【課題】 大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で軽元素の特性Ｘ線を効率良く発生させることが可能な新規な軽元素特性Ｘ線発生方法を提供する。
【解決手段】
２から１００ｋｅＶの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素を含む絶縁体材料ターゲットへ照射することにより、絶縁体材料ターゲットに含まれる軽元素の特性Ｘ線を発生させることを特徴とする軽元素特性Ｘ線発生方法。 （もっと読む）

焦点Ｚ軸位置決めの自動制御を実施するためのシステム、方法、およびデバイスが、ハウジング内部に配置されたＸ線管を有し、温度制御システムと熱的に接続するように構成されたＸ線デバイスと共に使用するために開示される。制御回路、および焦点とＸ線デバイスの基準点との間の距離を決定するために構成された位置感知デバイスとが、制御モジュールに結合される。位置感知デバイスは、焦点と基準点との間の相対距離に関する情報を制御モジュールに送信し、制御モジュールが、受信された情報を所定の所望の距離と比較する。受信された情報が、所望の距離から許容できないほど大きく異なる場合、制御モジュールは、対応する信号を制御回路に送信し、制御回路は、温度制御システムに、Ｘ線デバイスに関連付けられた伝熱パラメータに対する適切な変更を実施させる。
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本発明は、特にＸ線源の電子ビームの電子のために透明な窓の製造方法に関する。そのような窓の余り高価でなく精巧でない製造を可能にするために、並びに、窓フォイル（２）を損傷し得る望ましくない鋭利な縁を窓領域内で防止するために、電子（Ｅ）の透過のための通し孔（１２）を含むキャリア素子（１）に窓フォイル（２）を固定するために用いられるはんだ付け材料（３）を収容するための収容領域（１３，１６）を、窓フォイルが固定されるべきキャリア素子の表面（１１）の上に設けるステップと、実質的に収容領域（１３，１６）のみがはんだ付け材料（３）で充填されるよう、収容領域（１３，１６）を有する表面（１１）をはんだ付け材料（３）で覆うステップと、窓フォイル（２）を表面（１１）の頂面に載せるステップと、窓フォイル（２）を表面（１１）に固定するために前記はんだ付け材料（３）を加熱するステップとを含む。
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簡単な構造で、十分な強度のＥＵＶを安定して発生させることができ、レーザプラズマ光源の代替となるＥＵＶ光源を提供する。１次ターゲットを有するＸ線管１と、そのＸ線管１から発生したＸ線２が照射される２次ターゲット４とを備え、その２次ターゲット４から、Ｂｅ−Ｋα線、Ｓｉ−Ｌ線およびＡｌ−Ｌ線の一群から選ばれた１つの蛍光Ｘ線５を発生させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを生成するために使用される装置の電力を大きく増加させる必要なくよりよい経済的条件の下でおよそ１３．５ｎｍのスペクトル範囲でＥＵＶリソグラフィーへの使用を可能にする一方、装置を使用者の特定のニーズに合わせる高い柔軟性を提供する。
【解決手段】極紫外線（ＥＵＶ）又は軟Ｘ線放射を発生させる装置が、プラズマを生成するために１０^６Ｗ／ｃｍ^２を超える強度でターゲットにフォーカスされたレーザ放射を生成するためにレーザ源と、レーザ源で生成されたプラズマの経路の周りに位置した電極とを有する。電極は、レーザ生成プラズマ膨張時間の時定数より小さい固有の時定数を有する急放電をプラズマ中で生成するための手段と結合している。
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マルチビームＸ線生成装置は、陰極上に所定のパターンで配置され、固定され個々に制御可能な複数の電子放出ピクセルを有した、固定電界放出陰極と、前記ピクセルの前記所定パターンに対応する、所定パターンで配置された複数の焦点を備えた、前記陰極の反対側に位置する陽極と、前記陽極及び陰極を覆う真空槽と、を備える。別の構成は、その少なくとも一部に電子放出物質が配置された平面状の表面を有した固定電界放出陰極と、前記陰極の平面状の表面に対して空間を隔てて平行に設けられ、サイズの異なる複数の開口部を有したゲート電極と、前記陰極と空間を隔てて反対側に位置し、前記電子放出物質に合わせて複数の焦点を有する陽極と、前記陽極及び陰極を覆う真空槽と、を備え、前記ゲート電極は、少なくとも１つの焦点及びその登録位置から外れた位置へ、前記陰極から放出された電子の少なくとも１つのビームを送出するように前記開口部を操作できるように、動作可能であるＸ線生成装置として実現される。関連する方法も開示されている。 （もっと読む）