【課題】成膜中の基板の熱変形による蒸着パターンの位置ズレやエッジのボケを防ぐ。
【解決手段】複数の蒸発源２を有する蒸着源に対して基板５を矢印で示すように相対移動させながら成膜する蒸着装置において、基板５の中央領域の成膜を行う蒸発源２ａを、端部領域の成膜を行う蒸発源２ｂより下流側に配置する。基板５の端部領域の成膜を先行させ、基板５の中央領域の成膜を最後に行うことで、成膜中の基板端部における熱変形を低減する。 （もっと読む）

【課題】マスク本体の撓みを防止すると共に、マスクホルダに対して容易にマスク本体の交換を行うことが可能な蒸着用マスクおよびその製造方法ならびに表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着用マスク１は、マスク本体１０と固定部１１との間にばね部１２を備え、マスク本体１０は、固定部１１およびばね部１２を介してホルダ２０によって保持されている。ばね部１２は、ホルダ２０に対向する側に突出して屈曲した複数の屈曲部１２ａおよび切り込み部１２ｂにより構成されている。固定部１１には固定用孔１１ａが設けられ、この固定用孔１１ａにホルダ２０に設けられた突起部２０ａがはめ込まれている。ばね部１２の弾性により、マスク本体１０に所定の張力が付加されると共に、ホルダ２０に対して溶接や接着により固着させることなく、マスク本体１０が固定される。 （もっと読む）

【課題】膜厚の不均一性が発生しにくい有機ＥＬ発光層を形成する。
【解決手段】成膜用マスク３１０は、スプレーから噴射された有機エレクトロルミネッセンス材料含有液の微粒子を通過させる開口部３２０を有する平面状の板状体である。前記開口部３２０の側壁３２１は、前記微粒子の飛来方向に行くほど対向間隔が狭まる逆テーパ形状である。前記側壁３２１に撥液処理が施されている。成膜用マスク３１０は、磁性物質を含有する材質で形成されている。 （もっと読む）

【課題】被成膜基板に高精度に成膜することができるマスク、マスクの製造方法、電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着マスク２０は、マスク基体２２と、マスク基体２２上に形成されたドライフィルム２３とを有する。マスク基体２２は、シリコン又はシリコン化合物からなる。蒸着マスク２０の製造方法は、まず、マスク基体２２をＭＥＭＳ加工により形成する。次に、開口孔２１ａを有するマスク基体２２上に、熱転写法を用いてドライフィルム２３を転写する。マスク基体２２がシリコンからなるので、熱転写によってマスク基体２２に熱が加わったとしてもマスク基体２２が伸縮（変形）することを抑えることができる。その結果、マスク基体２２にドライフィルム２３を安定した状態で転写させることが可能となり、開口孔２１ｂの形状が変形したり開口孔２１ｂの位置がずれたりすることを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】蒸着法で形成された補色層の機械強度が高く、高い層間密着性を有し、かつ、補色層の色変換色素がプロセスダメージを受けることなく高効率の発光を実現できる、有機発光デバイスを提供する。
【解決手段】透明基板と、光源の光の少なくとも一部を吸収して吸収波長と異なる波長分布を発する補色層と、保護層と、ガスバリア層と、有機ＥＬ素子を含む発光素子であって、補色層および保護層が、蒸着法により透明基板上に不連続にパターニング形成され、補色層と保護層との上下の層が画素中で直接接合する部位を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを製造する蒸着マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着マスクの製造方法において、エッチングにより金属製シート３４に孔２５が形成される。エッチングされる金属製シートは、樹脂製シート３２上に支持された積層体３０として供給される。エッチング後に、積層体の樹脂製シートが除去される。 （もっと読む）

【課題】マスクと被成膜基板との位置合わせ精度を低下しにくいマスクを提供すること。
【解決手段】板状のマスク基板２に、被成膜基板に形成される薄膜パターンに対応する開口部３と、前記被成膜基板との位置合わせに用いるマスクアライメント部４とが形成され、マスクアライメント部４は、開口端面が前記被成膜基板の成膜面を向き、底面の粗さがマスク基板２の上面粗さと異なる凹部である。 （もっと読む）

【課題】極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含み、取り扱い中に蒸着マスクを破損してしまうことを抑制することができる蒸着マスク付シートを提供する。
【解決手段】蒸着マスク付シート６０は、樹脂製シート３２と、前記樹脂製シートと積層された金属製シート３４とを備えている。金属製シート３４には、複数の孔２５が形成されている。前記金属製シート３４は、前記樹脂製シート３２と分離された後に、蒸着マスク２０として用いられるようになる。 （もっと読む）

【課題】透過孔パターンを精度良く形成しつつ、多面取りを実現することが可能な蒸着用マスクの製造方法および蒸着用マスクならびに表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着用マスク１の製造方法は、複数の金属薄膜１０を、張力Ｔを付加しつつ枠体１１に固着させたのちに、各金属薄膜１０に複数の透過孔パターン１０Ａを形成する。透過孔パターン１０Ａは、金属薄膜１０の表面側および裏面側に、フォトレジスト膜の形成、レーザダイレクト露光法によるパターンの描画、フォトレジスト膜の現像、エッチング、フォトレジスト膜の剥離、水洗乾燥の工程をこの順に経て形成する。金属薄膜単体における透過孔１０Ａ−１の寸法精度や位置精度に加え、複数の金属薄膜１０間での透過孔１０Ａ−１の相対的な位置精度が良好に確保される。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンで精度良く成膜することが可能な蒸着用マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着用マスク１の製造方法は、金属薄膜に、複数の通過孔２０Ａ−１をそれぞれ有する複数のパターン領域２０Ａを設けてマスク本体２０を形成する工程と、マスク本体をスクリーンメッシュ３０の中央部に取り付けてコンビネーションマスクを形成する工程と、コンビネーションマスクのマスク本体２０の周囲に応力緩和領域４０を形成したのち、スクリーンメッシュ３０を引っ張りつつ、マスク本体２０の周縁部を、開口１０Ａを有する枠体に対して固着させる張設工程とを含むものである。スクリーンメッシュ３０を引っ張ることで、マスク本体２０に所定の張力が付加され、しわや弛みが生じにくくなる。このとき、スクリーンメッシュ３０に応力緩和領域４０が形成されていることで、パターン領域２０Ａにおける歪みの発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】可撓性基板を用いてパターン形成する場合に、高精度にパターニングを行うことができる蒸着装置及び蒸着方法並びにその方法を用いてパターン形成した層を有する電子素子及び有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】真空槽１２と、蒸着材料を収容して蒸発させる容器３０と、基板保持手段１６，１８と、マスク保持手段２８と、基板保持手段により保持された可撓性基板３６とマスク保持手段により保持されたマスク４０のそれぞれのアライメントマーク３８，４４の位置を測定する位置測定手段３２ａ，３２ｂと、位置測定手段による測定に基づき、基板保持手段により可撓性基板を延伸させてマスクとの位置合わせを行う位置制御手段３４と、を有することを特徴とする蒸着装置１０。可撓性基板を所定の方向に所定の量で延伸させてマスクとの位置合わせを行った後、マスクを介して蒸着材料を所定のパターンに蒸着させる。 （もっと読む）

【課題】高品質の薄膜を形成することができる蒸着装置及び蒸着方法並びに有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着装置２は、基板１２の蒸着面１２ａに、開口パターンを有したマスク１４を配置し、基板１２の蒸着面１２ａに所定のパターンの成膜を行う蒸着装置であって、チャンバ１８と、チャンバ１８内に設けられ、マスク１４の基板１２と接触する第１の面を、基板１２の蒸着面１２ａと対向する位置に、変位させるマスク保持部３６と、マスク保持部３６の作動を制御する機能を有する制御部３８と、を含む。 （もっと読む）

【課題】連続的に生産しても蒸着ずれが小さく、画素内の膜厚分布が良好かつ材料の無駄の少ない真空蒸着方法及び蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１内に蒸着源ユニット１００を固定し、蒸着源の蒸気３を横切るように基板４を移動させる間に、該基板４の所定個所に蒸着源の蒸気３を蒸着する。基板４の蒸着源ユニット１００側に蒸着マスク５を設置し、真空チャンバ１内には複数のローラ１３によるマスクフレーム７の移動手段を有し、マスクフレーム７の蒸着源ユニット１００側の面に対して非接触かつ近接して設けた冷却手段を持つ冷却板１１を該マスクフレーム７が移動する軌道上に設ける。冷却板１１には蒸着源ユニット１００の近傍に部分的に開口部６０を設け、蒸着源ユニット１００の冷却プレート１４の開口部７０を通して蒸着源２で発生した蒸気３を蒸着マスク５及び基板４に吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】有機太陽電池及び有機ＥＬディスプレイ等の有機機能性膜を基板上に塗布印刷等の湿式法により多面付け形成する際に、不必要な膜を除去する膜除去工程を低コスト化、迅速化したパターン膜形成方法及びパターン膜形成装置を提供すること。
【解決手段】基板の一面に形成された溶剤可溶性の有機機能性膜と、キャップ板の一面に配置された１つ以上の所望の形状を有するゴム状リングとを密着させ、有機機能性膜を溶解又は分散させる溶剤を用いて、ゴム状リングの範囲外の有機機能性膜を洗浄除去、乾燥して有機機能性膜を所望の形状にパターン化することを特徴とするパターン膜形成方法。 （もっと読む）

【課題】それぞれの発光色の有機ＥＬ素子ごとに適切な処理条件が異なることから、基板に対して単一の処理を実施しても、基板上における全ての発光色の有機ＥＬ素子について、必ずしも適切な処理が実施できないことに起因して、必ずしも良好な素子特性が得られないという課題の少なくとも一部を解決するための有機ＥＬ装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ装置の製造方法は、複数の有機ＥＬ素子を備え、複数の有機ＥＬ素子の各々の有機ＥＬ素子は、電極と少なくとも一層の発光層とを有し、複数の有機ＥＬ素子は、少なくとも、第１の色の光を射出する有機ＥＬ素子を有する第１のグループと、第１の色とは異なる第２の色の光を射出する有機ＥＬ素子を有する第２のグループと、を含む有機ＥＬ装置の製造方法であって、有機ＥＬ素子が射出する光の色に対応する表面処理を、電極ごとに実施する処理工程を有する。 （もっと読む）

【課題】それぞれの発光色の有機ＥＬ素子ごとに適切な処理条件が異なることから、基板に対して単一の処理を実施しても、基板上における全ての発光色の有機ＥＬ素子について、必ずしも適切な処理が実施できないことに起因して、必ずしも良好な素子特性が得られないという課題の少なくとも一部を解決するための有機ＥＬ装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ装置の製造方法は、複数の有機ＥＬ素子を備え、各々の有機ＥＬ素子は、電極と少なくとも一層の発光層とを有し、複数の有機ＥＬ素子は、少なくとも、第１の色の光を射出する複数の有機ＥＬ素子を有する第１のグループと、第１の色とは異なる第２の色の光を射出する複数の有機ＥＬ素子を有する第２のグループと、を含む有機ＥＬ装置の製造方法であって、有機ＥＬ素子が射出する光の色に対応する表面処理を、電極ごとに実施する処理工程を有する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも有機コーティング材料（ＯＬＥＤ材料）がその上に堆積されたパターニングデバイスの洗浄方法である。
【解決手段】この方法は、パターニングデバイスからコーティング材料をプラズマエッチング処理により除去するための洗浄プラズマを供給する工程を含む。コーティング材料をパターニングデバイスから除去する工程中、パターニングデバイスの温度はパターニングデバイスに損傷を生じさせる臨界温度を超えず、プラズマエッチング速度は少なくとも０．２μｍ／分、特には０．５μｍ／分、特には１μｍ／分、特には２．５μｍ／分、特には５μｍ／分で維持される。パルス洗浄プラズマを発生させるために、パルスエネルギーを供給する。本方法は直接プラズマエッチング法又は遠隔プラズマエッチング法によって実行することが可能である。異なるエッチング法を組み合わせても、連続的に実行してもよい。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子のパターン薄膜を画素内に均一かつ高精細に形成することのできる成膜用マスクを実現する。
【解決手段】蒸着基板にマスク成膜するための開口部１を備えた蒸着用マスクにおいて、蒸着基板側と反対側のマスク部材３の表面及び開口部１の側面１ａに金属膜２を形成する。これにより、開口部１の開口径を金属膜２の厚みＨ２分だけ縮小し、パターン薄膜の高精細化を可能にする。また、マスク部材３の蒸着基板側と反対側の表面のみに金属膜２を形成することで、マスク厚みの増加を抑えながらマスク強度を向上させ、耐久性を高める。 （もっと読む）

【課題】フルカラーのフラットパネルディスプレイとして、高精細化や高開口率化や高信頼性の要求が高まっている。こうした要求は、発光装置の高精細化（画素数の増大）及び小型化に伴う各表示画素ピッチの微細化を進める上で大きな課題となっている。
【解決手段】レーザビームを用いてマスクの開口を通過させ、選択的に有機化合物を含む層の成膜を行う。光吸収層、及び有機化合物を含む材料層を形成した被照射基板と、第１の電極が設けられた被成膜基板とを向かい合わせて配置し、マスクの開口を通過したレーザビームが光吸収層を加熱することによって加熱された領域と重なる位置の有機化合物を蒸発させることで被成膜基板の面上に選択的に成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】蒸着マスクを保持するマスク用フレームにおいて、剛性がありながら軽量で熱膨張の少ないものを提供する。また製造時における変形を極力抑えることができる構造を有するマスク用フレームを提供する。
【解決手段】２５〜１００℃における熱膨張係数が１．１〜８．５×１０^−６／℃の材料で作られた中空断面部材１０１〜１０４を拘束部材１０５ａ、１０５ｂ、１０６ａおよび１０６ｂを介して接合させる。低熱膨張係数の材料を用い、さらに拘束部材１０５ａ、１０５ｂ、１０６ａおよび１０６ｂを用いることで、組み立て時の溶接および蒸着時の加熱による熱変形を抑えることができる。 （もっと読む）