【課題】基板とマスクとを精度よく重ね合わせるためのアライメント装置及び方法を提供する。
【解決手段】メタルマスク２のマスクマーク２ａは、ガラス基板１の基板マーク１ａより面積が大きく形成されている。ガラス基板１とメタルマスク２とを重ねて配置した状態で、カメラ４Ａ、４Ｂにより、基板マーク１ａ、１ａと基板角度マーク１ｂ、１ｂとマスクマーク２ａ、２ａとを測定用画像として取得し、この測定用画像から基板マーク１ａ、１ａの中心点の座標値と、マスクマーク２ａ、２ａの中心点の座標値をエッジ計測により算出し、これら座標値からそれぞれを結ぶ線分Ｌ１１、Ｌ１２の各中心点座標値Ｐ１１、Ｐ２１を算出し、座標差分値を求め、この座標差分値を補正値として用いてガラス基板１とメタルマスク２との位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】アライメント調整時間を大幅に短縮可能な極めて実用性に秀れたアライメント装置及びアライメント方法並びに有機ＥＬ素子形成装置の提供。
【解決手段】基板１とマスク２とを相対的に移動せしめる移動手段と、この基板１に設けた基板側アライメントマーク３とマスク２に設けたマスク側アライメントマーク４とを画像化して認識する光学手段５とを有するアライメント装置であって、前記光学手段５は、固定倍率式で且つ少なくとも物体側がテレセントリックな対物レンズ６を有し、この対物レンズ６の開口数（ＮＡ）が０．０１０〜０．０１５で且つ作動距離（ＷＤ）が２９０ｍｍ以上となるように絞り７の形状を設定する。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとを精度よく重ね合わせるためのアライメント装置及び方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１の基板マーク１ａ、１ａと基板角度マーク１ｂ、１ｂのそれぞれを結ぶ仮想線Ｌ３、Ｌ４同士は互いに平行となっており、各仮想線Ｌ３、Ｌ４に対するそれぞれの仮想垂線Ｌ７、Ｌ８上に位置し、かつガラス基板１の中心点Ｐ１に対し点対称に仮想点１ｃ、１ｃをそれぞれ設定する。ガラス基板１とメタルマスク２とを重ねて配置した状態で、カメラ４Ａ、４Ｂにより、基板マーク１ａ、１ａと基板角度マーク１ｂ、１ｂとマスクマーク２ａ、２ａとを測定用画像として取得し、この測定用画像から仮想点１ｃ、１ｃの座標値と、マスクマーク２ａ、２ａの座標値を算出し、これら座標値からそれぞれを結ぶ線分Ｌ１２、Ｌ１１の各中心点座標値Ｐ１１、Ｐ２１を算出し、座標差分値を求め、この座標差分値を補正値として用いてガラス基板１とメタルマスク２との位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】装置固有の特性に起因する誤差を相殺して位置合わせ精度の向上を図ることができる極めて実用性に秀れたアライメント方法及びアライメント装置並びに有機ＥＬ素子形成装置の提供。
【解決手段】基板１とマスク３とのアライメント方法であって、位置合わせ工程における第一回目の算出移動量に応じた座標と、この第一回目の算出移動量に基づき実際に前記移動手段により移動させた前記基板１若しくは前記マスク３の第一回目の実移動後の座標との差を算出すると共に、この算出移動量に応じた座標と実移動後の座標との差を相殺する補正値を算出して、この補正値を用いて前記位置合わせ工程における第一回目の算出移動量を補正する。 （もっと読む）

【課題】高精細化を図ることが可能な有機ＥＬ表示装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】直列に配置された複数の画素１を備えており、各画素１は、複数の画素１の配列方向に沿って直列に配列された第１ないし第３領域１１，１２，１３を有しており、第１ないし第３領域１１，１２，１３は、互いに異なる赤色、緑色、青色用の領域とされた、有機ＥＬ表示装置Ａであって、各画素１の第１領域１１と、この画素１の第１領域１１側に隣り合う画素１の第３領域１３とは、互いに同色用の領域とされており、かつ隣り合う画素１の第２領域１２どうしは、互いに異なる色用の領域とされている。 （もっと読む）

【課題】基板の自重撓みを少なくして、蒸着マスクと基板とのアライメント精度を向上させる。
【解決手段】蒸着パターンに対応した画素開口部７ａを有する複数の蒸着マスク７に対して、蒸着対象となる基板３を保持するための基板ホルダー２を対向配置する。基板ホルダー２は、枠体２ａと、該枠体２ａを構成する枠辺から枠内に向かって突出した桟２ｂとを備える。桟２ｂは、各蒸着マスク７からの蒸着物が通過しない位置に設けられている。枠体２ａを構成する枠辺と桟２ｂとにより枠内を区画して、蒸着物を基板３へ到達させるための開口部２ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、絶縁膜のダメージやコンタクト部上の酸化を低減し、駆動電圧の上昇を低減するための有機ＥＬディスプレイの製造方法を提供するものである。
【解決手段】有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、透明な支持基板上に第二電極接続部を含むコンタクト部を形成する工程と、透明な支持基板上に第一電極の引き出し線を含む第一電極を形成する工程と、前記第一電極間に、第一電極の縁部と一部重なるように絶縁層を形成する工程と、前記第一電極を洗浄する洗浄工程と、有機層を形成する工程と、前記第二電極を形成する工程とを含み、前記洗浄工程が、ＵＶオゾン処理、エキシマＵＶ処理、または酸素プラズマ処理により行われ、この洗浄工程が第二電極接続部、コンタクト部、および第一電極の引き出し線を覆うマスクによって覆われることを特徴とする有機ＥＬディスプレイの製造方法。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いた真空蒸着法によりアレイ基板上に薄膜パターンを形成した表示装置で輝点及び／又は滅点が発生するのを抑制する。
【解決手段】本発明の表示装置の製造装置は、真空チャンバＶＣと、真空チャンバＶＣ内でアレイ基板ＡＳを保持する基板ホルダＨＬＤ２と、真空チャンバＶＣ内でアレイ基板ＡＳの下面と向き合うようにマスクＭＳＫを保持するマスクホルダＨＬＤ２と、真空チャンバＶＣＸ内であってマスクＭＳＫの下方に配置される坩堝が収容する蒸発材料を加熱して気化させるヒータと、アレイ基板ＡＳ及び／又はマスクＭＳＫの電位を測定する電位計ＳＮＳ２と、電位計ＳＮＳ２の出力に基づいてアレイ基板ＡＳとマスクＭＳＫとの電位差を小さくする電位制御を行うコントローラＣＮＴとを具備する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスが簡単な蒸着装置を提供することを目的とする。また、蒸着材料の電極への付着を防止する電極カバーを提供することを目的とする。
【解決手段】蒸着室と、被処理物を保持する保持部と、蒸発源と、電極と、電極カバーと、電源と有し、蒸着室は、上方に保持部を有し、下方に蒸発源と電極と電極カバーとを有し、電極カバーは、電極の露出面の少なくとも一部を覆っており、電極と前記電源とは電気的に接続されており、蒸発源と電源とは電気的に接続されており、抵抗加熱によって、蒸発源が加熱され、蒸発源に保持された材料が、前記蒸発源の上方に保持された被処理物に成膜される蒸着装置および蒸着装置に用いられる電極カバーを提供する。 （もっと読む）

【課題】金属製マスクの利点を維持した状態で、マスクの洗浄にプラズマＣＶＤ装置を使用しても寿命を延ばすことができるプラズマＣＶＤ用マスクを提供する。
【解決手段】プラズマＣＶＤ用マスク１１は、外形が矩形に形成された金属製マスク本体１２と、金属製マスク本体１２の周縁上に配置されたセラミック製のカバー１３とを備えている。カバー１３はアルミナ製である。プラズマＣＶＤ用マスク１１は、洗浄ガスが、チャンバー内に配置されたプラズマＣＶＤ用マスク１１の側方からチャンバー内に供給されるプラズマＣＶＤ装置を使用して洗浄が行われる。 （もっと読む）

【課題】複数のマスクを用いて大型基板の表面を覆う際にフレームレス構造を実現可能とする極めて実用性に秀れた有機ＥＬ素子形成用のマスク等を提供する。
【解決手段】表面にメッキ法により金属層３が設けられた有機ＥＬ素子形成用マスクであって、金属層３を設けたマスク表面の一部にこの金属層３を有しない画定された領域４と、この領域４内に金属層３で形成するマスク側アライメントマーク５とを設けて、このマスク側アライメントマーク５と、前記基板１に設けた基板側アライメントマーク６とを用いてアライメント調整を行えるように構成したもの。 （もっと読む）

【課題】プールカラー具現のために基板上に有機薄膜を形成する時に、バッチタイプで基板装着後、ポンピング、蒸着及び基板取出しを一ラインで連続的に遂行することで、蒸着物質の加熱及び昇温にかかる時間を最小化することができる薄膜蒸着装置及びこれを利用した薄膜蒸着方法を提供する。
【解決手段】内部を真空で維持させるポンプ部を具備して、基板上に蒸着物質を蒸着する工程を遂行する少なくとも一つのチャンバと、前記チャンバ内部に蒸着物質が蒸着される前記基板及びマスクを支持する基板ホルダーと、前記チャンバ内部に前記基板と対向するように設置されて、少なくとも一つの蒸着物質を収納・加熱して蒸発させる多重蒸着物質るつぼと、前記蒸着物質の中で選択されるいずれか一つを局所的に加熱する加熱部とを具備する蒸発源と、前記チャンバを少なくとも一つのチャンバ安着位置に順次移動させるチャンバ移動手段と、を含む。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子が用いられ、構造が簡単であり、電力効率の高い表示素子を提供する。
【解決手段】所定形状を表示する表示素子であって、透明絶縁基板上に、透明陽極と、有機ＥＬ化合物層と、該所定形状と略同一形状にパターニングされた陰極バッファー層と、陰極とがこの順序で積層された有機エレクトロルミネッセンス素子からなることを特徴とする表示素子。 （もっと読む）

本発明は、基材棒と、各々前記基材棒上に形成された第１電極、前記第１電極上に形成された有機物層、および前記有機物層上に形成された第２電極を有し、前記基材棒上で前記基材棒の長さ方向に沿って連続して接触される複数の有機発光単位体であって、前記複数の有機発光単位体のうちのいずれか１つの有機発光単位体の第１電極は前記いずれか１つの有機発光単位体に隣接した他の１つの有機発光単位体の第２電極と相互接触するように配置されている複数の有機発光単位体と、を含むことを特徴とする有機発光素子およびその製造方法を提供する。
（もっと読む）

【課題】平面性が向上された蒸着マスクおよびその製造方法を提供する
【解決手段】多数独立の蒸着通孔５からなる蒸着パターン６をパターン形成領域４内に備えるマスク本体２と、マスク本体２の外周に配置された、低熱線膨張係数の材質からなるマスク本体２の補強用の枠体３とからなり、マスク本体２のパターン形成領域４の外周縁４ａと枠体３とは、電鋳法により形成された電着金属層９を介して不離一体的に接合してあって、枠体３の上面に応力緩和部４３を設ける。これにて、内部応力が発生しにくい構成、つまり、うねりが生じない構成となり、平面性が向上された蒸着マスクを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】成膜用マスクの反りによるパターン精度の劣化を防ぐ。
【解決手段】成膜材料の蒸気を通すパターン１３を有するマスク部１１をフレーム１２の片面に固定し、フレーム１２の反対面に、マスク部１１のパターン１３に対応する開口部１４ａを備えたテンション部材１４を、張力を加えた引張状態で固定する。マスク部１１による引張応力がテンション部材１４の張力によって相殺され、マスク全体の剛性が強化されるため、マスク部１１の反りによるパターン精度の劣化を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】効率よく低コストで発光装置を製造し得る発光装置の製造方法、かかる製造方法により製造された信頼性の高い発光装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】青色に発光する発光層51と、赤色に発光する発光層52と、白色に発光する発光層53とを備える表示装置（発光装置）10を製造する方法であって、発光層51形成用の開口部および発光層53形成用の開口部を備えるマスクを用いて、陽極３の一方の面側に、青色に発光する材料を供給して被膜を形成する工程と、発光層52形成用の開口部および発光層53形成用の開口部を備えるマスクを、前記被膜のうち発光層53とすべきものと発光層53形成用の開口部とがほぼ一致するように位置決めした状態で、陽極３の一方の面側に、赤色に発光する材料を供給し、これにより各発光層51、52、53を得る工程と、各発光層51、52、53の陽極３と反対側に陰極６を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】透明電極成膜において有機薄膜上に透明電極をスパッタリング法により成膜する際、有機薄膜上への二次電子飛散によるチャージアップやスパッタリングダメージを抑制するとともに、ターゲット１２の温度上昇をバッキングプレート下部を流れる冷却水をチラー等により強制冷却させることで抑え、ターゲット１２輻射熱によるマスク変形（たわみ）を抑制する方法を提供する。
【解決手段】有機薄膜上への透明電極成膜をチャージアップを起こさず、かつスパッタリングダメージを抑制させながら行う方法であって、最終成膜プロセスがスパッタリング法である透明有機電界発光素子やトップエミッション型有機電界発光素子においては特性（駆動、寿命等）向上が期待できる。 （もっと読む）

【課題】リフトオフ法の問題点を克服することができる、マスキング手段を用いた無機絶縁膜の形成方法、およびそれを用いた有機ＥＬディスプレイの製造方法の提供。
【解決手段】透明電極基板、透明電極、絶縁膜、有機ＥＬ層、および反射電極を含み、該絶縁膜は透明電極と反射電極との交差部分に開口部を有する有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、透明電極上にメタル立体マスクを載置した状態で、絶縁膜を形成する工程を備えたことを特徴とする有機ＥＬディスプレイの製造方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、本発明の目的は、高輝度を実現可能な蒸着パターンのディスプレイを得ることができ、マスクの変形を防止することができるマスク、及びマスクを使用して製造するディスプレイの製造方法を提供することである。
【解決手段】
多数の開口４が形成されたプレート５を備えた蒸着マスクにおいて、
前記プレート５は、隣接する前記開口４間に位置する領域が断面凹状を成す凹部６を有することを特徴とする蒸着マスク。 （もっと読む）