【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮に伴う径方向の移動を許容しつつ抵抗発熱体が下方に移動するのを防止でき、抵抗発熱体の耐久性の向上が図れる熱処理炉及び熱処理炉用支持体を提供する。
【解決手段】被処理体を収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材と、断熱材の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体と、断熱材の内周面に軸方向に所定のピッチで設けられ、抵抗発熱体を径方向に熱膨張収縮可能に支持する支持体１３とを備えた熱処理炉において、支持体１３は、先端が断熱材に埋設され、上面で抵抗発熱体を摺動可能に支持する水平部１３ａを有すると共に、水平部１３ａの後端から立ち上がった垂直部１３ｂとを有し、水平部１３ａの下面には、支持体１３の熱容量を小さくするための溝１８が長手方向に沿って形成される。 （もっと読む）

【課題】保持用ピースの破損、ピースホルダからの乖離、天井部付近での断熱不良を防止し、温度特性の均一化や寿命の向上を図る半導体製造装置用ヒータ支持装置を提供する。
【解決手段】被加熱体の周りにコイル状に形成された発熱体３１が配設され、鉛直方向に保持用ピース３２が多数連設され、該保持用ピース間に径方向に長い長円形状の空洞部３８が形成され、前記発熱体が前記空洞部を挿通し、前記保持用ピースを介して支持され、該保持用ピースの上面と下面のいずれか一方に、前記発熱体と交わる方向に嵌合凹部が形成されると共に、他方に前記嵌合凹部と嵌合可能な嵌合凸部が形成され、前記保持用ピースは前記嵌合凹部と前記嵌合凸部との嵌合を介して連設された。 （もっと読む）

【課題】自動車用の電気式ヒータを簡易に構成し、様々な要求性能に対応することができ、設計変更や専用部材が不要で、かつ信頼性の高いヒータユニット構造と、それを用いた電気式ヒータを提供する。
【解決手段】通電により発熱する発熱素子２と、発熱素子２に電力を供給するための極性の異なる一対の電極板３１、３２と、一対の電極板３１、３２を外部電源に接続するための一対のターミナル部３３、３４と、発熱素子２にて発生した熱を放熱するための一対の放熱フィン４１、４２とを一体化して一体型ヒータユニット１を構成する。一対の電極板３１、３２は、一端から外方へ延出する延出部を対向させて一対のターミナル部３３、３４とし、対向する内側表面間に所定枚数の発熱素子２を配置して、電気的かつ機械的に接合し、外側表面に一対の放熱フィン４１、４２を接合して、一体化したヒータユニット１を、電気式ヒータの発熱部の基本単位とする。 （もっと読む）

【課題】 発熱体の両側端を支持しながら熱変形を合理的に吸収し発熱体を安定させることの可能な電気ヒーター及び電気ヒーターを備えた炉を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する支持体２０とを備える。スリットに沿う幅方向Ｗに位置する一対の幅方向端部１３，１３の中間に位置する電流路には貫通孔を設けてある。発熱体１０は、この貫通孔を貫通する支持体３０により少なくとも厚み方向Ｙ及び幅方向Ｗに対する移動を規制されて支持される。一対の幅方向端部１３，１３は端部貫通孔又はスリットを貫通する支持体４０により各々発熱体１０の厚み方向Ｙに対する移動が規制されると共に幅方向Ｗに対する移動が許容されている。 （もっと読む）

蝶番式キャリア部材及びヒートトレース区間の周囲に配置された第１のカバー、及び第１のカバーと動作可能に係合して、加熱対象及びその様々な幾何学的形状の周囲に着脱可能に配置されるように構成された第２のカバーを有するハイブリッド断熱カバーを含むヒータシステムが提供される。コネクタアセンブリで使用するために、第２のカバーと同様の構造を有する可撓性断熱ジャケットも提供される。さらに、半導体処理システムの加熱ガスライン及びポンプラインで使用するために、隣接する断熱部材内に封入された少なくとも１つのヒートトレース区間を含むヒータシステムが提供される。
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【課題】 比較的長尺の発熱体であっても加熱と自重による変形を抑制することの可能なヒーターユニット及び発熱体の製造方法を提供すること。
【解決手段】 蛇行状の電流路を有する発熱体３と、その発熱体３を保持する保持部４とを有する。電流路は、長尺板状でその長手方向に対し上方に向けて凸となる円弧状の主部３１と各主部３１間を接続する接続部とよりなる。各主部３１は長手方向Ｘに直交する幅方向Ｙに対し対称的に屈曲してある。保持部４は接続部を係止する溝を有する一対の絶縁体４０ａ，４０ｂよりなる。接続部又はその近傍部分を一対の絶縁体４０ａ，４０ｂの溝間に係止させて発熱体３を長手方向Ｘに対し円弧状に掛け渡す。 （もっと読む）

【課題】従来の縦型加熱炉に用いる発熱線はその収納溝から飛び出したり、垂れ落ちる欠点があり、また、縦型加熱炉はそのメンテナンスに問題があった。
【解決手段】本発明のコイル状ヒータは、セラミック棒と、このセラミック棒にらせん状に巻き付け固定したセラミック線と、このセラミック線の各ターン間に形成されるらせん溝と、このらせん溝に沿って巻き付けたコイル状発熱線とより成る。本発明の縦型加熱炉は、円筒状炉壁と、この炉壁内面に円周方向に互いに離間して縦に設けた複数の上記コイル状ヒータとより成る。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム製の支持板を使用したものであっても、高温時の剛性を確保し、高温の下で反りや曲がりが無く、しかもアルミニウム製の支持板としての諸特性（耐食性の優れた絶縁皮膜いわゆるアルマイト処理）を満足することが出来る基板加熱プレートヒータを得る。
【解決手段】基板加熱プレートヒータは、金属製の板体からなる支持板１と、この支持板１の中に埋設されたヒータ線３とを有する。支持板１にヒータ線３に沿って同支持板１より剛性の高い補強部材４が埋め込まれ、この補強部材４が支持板１と同じ材質の蓋体７により覆われている。 （もっと読む）

【課題】 動作開始直後に大電流が突入して流れてしまった場合のような異常時に、発熱体と基体との瞬間的な熱膨張の差により、隙間ができたり基体に亀裂が入ったりしてしまう。
【解決手段】 セラミックスからなる基体１に発熱体２が埋設されてなるセラミックヒータ10において、発熱体２が表面にセラミックスが入り込んだ窪み５を有しているセラミックヒータ10である。発熱体２と基体１との間に熱膨張差により大きな熱応力が発生した場合であっても、基体１のセラミックスが入り込んだ窪み５を有していることによって、その熱応力が大きくかかる発熱体２の長手方向においても発熱体２と基体１との間に隙間が生じたり基体１に亀裂が入ったりするのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】加熱効率を向上させることができると共に組立作業効率を向上させることができる加熱調理器を提供する。
【解決手段】誘導加熱調理器の板状加熱体２２は、絶縁基板４１と、この絶縁基板４１に設けられ通電することにより発熱する板状ヒータ４２とを具えている。板状ヒータ４２は、折り返し部４７を介して所定方向に往復する蛇行形状をなすと共に、絶縁基板４１に係合する係合爪４８ａを有して構成されている。絶縁基板４１のトッププレート側に板状ヒータ４２が往復する配置形態とすることができ、被加熱調理器具をその材質に関りなく直接的且つ効率的に加熱することができる。 （もっと読む）

【課題】複数のヒータの取り付け、取り外しが容易で周囲の気流の影響を低減した取り付け構造を提供する。
【解決手段】複数のヒータ１２を保持する保持体１３の取付け面に保持溝１６を形成し、複数のヒータ１２を、その位置が保持体１３の長手方向に異ならるように前記保持溝１６内に保持し、ヒータ１２が加熱対象であるＴダイに接触するように、保持体１３をＴダイに取り付けている。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、管型白熱ランプを位置決めできると共に、固定体であるネジを少なくした加熱装置を提供することである。
【解決手段】
第１の発明に係る加熱装置は、中心軸にフィラメントが設けられたバルブと、該フィラメントの両端に電気的に接続された一対の端子とを備えた管型白熱ランプと、該端子を保持するランプ保持部を具備するフレームと、からなる加熱装置において、該一方の端子は、該管型白熱ランプの軸方向への移動及びその軸方向に対して直交方向への移動が規制されるように、該一方のランプ保持部に固定され、該他方の端子は、該管型白熱ランプの軸方向に対して直交方向への移動が規制されると共に、該他方のランプ保持部に対して該軸方向で相対的に移動されるように、他方のランプ保持部に設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】通電暴走や異常昇温によって基板に破断が生じた場合でも、発熱体に不完全な破断が起きることを低減できるようにした加熱体の提供。
【解決手段】基板３ａと、通電により発熱する発熱体であって、前記基板に前記基板の長手方向に沿って設けられた発熱体３ｂと、前記発熱体の前記基板の反対側の面を覆う保護層３ｃと、を有する加熱体３において、前記発熱体は有機物を炭化させて形成した炭素系発熱体であり、前記炭素系発熱体と前記基板との接着強度を、前記炭素系発熱体と前記保護層との接着強度よりも強くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】伝熱プレートと押さえ板の接合面の気密性を向上し、かつ製造時に変形や特性変化することなく、製造コストを低減したサセプタを提供する。
【解決手段】押さえ板４の接合面に突起部８を設けると共に、伝熱プレート３の接合面の突起部８に対向する位置に断面が略Ｔ字状の溝部９を設けて、突起部８を溝部９に嵌入させかしめることにより伝熱プレート３と押さえ板４とを接合してサセプタ１を製造する。 （もっと読む）

【課題】容易且つ迅速に設定できる管体加熱保温装置の提供。
【解決手段】本発明は、管の外周面を覆う被覆体の内周面に発熱部としての発熱塗料が帯状に配設されたことを特徴とする。
又、帯状の発熱部は被覆体の内周面に間隔を置いて複数行平行に配設されたことを特徴とする。
又、発熱塗料は袋帯状シート発熱部に封入された状態で被覆体の内周面に配設されたことを特徴とする。
又、発熱塗料は塗布により施されたことを特徴とする。
又、発熱塗料はシルク印刷により施されたことを特徴とする。
又、被覆体は筒体であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
発熱体の構造を簡単にし、発熱体と電源供給の接続を容易にする。
【解決手段】
絶縁板３には、螺旋状に巻回したヒータ線２の位置決めするための複数の位置決め凹部１０と、螺旋状に巻回したヒータ線２の螺旋方向を逆方向に戻す方向転換部１１とを有し、ヒータ線２は、複数の位置決め凹部１０に間隔を空けて一方向に螺旋状に巻回し、方向転換部１１で、螺旋方向が逆方向に戻されるとともに間隔を空けられた複数の位置決め凹部１１に巻回したものである。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は抵抗発熱体５の内側に位置する基部１７と、該基部１７から抵抗発熱体５のピッチ間を通って炉の半径方向外方へ延出する複数の支持片１８とを有するように櫛状に形成され、該支持片１８の上面部が抵抗発熱体５の熱膨張収縮移動時の摩擦抵抗を低減するべく曲面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ヒータプレートの十分な固定と精度の高い位置決めを実現でき、ヒータプレートを容易かつ安全に着脱できる半導体製造装置及びヒータプレート着脱治具並びにヒータプレートの着脱方法の提供。
【解決手段】ヒータ２を備えるヒータブロック１と、ヒータブロック１上に配置され、被加熱物が載置されるヒータプレート３と、ばねの力によりヒータプレート３を両外側から押圧する一対のレバー９、１０とを少なくとも備えるヒータユニット部を有し、ヒータブロック１の上面には、レバーの押圧方向に沿って配列された位置決めピン４と、一方のレバー側の端部に形成された段差部６とを備え、ヒータプレート３の下面には、レバーの押圧方向に沿って延在し、位置決めピン４に係合する位置決め溝５を備え、ヒータプレート３の上部には、プライヤの先端のＬ字型の治具に係合する一対の引っ掛け穴１３を備える。 （もっと読む）

【課題】ねじの交換を容易にできかつねじが不用意に外れない、半導体加工リアクタ内にランプをねじ留めするための締結具を提供する。
【解決手段】放射加熱された半導体加工リアクタ内にランプを取り付け得る被捕捉型の締結具３８は、ランプの各端部のハトメ形末端部３２内に捕捉され、これにより、締結具３８が、ランプに回転式に留められる。ハトメ形末端部３２は、締結具３８のねじ切りされた部分内に螺合される、ねじ切りされた開口部を具え得る。あるいは、末端部を適合させることは、末端部から挿入される締結具の上部上にタブ、導電体延長部、またはハウジングアセンブリを重ね合わせることで行い得る。別の実施形態では、末端部を適合させることは、末端部を通って挿入される締結具の円形の蟻溝とノッチ付き突起部とを係合させることで行い得る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被加熱体を加熱した際に当該被加熱体の温度均一性を向上できるヒータユニットを得ることを目的とする。
【解決手段】シャフト２２の径方向内側部分である第２熱伝導体３２は、シャフト２２の径方向外側部分である第１熱伝導体３０よりも熱伝導率が低い。このため、抵抗発熱体１８の発熱状態と非加熱状態とが繰り返し切り替えられた場合に、第２熱伝導体３２では、第１熱伝導体３０と比べて、シャフト２２の先端部２２Ｂから基端部２２Ａ側への熱の移動が抑制される。このため、ヒータプレート１６のうちシャフト２２の空洞４２と対峙する部分では、ヒータプレート１６、ひいてはウエハ２８の加熱温度が所望の温度に達するまでの時間が従来のヒータユニットに比べて短縮される。従って、ヒータプレート１６で加熱されるウエハ２８の温度均一性を向上できる。 （もっと読む）