蒸着マスク付シート、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク付シートの製造方法
【課題】極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含み、取り扱い中に蒸着マスクを破損してしまうことを抑制することができる蒸着マスク付シートを提供する。
【解決手段】蒸着マスク付シート６０は、樹脂製シート３２と、前記樹脂製シートと積層された金属製シート３４とを備えている。金属製シート３４には、複数の孔２５が形成されている。前記金属製シート３４は、前記樹脂製シート３２と分離された後に、蒸着マスク２０として用いられるようになる。
【解決手段】蒸着マスク付シート６０は、樹脂製シート３２と、前記樹脂製シートと積層された金属製シート３４とを備えている。金属製シート３４には、複数の孔２５が形成されている。前記金属製シート３４は、前記樹脂製シート３２と分離された後に、蒸着マスク２０として用いられるようになる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着マスクに用いられる蒸着マスク付シートに関する。また、本発明は、蒸着マスク付シートから蒸着マスクを備えた蒸着マスク装置を製造する方法に関する。さらに、本発明は、蒸着マスクに用いられる蒸着マスク付シートを製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、所望のパターンで配列された孔を含む蒸着用マスクを用い、所望のパターンで薄膜を形成する方法が知られている。そして、昨今においては、例えば有機ＥＬ表示装置の製造時において有機材料を基板上に蒸着する場合等、蒸着によって極めて高精細なパターニングを行うことが強く要望されている。
【０００３】
なお、このような蒸着用マスクは、一般的に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。また、エッチングによって金属板に孔を形成する場合、金属板の両方の側の面からエッチングする方法と、金属板の一方の側の面からのみエッチングする方法とがある。
【特許文献１】特開２００４−３９３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、極めて高精細なパターニングを行うために微細な孔が精度良く形成された蒸着マスクを取り扱う場合、例えば蒸着マスクを搬送する場合、蒸着マスクを破損してしまう虞がある。とりわけ、有機ＥＬ表示装置を製造する際に例えば有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクにおいては、同一方向に細長く延びる複数の孔が短ピッチで並べて配置されていることがある。そして、このような蒸着マスクを取り扱う場合、蒸着マスクに作用する力によって、蒸着マスクの孔と孔との間が切断されてしまったり、孔と孔との間を線状に延びる部分同士がからまったりするといった不具合が容易に生じてしまう。
【０００５】
また、エッチングによって作製された蒸着マスクを用いた場合、蒸着マスクが破損されていなくても、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができないという不具合がある。この不具合の原因について調査研究を行ったところ、以下のことが確認された。
【０００６】
フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングにおいては、金属板のうちのレジスト膜で覆われていない領域から浸食が開始される。その後、浸食は、金属板の厚さ方向のみに進むのではなく、金属板の板面に沿った方向にも進む。したがって、エッチングによって先細りした孔が形成されていく。このため、金属板２の両方の側の面からエッチングを行った場合、図１２に示すように、金属板２の厚さ方向の端部以外において孔２ａ内に最も断面積（開孔面積）が小さくなる張り出し部３が形成されるようになる。そして、このような蒸着マスク１を用いて蒸着を行った場合、基板４のうちの張り出し部３の裏側に対応する領域に成膜される蒸着膜５の膜厚は安定しない。この結果、蒸着パターンの縁部がぼやけてしまう（蒸着パターンの輪郭がはっきりしない）。またそもそも、孔内に形成される張り出し部の位置や断面形状を制御すること自体が困難である。以上のことから、金属板を両方の側の面からエッチングした場合、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができない。
【０００７】
一方、金属板を上方側の面のみからエッチング処理した場合、浸食によって形成された先細り孔に、既に浸食に用いられ浸食能力が低くなったエッチング液が残留する。その後、金属板の孔が下方側の面に達した時、それまで孔内に残留していたエッチング液が下方の面から流れ出て、浸食能力の高いフレッシュなエッチング液が形成された孔内に流れ込む。このとき、断面積（開孔面積）が小さくなる孔内の下方側の領域において液圧が高くなり、孔内の下方側の領域がフレッシュなエッチング液により激しく浸食される。この結果、金属板の両側からエッチングした場合と同様に、孔内に張り出し部が形成されてしまう。
【０００８】
また、レジスト膜７を介して金属板６を下方側の面のみからエッチングした場合、図１３に示すように、浸食によって形成された先細り孔６ａが金属板６を貫通すると、上側面の孔周囲に、エッチング液８が残留することがある。結果として、残留したエッチング液によって金属板の上方側の面からも浸食が進み、金属板の両側からエッチングした場合と同様に、孔内に張り出し部が形成されてしまう。
【０００９】
これらのことから、金属板を一方側の面のみからエッチングした場合も、蒸着パターンの縁部がぼやけてしまう（蒸着パターンの輪郭がはっきりしない）。またそもそも、金属板を一方の面側からエッチングする場合、孔が貫通されてエッチング液が流れ込みはじめる際に発生する圧力により、孔の断面形状がだれてしまうことがある。そして、この場合、孔を所望の形状で精度良く形成すること自体が困難となる。この現象は、上述した高精細なパターニングを行うための蒸着マスクにおいて、より顕著となる。以上のことから、金属板を一方側の面のみからエッチングした場合も、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができない。
【００１０】
そして、本発明は、これらの点を考慮してなされたものであって、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含み、取り扱い中に蒸着マスクを破損してしまうことを抑制することができる蒸着マスク付シートを提供することを目的とする。
【００１１】
また、本発明は、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含む蒸着マスク付シートから、蒸着マスクを破損してしまうことなく、蒸着マスクを製造する方法を提供することを目的とする。
【００１２】
さらに、本発明は、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含み、取り扱い中に蒸着マスクを破損してしまうことを抑制することができる蒸着マスク付シートを製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明による蒸着マスク付シートは、樹脂製シートと、前記樹脂製シートと積層された金属製シートであって、複数の孔が形成された金属製シートと、を備え、前記金属製シートは、前記樹脂製シートと分離された後に蒸着マスクとして用いられるようになることを特徴とする。
【００１４】
本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面しない側の面から前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面する側の面に向け、前記金属製シートに形成された孔の断面積は小さくなっていくようにしてもよい。このような蒸着マスク付シートにおいて、前記孔は、前記金属製シートと前記樹脂製シートとが積層された状態で前記金属製シートをエッチングすることにより、形成されるようにしてもよい。
【００１５】
また、本発明による蒸着マスク付シートが、前記金属製シートと固定されたフレームをさらに備えるようにしてもよい。
【００１６】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記樹脂製シートの前記金属製シートに対する接合力は、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射することにより、低下するようになっていてもよい。このような蒸着マスク付シートにおいて、前記樹脂製シートは、基材シートと、前記基材シートと前記金属製シートとを接合するＵＶ剥離層と、を有し、前記ＵＶ剥離層の接合力は、ＵＶ光を照射されると低下するようになっていてもよい。
【００１７】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記複数の孔は一方向に沿って並べて配列され、各孔は前記一方向に直交する他方向に沿って延びているようにしてもよい。
【００１８】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記金属製シートは、所定のパターンで複数の孔が配置された複数の有孔領域と、前記有孔領域間に配置された無孔領域と、を含むようにしてもよい。
【００１９】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記金属製シートのシート面に直交する断面において、前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面しない側における前記孔の端部および前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面する側における前記孔の端部を結ぶ直線と、前記前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面する面と、によってなされる角度が６０°以下であるようにしてもよい。
【００２０】
本発明による蒸着マスク装置の製造方法は、上述した蒸着マスク付シートから蒸着マスク装置を製造する方法であって、前記樹脂製シートを前記金属製シートから分離させて、前記樹脂製シートを前記蒸着マスク付シートから除去する工程を備えることを特徴とする。
【００２１】
本発明による蒸着マスク装置の製造方法において、前記樹脂製シートの前記金属製シートに対する接合力は、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射することにより、低下するようになっており、前記樹脂製シートを除去する工程において、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射して、前記金属製シートと前記樹脂製シートとを分離させるようにしてもよい。
【００２２】
また、本発明による蒸着マスク装置の製造方法において、前記金属製シートに形成された複数の孔は一方向に沿って並べて配列され、各孔は前記一方向に直交する他方向に沿って延びており、前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂製シートが分離されていくようにしてもよい。
【００２３】
さらに、本発明による蒸着マスク装置の製造方法が、前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程をさらに備えるようにしてもよい。金属製シートに前記フレームを取り付ける工程は、樹脂製シートを除去する工程の前に行われても良いし、樹脂製シートを除去する工程の後に行われるようにしてもよい。
【００２４】
本発明による蒸着マスク付シートは、上述した蒸着マスク付シートを製造する方法であって、樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
本発明による蒸着マスク付シートの前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成されるようにしてもよい。
【００２６】
また、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記積層体は、前記他方向に沿って供給されるようにしてもよい。
【００２７】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートの前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成されるようにしてもよい。
【００２８】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートの前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給されるようにしてもよい。
【００２９】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートの前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、一方の面から他方の面に向けて断面積がしだい小さくなっていくとともに他方の面における形状が高精度に形成された蒸着マスクを含んだ蒸着マスク付シートが得られる。そして、蒸着マスク付シートを取り扱う間、例えば蒸着マスク付シートを搬送する間、蒸着マスクをなすようになる多数の孔を形成された金属製シートは、樹脂製シートによって保護される。したがって、搬送等の取り扱い中に、蒸着マスクをなすようになる金属製シートを破損してしまうことを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、図１乃至図１１を参照して本発明による蒸着マスク付シート、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク付シートの製造方法の一実施の形態について説明する。ここで図１乃至図１１は本発明の一実施の形態を説明するための図である。なお、以下の実施の形態では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）に関する例をあげて、蒸着マスク付シート、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク付シートの製造方法を説明する。ただし、このような例に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）に対し、本発明を適用することができる。
【００３２】
最初に、蒸着マスク付シート、並びに、この蒸着マスク付シートから得られる蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例について、主に図１乃至図６を参照して説明する。ここで図１は蒸着マスク付シートを樹脂製シート側から示す平面図であり、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図であり、図３は蒸着マスク付シートを金属製シート側から示す部分平面図であり、図４は図１に示された蒸着マスク付シートから製造され得る蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例を示す斜視図であり、図５は蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。
【００３３】
図１乃至図４に示すように、蒸着マスク付シート６０は、樹脂製シート３２と、樹脂製シート３２に積層された金属製シート３４と、を備えている。金属製シート３４は、矩形状の金属製シートからなり、複数の孔２５を形成されている。また、金属製シート３４は、樹脂製シート３２から分離された後に、蒸着マスク２０をなすようになる。
【００３４】
図１に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０をなすようになる蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４は、孔２５が形成された複数の有孔領域２２と、孔２５が形成されておらず、有孔領域２２の周囲を取り囲む領域を占める無孔領域２３と、を有している。図１に示すように、各有孔領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。
【００３５】
本実施の形態において、複数の有孔領域２２は、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４の一辺と平行な一方向に沿って所定の間隔を空けて配置されるとともに、前記一方向と直交する他方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。
【００３６】
また、図１および図３に示すように、各有孔領域２２に設けられた複数の孔２５は、当該有孔領域２２において、前述の一方向に沿って等間隔をあけて並べて配置されている。また、各孔２５は、前記一方向に直交する他方向と平行に、有孔領域２２の一端から他端まで細長く延びている。また、図２に示すように、金属製シート３４の一方の面３４ａから他方の面３４ｂに向け、金属製シート３４のシート面に沿った断面における各孔２５の断面積がしだい小さくなっていくようになっている。
【００３７】
後に詳述するように、蒸着マスク付シート６０から蒸着マスク装置１０が作製される。とりわけ、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４が、樹脂製シート３２と分離された後に、蒸着マスク装置１０の蒸着マスク２０として用いられるようになる。
【００３８】
ここで、図４乃至図６を参照して、蒸着マスク２０および蒸着マスク装置１０を用いて蒸着を行う方法について説明する。図４に示す例において、蒸着マスク装置１０は、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４からなる蒸着マスク２０と、矩形状の蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられたフレーム１５と、を備えている。蒸着マスク装置１０のフレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように蒸着マスクを張った状態に保持する。蒸着マスク２０とフレーム１５とは、例えばスポット溶接により互いに対して固定されている。
【００３９】
蒸着マスク装置１０は、図５および図６に示すように、蒸着マスク２０がガラス基板４２に対面するようにして、蒸着装置４０内に支持される。蒸着装置４０内には、この蒸着マスク装置１０を挟んだガラス基板４２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）４８を収容するるつぼ４４と、るつぼ４４を加熱するヒータ４６とが配置されている。るつぼ４４内の蒸着材料４８は、ヒータ４６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板４２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の孔２５が形成されており、蒸着材料４８はこの孔２５を介してガラス基板４２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料４８がガラス基板４２の表面に成膜される。
【００４０】
なお、本実施の形態において、一つの有孔領域２２が一つの有機ＥＬディスプレイ装置に対応するようになっている。すなわち、図１に示された蒸着マスク装置１０（蒸着マスク２０）によれば、多面付蒸着が可能となっている。
【００４１】
ところで、図６に示すように、蒸着マスク装置１０は蒸着装置４０に収容された場合、蒸着マスク２０（金属製シート３４）の一方の面２０ａ（３４ａ）が蒸着材料４８を保持したるつぼ４４に対面し、蒸着マスク２０（金属製シート３４）の他方の面２０ｂ（３４ｂ）がガラス基板４２に対面する。すなわち、図６に示すように、蒸着材料４８は次第に断面積が小さくなっていく孔２５を通過してガラス基板４２に付着する。図６に示すように、蒸着材料４８はるつぼ４４からガラス基板４２に向けて直線的に移動せず、ガラス基板４２の板面に対して斜めに移動することもある。このとき、孔２５の断面形状が図６の点線で示す輪郭を有していたとすると、斜めに移動する蒸着材料４８は、蒸着マスク２０に付着してガラス基板４２まで到達しない。
【００４２】
すなわち、蒸着材料の利用効率（成膜効率：ガラス基板４２に付着する割合）を高めて高価な蒸着材料を節約するためには、蒸着マスク２０（金属製シート３４）のシート面に直交する断面（図６の断面）において、一方の面２０ａ（３４ａ）側の孔２５の端部および他方の面２０ｂ（３４ｂ）側の孔２５の端部を結ぶ直線Ｌと、他方の面２０ｂ（３４ｂ）と、によってなされる角度θが小さい方がよい。ただし、ガラス基板４２への垂線に対して大きな角度をなすようにしてガラス基板４２に向けて移動する蒸着材料の割合は少ない。そして、前述の直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θが６０°以下となっていれば、蒸着材料の成膜効率は十分な値となる。また、直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θを３０°未満にしようとすると、孔２５の形成が困難となる一方で、その困難性に見合った蒸着材料の成膜効率の向上は得られない。すなわち、直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θは３０°以上６０°以下とすることが好ましい。
【００４３】
なお、角度θを小さくしていくと、図６に二点鎖線で示すように、隣り合う孔２５の壁面同士が接続されるようになる。しかしながら、蒸着マスク２０（金属製シート）の強度を考慮すると、隣り合う孔２５の壁面同士は接続されていないことが好ましく、一方の面２０ａにおいて隣り合う孔２５の間に５μｍ以上の平坦な面が形成されていることがさらに好ましい。
【００４４】
すなわち、直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θは、一方の面２０ａにおいて孔２５の間に５μｍ以上の平坦な面が形成されるようになる角度以上であって、６０度以下であることが好ましい。
【００４５】
ところで、上述したように、本実施の形態では、孔２５が各有孔領域２２において等間隔に配置されている。一例として、蒸着マスク付シート６０が携帯電話やデジタルカメラ等のディスプレイ（２〜３インチ程度）を作製するための蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）に用いられる場合、孔２５の配列ピッチＰ（図３参照）は、８４μｍ（３００ｐｐｉ）以上２５４μｍ（１００ｐｐｉ）以下程度とすることができる。なお、カラー表示を行いたい場合には、孔２５の配列方向（前述の一方向）に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板４２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。また、蒸着マスク付シート６０が携帯電話のディスプレイを作製するための蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）に用いられる場合、各孔２５の配列方向（上述の一方向）に沿った幅（スリット幅）Ｗは、２８μｍ以上８４μｍ以下程度とすることができる。
【００４６】
また、蒸着マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置４０の内部に保持される。したがって、蒸着マスク２０をなすようになる蒸着マスク付シート６０の金属製シート６０、および、蒸着マスク装置６０に用いられるフレーム１５は、撓みや熱応力の発生を防止するため、熱膨張率が低い同一の材料によって作製されていることが好ましい。このような材料として、例えば、３６％Ｎｉインバー材を用いることができる。ただし、これに限られず、ステンレス、銅、鉄、アルミニウムからなるシートを金属製シート３４として用いることも可能である。
【００４７】
一方、蒸着マスク付シート６０の樹脂製シート３２としては、例えば、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有するポリエチレンテレフタレートやポリプロピレンからなるシートを用いることができる。本実施の形態においては、ＵＶ光を照射されると金属製シート３４に対する接合力が低下するようになされた樹脂製シート３２が用いられている。具体的には、図２に示すように、樹脂製シート３２が、ポリエチレンテレフタレートからなる基材シート３２ａと、基材シート３２ａ上に積層されるとともに金属製シート３４と対面するＵＶ剥離層３２ｂと、を有するようにすることができる。ここでＵＶ剥離層３２ｂとは、当初は粘着力を有し、基材シート３２ａと金属製シート３４とを接着するものの、ＵＶ光を照射されると照射された部分の粘着力が低下するようになっている層である。例えば、ＵＶ光が照射されると、照射された部分が硬化して金属製シート３４に対する接合力が低下するようになっている。このようなＵＶ剥離層３２ｂは、例えば、アクリル系ＵＶ再剥離型接着剤から形成することができる。
【００４８】
次に、以上のような構成からなる蒸着マスク付シート６０を用いて蒸着マスク装置１０を製造する方法について、主に図７を参照して説明する。
【００４９】
図７に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク装置の製造方法は、樹脂製シート３２と樹脂製シート３２に積層された孔形成済みの金属製シート３４とを含む蒸着マスク付シート６０を準備する工程と、樹脂製シート３２を金属製シート３４から分離させて樹脂製シート３２を蒸着マスク付シート６０から除去する工程と、金属製シート３４をフレーム１５に取り付ける工程と、を含んでいる。各工程について、以下においてさらに詳細に説明する。
【００５０】
まず、準備された蒸着マスク付シート６０が除去装置（除去手段）５４へ供給される。図７に示す例において、蒸着マスク付シート６０は、金属製シート３４が下方に位置するとともに樹脂製シート３２が上方に位置するようにして、供給される。また、図７に示すように、本実施の形態における除去装置５４は、ＵＶ光照射手段５５を有している。ＵＶ光照射手段５５は、蒸着マスク付シート６０の移動経路に沿って設けられ、蒸着マスク付シート６０を樹脂製シート３２側から覆うシェード５５ａと、シェード５５ａ内に配置されたＵＶ光源５５ｂと、を有している。そして、搬送される蒸着マスク付シート６０は樹脂製シート３２側からＵＶ光を照射され、樹脂製シート３２の基材シート３２ａを透過するＵＶ光によって、基材シート３２ａと金属製シート３４（蒸着マスク２０）とを接着するＵＶ剥離層３２ｂの接着力が大幅に弱められる。この結果、蒸着マスク付シート６０をなす樹脂製シート３２と金属製シート３４（蒸着マスク２０）とが分離可能となる。そして、図７に示すように、蒸着マスク付シート６０をローラ５７によって案内しながら、樹脂製シート３２が金属製シート３４から徐々に剥がされていく。
【００５１】
なお、樹脂製シート３２を金属製シート３４から引き剥がす方向が、金属製シート３４に形成された孔２５が延びる方向（上述した他方向）と平行であることが好ましい。このような方向に沿って樹脂製シート３２を金属製シート３４から分離させる場合、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。
【００５２】
このようにして、樹脂製シート３２から分離された金属製シート３４からなる蒸着マスク２０が得られる。その後、得られた蒸着マスク２０に対してフレーム１５が固定されていく。図７に示す例においては、スポット溶接装置５９によって、フレーム１５が蒸着マスク２０に対して固定される。
【００５３】
以上のようにして、蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０に固定されたフレーム１５と、からなる蒸着マスク装置１０が得られる。
【００５４】
なお、以上のような蒸着マスク装置の製造方法において、蒸着マスク付シート６０および蒸着マスク２０（金属製シート３４）の搬送方向が、金属製シート３４に形成された孔２５が延びる方向（上述した他方向）と平行であることが好ましい。このような方向に沿って蒸着マスク付シート６０および蒸着マスク２０（金属製シート３４）を搬送する場合、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。
【００５５】
以上のような方法によれば、蒸着マスク付シート６０から蒸着マスク装置１０を極めて容易に製造することができる。また、樹脂製シート３２を金属製シートから引き剥がす方向、および、蒸着マスク付シート６０および蒸着マスク２０（金属製シート３４）の搬送方向を、金属製シート３４に形成された孔２５が延びる方向（上述した他方向）と揃えることにより、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。すなわち、いったん金属製シート３４に形成された微細な孔２５の形状を、その後の取り扱い中において、損なってしまうといった不具合を回避することができる。
【００５６】
次に、蒸着マスク付シートを製造する方法について、主に図８乃至図１０を参照して説明する。
【００５７】
図８に示すように、本実施の形態における蒸着マスクの製造方法は、樹脂製シート３２と樹脂製シート３２上に積層された金属製シート３４とを有する積層体３０を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを積層体３０の金属製シート３４に施して、金属製シート３４に多数の孔２５を形成する工程と、エッチング工程の後に、積層体３０を所定の長さに切断する工程と、を含んでいる。各工程について、以下においてさらに詳細に説明する。
【００５８】
図８に示すように、本実施の形態においては、積層体３０を供給コア３１に巻き取った積層体の巻体２９が準備される。そして、この供給コア３１が回転して巻体２９が巻き戻されることにより、図８に示すように帯状に延びる積層体３０が供給される。ここで、積層体３０は、金属製シート３４が下方に位置するとともに樹脂製シート３２が上方に位置するようにして、供給される。このような巻体２９は安価に入手可能であり、しかも取り扱い上の都合が非常に良い。
【００５９】
なお、積層体３０の金属製シート３４は孔２５を形成されて蒸着マスク２０をなすようになる。したがって、上述したように、金属製シート３４は、例えば３６％Ｎｉインバー材からなる。また、樹脂製シート３２は、上述したように、例えば、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有するポリエチレンテレフタレートやポリプロピレンからなる。ただし、金属製シート３４から樹脂製シート３２を容易に剥離させることができるようにするには、上述したように、ＵＶ光を照射されると金属製シート３４に対する接合力が低下するようになされた樹脂製シート３２を用いることが好ましい。
【００６０】
供給された積層体３０はエッチング装置（エッチング手段）５０によってエッチング処理を施される。具体的には、まず、積層体３０の金属製シート３４の面上（図９の紙面における下側の面上）に感光性レジスト材料を塗布し、金属製シート３４上にレジスト膜３６を形成する。次に、レジスト膜３６のうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板３７を準備し、ガラス乾板３７をレジスト膜３６上に配置する。
【００６１】
その後、図９に示すように、レジスト膜３６をガラス乾板３７越しに露光し、さらにレジスト膜３６を現像する。以上のようにして、積層体３０の金属製シート３４上にレジストパターン３６ａが形成される。
【００６２】
なお、ガラス乾板３７のうちの除去すべきレジスト膜３６に対面する領域を黒色にしておき、露光光として可視光を用いるようにしてもよい。この場合、黒色部分で可視光が吸収されることにより、レジスト膜３６の除去すべき領域には光が入射せず、レジスト膜３６が金属製シート３４上に定着しない。一方、レジスト膜３６の除去すべきでない領域には光が入射して、当該領域におけるレジスト膜３６が金属製シート３４上に定着する。定着していないレジスト膜３６は、例えば湯洗によって除去される。
【００６３】
次に、図１０に示すように、金属製シート３４上に形成されたレジストパターン３６ａをマスクとして、積層体３０をエッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）３８でエッチングする。本実施の形態において、エッチング液３８は、搬送される積層体３０の下方に配置されたエッチング装置５０のノズル５１から、レジストパターン３６ａ越しに金属製シート３４の一方の面３４ａに向けて噴射される。このとき、図１０に点線で示すように、金属製シート３４のうちのレジストパターン３６ａによって覆われていない領域で、エッチング液による浸食が始まる。その後、浸食は、金属製シート３４の厚み方向だけでなく、金属製シート３４のシート面に沿った方向にも進んでいく。以上のようにして、エッチング液による浸食が金属製シート３４の一方の面３４ａから他方の面３４ｂまで進み、金属製シート３４を貫通する孔２５が形成される。
【００６４】
その後、積層体３０上のレジストパターン３６ａを除去し、さらに積層体３０を水洗いする。このようにして、樹脂製シート３２と、多数の孔２５を形成された金属製シート３４と、からなる蒸着マスク付シート６０が得られる。
【００６５】
ところで、樹脂製シート３２が設けられていなかったとすると、上述したように、金属製シート３４が貫通されて孔２５が形成された後に、金属製シート３４の他方の面３４ｂ側にエッチング液が滞留してしまい、孔２５の形状および大きさが安定しないといった不具合が生じ得る。しかしながら、本実施の形態によれば、金属製シート３４を貫通する孔２５が形成されたとしても、この孔２５は上方側を樹脂製シート３２によって覆われている。したがって、従来の方法において生じていた不具合を確実に回避することができる。この結果、金属製シート３４は一方の面３４ａ側のみから浸食が進み、金属製シート３４に形成された孔２５の断面積は、一方の面３４ａ（２０ａ）から他方の面３４ｂ（２０ｂ）に向けて徐々に小さくなっていくようになる。また、所望の開孔面積（平面視における孔２５の面積）を有した孔２５を精度良く形成することができる。
【００６６】
その後、このようにして得られた蒸着マスク付シート６０は、当該蒸着マスク付シート６０を狭持した状態で回転する一対の搬送ローラ５２，５２により、切断装置（切断手段）５３へ搬送される。なお、この搬送ローラ５２，５２の回転によって蒸着マスク付シート６０および積層体３０に作用するテンション（引っ張り力）を介し、上述した供給コア３１が回転させられ、巻体２９から積層体３０が供給されるようになっている。
【００６７】
また、本実施の形態においては、金属製シート３４が樹脂製シート３２によって支持および補強されている。したがって、積層体３０および蒸着マスク付シート６０の搬送時に、孔２５と孔２５との間に作用する応力によって、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりするといった不具合を格段に抑制することができる。この結果、エッチング工程において金属製シート３４に形成された微細な孔２５の形状をその後に損なってしまうといった不具合を回避することができる。
【００６８】
なお、上述したように配列方向と直交する方向に沿って細長く延びる孔２５を形成する場合、孔２５が延びる方向（上述した他方向）と、積層体３０が供給される方向（積層体および蒸着マスク付シート６０が搬送される方向）とが略平行となっていることが好ましい。この場合、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。
【００６９】
このようにして切断装置５３へ搬送された蒸着マスク付シート６０は、金属製シート３４が一枚の蒸着マスク２０の長さと同じ長さを有するように、順次切断されていく。以上のようにして枚葉状の蒸着マスク付シート６０が順次作製されていく。
【００７０】
以上のように本実施の形態によれば、蒸着マスク２０をなすようになる蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４は、樹脂製シート３２に積層され、樹脂製シート３２によって保護されている。したがって、蒸着マスク付シート６０を取り扱う際、例えば蒸着マスク付シートを搬送する際に、蒸着マスク付シート６０のうちの金属製シート３４に作用するテンション（引っ張り力）を著しく低下させ、金属製シート３４に形成された微細な孔２５が破損してしまうことを効果的に防止することができる。
【００７１】
また、樹脂製シート３２上に積層された金属製シート３４に対して孔２５を形成していくことができる。したがって、金属製シート３４を一方の面３４ａ側からのみエッチングして、金属製シート３４を貫通する孔２５を形成することができる。この場合、孔２５は金属製シート３４を貫通するものの、金属製シート３４の他方の面３４ｂ側に位置する孔２５の端部は、樹脂製シート３２によって覆われている。すなわち、孔２５は積層体３０を貫通していないので、上述した従来の不具合を回避することができる。これにより、一方の面３４ａ（２０ａ）から他方の面３４ｂ（２０ｂ）に向けてしだいに断面積が小さくなっていく孔２５を金属製シート３４に形成することができる。また、高精細なパターンで開孔した蒸着マスク２０を精度良く作製することもできる。
【００７２】
そして、この蒸着マスク付シート６０から樹脂製シート３２を取り除くことによって、金属製シート３４からなる蒸着マスク２０を容易に作製することができる。このようにして得られた蒸着マスク２０、および、この蒸着マスク２０を用いた蒸着マスク装置１０によれば、高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。したがって、このようにして得られた蒸着マスク２０および蒸着マスク装置１０は、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に例えば有機発光材料を所望のパターンでガラス基板４２上にパターニングするために用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）に非常に適している。
【００７３】
なお、上述した実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。以下、変形例の一例について説明する。
【００７４】
上述した実施の形態においては、蒸着マスク装置１０を製造する際に、樹脂製シート３２にＵＶ光を照射して、樹脂製シート３２を積層体３０から除去する例を示したが、樹脂製シート３２の除去方法はこれに限られない。例えば、積層体３０を加熱炉（除去手段）に送り込み、積層体３０の樹脂製シート３２を燃焼させて、積層体３０から樹脂製シート３２を除去するようにしてもよい。樹脂製シート３２を燃焼させて除去する場合、簡易な装置を用いた簡易な方法により、金属製シート３４（蒸着マスク２０）に形成された孔２５に影響を及ぼすことなく、金属製シート３４から樹脂製シート３２を分離させることができる。なお、樹脂製シート３２を燃焼させて除去する場合、ＵＶ光を照射されることによって金属製シート３４に対する接合力が低下するようになされた樹脂製シート３２を用いる必要はない。
【００７５】
また、上述した実施の形態においては、蒸着マスク付シート６０を製造する際に、樹脂製シート３２と金属製シート３４とが予め積層された積層体３０を準備して供給する例を示したが、これに限られない。例えば、帯状に延びる金属製シート３４を供給するとともに帯状に延びる樹脂製シート３２を供給し、供給される金属製シート３４と樹脂製シート３２とを積層して積層体３０を作製し、順次作製されていく積層体３０に対して上述した処理を施し、蒸着マスク付シート６０を作製していくようにしてもよい。あるいは、帯状に延びる金属製シート３４を供給するとともに供給される金属製シート３４上に枚葉状の樹脂製シート３２を積層していき、金属製シート３４のうちの枚葉状の樹脂製シート３２を積層された部分（積層体３０）に対して上述した処理を順次施し、蒸着マスク付シート６０を作製していくようにしてもよい。あるいは、帯状に延びる樹脂製シート３２を供給するとともに供給される樹脂製シート３２上に枚葉状の金属製シート３４を積層していき、樹脂製シート３４上に積層された枚葉状の金属製シート３４に対して上述した処理を順次施し、蒸着マスク付シート６０を作製していくようにしてもよい。
【００７６】
さらに、上述した実施の形態において、蒸着マスク付シート６０を製造する際に、金属製シート３４に孔２５を形成した後に、金属製シート３４を切断装置５３によって所定の長さに切断する例を示したが、これに限られない。例えば、金属製シート３４を切断する工程を、金属製シート３４に孔２５を形成する前に行ってもよい。
【００７７】
さらに、上述した実施の形態において、蒸着マスク付シート６０を製造する際に、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４が蒸着マスク２０一枚分の長さと同じ長さを有するように、蒸着マスク付シート６０を切断する例を示したがこれに限られない。例えば、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４が蒸着マスク２０一枚分の長さよりも長い長さ（例えば、蒸着マスク２０二枚分の長さ）を有するように、蒸着マスク付シート６０を切断するようにしてもよい。また、図１１に示すように、帯状に延びる蒸着マスク付シート６０を切断することなく、巻取コア６１に巻き取り、蒸着マスク付シート６０の巻体６０ａとして取り扱う（出荷および搬送等）ようにしてもよい。さらに、蒸着マスク付シート６０全体を切断することに代え、樹脂製シート３２を切断しきらない程度に積層体３０をハーフカットして金属製シート３４のみを切断するようにしてもよい。さらに、エッチングによって孔２５を形成する工程中に、金属製シート３４を所定の長さに縁切りするようにエッチングしてもよい。すなわち、エッチングによって孔２５を形成する際に、エッチングにより金属製シート３４を所定の長さに分離させるようにしてもよい。この場合、別途に金属製シート３４を所定の長さに切断する手間を省くことができる。
【００７８】
さらに、上述した実施の形態においては、蒸着マスク付シート６０から蒸着マスク装置１０を製造する際に、樹脂製シート３２から分離された金属製シート３４（蒸着マスク２０）へフレーム１５を取り付ける例を示したが、これに限られない。例えば、樹脂製シート３２から分離される前に、金属製シート３４（蒸着マスク２０）へフレーム１５を取り付けるようにしてもよい。また、蒸着マスク付シート６０を製造する際に、金属製シート３４へフレーム１５を取り付ける工程を設け、フレーム１５を取り付けられた蒸着マスク付シート６０としてとして取り扱う（出荷および搬送等）ようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】図１は、本発明による蒸着マスク付シートの一実施の形態を示す上面図である。
【図２】図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図３は、図１に示された蒸着マスク付シートの部分下面図である。
【図４】図４は、図１に示された蒸着マスク付シートから製造され得る蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例を示す斜視図である。
【図５】図５は、蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。
【図６】図６は、蒸着マスクの作用を説明するための図である。
【図７】図７は、本発明による蒸着マスク装置の製造方法の一実施の形態を説明するための図であって、図１に示された蒸着マスク付シートから蒸着マスクおよび蒸着マスク装置を製造する方法を説明するための図である。
【図８】図８は、本発明による蒸着マスク付シートの製造方法の一実施の形態を説明するための図であって、図１に示された蒸着マスク付シートを製造する方法を説明するための図である。
【図９】図９は、積層体（金属製シート）にレジストパターンを形成する方法を説明するための図である。
【図１０】図１０は、積層体（金属製シート）をエッチングする方法を説明するための図である。
【図１１】図１１は、図８に対応する図であって、蒸着マスク付シートを製造する方法の一変形例を説明するための図である。
【図１２】図１２は、図６に対応する図であって、両側からエッチングされた金属板からなる蒸着マスクを用いて蒸着する方法を説明するための図である。
【図１３】図１３は、図１０に対応する図であって、下方側の面から金属板をエッチングして蒸着マスクを製造する方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８０】
１０ 蒸着マスク装置
１５ フレーム
２０ 蒸着マスク
２０ａ 一方の面
２０ｂ 他方の面
２２ 有孔領域
２３ 無孔領域
２５ 孔
２９ 巻体
３０ 積層体
３２ 樹脂製シート
３４ 金属製シート
３４ａ 一方の面
３４ｂ 他方の面
６０ 蒸着マスク付シート
Ｌ 直線
θ 角度
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着マスクに用いられる蒸着マスク付シートに関する。また、本発明は、蒸着マスク付シートから蒸着マスクを備えた蒸着マスク装置を製造する方法に関する。さらに、本発明は、蒸着マスクに用いられる蒸着マスク付シートを製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、所望のパターンで配列された孔を含む蒸着用マスクを用い、所望のパターンで薄膜を形成する方法が知られている。そして、昨今においては、例えば有機ＥＬ表示装置の製造時において有機材料を基板上に蒸着する場合等、蒸着によって極めて高精細なパターニングを行うことが強く要望されている。
【０００３】
なお、このような蒸着用マスクは、一般的に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。また、エッチングによって金属板に孔を形成する場合、金属板の両方の側の面からエッチングする方法と、金属板の一方の側の面からのみエッチングする方法とがある。
【特許文献１】特開２００４−３９３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、極めて高精細なパターニングを行うために微細な孔が精度良く形成された蒸着マスクを取り扱う場合、例えば蒸着マスクを搬送する場合、蒸着マスクを破損してしまう虞がある。とりわけ、有機ＥＬ表示装置を製造する際に例えば有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクにおいては、同一方向に細長く延びる複数の孔が短ピッチで並べて配置されていることがある。そして、このような蒸着マスクを取り扱う場合、蒸着マスクに作用する力によって、蒸着マスクの孔と孔との間が切断されてしまったり、孔と孔との間を線状に延びる部分同士がからまったりするといった不具合が容易に生じてしまう。
【０００５】
また、エッチングによって作製された蒸着マスクを用いた場合、蒸着マスクが破損されていなくても、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができないという不具合がある。この不具合の原因について調査研究を行ったところ、以下のことが確認された。
【０００６】
フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングにおいては、金属板のうちのレジスト膜で覆われていない領域から浸食が開始される。その後、浸食は、金属板の厚さ方向のみに進むのではなく、金属板の板面に沿った方向にも進む。したがって、エッチングによって先細りした孔が形成されていく。このため、金属板２の両方の側の面からエッチングを行った場合、図１２に示すように、金属板２の厚さ方向の端部以外において孔２ａ内に最も断面積（開孔面積）が小さくなる張り出し部３が形成されるようになる。そして、このような蒸着マスク１を用いて蒸着を行った場合、基板４のうちの張り出し部３の裏側に対応する領域に成膜される蒸着膜５の膜厚は安定しない。この結果、蒸着パターンの縁部がぼやけてしまう（蒸着パターンの輪郭がはっきりしない）。またそもそも、孔内に形成される張り出し部の位置や断面形状を制御すること自体が困難である。以上のことから、金属板を両方の側の面からエッチングした場合、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができない。
【０００７】
一方、金属板を上方側の面のみからエッチング処理した場合、浸食によって形成された先細り孔に、既に浸食に用いられ浸食能力が低くなったエッチング液が残留する。その後、金属板の孔が下方側の面に達した時、それまで孔内に残留していたエッチング液が下方の面から流れ出て、浸食能力の高いフレッシュなエッチング液が形成された孔内に流れ込む。このとき、断面積（開孔面積）が小さくなる孔内の下方側の領域において液圧が高くなり、孔内の下方側の領域がフレッシュなエッチング液により激しく浸食される。この結果、金属板の両側からエッチングした場合と同様に、孔内に張り出し部が形成されてしまう。
【０００８】
また、レジスト膜７を介して金属板６を下方側の面のみからエッチングした場合、図１３に示すように、浸食によって形成された先細り孔６ａが金属板６を貫通すると、上側面の孔周囲に、エッチング液８が残留することがある。結果として、残留したエッチング液によって金属板の上方側の面からも浸食が進み、金属板の両側からエッチングした場合と同様に、孔内に張り出し部が形成されてしまう。
【０００９】
これらのことから、金属板を一方側の面のみからエッチングした場合も、蒸着パターンの縁部がぼやけてしまう（蒸着パターンの輪郭がはっきりしない）。またそもそも、金属板を一方の面側からエッチングする場合、孔が貫通されてエッチング液が流れ込みはじめる際に発生する圧力により、孔の断面形状がだれてしまうことがある。そして、この場合、孔を所望の形状で精度良く形成すること自体が困難となる。この現象は、上述した高精細なパターニングを行うための蒸着マスクにおいて、より顕著となる。以上のことから、金属板を一方側の面のみからエッチングした場合も、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができない。
【００１０】
そして、本発明は、これらの点を考慮してなされたものであって、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含み、取り扱い中に蒸着マスクを破損してしまうことを抑制することができる蒸着マスク付シートを提供することを目的とする。
【００１１】
また、本発明は、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含む蒸着マスク付シートから、蒸着マスクを破損してしまうことなく、蒸着マスクを製造する方法を提供することを目的とする。
【００１２】
さらに、本発明は、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含み、取り扱い中に蒸着マスクを破損してしまうことを抑制することができる蒸着マスク付シートを製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明による蒸着マスク付シートは、樹脂製シートと、前記樹脂製シートと積層された金属製シートであって、複数の孔が形成された金属製シートと、を備え、前記金属製シートは、前記樹脂製シートと分離された後に蒸着マスクとして用いられるようになることを特徴とする。
【００１４】
本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面しない側の面から前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面する側の面に向け、前記金属製シートに形成された孔の断面積は小さくなっていくようにしてもよい。このような蒸着マスク付シートにおいて、前記孔は、前記金属製シートと前記樹脂製シートとが積層された状態で前記金属製シートをエッチングすることにより、形成されるようにしてもよい。
【００１５】
また、本発明による蒸着マスク付シートが、前記金属製シートと固定されたフレームをさらに備えるようにしてもよい。
【００１６】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記樹脂製シートの前記金属製シートに対する接合力は、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射することにより、低下するようになっていてもよい。このような蒸着マスク付シートにおいて、前記樹脂製シートは、基材シートと、前記基材シートと前記金属製シートとを接合するＵＶ剥離層と、を有し、前記ＵＶ剥離層の接合力は、ＵＶ光を照射されると低下するようになっていてもよい。
【００１７】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記複数の孔は一方向に沿って並べて配列され、各孔は前記一方向に直交する他方向に沿って延びているようにしてもよい。
【００１８】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記金属製シートは、所定のパターンで複数の孔が配置された複数の有孔領域と、前記有孔領域間に配置された無孔領域と、を含むようにしてもよい。
【００１９】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記金属製シートのシート面に直交する断面において、前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面しない側における前記孔の端部および前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面する側における前記孔の端部を結ぶ直線と、前記前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面する面と、によってなされる角度が６０°以下であるようにしてもよい。
【００２０】
本発明による蒸着マスク装置の製造方法は、上述した蒸着マスク付シートから蒸着マスク装置を製造する方法であって、前記樹脂製シートを前記金属製シートから分離させて、前記樹脂製シートを前記蒸着マスク付シートから除去する工程を備えることを特徴とする。
【００２１】
本発明による蒸着マスク装置の製造方法において、前記樹脂製シートの前記金属製シートに対する接合力は、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射することにより、低下するようになっており、前記樹脂製シートを除去する工程において、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射して、前記金属製シートと前記樹脂製シートとを分離させるようにしてもよい。
【００２２】
また、本発明による蒸着マスク装置の製造方法において、前記金属製シートに形成された複数の孔は一方向に沿って並べて配列され、各孔は前記一方向に直交する他方向に沿って延びており、前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂製シートが分離されていくようにしてもよい。
【００２３】
さらに、本発明による蒸着マスク装置の製造方法が、前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程をさらに備えるようにしてもよい。金属製シートに前記フレームを取り付ける工程は、樹脂製シートを除去する工程の前に行われても良いし、樹脂製シートを除去する工程の後に行われるようにしてもよい。
【００２４】
本発明による蒸着マスク付シートは、上述した蒸着マスク付シートを製造する方法であって、樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
本発明による蒸着マスク付シートの前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成されるようにしてもよい。
【００２６】
また、本発明による蒸着マスク付シートにおいて、前記積層体は、前記他方向に沿って供給されるようにしてもよい。
【００２７】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートの前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成されるようにしてもよい。
【００２８】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートの前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給されるようにしてもよい。
【００２９】
さらに、本発明による蒸着マスク付シートの前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、一方の面から他方の面に向けて断面積がしだい小さくなっていくとともに他方の面における形状が高精度に形成された蒸着マスクを含んだ蒸着マスク付シートが得られる。そして、蒸着マスク付シートを取り扱う間、例えば蒸着マスク付シートを搬送する間、蒸着マスクをなすようになる多数の孔を形成された金属製シートは、樹脂製シートによって保護される。したがって、搬送等の取り扱い中に、蒸着マスクをなすようになる金属製シートを破損してしまうことを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、図１乃至図１１を参照して本発明による蒸着マスク付シート、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク付シートの製造方法の一実施の形態について説明する。ここで図１乃至図１１は本発明の一実施の形態を説明するための図である。なお、以下の実施の形態では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）に関する例をあげて、蒸着マスク付シート、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク付シートの製造方法を説明する。ただし、このような例に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）に対し、本発明を適用することができる。
【００３２】
最初に、蒸着マスク付シート、並びに、この蒸着マスク付シートから得られる蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例について、主に図１乃至図６を参照して説明する。ここで図１は蒸着マスク付シートを樹脂製シート側から示す平面図であり、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図であり、図３は蒸着マスク付シートを金属製シート側から示す部分平面図であり、図４は図１に示された蒸着マスク付シートから製造され得る蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例を示す斜視図であり、図５は蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。
【００３３】
図１乃至図４に示すように、蒸着マスク付シート６０は、樹脂製シート３２と、樹脂製シート３２に積層された金属製シート３４と、を備えている。金属製シート３４は、矩形状の金属製シートからなり、複数の孔２５を形成されている。また、金属製シート３４は、樹脂製シート３２から分離された後に、蒸着マスク２０をなすようになる。
【００３４】
図１に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０をなすようになる蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４は、孔２５が形成された複数の有孔領域２２と、孔２５が形成されておらず、有孔領域２２の周囲を取り囲む領域を占める無孔領域２３と、を有している。図１に示すように、各有孔領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。
【００３５】
本実施の形態において、複数の有孔領域２２は、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４の一辺と平行な一方向に沿って所定の間隔を空けて配置されるとともに、前記一方向と直交する他方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。
【００３６】
また、図１および図３に示すように、各有孔領域２２に設けられた複数の孔２５は、当該有孔領域２２において、前述の一方向に沿って等間隔をあけて並べて配置されている。また、各孔２５は、前記一方向に直交する他方向と平行に、有孔領域２２の一端から他端まで細長く延びている。また、図２に示すように、金属製シート３４の一方の面３４ａから他方の面３４ｂに向け、金属製シート３４のシート面に沿った断面における各孔２５の断面積がしだい小さくなっていくようになっている。
【００３７】
後に詳述するように、蒸着マスク付シート６０から蒸着マスク装置１０が作製される。とりわけ、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４が、樹脂製シート３２と分離された後に、蒸着マスク装置１０の蒸着マスク２０として用いられるようになる。
【００３８】
ここで、図４乃至図６を参照して、蒸着マスク２０および蒸着マスク装置１０を用いて蒸着を行う方法について説明する。図４に示す例において、蒸着マスク装置１０は、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４からなる蒸着マスク２０と、矩形状の蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられたフレーム１５と、を備えている。蒸着マスク装置１０のフレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように蒸着マスクを張った状態に保持する。蒸着マスク２０とフレーム１５とは、例えばスポット溶接により互いに対して固定されている。
【００３９】
蒸着マスク装置１０は、図５および図６に示すように、蒸着マスク２０がガラス基板４２に対面するようにして、蒸着装置４０内に支持される。蒸着装置４０内には、この蒸着マスク装置１０を挟んだガラス基板４２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）４８を収容するるつぼ４４と、るつぼ４４を加熱するヒータ４６とが配置されている。るつぼ４４内の蒸着材料４８は、ヒータ４６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板４２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の孔２５が形成されており、蒸着材料４８はこの孔２５を介してガラス基板４２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料４８がガラス基板４２の表面に成膜される。
【００４０】
なお、本実施の形態において、一つの有孔領域２２が一つの有機ＥＬディスプレイ装置に対応するようになっている。すなわち、図１に示された蒸着マスク装置１０（蒸着マスク２０）によれば、多面付蒸着が可能となっている。
【００４１】
ところで、図６に示すように、蒸着マスク装置１０は蒸着装置４０に収容された場合、蒸着マスク２０（金属製シート３４）の一方の面２０ａ（３４ａ）が蒸着材料４８を保持したるつぼ４４に対面し、蒸着マスク２０（金属製シート３４）の他方の面２０ｂ（３４ｂ）がガラス基板４２に対面する。すなわち、図６に示すように、蒸着材料４８は次第に断面積が小さくなっていく孔２５を通過してガラス基板４２に付着する。図６に示すように、蒸着材料４８はるつぼ４４からガラス基板４２に向けて直線的に移動せず、ガラス基板４２の板面に対して斜めに移動することもある。このとき、孔２５の断面形状が図６の点線で示す輪郭を有していたとすると、斜めに移動する蒸着材料４８は、蒸着マスク２０に付着してガラス基板４２まで到達しない。
【００４２】
すなわち、蒸着材料の利用効率（成膜効率：ガラス基板４２に付着する割合）を高めて高価な蒸着材料を節約するためには、蒸着マスク２０（金属製シート３４）のシート面に直交する断面（図６の断面）において、一方の面２０ａ（３４ａ）側の孔２５の端部および他方の面２０ｂ（３４ｂ）側の孔２５の端部を結ぶ直線Ｌと、他方の面２０ｂ（３４ｂ）と、によってなされる角度θが小さい方がよい。ただし、ガラス基板４２への垂線に対して大きな角度をなすようにしてガラス基板４２に向けて移動する蒸着材料の割合は少ない。そして、前述の直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θが６０°以下となっていれば、蒸着材料の成膜効率は十分な値となる。また、直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θを３０°未満にしようとすると、孔２５の形成が困難となる一方で、その困難性に見合った蒸着材料の成膜効率の向上は得られない。すなわち、直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θは３０°以上６０°以下とすることが好ましい。
【００４３】
なお、角度θを小さくしていくと、図６に二点鎖線で示すように、隣り合う孔２５の壁面同士が接続されるようになる。しかしながら、蒸着マスク２０（金属製シート）の強度を考慮すると、隣り合う孔２５の壁面同士は接続されていないことが好ましく、一方の面２０ａにおいて隣り合う孔２５の間に５μｍ以上の平坦な面が形成されていることがさらに好ましい。
【００４４】
すなわち、直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θは、一方の面２０ａにおいて孔２５の間に５μｍ以上の平坦な面が形成されるようになる角度以上であって、６０度以下であることが好ましい。
【００４５】
ところで、上述したように、本実施の形態では、孔２５が各有孔領域２２において等間隔に配置されている。一例として、蒸着マスク付シート６０が携帯電話やデジタルカメラ等のディスプレイ（２〜３インチ程度）を作製するための蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）に用いられる場合、孔２５の配列ピッチＰ（図３参照）は、８４μｍ（３００ｐｐｉ）以上２５４μｍ（１００ｐｐｉ）以下程度とすることができる。なお、カラー表示を行いたい場合には、孔２５の配列方向（前述の一方向）に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板４２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。また、蒸着マスク付シート６０が携帯電話のディスプレイを作製するための蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）に用いられる場合、各孔２５の配列方向（上述の一方向）に沿った幅（スリット幅）Ｗは、２８μｍ以上８４μｍ以下程度とすることができる。
【００４６】
また、蒸着マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置４０の内部に保持される。したがって、蒸着マスク２０をなすようになる蒸着マスク付シート６０の金属製シート６０、および、蒸着マスク装置６０に用いられるフレーム１５は、撓みや熱応力の発生を防止するため、熱膨張率が低い同一の材料によって作製されていることが好ましい。このような材料として、例えば、３６％Ｎｉインバー材を用いることができる。ただし、これに限られず、ステンレス、銅、鉄、アルミニウムからなるシートを金属製シート３４として用いることも可能である。
【００４７】
一方、蒸着マスク付シート６０の樹脂製シート３２としては、例えば、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有するポリエチレンテレフタレートやポリプロピレンからなるシートを用いることができる。本実施の形態においては、ＵＶ光を照射されると金属製シート３４に対する接合力が低下するようになされた樹脂製シート３２が用いられている。具体的には、図２に示すように、樹脂製シート３２が、ポリエチレンテレフタレートからなる基材シート３２ａと、基材シート３２ａ上に積層されるとともに金属製シート３４と対面するＵＶ剥離層３２ｂと、を有するようにすることができる。ここでＵＶ剥離層３２ｂとは、当初は粘着力を有し、基材シート３２ａと金属製シート３４とを接着するものの、ＵＶ光を照射されると照射された部分の粘着力が低下するようになっている層である。例えば、ＵＶ光が照射されると、照射された部分が硬化して金属製シート３４に対する接合力が低下するようになっている。このようなＵＶ剥離層３２ｂは、例えば、アクリル系ＵＶ再剥離型接着剤から形成することができる。
【００４８】
次に、以上のような構成からなる蒸着マスク付シート６０を用いて蒸着マスク装置１０を製造する方法について、主に図７を参照して説明する。
【００４９】
図７に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク装置の製造方法は、樹脂製シート３２と樹脂製シート３２に積層された孔形成済みの金属製シート３４とを含む蒸着マスク付シート６０を準備する工程と、樹脂製シート３２を金属製シート３４から分離させて樹脂製シート３２を蒸着マスク付シート６０から除去する工程と、金属製シート３４をフレーム１５に取り付ける工程と、を含んでいる。各工程について、以下においてさらに詳細に説明する。
【００５０】
まず、準備された蒸着マスク付シート６０が除去装置（除去手段）５４へ供給される。図７に示す例において、蒸着マスク付シート６０は、金属製シート３４が下方に位置するとともに樹脂製シート３２が上方に位置するようにして、供給される。また、図７に示すように、本実施の形態における除去装置５４は、ＵＶ光照射手段５５を有している。ＵＶ光照射手段５５は、蒸着マスク付シート６０の移動経路に沿って設けられ、蒸着マスク付シート６０を樹脂製シート３２側から覆うシェード５５ａと、シェード５５ａ内に配置されたＵＶ光源５５ｂと、を有している。そして、搬送される蒸着マスク付シート６０は樹脂製シート３２側からＵＶ光を照射され、樹脂製シート３２の基材シート３２ａを透過するＵＶ光によって、基材シート３２ａと金属製シート３４（蒸着マスク２０）とを接着するＵＶ剥離層３２ｂの接着力が大幅に弱められる。この結果、蒸着マスク付シート６０をなす樹脂製シート３２と金属製シート３４（蒸着マスク２０）とが分離可能となる。そして、図７に示すように、蒸着マスク付シート６０をローラ５７によって案内しながら、樹脂製シート３２が金属製シート３４から徐々に剥がされていく。
【００５１】
なお、樹脂製シート３２を金属製シート３４から引き剥がす方向が、金属製シート３４に形成された孔２５が延びる方向（上述した他方向）と平行であることが好ましい。このような方向に沿って樹脂製シート３２を金属製シート３４から分離させる場合、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。
【００５２】
このようにして、樹脂製シート３２から分離された金属製シート３４からなる蒸着マスク２０が得られる。その後、得られた蒸着マスク２０に対してフレーム１５が固定されていく。図７に示す例においては、スポット溶接装置５９によって、フレーム１５が蒸着マスク２０に対して固定される。
【００５３】
以上のようにして、蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０に固定されたフレーム１５と、からなる蒸着マスク装置１０が得られる。
【００５４】
なお、以上のような蒸着マスク装置の製造方法において、蒸着マスク付シート６０および蒸着マスク２０（金属製シート３４）の搬送方向が、金属製シート３４に形成された孔２５が延びる方向（上述した他方向）と平行であることが好ましい。このような方向に沿って蒸着マスク付シート６０および蒸着マスク２０（金属製シート３４）を搬送する場合、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。
【００５５】
以上のような方法によれば、蒸着マスク付シート６０から蒸着マスク装置１０を極めて容易に製造することができる。また、樹脂製シート３２を金属製シートから引き剥がす方向、および、蒸着マスク付シート６０および蒸着マスク２０（金属製シート３４）の搬送方向を、金属製シート３４に形成された孔２５が延びる方向（上述した他方向）と揃えることにより、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。すなわち、いったん金属製シート３４に形成された微細な孔２５の形状を、その後の取り扱い中において、損なってしまうといった不具合を回避することができる。
【００５６】
次に、蒸着マスク付シートを製造する方法について、主に図８乃至図１０を参照して説明する。
【００５７】
図８に示すように、本実施の形態における蒸着マスクの製造方法は、樹脂製シート３２と樹脂製シート３２上に積層された金属製シート３４とを有する積層体３０を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを積層体３０の金属製シート３４に施して、金属製シート３４に多数の孔２５を形成する工程と、エッチング工程の後に、積層体３０を所定の長さに切断する工程と、を含んでいる。各工程について、以下においてさらに詳細に説明する。
【００５８】
図８に示すように、本実施の形態においては、積層体３０を供給コア３１に巻き取った積層体の巻体２９が準備される。そして、この供給コア３１が回転して巻体２９が巻き戻されることにより、図８に示すように帯状に延びる積層体３０が供給される。ここで、積層体３０は、金属製シート３４が下方に位置するとともに樹脂製シート３２が上方に位置するようにして、供給される。このような巻体２９は安価に入手可能であり、しかも取り扱い上の都合が非常に良い。
【００５９】
なお、積層体３０の金属製シート３４は孔２５を形成されて蒸着マスク２０をなすようになる。したがって、上述したように、金属製シート３４は、例えば３６％Ｎｉインバー材からなる。また、樹脂製シート３２は、上述したように、例えば、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有するポリエチレンテレフタレートやポリプロピレンからなる。ただし、金属製シート３４から樹脂製シート３２を容易に剥離させることができるようにするには、上述したように、ＵＶ光を照射されると金属製シート３４に対する接合力が低下するようになされた樹脂製シート３２を用いることが好ましい。
【００６０】
供給された積層体３０はエッチング装置（エッチング手段）５０によってエッチング処理を施される。具体的には、まず、積層体３０の金属製シート３４の面上（図９の紙面における下側の面上）に感光性レジスト材料を塗布し、金属製シート３４上にレジスト膜３６を形成する。次に、レジスト膜３６のうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板３７を準備し、ガラス乾板３７をレジスト膜３６上に配置する。
【００６１】
その後、図９に示すように、レジスト膜３６をガラス乾板３７越しに露光し、さらにレジスト膜３６を現像する。以上のようにして、積層体３０の金属製シート３４上にレジストパターン３６ａが形成される。
【００６２】
なお、ガラス乾板３７のうちの除去すべきレジスト膜３６に対面する領域を黒色にしておき、露光光として可視光を用いるようにしてもよい。この場合、黒色部分で可視光が吸収されることにより、レジスト膜３６の除去すべき領域には光が入射せず、レジスト膜３６が金属製シート３４上に定着しない。一方、レジスト膜３６の除去すべきでない領域には光が入射して、当該領域におけるレジスト膜３６が金属製シート３４上に定着する。定着していないレジスト膜３６は、例えば湯洗によって除去される。
【００６３】
次に、図１０に示すように、金属製シート３４上に形成されたレジストパターン３６ａをマスクとして、積層体３０をエッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）３８でエッチングする。本実施の形態において、エッチング液３８は、搬送される積層体３０の下方に配置されたエッチング装置５０のノズル５１から、レジストパターン３６ａ越しに金属製シート３４の一方の面３４ａに向けて噴射される。このとき、図１０に点線で示すように、金属製シート３４のうちのレジストパターン３６ａによって覆われていない領域で、エッチング液による浸食が始まる。その後、浸食は、金属製シート３４の厚み方向だけでなく、金属製シート３４のシート面に沿った方向にも進んでいく。以上のようにして、エッチング液による浸食が金属製シート３４の一方の面３４ａから他方の面３４ｂまで進み、金属製シート３４を貫通する孔２５が形成される。
【００６４】
その後、積層体３０上のレジストパターン３６ａを除去し、さらに積層体３０を水洗いする。このようにして、樹脂製シート３２と、多数の孔２５を形成された金属製シート３４と、からなる蒸着マスク付シート６０が得られる。
【００６５】
ところで、樹脂製シート３２が設けられていなかったとすると、上述したように、金属製シート３４が貫通されて孔２５が形成された後に、金属製シート３４の他方の面３４ｂ側にエッチング液が滞留してしまい、孔２５の形状および大きさが安定しないといった不具合が生じ得る。しかしながら、本実施の形態によれば、金属製シート３４を貫通する孔２５が形成されたとしても、この孔２５は上方側を樹脂製シート３２によって覆われている。したがって、従来の方法において生じていた不具合を確実に回避することができる。この結果、金属製シート３４は一方の面３４ａ側のみから浸食が進み、金属製シート３４に形成された孔２５の断面積は、一方の面３４ａ（２０ａ）から他方の面３４ｂ（２０ｂ）に向けて徐々に小さくなっていくようになる。また、所望の開孔面積（平面視における孔２５の面積）を有した孔２５を精度良く形成することができる。
【００６６】
その後、このようにして得られた蒸着マスク付シート６０は、当該蒸着マスク付シート６０を狭持した状態で回転する一対の搬送ローラ５２，５２により、切断装置（切断手段）５３へ搬送される。なお、この搬送ローラ５２，５２の回転によって蒸着マスク付シート６０および積層体３０に作用するテンション（引っ張り力）を介し、上述した供給コア３１が回転させられ、巻体２９から積層体３０が供給されるようになっている。
【００６７】
また、本実施の形態においては、金属製シート３４が樹脂製シート３２によって支持および補強されている。したがって、積層体３０および蒸着マスク付シート６０の搬送時に、孔２５と孔２５との間に作用する応力によって、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりするといった不具合を格段に抑制することができる。この結果、エッチング工程において金属製シート３４に形成された微細な孔２５の形状をその後に損なってしまうといった不具合を回避することができる。
【００６８】
なお、上述したように配列方向と直交する方向に沿って細長く延びる孔２５を形成する場合、孔２５が延びる方向（上述した他方向）と、積層体３０が供給される方向（積層体および蒸着マスク付シート６０が搬送される方向）とが略平行となっていることが好ましい。この場合、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。
【００６９】
このようにして切断装置５３へ搬送された蒸着マスク付シート６０は、金属製シート３４が一枚の蒸着マスク２０の長さと同じ長さを有するように、順次切断されていく。以上のようにして枚葉状の蒸着マスク付シート６０が順次作製されていく。
【００７０】
以上のように本実施の形態によれば、蒸着マスク２０をなすようになる蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４は、樹脂製シート３２に積層され、樹脂製シート３２によって保護されている。したがって、蒸着マスク付シート６０を取り扱う際、例えば蒸着マスク付シートを搬送する際に、蒸着マスク付シート６０のうちの金属製シート３４に作用するテンション（引っ張り力）を著しく低下させ、金属製シート３４に形成された微細な孔２５が破損してしまうことを効果的に防止することができる。
【００７１】
また、樹脂製シート３２上に積層された金属製シート３４に対して孔２５を形成していくことができる。したがって、金属製シート３４を一方の面３４ａ側からのみエッチングして、金属製シート３４を貫通する孔２５を形成することができる。この場合、孔２５は金属製シート３４を貫通するものの、金属製シート３４の他方の面３４ｂ側に位置する孔２５の端部は、樹脂製シート３２によって覆われている。すなわち、孔２５は積層体３０を貫通していないので、上述した従来の不具合を回避することができる。これにより、一方の面３４ａ（２０ａ）から他方の面３４ｂ（２０ｂ）に向けてしだいに断面積が小さくなっていく孔２５を金属製シート３４に形成することができる。また、高精細なパターンで開孔した蒸着マスク２０を精度良く作製することもできる。
【００７２】
そして、この蒸着マスク付シート６０から樹脂製シート３２を取り除くことによって、金属製シート３４からなる蒸着マスク２０を容易に作製することができる。このようにして得られた蒸着マスク２０、および、この蒸着マスク２０を用いた蒸着マスク装置１０によれば、高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。したがって、このようにして得られた蒸着マスク２０および蒸着マスク装置１０は、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に例えば有機発光材料を所望のパターンでガラス基板４２上にパターニングするために用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）に非常に適している。
【００７３】
なお、上述した実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。以下、変形例の一例について説明する。
【００７４】
上述した実施の形態においては、蒸着マスク装置１０を製造する際に、樹脂製シート３２にＵＶ光を照射して、樹脂製シート３２を積層体３０から除去する例を示したが、樹脂製シート３２の除去方法はこれに限られない。例えば、積層体３０を加熱炉（除去手段）に送り込み、積層体３０の樹脂製シート３２を燃焼させて、積層体３０から樹脂製シート３２を除去するようにしてもよい。樹脂製シート３２を燃焼させて除去する場合、簡易な装置を用いた簡易な方法により、金属製シート３４（蒸着マスク２０）に形成された孔２５に影響を及ぼすことなく、金属製シート３４から樹脂製シート３２を分離させることができる。なお、樹脂製シート３２を燃焼させて除去する場合、ＵＶ光を照射されることによって金属製シート３４に対する接合力が低下するようになされた樹脂製シート３２を用いる必要はない。
【００７５】
また、上述した実施の形態においては、蒸着マスク付シート６０を製造する際に、樹脂製シート３２と金属製シート３４とが予め積層された積層体３０を準備して供給する例を示したが、これに限られない。例えば、帯状に延びる金属製シート３４を供給するとともに帯状に延びる樹脂製シート３２を供給し、供給される金属製シート３４と樹脂製シート３２とを積層して積層体３０を作製し、順次作製されていく積層体３０に対して上述した処理を施し、蒸着マスク付シート６０を作製していくようにしてもよい。あるいは、帯状に延びる金属製シート３４を供給するとともに供給される金属製シート３４上に枚葉状の樹脂製シート３２を積層していき、金属製シート３４のうちの枚葉状の樹脂製シート３２を積層された部分（積層体３０）に対して上述した処理を順次施し、蒸着マスク付シート６０を作製していくようにしてもよい。あるいは、帯状に延びる樹脂製シート３２を供給するとともに供給される樹脂製シート３２上に枚葉状の金属製シート３４を積層していき、樹脂製シート３４上に積層された枚葉状の金属製シート３４に対して上述した処理を順次施し、蒸着マスク付シート６０を作製していくようにしてもよい。
【００７６】
さらに、上述した実施の形態において、蒸着マスク付シート６０を製造する際に、金属製シート３４に孔２５を形成した後に、金属製シート３４を切断装置５３によって所定の長さに切断する例を示したが、これに限られない。例えば、金属製シート３４を切断する工程を、金属製シート３４に孔２５を形成する前に行ってもよい。
【００７７】
さらに、上述した実施の形態において、蒸着マスク付シート６０を製造する際に、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４が蒸着マスク２０一枚分の長さと同じ長さを有するように、蒸着マスク付シート６０を切断する例を示したがこれに限られない。例えば、蒸着マスク付シート６０の金属製シート３４が蒸着マスク２０一枚分の長さよりも長い長さ（例えば、蒸着マスク２０二枚分の長さ）を有するように、蒸着マスク付シート６０を切断するようにしてもよい。また、図１１に示すように、帯状に延びる蒸着マスク付シート６０を切断することなく、巻取コア６１に巻き取り、蒸着マスク付シート６０の巻体６０ａとして取り扱う（出荷および搬送等）ようにしてもよい。さらに、蒸着マスク付シート６０全体を切断することに代え、樹脂製シート３２を切断しきらない程度に積層体３０をハーフカットして金属製シート３４のみを切断するようにしてもよい。さらに、エッチングによって孔２５を形成する工程中に、金属製シート３４を所定の長さに縁切りするようにエッチングしてもよい。すなわち、エッチングによって孔２５を形成する際に、エッチングにより金属製シート３４を所定の長さに分離させるようにしてもよい。この場合、別途に金属製シート３４を所定の長さに切断する手間を省くことができる。
【００７８】
さらに、上述した実施の形態においては、蒸着マスク付シート６０から蒸着マスク装置１０を製造する際に、樹脂製シート３２から分離された金属製シート３４（蒸着マスク２０）へフレーム１５を取り付ける例を示したが、これに限られない。例えば、樹脂製シート３２から分離される前に、金属製シート３４（蒸着マスク２０）へフレーム１５を取り付けるようにしてもよい。また、蒸着マスク付シート６０を製造する際に、金属製シート３４へフレーム１５を取り付ける工程を設け、フレーム１５を取り付けられた蒸着マスク付シート６０としてとして取り扱う（出荷および搬送等）ようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】図１は、本発明による蒸着マスク付シートの一実施の形態を示す上面図である。
【図２】図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図３は、図１に示された蒸着マスク付シートの部分下面図である。
【図４】図４は、図１に示された蒸着マスク付シートから製造され得る蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例を示す斜視図である。
【図５】図５は、蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。
【図６】図６は、蒸着マスクの作用を説明するための図である。
【図７】図７は、本発明による蒸着マスク装置の製造方法の一実施の形態を説明するための図であって、図１に示された蒸着マスク付シートから蒸着マスクおよび蒸着マスク装置を製造する方法を説明するための図である。
【図８】図８は、本発明による蒸着マスク付シートの製造方法の一実施の形態を説明するための図であって、図１に示された蒸着マスク付シートを製造する方法を説明するための図である。
【図９】図９は、積層体（金属製シート）にレジストパターンを形成する方法を説明するための図である。
【図１０】図１０は、積層体（金属製シート）をエッチングする方法を説明するための図である。
【図１１】図１１は、図８に対応する図であって、蒸着マスク付シートを製造する方法の一変形例を説明するための図である。
【図１２】図１２は、図６に対応する図であって、両側からエッチングされた金属板からなる蒸着マスクを用いて蒸着する方法を説明するための図である。
【図１３】図１３は、図１０に対応する図であって、下方側の面から金属板をエッチングして蒸着マスクを製造する方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８０】
１０ 蒸着マスク装置
１５ フレーム
２０ 蒸着マスク
２０ａ 一方の面
２０ｂ 他方の面
２２ 有孔領域
２３ 無孔領域
２５ 孔
２９ 巻体
３０ 積層体
３２ 樹脂製シート
３４ 金属製シート
３４ａ 一方の面
３４ｂ 他方の面
６０ 蒸着マスク付シート
Ｌ 直線
θ 角度
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂製シートと、
前記樹脂製シートと積層された金属製シートであって、複数の孔が形成された金属製シートと、を備え、
前記金属製シートは、前記樹脂製シートと分離された後に蒸着マスクとして用いられるようになる
ことを特徴とする蒸着マスク付シート。
【請求項２】
前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面しない側の面から前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面する側の面に向け、前記金属製シートに形成された孔の断面積は小さくなっていく
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項３】
前記金属製シートと固定されたフレームをさらに備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項４】
前記樹脂製シートの前記金属製シートに対する接合力は、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射することにより、低下するようになっている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項５】
前記樹脂製シートは、基材シートと、前記基材シートと前記金属製シートとを接合するＵＶ剥離層と、を有し、
前記ＵＶ剥離層の接合力は、ＵＶ光を照射されると低下するようになっている
ことを特徴とする請求項４に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項６】
前記複数の孔は一方向に沿って並べて配列され、各孔は前記一方向に直交する他方向に沿って延びている
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項７】
前記金属製シートは、所定のパターンで複数の孔が配置された複数の有孔領域と、前記有孔領域間に配置された無孔領域と、を含む
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項８】
請求項１に記載された蒸着マスク付シートから蒸着マスク装置を製造する方法であって、
前記樹脂製シートを前記金属製シートから分離させて、前記樹脂製シートを前記蒸着マスク付シートから除去する工程を備える
ことを特徴とする蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項９】
前記樹脂製シートの前記金属製シートに対する接合力は、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射することにより、低下するようになっており、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射して、前記金属製シートと前記樹脂製シートとを分離させる
ことを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１０】
前記金属製シートに形成された複数の孔は一方向に沿って並べて配列され、各孔は前記一方向に直交する他方向に沿って延びており、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂製シートが分離されていく
ことを特徴とする請求項８または９に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１１】
前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程をさらに備える
ことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１に記載された蒸着マスク付シートを製造する方法であって、
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、を備える
ことを特徴とする蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１３】
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成される
ことを特徴とする請求項１２に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１４】
前記積層体は、前記他方向に沿って供給される
ことを特徴とする請求項１３に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１５】
前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成される
ことを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１６】
前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給される
ことを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１７】
前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給する
ことを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１】
樹脂製シートと、
前記樹脂製シートと積層された金属製シートであって、複数の孔が形成された金属製シートと、を備え、
前記金属製シートは、前記樹脂製シートと分離された後に蒸着マスクとして用いられるようになる
ことを特徴とする蒸着マスク付シート。
【請求項２】
前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面しない側の面から前記金属製シートの前記樹脂製シートに対面する側の面に向け、前記金属製シートに形成された孔の断面積は小さくなっていく
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項３】
前記金属製シートと固定されたフレームをさらに備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項４】
前記樹脂製シートの前記金属製シートに対する接合力は、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射することにより、低下するようになっている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項５】
前記樹脂製シートは、基材シートと、前記基材シートと前記金属製シートとを接合するＵＶ剥離層と、を有し、
前記ＵＶ剥離層の接合力は、ＵＶ光を照射されると低下するようになっている
ことを特徴とする請求項４に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項６】
前記複数の孔は一方向に沿って並べて配列され、各孔は前記一方向に直交する他方向に沿って延びている
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項７】
前記金属製シートは、所定のパターンで複数の孔が配置された複数の有孔領域と、前記有孔領域間に配置された無孔領域と、を含む
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シート。
【請求項８】
請求項１に記載された蒸着マスク付シートから蒸着マスク装置を製造する方法であって、
前記樹脂製シートを前記金属製シートから分離させて、前記樹脂製シートを前記蒸着マスク付シートから除去する工程を備える
ことを特徴とする蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項９】
前記樹脂製シートの前記金属製シートに対する接合力は、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射することにより、低下するようになっており、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射して、前記金属製シートと前記樹脂製シートとを分離させる
ことを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１０】
前記金属製シートに形成された複数の孔は一方向に沿って並べて配列され、各孔は前記一方向に直交する他方向に沿って延びており、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂製シートが分離されていく
ことを特徴とする請求項８または９に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１１】
前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程をさらに備える
ことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１に記載された蒸着マスク付シートを製造する方法であって、
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、を備える
ことを特徴とする蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１３】
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成される
ことを特徴とする請求項１２に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１４】
前記積層体は、前記他方向に沿って供給される
ことを特徴とする請求項１３に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１５】
前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成される
ことを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１６】
前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給される
ことを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【請求項１７】
前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給する
ことを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか一項に記載の蒸着マスク付シートの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００９−５２０７３（Ｐ２００９−５２０７３Ａ）
【公開日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２１８６３８（Ｐ２００７−２１８６３８）
【出願日】平成１９年８月２４日（２００７．８．２４）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年８月２４日（２００７．８．２４）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
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