支持部を、前記アルミ押出板と一体に形成するようにしたときは、前記帯状支持部により、前記アルミ押出板の上板部及び下板部の間隔が常に一定の距離に保持されるように支持されるので、加熱時における前記各アルミ押出板の反りや撓みなどの変形がより確実に抑制され、前記ガラス基板への均一な加熱をより確実に実現できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明を実施するための最良の形態は、以下の実施例１について述べるような形態である。
【実施例１】
【００２３】
図１は本発明の実施例１に係るガラス基板の熱処理装置のホットプレートを構成するためのアルミ押出板を示す斜視図である。図１において、アルミ押出板１１は、断面が略長方形状（長手方向の両端が開口された細長い箱状）に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材が、所定の長さ（例えば約２，５００ｍｍ）で切断されて成るものである。図１において、１２は前記アルミ押出板１１の内部の空洞部、１３は前記アルミ押出板１１の図示上側のガラス基板との対向面を構成する上板部、１４は前記アルミ押出板１１の図示下側の面を構成する下板部、１５は前記アルミ押出板１１の図示右側及び左側の側面をそれぞれ構成する側板部、１６は前記空洞部１２内に前記アルミ押出板１１の長手方向に沿って配置された筒状のヒーター収容筒、１７は前記ヒーター収容筒１６の上側部分と前記上板部１３とを接続するために前記アルミ押出板１１の長手方向に沿って帯状に形成された上側接続部、１８は前記ヒーター収容筒１６の下側部分と前記下板部１４とを接続するために前記アルミ押出板１１の長手方向に沿って板状に形成された下側接続部、１９は前記アルミ押出板１１の両端面の４つの隅（前記各側板部１５と前記上板部１３及び下板部１４とが接する部分）にそれぞれ形成されたネジ穴、である。
【００２４】
本実施例１においては、前記の上板部１３、下板部１４、側板部１５、ヒーター収容筒１６、上側接続部１７、下側接続部１８、及び、ネジ穴１９は、互いに一体に形成されている。また、前記の上板部１３、下板部１４、及び、側板部１５（前記各ネジ穴１９が形成されている前記各側板部１５と前記上板部１３及び下板部１４との間の接合部分は除く）の肉厚は、それぞれ例えば約３ｍｍである。また、前記ヒーター収容筒１６、上側接続部１７、及び、下側接続部１８の肉厚も、それぞれ例えば約３ｍｍである。また、前記アルミ押出板１１の断面（又は端面）の図示水平方向のサイズは例えば約２０４ｍｍ、前記アルミ押出板１１の断面（又は端面）の図示上下方向のサイズは例えば約４０ｍｍ、前記アルミ押出板１１の長手方向のサイズは例えば約２，５００ｍｍ、である。また、前記ヒーター収容筒１６の内径は、例えば約１０．５ｍｍである。
【００２５】
次に、図２は、本実施例１において、図１のアルミ押出板１１を複数個、並べることにより構成されるホットプレートの一部を示す斜視図である。本実施例１では、例えば、前記アルミ押出板１１が計１４個、図の左右方向に並べられることにより、一つのホットプレート２１が形成されている。なお、図２では、図示の便宜上、計５個のアルミ押出板１１しか示していない。また、図２では、図示の便宜上、前記アルミ押出板１１に含まれる前記の上側接続部１７や下側接続部１８などは図示を省略しており、また、前記ヒーター収容筒１６は円形の端面の部分のみを図示している。
【００２６】
図２において、２２は前記ホットプレート２１を収容するための略箱状のチャンバを構成するためのフレームである。なお、図示は省略しているが、実際には、前記チャンバ内に、前記ホットプレート２１が図示上下方向に数段から十数段（例えば１０段）、所定の間隔を介して互いに平行に配置されている。また、図示は省略しているが、実際には、前記チャンバは、ガラス基板の熱処理時には、周囲を金属製のシャッターなどで覆うことにより、熱がチャンバの外部に逃げないようにしている（上記の複数のホットプレートを含むチャンバは、用途によるが、硬化炉または熱処理炉などと呼ばれている）。
【００２７】
また、図２において、２３は前記フレーム２２に固定され、前記複数のアルミ押出板１１を並べるように載置するための載置台である。前記載置台２３は、前記フレーム２２により構成されるチャンバの図示手前側と図示奥行き側とに、それぞれ、図示左右方向に互いに平行に配置されている。そして、前記各載置台２３の上に、前記の計１４個のアルミ押出板１１の両端部が、それぞれ並べられた状態で載置されることにより、前記ホットプレート２１が構成される。なお、図示は省略しているが、実際には、前記チャンバ内に、前記載置台２３が図示上下方向に数段から十数段（例えば１０段）、所定の間隔を介して互いに平行に配置されている。
【００２８】
また、図２において、２４は、前記の互いに図示水平方向に並べられている複数のアルミ押出板１１を、それらの位置が互いにずれないように互いに繋いで固定するための固定板である。前記固定板２４は、例えばアルミニウム合金製の板で構成されている。また、前記固定板２４の図示上下方向のサイズは、前記アルミ押出板１１と同様の約４０ｍｍである。また、前記固定板２４の図示水平方向のサイズは、例えば、前記アルミ押出板１１の図示水平方向の長さの５倍の長さである約１，０２０ｍｍ、である。
【００２９】
前記固定板２４には、この固定板２４の平面を前記の計５個並べられたアルミ押出板１１の端面に当接したときに前記各アルミ押出板１１の計４つの隅に在る各ネジ穴１９に対向する位置に、それぞれネジ穴２４ａが形成されている。したがって、この固定板２４を前記の計５個並べられたアルミ押出板１１の端面に当接して、図２に示す各取り付けネジ２５を、前記各ネジ穴２４ａを介して、前記各アルミ押出板１１の各ネジ穴１９に挿入することにより、前記固定板２４と前記計５個の各アルミ押出板１１とが互いに固定される。このように、前記固定板２４が前記アルミ押出板１１に固定されることにより、前記の計５個のアルミ押出板１１は、互いに位置がずれないように、互いに繋がれて固定される。なお、本実施例１では、前記固定板２４は、前記の計５個のアルミ押出板１１の位置を互いにずれないように固定するだけでなく、前記の計５個のアルミ押出板１１の各空洞部１２を塞ぐことにより、前記各空洞部１２内からゴミなどが前記チャンバ内に排出しないようにするための「蓋」としての役割をも果たしている。また、本実施例１では、前述のように、前記各載置台２３の上に計１４個のアルミ押出板１１が並べられるので、実際には、計５個のアルミ押出板１１が一つの固定板２４により固定され、さらに別の計５個のアルミ押出板１１が別の固定板２４により固定されるというように、前記計１４個のアルミ押出板１１の各位置を固定するためには複数の固定板２４が使用される（計５個よりも少ない例えば計４個のアルミ押出板１１を固定するときは、前記固定板２４よりも図２の左右方向のサイズを小さくした固定板を使用することが望ましい）。
【００３０】
また、前記固定板２４には、この固定板２４を前記の計５個並べられたアルミ押出板１１の端面に当接したときに前記各アルミ押出板１１の各ヒーター収容筒１６に対向する位置に、それぞれヒーター挿通穴２４ｂが形成されている。したがって、この固定板２４を前記の計５個並べられたアルミ押出板１１の端面に当接して固定したとき、後述の棒状ヒーターを、前記ヒーター挿通穴２４ｂを介して、前記各アルミ押出板１１のヒーター収容筒１６に挿入（又は、それから排出）することができる。
【００３１】
また、図２において、２６は前記各アルミ押出板１１内に形成されたヒーター収容筒１６内に挿入され収容される棒状ヒーターである。前記棒状ヒーター２６は、前記アルミ押出板１１の長手方向の長さと略同一の長さを有するように構成されている。また、前記棒状ヒーター２６は、ガラス基板を加熱するために必要な熱量などの条件に対応して、前記各アルミ押出板１１内の複数のヒーター収容筒１６の一部又は全部に、それぞれ挿入され収容される。また、実際には、前記各棒状ヒーター２６は、前記各アルミ押出板１１が前記固定板２４により固定され後、前記固定板２４に形成されたヒーター挿通穴２４ｂを介して、前記ヒーター収容筒１６に挿入される。なお、図２では図示を省略しているが、実際には、前記棒状ヒーター２６の両端部には前記棒状ヒーター２６に通電するための電極と配線が備えられている。
【００３２】
次に、図３は、図２のホットプレート２１を上方から見たときの状態を示す平面図である。図３に示すように、本実施例１では、計１４個のアルミ押出板１１が図示左右方向に並べられて配置されることにより、一つのホットプレート２１が構成されている。なお、図３では、棒状ヒーター２６などは図示を省略している。
【００３３】
以上のように、本実施例１においては、前記ホットプレート２１を、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出材を所定の長さで切断して成るアルミ押出板１１を、複数個（例えば１４個）、図示水平方向に並べることにより、構成している。また、本実施例１においては、前記ホットプレート２１を加熱するときは、前記各アルミ押出板１１の内部に挿入された複数の棒状ヒーターを通電し、この棒状ヒーターからの熱を、前記上側接続部１７を介して、前記各アルミ押出板１１の上板部１３（ガラス基板と対向する面を構成する部分）に伝導させて、前記上板部１３の上にスペーサ（ピン）を介して対向しているガラス基板を加熱するようにしている。
【００３４】
したがって、本実施例１においては、ガラス基板のサイズが変更されたために、前記ホットプレート２１のガラス基板への対向面のサイズを変更する必要が生じた場合でも、前記アルミ押出材を切断して前記アルミ押出板１１を形成するときの切断する長さを変更すると共に、このようにして切断されて成るアルミ押出板１１を並べる個数を変更するだけで、前記ホットプレート２１のサイズの変更を容易に行うことができる。また、一般に、前述のようなアルミ押出材を製造すること及びそれを所定の長さで切断することは、低コストで行うことができる。よって、本実施例１によれば、技術革新などによりガラス基板のサイズが変更された場合に必要となる前記ホットプレート２１のサイズの変更を、柔軟に且つ低コストで行うことができる。
【００３５】
また、本実施例１によれば、前記ホットプレート２１を、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出板１１を、複数個（例えば１４個）、並べることにより構成している。よって、本実施例１によれば、前記ホットプレート２１の全体を軽量化することができると共に、作業員の負担を軽減させることができる。また、ホットプレート全体を加熱するための熱量を低減して前記ヒーターの消費電力を節減することができる。
【００３６】
また、本実施例１では、前記ホットプレート２１を複数のアルミ押出板１１の組み合わせにより構成するようにしているので、従来のようにホットプレートを１個のアルミ板により構成してこれを加熱するようにした場合と異なって、前記ホットプレート２１の全体が熱によって反りや撓みなどの変形が生じてしまうことが抑制されるので、前記ホットプレート２１に対向しているガラス基板の全体を均一に加熱することができるようになる。
【００３７】
また、本実施例１においては、前記アルミ押出板１１のヒーター収容筒１６の上方向及び下方向から前記上板部１３及び下板部１４までそれぞれ延びる上側接続部１７及び下側接続部１８を備えるようにしているので、前記棒状ヒーターからの熱を前記上側接続部１７又は下側接続部１８を介して前記上板部１３又は下板部１４に効率的に伝導させることができる。また、前記上側接続部１７及び下側接続部１８により、前記上板部１３及び下板部１４が、それらの相互の間隔が常に一定に保持されるように支持されるので、加熱時における前記各アルミ押出板１１の反りや撓みなどの変形が抑制され、前記ガラス基板への均一な加熱を実現できるようになる。
【００３８】
また、本実施例１においては、前記複数のアルミ押出板１１をそれらの上面がガラス基板と対向するように並べられた状態に固定するための固定板２４を、備えるようにしているので、前記複数のアルミ押出板１１の相互の位置がガラス基板の熱処理の途中や前後にずれてしまうことが防止され、ガラス基板の熱処理を高精度に行えるようになる。
【実施例２】
【００３９】
次に、本発明の実施例２によるガラス基板の熱処理装置を説明する。本実施例２は前記実施例１と基本的構成は同一であるので、以下では、本実施例２が前記実施例１と異なっている部分のみについて説明し、それ以外は説明を省略する。
【００４０】
本実施例２においては、図４に示すように、前記アルミ押出板１１の空洞部１２内に、前記上板部１３と前記下板部１４とを図示上下方向に略直線状に連結し且つ前記アルミ押出板１１の長手方向に沿って延びるように形成された略帯状の強化リブ３１が、設けられている。前記強化リブ３１は、前記アルミ押出板１１と一体に形成されている。また、前記強化リブ３１は、前記アルミ押出板１１の空洞部１２内に配置されている計３個のヒーター収容筒１６の間の位置に、設けられている。
【００４１】
以上のように、本実施例２では、前記アルミ押出板１１の前記空洞部１２内に、前記上板部１３及び下板部１４を互いに接続し且つ前記アルミ押出板１１の長手方向に略帯状に延びる強化リブ３１を、前記アルミ押出板１１と一体に形成するようにしている。よって、本実施例２によれば、前記強化リブ３１により、前記上板部１３と前記下板部１４とが、それらの相互の間隔が常に一定に保たれるように支持されるので、ガラス基板の熱処理時に前記アルミ押出板１１の反りや撓みなどの変形が生じることが確実に防止され、前記ガラス基板への均一な加熱がより確実に実現されるようになる。
【００４２】
以上、本発明の各実施例について説明したが、本発明及び本発明を構成する各構成要件は、それぞれ、前記の各実施例及び前記の各実施例を構成する各要素として述べたものに限定されるものではなく、様々な修正及び変更が可能である。本発明は、添付の特許請求の範囲及びその均等物の範囲内にある修正及び変形を含むものである。例えば、前記の実施例１では、前記ホットプレート２１を構成するために計１４個のアルミ押出板１１を並べて配置するようにしているが、本発明ではこれに限られるものではなく、様々な個数のアルミ押出板１１を組み合わせることにより任意のサイズのホットプレートを構成することができる。
【００４３】
また、前記の実施例１においては、前記固定板２４により図示左右方向に並んだ計５個のアルミ押出板１１を繋いで固定するようにしているが、本発明ではこれに限られるものではなく、前記固定板２４を、例えば計１０個のアルミ押出板１１を繋いで固定するように構成することもできるし、前記ホットプレート２１を構成する全てのアルミ押出板１１（前記実施例１では計１４個のアルミ押出板１１）を１個の固定板２４だけで一度に固定するように構成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施例１によるガラス基板の熱処理装置のホットプレートを構成する部品であるアルミ押出板を示す斜視図。
【図２】本実施例１によるガラス基板の熱処理装置を説明するための斜視図。
【図３】本実施例１によるガラス基板の熱処理装置を説明するための平面図。
【図４】本発明の実施例２によるガラス基板の熱処理装置のホットプレートを構成する部品であるアルミ押出板を示す斜視図。
【図５】従来のガラス基板の熱処理装置を示す図。
【符号の説明】
【００４５】
１１ アルミ押出板
１２ 空洞部
１３ 上板部
１４ 下板部
１５ 側板部
１６ ヒーター収容筒
１７ 上側接続部
１８ 下側接続部
１９，２４ａ ネジ穴
２１ ホットプレート
２２ フレーム
２３ 載置台
２４ 固定板
２４ｂ ヒーター挿通穴
２５ 取り付けネジ
２６ 棒状ヒーター
３１ 強化リブ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）用のガラス基板の熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶テレビやプラズマディスプレイテレビなどに使用されるガラス基板の熱処理装置が知られている。このガラス基板の熱処理装置は、例えば、ポリイミドなどの所定の材料を含む被熱処理物質をガラス基板に塗布し、この被熱処理物質が塗布されたガラス基板を所定の温度で加熱することにより、前記ガラス基板の表面に液晶表示パネル用の配向膜を形成するなどの目的で、使用されている。
【０００３】
ところで、図５は特許文献１に開示されている従来のガラス基板の熱処理装置を示す図である。図５に示すように、従来のガラス基板の熱処理装置においては、搬送手段１により容器１０内に搬入され且つ支持手段９により支持されたガラス基板３を、ホットプレート５の上にスペーサ（ピン）２を介して配置し、前記ホットプレート５を、その下方に当接するように配置されたヒーター４により加熱することにより、前記ガラス基板３の熱処理を行っていた。なお、図５において、６は前記支持手段９と接続されたベースプレート、７は前記ベースプレート６を図示上下方向に移動させるためのボールネジ、８は前記ボールネジ７を回動するためのモータ、である。
【特許文献１】特開２０００−１６１８５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上のように、従来のガラス基板の熱処理装置においては、ホットプレートを１個のアルミ板（熱伝導率の高いアルミニウム合金製の板）により構成し、この１個のアルミ板をヒーターで加熱することにより、このアルミ板に対向するように配置されたガラス基板の熱処理を行うようにしていた。
【０００５】
しかしながら、このような従来のガラス基板の熱処理装置においては、技術革新などに伴ってガラス基板のサイズが変更されたときは、その度に、前記の変更されたガラス基板のサイズに対応するサイズを有する１個のアルミ板を別個に新しく製造する必要があった。そして、この場合は、前述のようなアルミ板はサイズが異なる毎に特注する必要があるため、ホットプレートの製造コストが高くなってしまう、という問題があった。
【０００６】
また、従来のガラス基板の熱処理装置においては、前述のようにホットプレートを１個のアルミ板により構成していたため、ホットプレートの重量が大きくなってしまい、その取り扱いのために作業者に大きな負担を掛けてしまう、という問題があった。
【０００７】
また、従来のガラス基板の熱処理装置においては、前述のようにホットプレートを１個のアルミ板により構成していたため、１個のアルミ板を加熱するために多くの熱量を必要とし、ヒーターの消費電力を多量に消費してしまう、という問題があった。
【０００８】
また、従来のガラス基板の熱処理装置においては、前述のようにホットプレートを１個のアルミ板により構成していたため、１個のアルミ板を加熱するとき、そのアルミ板が反りや撓みなどの変形を生じてしまい、その結果、ガラス基板への均一な加熱ができなくなってしまう、という問題があった。
【０００９】
本発明はこのような従来技術の問題点に着目してなされたものであって、ガラス基板のサイズ変更に対応するためのホットプレートの構成の変更を柔軟に且つ低コストで行うことができ、ホットプレートの重量を軽量化して作業者の負担を軽減することができ、ホットプレートを加熱するための消費電力を節減することができ、ホットプレートの加熱による反りや撓みなどの変形を抑えてガラス基板への均一な加熱を実現することができる、ガラス基板の熱処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を解決するための本発明によるガラス基板の熱処理装置は、ガラス基板を加熱するためのホットプレートであって、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっている（内部が空洞で長手方向の両端が開口された略箱状に形成されている）アルミ押出材が所定の長さで切断されて成る複数のアルミ押出板が、それぞれの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で載置されて成るホットプレートと、前記ホットプレートの少なくとも前記ガラス基板と対向する面を加熱するための加熱部であって、前記各アルミ押出板の内部にそれぞれ挿入される一つ又は複数の棒状ヒーターから成る加熱部と、を含んでおり、前記複数のアルミ押出板は、それぞれ、（ａ）前記棒状ヒーターを前記空洞内で収容するための一つ又は複数のヒーター収容部であって、前記空洞の中に前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に沿って配置されており、前記アルミ押出板と一体に形成されている一つ又は複数のヒーター収容部と、（ｂ）前記一つ又は複数のヒーター収容部と前記アルミ押出板の前記ガラス基板と対向する面を有している上板部又は前記下板部とを接続するための接続部であって、前記アルミ押出板と一体に形成されている接続部と、を備えている、ことを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明によるガラス基板の熱処理装置においては、前記ヒーター収容部は前記アルミ押出板の長手方向と略平行に延びる略筒状に形成されており、前記接続部は前記略筒状のヒーター収容部の上面及び下面と前記アルミ押出板の上板部及び下板部とをそれぞれ接続し且つ前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に延びる帯状に形成されている、ことが望ましい。
【００１２】
また、本発明によるガラス基板の熱処理装置においては、前記複数のアルミ押出板を、それらの各上面又は各下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で互いに固定するための固定部を備えていることが望ましい。
【００１３】
さらに、本発明によるガラス基板の熱処理装置においては、前記アルミ押出板の前記空洞内の前記ヒーター収容部から所定距離だけ離れた位置に、前記アルミ押出板の上板部及び下板部をそれらの間の間隔が一定の距離を保持するように支持するために、前記上板部及び下板部を互いに接続し、且つ前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に延びるように、前記アルミ押出板と一体に帯状に形成された帯状支持部が備えられている、ことが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明においては、ホットプレートを、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっている（内部が空洞で長手方向の両端が開口された略箱状に形成されている）アルミ押出材を所定の長さで切断して成るアルミ押出板を、複数個、並べることにより構成している。また、本発明においては、前記ホットプレートを加熱するときは、前記各アルミ押出板の内部に挿入された複数の棒状ヒーターを通電し、この棒状ヒーターからの熱を、前記接続部を介して、前記各アルミ押出板の前記ガラス基板と対向する面を有する上板部又は下板部に、伝導させるようにしている。
【００１５】
したがって、本発明においては、ガラス基板のサイズが技術革新などにより変更されためにホットプレートのサイズを変更する必要が生じた場合でも、前記アルミ押出材を切断して前記アルミ押出板を形成するときの切断する長さを変更すると共に、このようにして切断されて成るアルミ押出板を並べる個数を変更するだけで、ホットプレートのサイズの変更を行うことができる。また、一般に、前述のようなアルミ押出材を製造すること及びそれを所定の長さで切断することは、低コストで行うことができる。よって、本発明によれば、ガラス基板のサイズが変更された場合に必要となるホットプレートのサイズの変更を、柔軟に且つ低コストで行うことができる。
【００１６】
また、本発明によれば、ホットプレートを、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出板を、複数個、並べることにより構成しているので、ホットプレート全体を軽量化することができると共に、作業員の負担を軽減させることができる。
【００１７】
また、本発明によれば、ホットプレートを、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出板を、複数個、並べることにより構成しているので、ホットプレート全体を加熱するために必要な熱量を低減し、前記ヒーターの消費電力を節減することができる。
【００１８】
また、本発明のように、ホットプレートを、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出板を、複数個、並べることにより構成し、前記棒状ヒーターにより前記各アルミ押出板を加熱するようにしたときは、ホットプレートを１個のアルミ板により構成してこれを加熱するようにした場合と異なって、ホットプレート全体が熱によって反りや撓みなどの変形が生じてしまうことが抑制されるので、ホットプレートに対向しているガラス基板の全体を均一に加熱することができる。
【００１９】
また、本発明において、前記ヒーター収容部を略筒状に形成し、且つ、前記接続部を前記略筒状のヒーター収容部の上方向及び下方向から前記アルミ押出板の上板部及び下板部までそれぞれ延びるように形成するようにしたときは、（ａ）前記棒状ヒーターからの熱を前記接続部を介して前記上板部及び下板部に効率的に伝導させることができると共に、（ｂ）前記接続部により、前記アルミ押出板の上板部及び下板部と前記棒状ヒーターとをそれらの間隔が常に一定となるように保持・支持することができるので、加熱時における前記各アルミ押出板の反りや撓みなどの変形を抑制し、前記ガラス基板への均一な加熱を実現できるようになる。
【００２０】
また、本発明において、前記複数のアルミ押出板を、それらの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で互いに固定するための固定部を備えるようにしたときは、前記複数のアルミ押出板の相互の位置がガラス基板の熱処理の途中や前後にずれてしまうことが防止され、ガラス基板の熱処理を高精度に行えるようになる。
【００２１】
さらに、本発明において、前記アルミ押出板の前記空洞内に前記上板部及び下板部を互いに接続し且つ前記アルミ押出板の長手方向に帯状に延びる帯状支持部を、前記アルミ押出板と一体に形成するようにしたときは、前記帯状支持部により、前記アルミ押出板の上板部及び下板部の間隔が常に一定の距離に保持されるように支持されるので、加熱時における前記各アルミ押出板の反りや撓みなどの変形がより確実に抑制され、前記ガラス基板への均一な加熱をより確実に実現できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明を実施するための最良の形態は、以下の実施例１について述べるような形態である。
【実施例１】
【００２３】
図１は本発明の実施例１に係るガラス基板の熱処理装置のホットプレートを構成するためのアルミ押出板を示す斜視図である。図１において、アルミ押出板１１は、断面が略長方形状（長手方向の両端が開口された細長い箱状）に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材が、所定の長さ（例えば約２，５００ｍｍ）で切断されて成るものである。図１において、１２は前記アルミ押出板１１の内部の空洞部、１３は前記アルミ押出板１１の図示上側のガラス基板との対向面を構成する上板部、１４は前記アルミ押出板１１の図示下側の面を構成する下板部、１５は前記アルミ押出板１１の図示右側及び左側の側面をそれぞれ構成する側板部、１６は前記空洞部１２内に前記アルミ押出板１１の長手方向に沿って配置された筒状のヒーター収容筒、１７は前記ヒーター収容筒１６の上側部分と前記上板部１３とを接続するために前記アルミ押出板１１の長手方向に沿って帯状に形成された上側接続部、１８は前記ヒーター収容筒１６の下側部分と前記下板部１４とを接続するために前記アルミ押出板１１の長手方向に沿って板状に形成された下側接続部、１９は前記アルミ押出板１１の両端面の４つの隅（前記各側板部１５と前記上板部１３及び下板部１４とが接する部分）にそれぞれ形成されたネジ穴、である。
【００２４】
本実施例１においては、前記の上板部１３、下板部１４、側板部１５、ヒーター収容筒１６、上側接続部１７、下側接続部１８、及び、ネジ穴１９は、互いに一体に形成されている。また、前記の上板部１３、下板部１４、及び、側板部１５（前記各ネジ穴１９が形成されている前記各側板部１５と前記上板部１３及び下板部１４との間の接合部分は除く）の肉厚は、それぞれ例えば約３ｍｍである。また、前記ヒーター収容筒１６、上側接続部１７、及び、下側接続部１８の肉厚も、それぞれ例えば約３ｍｍである。また、前記アルミ押出板１１の断面（又は端面）の図示水平方向のサイズは例えば約２０４ｍｍ、前記アルミ押出板１１の断面（又は端面）の図示上下方向のサイズは例えば約４０ｍｍ、前記アルミ押出板１１の長手方向のサイズは例えば約２，５００ｍｍ、である。また、前記ヒーター収容筒１６の内径は、例えば約１０．５ｍｍである。
【００２５】
次に、図２は、本実施例１において、図１のアルミ押出板１１を複数個、並べることにより構成されるホットプレートの一部を示す斜視図である。本実施例１では、例えば、前記アルミ押出板１１が計１４個、図の左右方向に並べられることにより、一つのホットプレート２１が形成されている。なお、図２では、図示の便宜上、計５個のアルミ押出板１１しか示していない。また、図２では、図示の便宜上、前記アルミ押出板１１に含まれる前記の上側接続部１７や下側接続部１８などは図示を省略しており、また、前記ヒーター収容筒１６は円形の端面の部分のみを図示している。
【００２６】
図２において、２２は前記ホットプレート２１を収容するための略箱状のチャンバを構成するためのフレームである。なお、図示は省略しているが、実際には、前記チャンバ内に、前記ホットプレート２１が図示上下方向に数段から十数段（例えば１０段）、所定の間隔を介して互いに平行に配置されている。また、図示は省略しているが、実際には、前記チャンバは、ガラス基板の熱処理時には、周囲を金属製のシャッターなどで覆うことにより、熱がチャンバの外部に逃げないようにしている（上記の複数のホットプレートを含むチャンバは、用途によるが、硬化炉または熱処理炉などと呼ばれている）。
【００２７】
また、図２において、２３は前記フレーム２２に固定され、前記複数のアルミ押出板１１を並べるように載置するための載置台である。前記載置台２３は、前記フレーム２２により構成されるチャンバの図示手前側と図示奥行き側とに、それぞれ、図示左右方向に互いに平行に配置されている。そして、前記各載置台２３の上に、前記の計１４個のアルミ押出板１１の両端部が、それぞれ並べられた状態で載置されることにより、前記ホットプレート２１が構成される。なお、図示は省略しているが、実際には、前記チャンバ内に、前記載置台２３が図示上下方向に数段から十数段（例えば１０段）、所定の間隔を介して互いに平行に配置されている。
【００２８】
また、図２において、２４は、前記の互いに図示水平方向に並べられている複数のアルミ押出板１１を、それらの位置が互いにずれないように互いに繋いで固定するための固定板である。前記固定板２４は、例えばアルミニウム合金製の板で構成されている。また、前記固定板２４の図示上下方向のサイズは、前記アルミ押出板１１と同様の約４０ｍｍである。また、前記固定板２４の図示水平方向のサイズは、例えば、前記アルミ押出板１１の図示水平方向の長さの５倍の長さである約１，０２０ｍｍ、である。
【００２９】
前記固定板２４には、この固定板２４の平面を前記の計５個並べられたアルミ押出板１１の端面に当接したときに前記各アルミ押出板１１の計４つの隅に在る各ネジ穴１９に対向する位置に、それぞれネジ穴２４ａが形成されている。したがって、この固定板２４を前記の計５個並べられたアルミ押出板１１の端面に当接して、図２に示す各取り付けネジ２５を、前記各ネジ穴２４ａを介して、前記各アルミ押出板１１の各ネジ穴１９に挿入することにより、前記固定板２４と前記計５個の各アルミ押出板１１とが互いに固定される。このように、前記固定板２４が前記アルミ押出板１１に固定されることにより、前記の計５個のアルミ押出板１１は、互いに位置がずれないように、互いに繋がれて固定される。なお、本実施例１では、前記固定板２４は、前記の計５個のアルミ押出板１１の位置を互いにずれないように固定するだけでなく、前記の計５個のアルミ押出板１１の各空洞部１２を塞ぐことにより、前記各空洞部１２内からゴミなどが前記チャンバ内に排出しないようにするための「蓋」としての役割をも果たしている。また、本実施例１では、前述のように、前記各載置台２３の上に計１４個のアルミ押出板１１が並べられるので、実際には、計５個のアルミ押出板１１が一つの固定板２４により固定され、さらに別の計５個のアルミ押出板１１が別の固定板２４により固定されるというように、前記計１４個のアルミ押出板１１の各位置を固定するためには複数の固定板２４が使用される（計５個よりも少ない例えば計４個のアルミ押出板１１を固定するときは、前記固定板２４よりも図２の左右方向のサイズを小さくした固定板を使用することが望ましい）。
【００３０】
また、前記固定板２４には、この固定板２４を前記の計５個並べられたアルミ押出板１１の端面に当接したときに前記各アルミ押出板１１の各ヒーター収容筒１６に対向する位置に、それぞれヒーター挿通穴２４ｂが形成されている。したがって、この固定板２４を前記の計５個並べられたアルミ押出板１１の端面に当接して固定したとき、後述の棒状ヒーターを、前記ヒーター挿通穴２４ｂを介して、前記各アルミ押出板１１のヒーター収容筒１６に挿入（又は、それから排出）することができる。
【００３１】
また、図２において、２６は前記各アルミ押出板１１内に形成されたヒーター収容筒１６内に挿入され収容される棒状ヒーターである。前記棒状ヒーター２６は、前記アルミ押出板１１の長手方向の長さと略同一の長さを有するように構成されている。また、前記棒状ヒーター２６は、ガラス基板を加熱するために必要な熱量などの条件に対応して、前記各アルミ押出板１１内の複数のヒーター収容筒１６の一部又は全部に、それぞれ挿入され収容される。また、実際には、前記各棒状ヒーター２６は、前記各アルミ押出板１１が前記固定板２４により固定され後、前記固定板２４に形成されたヒーター挿通穴２４ｂを介して、前記ヒーター収容筒１６に挿入される。なお、図２では図示を省略しているが、実際には、前記棒状ヒーター２６の両端部には前記棒状ヒーター２６に通電するための電極と配線が備えられている。
【００３２】
次に、図３は、図２のホットプレート２１を上方から見たときの状態を示す平面図である。図３に示すように、本実施例１では、計１４個のアルミ押出板１１が図示左右方向に並べられて配置されることにより、一つのホットプレート２１が構成されている。なお、図３では、棒状ヒーター２６などは図示を省略している。
【００３３】
以上のように、本実施例１においては、前記ホットプレート２１を、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出材を所定の長さで切断して成るアルミ押出板１１を、複数個（例えば１４個）、図示水平方向に並べることにより、構成している。また、本実施例１においては、前記ホットプレート２１を加熱するときは、前記各アルミ押出板１１の内部に挿入された複数の棒状ヒーターを通電し、この棒状ヒーターからの熱を、前記上側接続部１７を介して、前記各アルミ押出板１１の上板部１３（ガラス基板と対向する面を構成する部分）に伝導させて、前記上板部１３の上にスペーサ（ピン）を介して対向しているガラス基板を加熱するようにしている。
【００３４】
したがって、本実施例１においては、ガラス基板のサイズが変更されたために、前記ホットプレート２１のガラス基板への対向面のサイズを変更する必要が生じた場合でも、前記アルミ押出材を切断して前記アルミ押出板１１を形成するときの切断する長さを変更すると共に、このようにして切断されて成るアルミ押出板１１を並べる個数を変更するだけで、前記ホットプレート２１のサイズの変更を容易に行うことができる。また、一般に、前述のようなアルミ押出材を製造すること及びそれを所定の長さで切断することは、低コストで行うことができる。よって、本実施例１によれば、技術革新などによりガラス基板のサイズが変更された場合に必要となる前記ホットプレート２１のサイズの変更を、柔軟に且つ低コストで行うことができる。
【００３５】
また、本実施例１によれば、前記ホットプレート２１を、断面が略長方形状で且つ内部が空洞になっているアルミ押出板１１を、複数個（例えば１４個）、並べることにより構成している。よって、本実施例１によれば、前記ホットプレート２１の全体を軽量化することができると共に、作業員の負担を軽減させることができる。また、ホットプレート全体を加熱するための熱量を低減して前記ヒーターの消費電力を節減することができる。
【００３６】
また、本実施例１では、前記ホットプレート２１を複数のアルミ押出板１１の組み合わせにより構成するようにしているので、従来のようにホットプレートを１個のアルミ板により構成してこれを加熱するようにした場合と異なって、前記ホットプレート２１の全体が熱によって反りや撓みなどの変形が生じてしまうことが抑制されるので、前記ホットプレート２１に対向しているガラス基板の全体を均一に加熱することができるようになる。
【００３７】
また、本実施例１においては、前記アルミ押出板１１のヒーター収容筒１６の上方向及び下方向から前記上板部１３及び下板部１４までそれぞれ延びる上側接続部１７及び下側接続部１８を備えるようにしているので、前記棒状ヒーターからの熱を前記上側接続部１７又は下側接続部１８を介して前記上板部１３又は下板部１４に効率的に伝導させることができる。また、前記上側接続部１７及び下側接続部１８により、前記上板部１３及び下板部１４が、それらの相互の間隔が常に一定に保持されるように支持されるので、加熱時における前記各アルミ押出板１１の反りや撓みなどの変形が抑制され、前記ガラス基板への均一な加熱を実現できるようになる。
【００３８】
また、本実施例１においては、前記複数のアルミ押出板１１をそれらの上面がガラス基板と対向するように並べられた状態に固定するための固定板２４を、備えるようにしているので、前記複数のアルミ押出板１１の相互の位置がガラス基板の熱処理の途中や前後にずれてしまうことが防止され、ガラス基板の熱処理を高精度に行えるようになる。
【実施例２】
【００３９】
次に、本発明の実施例２によるガラス基板の熱処理装置を説明する。本実施例２は前記実施例１と基本的構成は同一であるので、以下では、本実施例２が前記実施例１と異なっている部分のみについて説明し、それ以外は説明を省略する。
【００４０】
本実施例２においては、図４に示すように、前記アルミ押出板１１の空洞部１２内に、前記上板部１３と前記下板部１４とを図示上下方向に略直線状に連結し且つ前記アルミ押出板１１の長手方向に沿って延びるように形成された略帯状の強化リブ３１が、設けられている。前記強化リブ３１は、前記アルミ押出板１１と一体に形成されている。また、前記強化リブ３１は、前記アルミ押出板１１の空洞部１２内に配置されている計３個のヒーター収容筒１６の間の位置に、設けられている。
【００４１】
以上のように、本実施例２では、前記アルミ押出板１１の前記空洞部１２内に、前記上板部１３及び下板部１４を互いに接続し且つ前記アルミ押出板１１の長手方向に略帯状に延びる強化リブ３１を、前記アルミ押出板１１と一体に形成するようにしている。よって、本実施例２によれば、前記強化リブ３１により、前記上板部１３と前記下板部１４とが、それらの相互の間隔が常に一定に保たれるように支持されるので、ガラス基板の熱処理時に前記アルミ押出板１１の反りや撓みなどの変形が生じることが確実に防止され、前記ガラス基板への均一な加熱がより確実に実現されるようになる。
【００４２】
以上、本発明の各実施例について説明したが、本発明及び本発明を構成する各構成要件は、それぞれ、前記の各実施例及び前記の各実施例を構成する各要素として述べたものに限定されるものではなく、様々な修正及び変更が可能である。本発明は、添付の特許請求の範囲及びその均等物の範囲内にある修正及び変形を含むものである。例えば、前記の実施例１では、前記ホットプレート２１を構成するために計１４個のアルミ押出板１１を並べて配置するようにしているが、本発明ではこれに限られるものではなく、様々な個数のアルミ押出板１１を組み合わせることにより任意のサイズのホットプレートを構成することができる。
【００４３】
また、前記の実施例１においては、前記固定板２４により図示左右方向に並んだ計５個のアルミ押出板１１を繋いで固定するようにしているが、本発明ではこれに限られるものではなく、前記固定板２４を、例えば計１０個のアルミ押出板１１を繋いで固定するように構成することもできるし、前記ホットプレート２１を構成する全てのアルミ押出板１１（前記実施例１では計１４個のアルミ押出板１１）を１個の固定板２４だけで一度に固定するように構成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施例１によるガラス基板の熱処理装置のホットプレートを構成する部品であるアルミ押出板を示す斜視図。
【図２】本実施例１によるガラス基板の熱処理装置を説明するための斜視図。
【図３】本実施例１によるガラス基板の熱処理装置を説明するための平面図。
【図４】本発明の実施例２によるガラス基板の熱処理装置のホットプレートを構成する部品であるアルミ押出板を示す斜視図。
【図５】従来のガラス基板の熱処理装置を示す図。
【符号の説明】
【００４５】
１１ アルミ押出板
１２ 空洞部
１３ 上板部
１４ 下板部
１５ 側板部
１６ ヒーター収容筒
１７ 上側接続部
１８ 下側接続部
１９，２４ａ ネジ穴
２１ ホットプレート
２２ フレーム
２３ 載置台
２４ 固定板
２４ｂ ヒーター挿通穴
２５ 取り付けネジ
２６ 棒状ヒーター
３１ 強化リブ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を加熱するためのホットプレートであって、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材が所定の長さで切断されて成る複数のアルミ押出板が、それぞれの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で載置されて成るホットプレートと、
前記ホットプレートの少なくとも前記ガラス基板と対向する面を加熱するための加熱部であって、前記各アルミ押出板の内部にそれぞれ挿入される一つ又は複数の棒状ヒーターから成る加熱部と、を含んでおり、
前記複数のアルミ押出板は、それぞれ、（ａ）前記棒状ヒーターを前記空洞内で収容するための一つ又は複数のヒーター収容部であって、前記空洞の中に前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に沿って配置されており、前記アルミ押出板と一体に形成されている一つ又は複数のヒーター収容部と、（ｂ）前記一つ又は複数のヒーター収容部と前記アルミ押出板の前記ガラス基板と対向する面を有している上板部又は下板部とを接続するための接続部であって、前記アルミ押出板と一体に形成されている接続部と、を備えている、ことを特徴とするガラス基板の熱処理装置。
【請求項２】
請求項１において、前記ヒーター収容部は前記アルミ押出板の長手方向と略平行に延びる略筒状に形成されており、前記接続部は前記略筒状のヒーター収容部の上面及び下面と前記アルミ押出板の上板部及び下板部とをそれぞれ接続し且つ前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に延びる帯状に形成されている、ことを特徴とするガラス基板の熱処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記複数のアルミ押出板を、それらの各上面又は各下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で互いに固定するための固定部を備えた、ことを特徴とするガラス基板の熱処理装置。
【請求項４】
請求項１、２、又は３において、前記アルミ押出板の前記空洞内の前記ヒーター収容部から所定距離だけ離れた位置に、前記アルミ押出板の上板部及び下板部をそれらの間が一定の距離を保持するように支持するために、前記上板部及び下板部を互いに接続し、且つ前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に延びるように、前記アルミ押出板と一体に帯状に形成された帯状支持部が備えられている、ことを特徴とするガラス基板の熱処理装置。
【請求項１】
ガラス基板を加熱するためのホットプレートであって、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材が所定の長さで切断されて成る複数のアルミ押出板が、それぞれの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で載置されて成るホットプレートと、
前記ホットプレートの少なくとも前記ガラス基板と対向する面を加熱するための加熱部であって、前記各アルミ押出板の内部にそれぞれ挿入される一つ又は複数の棒状ヒーターから成る加熱部と、を含んでおり、
前記複数のアルミ押出板は、それぞれ、（ａ）前記棒状ヒーターを前記空洞内で収容するための一つ又は複数のヒーター収容部であって、前記空洞の中に前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に沿って配置されており、前記アルミ押出板と一体に形成されている一つ又は複数のヒーター収容部と、（ｂ）前記一つ又は複数のヒーター収容部と前記アルミ押出板の前記ガラス基板と対向する面を有している上板部又は下板部とを接続するための接続部であって、前記アルミ押出板と一体に形成されている接続部と、を備えている、ことを特徴とするガラス基板の熱処理装置。
【請求項２】
請求項１において、前記ヒーター収容部は前記アルミ押出板の長手方向と略平行に延びる略筒状に形成されており、前記接続部は前記略筒状のヒーター収容部の上面及び下面と前記アルミ押出板の上板部及び下板部とをそれぞれ接続し且つ前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に延びる帯状に形成されている、ことを特徴とするガラス基板の熱処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記複数のアルミ押出板を、それらの各上面又は各下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で互いに固定するための固定部を備えた、ことを特徴とするガラス基板の熱処理装置。
【請求項４】
請求項１、２、又は３において、前記アルミ押出板の前記空洞内の前記ヒーター収容部から所定距離だけ離れた位置に、前記アルミ押出板の上板部及び下板部をそれらの間が一定の距離を保持するように支持するために、前記上板部及び下板部を互いに接続し、且つ前記アルミ押出板の長手方向と略平行な方向に延びるように、前記アルミ押出板と一体に帯状に形成された帯状支持部が備えられている、ことを特徴とするガラス基板の熱処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００８−１０２１９５（Ｐ２００８−１０２１９５Ａ）
【公開日】平成２０年５月１日（２００８．５．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２８２６３７（Ｐ２００６−２８２６３７）
【出願日】平成１８年１０月１７日（２００６．１０．１７）
【特許番号】特許第３９１１２８４号（Ｐ３９１１２８４）
【特許公報発行日】平成１９年５月９日（２００７．５．９）
【出願人】（５０１３４１１６３）株式会社幸和 (4)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年５月１日（２００８．５．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１０月１７日（２００６．１０．１７）
【特許番号】特許第３９１１２８４号（Ｐ３９１１２８４）
【特許公報発行日】平成１９年５月９日（２００７．５．９）
【出願人】（５０１３４１１６３）株式会社幸和 (4)
【Ｆターム（参考）】
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