【課題】連続した部材によって外部と区画された区画領域内に、電界効果トランジスタ、マイクロコンピュータ等の動作時に発熱する電子機器及び／又は素子とともに温度計測手段が設けられた温度コントロールユニットにおいて、それらの発熱の影響によらず区画領域外の温度を正確に推定できる温度コントロールユニットを提供すること。
【解決手段】温度コントロールユニットの区画領域内に、温度計測手段が相互に異なる位置に複数個設けられ、複数の温度計測手段によって計測された温度に基づいて区画領域外の温度を推定し、推定された外部の温度に基づいて前記区画領域外に設けられたヒータの出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】オペレーターの広範な要求に合わせて簡便、整然、および効率的に構成できるより柔軟なヒーター制御システムのヒーター制御方法を提供する。
【解決手段】ヒーターへのＡＣ電力をオン・オフできる上限スイッチをＡＣ電力回路内に配置する段階、およびＤＣ電力電源からの低電圧ＤＣ電力から電力供給を受け、ヒーターに隣接配置された温度センサーの感知温度が事前設定上限温度を超えた時には、上限スイッチはヒーターへのＡＣ電力をオフにし、上限制御回路への低電圧ＤＣ電力が停止されている時には、上限スイッチはヒーターへのＡＣ電力をオンにし、次にもし前記感知温度が事前設定限界温度を超えていなければ再始するようにプログラムされている上限制御回路によって、上記上限スイッチを制御する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】高分子基材上の片側のみに成膜された導電膜のフィルムを使って、ヒーター面の温度不均一を防止する。
【解決手段】ｍを２以上の整数とし、導電膜フィルムヒーター上で温度制御すべき領域を２ｍ領域に分け、それぞれの領域に温度センサーを２ｍ個配置する。各領域の通電状態とオープン状態にした設定パターンを作り、その設定パターンを時間的に変化させることにより、２ｍ領域の局所温度の昇温・降温・保持を可能にする。すなわち、２ｍ個の領域の局所温度の制御を可能にする。 （もっと読む）

【課題】ガラスシステムを制御する処理装置の汎用性を向上することができるガラスシステム、処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】 ガラスシステム１００は、抵抗体１２を含むガラス体１０と、抵抗体１２に流れた電流の電流値を測定する電流測定部３２と、ガラス体１０の温度を測定する温度測定部３２と、抵抗体１２の大きさに基づく昇温プログラムデータを記憶した記憶部と、 電流測定部３２により測定された電流値と温度測定部３０により測定されたガラス体１０の温度とに基づき、昇温プログラムデータを参照して、ガラス体１０の状態を導出するための処理部２０とを含む。 （もっと読む）

【課題】ウエハの温度の変化を高速化し温度の調節の精度を向上して処理の効率を向上できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】真空容器内部の処理室内に配置された試料台上にウエハを載置して前記処理室内に形成したプラズマを用いて前記ウエハを処理するプラズマ処理装置であって、前記試料台の内部に配置された金属製の基材と、この基材上面に配置され溶射により形成された誘電体製の膜と、前記誘電体製の膜内部に配置され溶射で形成された膜状のヒータと、前記誘電体膜上に配置された接着層と、前記接着層によって前記誘電体膜に貼り付けられた厚さ０.２〜０.４mmのセラミック製の焼結板と、前記基材内部に配置され温度を検知するセンサと、このセンサからの出力を受けて前記ヒータの発熱を調節する制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ガラスシステムを制御する処理装置の汎用性を向上することができるガラスシステム、処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】 ガラスシステム１００は、抵抗体１２を含むガラス体１０と、抵抗体１２に流れた電流の電流値を測定する電流測定部３２と、ガラス体１０の温度を測定する温度測定部３２と、抵抗体１２の大きさに基づく昇温プログラムデータを記憶した記憶部と、 電流測定部３２により測定された電流値と温度測定部３０により測定されたガラス体１０の温度とに基づき、昇温プログラムデータを参照して、ガラス体１０の状態を導出するための処理部２０とを含む。 （もっと読む）

【課題】ホットプレスに供する鋼板を所望の温度まで高精度に通電加熱することができる鋼板の加熱制御方法を提供する。
【解決手段】接触式の温度センサにより鋼板の温度を測定しながら通電加熱を行って所望の昇温パターンを得るのに必要な電気エネルギの出力パターンを事前に決定しておく。この出力パターンとこの時の実績電圧、実績電流とを出力パターン記憶装置に保存する。この保存した出力パターンとなるように電気エネルギの出力を制御して鋼板の通電加熱を行うとともに、電圧値、電流値を測定して、これらが前記出力パターン記憶装置に保存した実績電圧、実績電流と異なる場合は加熱エラーと判定して鋼板をライン外へリジェクトする。 （もっと読む）

シャンクと、先端とシャンクと先端との間の融合部であって先端内の熱の閉じ込めを改善するために抵抗勾配を与えるように構成された融合部と、を含む熱極を提供する。熱極はまた一体化冷却用ノズルを含んでもよい。シャンク、先端、融合部および一体化冷却用ノズルすべてが単一の工作物で形成されてもよい。熱極はまた、シャンクと一体化された小型取り付け台により形成されてもよい。小型取り付け台は、熱極を締め付け構造から効率的に交換するように、締め付け構造と結合されることができる。
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【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】温度制御管理に関する機能性が高く信頼性を向上させる。
【解決手段】反応管４内部のウェーハを加熱処理するためのヒータ２と、上記ヒータ２の温度を測定して上記ヒータ２の温度を調節する温度調節用の複数の第１の温度センサ３と、上記ヒータ２の温度を測定して上記ヒータ２の温度を監視する監視用の複数の第２の温度センサ６と、上記複数の第１の温度センサ３のうちの任意の第１の温度センサ３が故障したときは、上記故障した任意の第１の温度センサ３により測定される温度に代えて、上記複数の第２の温度センサ６のうち上記任意の第１の温度センサ３の近傍に設けられた第２の温度センサ６により測定される温度に応じて、上記ヒータ２ヘの電力供給の制御を継続させる制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】電力使用系に対する電圧及び電流を正確に測定して精度の高い抵抗値を求め、断線の予測を精度良く行うことができる電力使用系の断線予測装置を提供する。
【解決手段】電力使用系４２Ａ〜４２Ｅに対して個別に各給電ライン４６Ａ〜４６Ｅを介して供給される電力を制御するようにした電力供給回路系２４に設けた断線予測装置２６において、各給電ライン毎に設けられ、異なる周波数のパルス波をオフ期間に対応させて発生するパルス波発生手段５２Ａ〜５２Ｅと、自己のパルス波発生手段にて発生したパルス波を混合させるパルス波混合手段５４Ａ〜５４Ｅと、伝送される自己のパルス波を検出するパルス波検出手段５６Ａ〜５６Ｅと、パルス波検出手段にて検出されたパルス波に基づいて電力使用系の断線予測を判断する判断手段５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電子部品を収容した容器を加熱板に複数載置して、一括加熱することで前記容器を封止する封止装置において、加熱板の広い領域を均一な温度にコントロールする。
【解決手段】 加熱板２と、この加熱板２に通電するための電源と、加熱板２の両端に電位差を与えるため前記電源の出力端子に接続された接触子７ａ、７ｂ、７ｃと、この接触子を移動させて加熱板２に対する通電の経路を接続または切断する駆動手段であるエアシリンダ９ａ、９ｂ、９ｃとを有し、加熱板２の両端に対応する接触子を前記７ａ、７ｂ、７ｃのようにそれぞれ片側に複数設け、前記通電の経路を接続する接触子の接触面積を加熱中に変化させることを特徴とする電子部品の封止装置 （もっと読む）

【課題】平板状部材に対する熱処理工程で使用される複数の電気ヒーターへの個別電力供給量を最適化し、目標温度と合致した、且つ全面が均一な温度即ち温度分布のムラがない状態になるように制御することが可能な制御装置を提供する。
【解決手段】平板状部材の加熱のための、ホットプレート１１を構成する複数個のヒーターＨ１〜Ｈ８の近傍にそれぞれ分布温度センサーを配置して分布温度を測定する分布温度計１３と、ホットプレートの現在温度を最も反映する位置に自動制御するための主温度センサーを配置し、その情報で全ヒーターの出力指令値（％）を得る主温度調節計１４と、分布温度計から得た個々の温度と主温度調節計から得た現在温度とを比較し、個々のヒーターへ電力調整器を介して適正な出力値（％）を送る均熱制御器１６と、個々のヒーターの電力制御を行う上記電力調整器１９を具備して平板状部材の均熱制御装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】
発熱体の寿命を長くする電気炉等発熱装置内の温度制御システムを提供する。
【解決手段】
本発明の温度制御システムは、同じ最高使用温度の複数個の発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄを並列に接続した電気炉等発熱装置１内の温度を検知してこれら発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄへの通電をオンオフ制御する温度制御システムにおいて、これら発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄへの通電のオン時間と通電のオフ時間との割合から発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの使用本数を選定し、これら発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄへの通電オンオフを連続的に順次繰り返す制御を行って、発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの寿命を向上させる。 （もっと読む）

【目的】パルスヒーター電源部に固定する熱電対の寿命を延ばし、かつ高精度に温度測定し制御する。
【構成】パルスヒーター電極部を本体とパルスヒーターに２分割し、この間に極うす熱電対をはさみネジで固定する。
【効果】熱電対はろう付されておらずある程度自由に動けるので熱膨張率のミスマッチに起因する応力が小さく長寿命、さらに熱電対の接触面積が大きく高精度温度制御ができる。 （もっと読む）

【課題】セラミックスヒーターの測温できる場所や装置構造の制約をなくし、装置の大幅な簡略化および低コスト化する。また、測温精度を高め、温度制御を高精度化する。
【解決手段】複数の発熱抵抗体が埋設されたセラミックスからなる平板状の載置部と、前記複数の発熱抵抗体の埋設位置に形成された複数の発熱抵抗体領域と、各発熱抵抗体領域に埋設された少なくとも一つの測温素子とを備えることを特徴とするセラミックスヒーター。また、使用温度における前記セラミックスの体積抵抗率が１０Ｅ＋０８Ω・ｃｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】遠赤外線放射体の温度の範囲の上限を６５０℃まで拡大することができ、よって、被加熱物の加熱範囲を拡大することにより、被加熱物の処理範囲を拡大でき、かつ、短時間に効率よく加熱処理することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置は、枠体１２内に配設された加熱手段２２と、枠体の被加熱物に対向する面に設けられた均熱板１６に設けられた遠赤外線放射体１８とにより、遠赤外線放射体の表面温度を４５０℃から６５０℃に設定でき、遠赤外線放射表面から波長；３．１μｍ〜４．０μｍを放射する。 （もっと読む）

【課題】大型基板に対し、大型特殊設備を用いて製造される大型のヒーターを使用する必要がなく製造コスト削減が可能な真空処理技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空槽２内で基板に対して真空処理を行う真空処理装置であって、真空槽２内において上に基板１０を配置するサセプタ５と、サセプタ５に配置された基板１０全体を加熱ブロック９を介して加熱する基板加熱手段７０とを備える。基板加熱手段７０は、サセプタ５の基板配置領域より大きさの小さい複数のブロック状の分割ヒーター７が隣接するように配置構成されている。 （もっと読む）

【課題】 多様な被加熱体の仕様に応じて、加熱用媒体の温度や流量を簡易な構成により高精度かつ多段に設定する。
【解決手段】 ヒータ本体２の加熱用媒体５を加熱するランプヒータ８をコントローラ３により制御する。コントローラ３は、温度検出センサ３７から出力される加熱用媒体５の検出温度情報に基づいて電圧コントローラ４５及びランプヒータ制御回路部４６からなるランプヒータ駆動制御部による駆動電圧制御動作と電磁弁制御回路部４７及び調整電磁弁４８からなる加熱用媒体供給制御部による加熱用媒体流量制御動作とを行って加熱用媒体５の温度制御を行う。 （もっと読む）

【課題】電気加熱式であって取り扱い性に優れ、立ち上がり時間が短い加熱・乾燥装置であって、加熱体の表面温度を精度よく制御することが可能であり、さらに加熱効率が良くて安全性の高い防爆型の加熱・乾燥装置を提供する。
【解決手段】通電により発熱する電熱線２２を、両端が閉止された保護管２４の内部に収容し、さらに前記電熱線２２の周囲に耐熱性の絶縁性粉末２６を充填した密閉式電熱体２０と、前記保護管２４の表面温度を検知するための少なくとも三式の熱電対３２と、前記熱電対３２とそれぞれ連動して前記電熱線２２への通電量を調整する給電装置３０と、を備える防爆型加熱装置１０により、前記熱電対３２の少なくとも二式の計測温度に従って通電の遮断を遮断し、また他の熱電対３２の計測温度に従って通電量の増減調整をする。 （もっと読む）