【課題】
本発明の目的は、本発明の目的は、高輝度を実現可能な蒸着パターンのディスプレイを得ることができ、マスクの変形を防止することができるマスク、及びマスクを使用して製造するディスプレイの製造方法を提供することである。
【解決手段】
多数の開口４が形成されたプレート５を備えた蒸着マスクにおいて、
前記プレート５は、隣接する前記開口４間に位置する領域が断面凹状を成す凹部６を有することを特徴とする蒸着マスク。 （もっと読む）

【課題】マスク成膜によるパターン形成時の熱負荷によるマスクの熱変形を抑制する。
【解決手段】パターンを形成する基板２の第１面側に配設されたマスク１と、基板２の第２面側からマスク１の温度を制御する複数のペルチェ素子５および冷却板６とを備え、各ペルチェ素子５の冷却力をマスク１の複数の領域ごとにそれぞれ制御する。例えば、成膜手段３に対向するマスク中央部はマスク周辺部より高温となるため、マスク中央部に配設されたペルチェ素子５の冷却力を高めてマスク全面を均一に冷却し、成膜中のマスク１の熱変形によるパターンの位置ずれや形状不良を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】画素の発光中心位置をより正確に配置することが可能な有機ＥＬディスプレイの製造技術およびそれに関連する技術を提供する。
【解決手段】有機ＥＬディスプレイの製造方法は、複数の開口を有するマスクを被処理基板に対して位置決めする工程と、当該マスクを用いた蒸着によって複数の画素のそれぞれに対応する有機膜を形成する工程とを含む。マスクの各開口の中心位置は、それぞれ、対応画素の理想中心位置からマスク内の基準位置側に向けてシフトされている。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子の製造装置において、膜厚の均一性を失うことなく材料利用効率を向上させる。
【解決手段】蒸着源２０と、開口２３ａを有する膜厚補正板２３は、矢印で示すように、基板１に対して相対的にＸ方向へ移動する。膜厚補正板２３は、蒸着源２０と基板１との間に配置され、開口２３ａは、移動方向（Ｘ方向）の開口幅が開口２３ａの端部よりも中央部で狭い開口形状を有する。前記移動方向に交差するＹ方向に複数の蒸着源２０が設けられ、膜厚補正板２３は、複数の蒸着源２０のそれぞれに対応して独立した複数の開口２３ａを有する。 （もっと読む）

【課題】成膜時の基板とマスクを隙間無く良好に密着させる。
【解決手段】成膜面を下向きに配置した基板１０にマスク２０を密着させて、基板１０上に有機ＥＬ素子の有機ＥＬ層を成膜する。基板１０とマスク２０を密着させる前の状態で基板１０のたわみ量がマスク２０のたわみ量よりも大きくなるように設定しておき、マスク２０を基板１０に圧接することでマスク２０を基板１０のたわみ形状に倣わせて密着させ、その状態で蒸着を行う。マグネットや押圧装置を用いることなく、基板１０の自重によるたわみを利用してマスク２０と基板１０を密着させ、パターンずれ等のない高精度なパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクを高いアライメント精度で互いに密着させる。
【解決手段】基板１０の両端を、基板支持部材１１と平面部材１３の間に挟持し、基板１０の中央部を基板押圧部材１２によって凸形状に撓ませる。マスク２０も、マスク置台２１上でマスク押圧部材２２によって基板１０に向かって凸形状に撓ませる。マスク２０と基板１０の面方向のアライメントを行った後、両者を接近させて凸形状部を初期密着させ、基板押圧部材１２およびマスク押圧部材２２を後退させながら、マスク２０と基板１０の全面を互いに密着させる。マスク押圧部材２２は省略してもよい。 （もっと読む）

【課題】気相成膜法により成膜する際に用いられるマスクに付着したアルカリ金属、アルカリ土類金属またはランタノイド系金属のフッ化物のうちの少なくとも１種を、容易かつ確実に除去し得るマスクの再生方法を提供すること。
【解決手段】本発明のマスクの再生方法は、シリコンで構成される部位を有し、アルカリ金属、アルカリ土類金属またはランタノイド系金属のフッ化物のうちの少なくとも１種を気相成膜法により成膜するのに使用されるマスクから、使用後に付着した前記フッ化物を除去してマスクを再生する方法であり、前記フッ化物を、ｐＨ７以下の除去液に接触させることにより除去する除去工程と、マスクを洗浄する洗浄工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 表示領域に渡ってより均一な明るさの発光を得ることができ、表示ムラの少ない表示装置を提供する。
【解決手段】 第１の有機ＥＬ素子における駆動電圧の降下は、第２の有機ＥＬ素子における駆動電圧の降下よりも大きく、
第１の有機ＥＬ素子の有機化合物層の膜厚と、第２の有機ＥＬ素子の有機化合物層の膜厚とが異なり、
第１の有機ＥＬ素子の光取り出し効率が第２の有機ＥＬ素子の光取り出し効率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】優れた寸法精度で、所望の形状をなす開口を有するマスクを得ることができるマスクの製造方法、また、かかる製造方法を用いて形成されたマスク、さらに、このマスクを用いた構造体の製造方法、また、優れた特性を有する発光素子、発光装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のマスクの製造方法は、シリコン単結晶で構成された面方位（１１０）の基板５０Ａに、その厚さ方向に貫通する所定パターンの貫通部５２を形成することにより、マスクを得るものであって、基板５０Ａに異方性エッチング以外の方法で、基板５０Ａにおける貫通部５２の形成予定部位の一部を除去して、欠損部５２Ｂを形成する第１の工程と、ウェットエッチングを用いた異方性エッチングにより、欠損部５２Ｂを拡張しつつ、形成予定部位を除去して、貫通部５２を形成する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 異物によるアノードとカソードとの間の短絡を防止し、暗点の発生を低減することのできる有機電界発光表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の有機電界発光表示装置は、基板１００と、この基板１００上に位置する画素電極１４１と、この画素電極１４１の一部を露出させる開口部１４５ａと画素電極１４１の周辺部の少なくとも一辺に位置するトラップＴとを備えた画素定義膜１４５と、露出された画素電極１４１上に位置して発光層を備えた有機機能膜１５５と、この有機機能膜１５５上に位置する対向電極１６０とを含み、画素電極１４１上にある異物を洗浄時にトラップＴに閉じ込めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】白色有機発光表示装置における有機発光層間の相互干渉を最小化する構造及び方法を提示する。
【解決手段】
白色発光効率が向上し、製造工程が単純な有機発光表示装置が開示されている。有機発光表示装置は複数の画素で構成され、各画素はトランジスタ部、カラーフィルタ部及び有機発光素子部で構成される。トランジスタ部は外部信号を有機発光素子駆動信号に転換し、有機発光素子部はそれぞれ異なる分布面積を有して積層される青色、赤色、緑色の発光層がアノードとカソードから提供される信号によって高純度の白色光を発散し、この白色光がカラーフィルタを通過することによって有機発光表示装置がフルカラーを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】高繊細化に伴う画素領域の微細化、大面積化に伴う基板の大型化によって、蒸着時に用いるマスクの精度とたわみなどによる不良が問題となっている。
【解決手段】回折格子パターン或いは半透膜からなる光強度低減機能を有する補助パターンを設置したフォトマスクまたはレチクルを用いることにより、工程を増やすことなく、表示領域における画素電極（第１の電極とも呼ぶ）上、及び画素電極層周辺に膜厚が異なる部分を有する隔壁を形成する。 （もっと読む）

【課題】光効率が向上した表示装置を提供する。
【解決手段】本発明による表示装置は、絶縁基板上に形成されている薄膜トランジスタと；前記薄膜トランジスタと電気的に接続されている画素電極と；前記画素電極上に形成されている有機層と；前記有機層を囲んでいる隔壁と；前記隔壁上に形成されている反射膜と；前記有機層上に形成されている共通電極とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有機化合物を含む発光素子を製造するための装置および方法に関する。
【解決手段】これらの素子には、有機発光ダイオードが備えられており、ディスプレイまたはかかる発光ダイオードを有する照明素子であってもよい。本発明の目的は、製造のために使用する時間のコストに関する製造経費を低減することである。この場合、既に前処理された基板が連続式真空コーティングプラントにおいてさらに加工される。かかる基板上には、その上方に発光のために適合する有機化合物の少なくとも一つの層が蒸着することが意図されている電極が形成される。蒸着は相違する角度分布を備えて行われる。このためにはシャドーマスクが使用される。蒸着における角度分布は、シャドーマスクから基板までの間隔および／または上部電極および有機物層を蒸着するためのソースの基本圧を変化させることによって適応させることができる。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセント残渣を基板から除去すること。
【解決手段】（i）フッ素含有ガス、必要に応じて酸素含有ガス、さらに必要に応じて添加ガスを含むプロセスガスを供給し、（ii）少なくとも１種のエネルギー源を用いてリモートチャンバ内でプロセスガスを活性化して反応種を供給し、及び（iii）基板の表面を反応種と接触させ、表面から有機エレクトロルミネッセント残渣を揮発及び除去する。 （もっと読む）

【課題】製造工程を簡略化してコストを低減する上、収率を向上させるフルカラー有機ＥＬ表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板３１上に形成された複数の画素は、それぞれ基板３１上に形成され、その上に第１のサブ画素領域４１１、第２のサブ画素領域４１３及び第３のサブ画素領域４１５を有する第１の電極４１と、第１の電極４１上に形成され、第１の有機発光ユニット４３１及び第２の有機発光ユニット４３３を有する有機発光ユニット４３と、有機発光ユニット４３上に形成された第２の電極４５とを備える。第１の有機発光ユニット４３１は、第１のサブ画素領域４１１及び第２のサブ画素領域４１３上に形成される。第２の有機発光ユニット４３３は、第２のサブ画素領域４１３及び第３のサブ画素領域４１５上に形成される。 （もっと読む）

【課題】レセプター基板の画素部の一部分でレセプター基板と転写層との間の接着力を向上させることができ、有機膜のエッジオープン不良を改善することができるレーザー熱転写用マスク及びこれを用いた有機電界発光素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】第１パターン部２０と、第１パターン部の少なくとも１辺の中で頂点を含む一部分に形成される第２パターン部３０とを含み、第２パターン部は８〜８５００μｍ^２の面積を有することを特徴とするレーザ熱転写用マスク１３０が提供される。かかる構成により、基板の画素部の一部分で基板と転写層との間の接着力を向上させることができ、有機膜のエッジオープン不良を改善することができる。 （もっと読む）

蒸発した材料のビームが、反射体の衝突面に衝突して、当該反射体からシャドウマスク内の１以上の開口を通って堆積基板上へと方向が変えられるように、前記蒸発した材料のビームを前記反射体の方向に向けて、パターン化された材料層を形成することを含む、パターン化層の作成方法。
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【課題】有機発光層と有機化合物からなるキャリア輸送層を用いた高効率で、特性劣化の少ない発光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板上に、陽極と、前記陽極と対向する陰極と、前記陽極と陰極の間に設けられた有機化合物からなる発光層と、有機化合物からなるキャリア輸送層を有し、前記発光層と前記キャリア輸送層とが交互に積層されており、前記キャリア輸送層の膜厚は前記発光層の膜厚よりも薄く、前記キャリア輸送層が正孔輸送層の場合には前記発光層は電子輸送性発光層であり、前記キャリア輸送層が電子輸送層の場合には前記発光層は正孔輸送性発光層である。 （もっと読む）

【課題】低分子型有機ＥＬ素子製造の真空蒸着工程においてマスクに付着する種々の有機材料を、１種類の洗浄液で除去することができる、洗浄液組成物および洗浄方法を提供すること。
【解決手段】低分子型有機ＥＬ素子製造時の真空蒸着工程において使用するマスクを、非プロトン性極性溶媒を含む洗浄液組成物を用いて浸漬またはジェット水流により洗浄後、ハイドロフルオロエーテルによってリンスする洗浄方法であって、低分子型有機ＥＬ素子構造が、Ｎ，Ｎ′−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ′−ジフェニル−ベンジジン、銅（ＩＩ）フタロシアニンおよびトリス（８−キノリノラト）アルミニウムを含み、前記非プロトン性極性溶媒が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリジノン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、１、４−ジオキサンおよびシクロヘキサノンからなる群から選択される１種または２種以上である、前記洗浄方法。 （もっと読む）