【課題】有効波長領域（１３．５ｎｍ近傍）のＥＵＶ光の発光源であるプラズマにプラズマ媒質を所望の時間、安定供給することができるプラズマ光源とプラズマ光発生方法を提供する。
【解決手段】中心電極１２とガイド電極１４の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体１６が、プラズマ媒体（例えばＬｉ）を主成分とする常温で固体の絶縁化合物（例えばＬｉＨ）からなる。中心電極１２とガイド電極１４間の面状放電２により、絶縁化合物（絶縁体１６）の表面を気化してプラズマ媒体を同軸状電極間に供給し、次いで、１対の同軸状電極間に管状放電４を形成してプラズマ３を軸方向に封じ込める。 （もっと読む）

【課題】エネルギー変換効率を改善する。
【解決手段】ターゲット物質にプリパルスレーザ光Ｌ１を照射することによって拡散ターゲットＰＰを生成し、メインパルスレーザ光Ｌ２を該拡散ターゲットＰＰに照射することによってプラズマ化し、当該プラズマＰＲから放射された極端紫外光Ｌ３を出力する極端紫外光を生成する装置１は、プリパルスレーザ光Ｌ１の偏光状態を制御する第１偏光制御部１０、または、メインパルスレーザ光Ｌ２の偏光状態を制御する第２偏光制御部６１０のいずれか一方の偏光制御部、または両方の偏光制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】（１）ＥＵＶ放射のプラズマ光を長時間安定させ（２）放射立体角が大きく（３）プラズマ媒体を連続供給し（４）出力を高めかつ放電ジッターを低減する（５）プラズマ中の不純物を防止して変換効率を高めるプラズマ光源を提供する。
【解決手段】中心電極の軸方向内端部が対向配置された１対の同軸状電極１０と、１対の同軸状電極内の温度及び圧力を保持する放電環境保持装置２０と、各同軸状電極に放電電圧を印加する電圧印加装置３０とを備える。絶縁部材１６は、中心電極１２の外面又はガイド電極１４の内面に密着し、軸線Ｚ−Ｚに対称に配置され、液体金属のプラズマ媒体を滲み出させる複数の溝を有している。溝を介して供給された液体金属のプラズマ媒体を放電開始ピンとする中心電極とガイド電極間の面状放電により、同軸状電極間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込める。 （もっと読む）

【課題】プラズマの生成サイトに対する各種要素の配置自由度を向上する。
【解決手段】チャンバ装置は、オブスキュレーション領域を有する外部装置と共に用いられるチャンバ装置であって、ＥＵＶ光の生成が内部で行われるチャンバ１０と、前記チャンバ１０内に配置され、前記ＥＵＶ光を集光する集光ミラー１４と、前記集光ミラー１４を前記チャンバ１０に固定する支持部と、前記チャンバに設けられ、前記集光ミラー１０で集光されたＥＵＶ光Ｌ２を前記外部装置へ導入するための出力口Ｗ１４と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】光路の形成に利用するミラーの数を低減することでＸ線発生装置を小型化する。
【解決手段】レーザ光を発生するレーザ光源１０と、レーザ光源から発生されたレーザ光を、電子を加速させるための第１レーザ光と加速された電子に衝突させる第２レーザ光とに分光する分光手段１１と、真空室中で第１レーザ光にプラズマを発生し、電子を加速する媒体であるガスを発生させる発生手段１６と、分光手段で分光された第２レーザ光の光路Ｌ２に第１レーザ光及び第２レーザ光と干渉しないように設置され、それぞれ位置と回転角度を調節してこの第２レーザ光の光路Ｌ２を設定する２枚のミラー１２ａ，１２ｂと、第１レーザ光を利用して加速された電子と第２レーザ光とが衝突する位置を設定する集光手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子ビームとレーザ光との衝突点をガスターゲットの位置関係に応じて最適に設定し、レーザ光の減衰を防止することで、Ｘ線の発生効率を向上する。
【解決手段】真空中においてレーザ光源から発光されたレーザ光を第１レーザ光と第２レーザ光に分光するステップと、第１レーザ光にプラズマを発生し、電子を加速する媒体であるガスターゲットを投射するステップと、第１レーザ光を利用して加速された電子ビームと第２レーザ光とを、投射されたガスターゲットによってガス密度が他の真空領域よりも高密度である高密度領域の境界面を基準とした所定の位置で衝突させてＸ線を発生させるステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス時の作業スペースを確保しつつ有限のスペース内に収めることを可能にする。
【解決手段】収容スペース１００内に設置され、収容スペース１００外に配置されたチャンバ内に供給された極端紫外光の発生源となるターゲットに照射するレーザ光を出力するレーザ装置１は、マスタオシレータ１１から出力されたレーザ光を増幅する第３〜第５増幅器ユニットＰＡ３〜ＰＡ５と、第３〜第５増幅器ユニットに励起エネルギーを供給する第３〜第５電源ユニットＤ３〜Ｄ５と、外部電力を第３〜第５電源ユニットＤ３〜Ｄ５へ配電する配電盤５０と、第４電源ユニットＤ４および第５電源ユニットＤ５を配電盤５０に対して移動可能にするレールＲ１およびＲ２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高分解能と高コントラストのX線透過吸収像を得るために必要なX線ターゲットとその作製方法を提供する。
【解決手段】ポリイミド膜２上に形成されたAuターゲット２を備えるX線ターゲット。 （もっと読む）

【課題】不要なエネルギー領域のＸ線の発生量を抑制するＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置５０は、第１の線形加速器５４により加速された電子ビームＢを出射するビーム出射部５２と、電子ビームＢの経路上で薄膜ターゲットＴ１を保持する保持部２０と、薄膜ターゲットＴ１透過後の電子ビームＢを減速するための第２の線形加速器５６と、減速後の電子ビームＢを受け止めるビームダンプ部１８とを備え、第２の線形加速器５６は、高周波が供給されることによって内部に定在波電場が形成される加速セル１５ａを備えた加速部１５を有し、この加速部１５は、定在波電場により荷電粒子を加速したときに当該荷電粒子を外部に出射する開口１６を有し、この開口１６から加速部１５の内部に薄膜ターゲットＴ１通過後の電子ビームＢが入射する位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でありながら、加速管で後ろ向きに加速された電子によるビーム出射手段の損傷等を防止できる電子加速器及びこれを備えたＸ線発生装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る電子加速器１１は、電子ビームＢを出射するビーム出射手段１３と、電子ビームＢの進行方向を前記電子ビームＢの進行方向に対し所定の方向に偏向する偏向磁場を形成する磁場形成手段１４と、偏向磁場により偏向された電子ビームＢが入射する位置に配置され、この入射した電子ビームＢを高周波により加速可能な加速管１５とを備え、偏向磁場は、加速管１５から戻ってきた電子の経路上に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

極紫外光システムは、増幅光ビームを生成する駆動レーザシステムと、ターゲット位置でターゲット材料を生成するように構成されたターゲット材料送出システムと、極紫外光集光器及びターゲット位置を収容する内部真空空間を定める極紫外光真空チャンバと、駆動レーザシステムから出射された増幅光ビームを受け取り、かつ増幅光ビームをターゲット位置に向けて誘導するように構成されたビーム送出システムとを含む。ビーム送出システムは、増幅光ビームのサイズを拡張するビーム拡張システムと、ターゲット位置に増幅光ビームを集束させるように構成かつ配置された集束要素とを含む。 （もっと読む）

極紫外光システムは、増幅光ビームを生成する駆動レーザシステムと、ターゲット位置でターゲット材料を生成するように構成されたターゲット材料送出システムと、駆動レーザシステムから出射された増幅光ビームを受け取り、かつ増幅光ビームをターゲット位置に向けて誘導するように構成されたビーム送出システムと、計測システムとを含む。ビーム送出システムは、ターゲット位置に増幅光ビームを集束させるように構成かつ配置された収束レンズを含む。計測システムは、収束レンズから反射した増幅光ビームの一部分と収束レンズから反射した案内レーザビームの一部分とを集光するように構成された集光システムを含む。集光システムは、これらの部分を光学的に分離するように構成された二色性光デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】 小型で取り扱いが簡単なＸ線放射装置とこれを組み込んだ非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】 携帯型非破壊検査装置１は、Ｘ線発生装置を収納する本体部２と電源部３からなり、これら本体部２と電源部３は分離可能とされ、本体部２と電源部３の分離結合はメカニカルキーによって行う。前記電源部３はトランス４と電池収納部５を一体化しており、トランス４からは端子６が突出し、電池収納部５には把持部７が取り付けられ、この把持部７にスイッチ８を設けている。 （もっと読む）

【課題】 微小焦点を有しながら一般撮影が可能となるよう大電流を供給しても焦点ズレを生じるおそれが少ないＸ線管装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置１は、Ｘ線管４を包含するＸ線管容器２を備えている。Ｘ線管４は、電子を放出する３つの電子発生源４４６〜４４８及び電子発生源から放出された電子を細いビーム状の電子線に集束させる集束体４４２及び集束電極４４９を含む陰極４４と、陰極と対向して配置され、その対向面上に電子線が衝突してＸ線を放射するＸ線源を形成するターゲット４６２を有する陽極４６と、陰極及び陽極を真空気密に封入する外囲器４２とを有する。２つの電子発生源４４６，４４８によりターゲット４６２上に大焦点用のＸ線源を形成するとともに、１つの電子発生源４４５によりターゲット上に微小焦点用のＸ線源を形成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成でかつ安価に、収束性及びコヒーレンスが高い電磁波を発生することができる電磁波発生装置及びその発生方法を提供すること。
【解決手段】 電子ビーム（ｅ）をターゲット（Ｔ）に入射して電磁波（Ｗ）を発生させる電磁波発生装置であって、
電子ビーム（ｅ）の電子エネルギーが、相対性理論が適用される１Ｍｅｖ以上であり、
ターゲット（Ｔ）の形状が線状部材または薄膜状部材であり、
ターゲット（Ｔ）に磁場を印加して、電磁波を発生させるターゲト内の自由電子の運動方向を一方向に制限することによって、収束性及びコヒーレンスが高い電磁波（Ｗ）を発生する。 （もっと読む）

本発明は、Ｘ線発生技術に関する。複数の光子エネルギーを有するＸ線放射を供給することは、Ｘ線画像を生成するときに、組織の構造を識別するのに役立つ。結果的に、異なるエネルギーモードを提供するため、電子を収集する素子に対する電子を放出する素子の電位の切り替えを可能にするＸ線発生装置が提供される。本発明によれば、Ｘ線発生装置が提供され、電子を放出する素子１６と電子を収集する素子２０を備える。電子を放出する素子１６と電子を収集する素子２０は、Ｘ線放射１４の発生のための作用的に結合される。電子を放出する素子１６から電子を収集する素子２０への電子の加速のため、電子を放出する素子１６と電子を収集する素子２０との間に電位が形成され、電子は電子ビーム７を構成する。電子ビーム１７は、電位に影響を及ぼすために調節される。
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本発明は、一般的に、X線発生技術に関する。X線発生装置の電子収集素子を、静的に供給することによって、減少した動作部分及び駆動部分岐を持つことが可能であってよく、場合によっては製造費用及び故障原因を減らす。その結果、増加した熱負荷可能性を持つ電子収集素子が提示される。本発明に従って、電子収集素子（28）が提供され、それは、表面素子（22）及び熱伝導素子（26）を含む。その熱伝導素子（26）は、第1方向において第1熱伝導率及び少なくとも第2方向において少なくとも第2熱伝導率を有する。その第1熱伝導率は、第2熱伝導率よりも大きい。その第1方向は、表面素子（22）に対して実質的に垂直である。
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電離放射線（１２）を制御可能にダウンホール発生させる装置であって、装置は少なくとも、電気的に絶縁された真空容器（９）の第１端部（７ａ）に配置された熱イオン発生器（１１）と、電気的に絶縁された真空容器（９）の第２端部（７ｂ）に配置されたレプトンターゲット（６）と、を含み、前記熱イオン発生器（１１）は一連の直列接続された負電位増加要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄）に接続され、各電位増加要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄）は、印加された直流電位（δＶ₀，δＶ₁，δＶ₁₊₂，・・・，δＶ₁₊₂₊₃）を印加された駆動電圧（Ｖ_AC）を変換することで増加し、増加された負の直流電位（δＶ₁，δＶ₁₊₂，・・・，δＶ_1+2+3+4）と駆動電圧（Ｖ_AC）とを前記一連の直列接続された要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄，５）の次の構成単位へ送り、電離放射線（１２）は２００ｋｅＶを越え、スペクトル分布の主要部分がコンプトン範囲内である装置。
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