【課題】ＥＵＶ光発生チャンバ内に設置されたレーザ光集光光学系の光学素子の劣化を確実に検出して、的確な劣化判定を行えるＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、ターゲット物質供給部と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、ドライバーレーザ１２，１３と、ウインドウ６（１）（２）と、コリメートされたレーザ光を反射して集光するＥＵＶ光発生チャンバ内に配置された放物面鏡４３（１）（２）と、ＥＵＶ光の発生が行われないときに、レーザ光集光光学系によって集光された後にターゲット物質に照射されることなく発散したレーザ光のエネルギーを検出するエネルギー検出器３５（１）（２）と、エネルギー検出器によって検出されたレーザ光のエネルギーに基づいてウインドウ及び放物面鏡の劣化を判定する処理部８０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】実用的に十分な極端紫外光の出力を確保することのできるＥＵＶ光源装置を提供すること。
【解決手段】エネルギービーム照射機１１から第１のレーザービームを放電電極２ｂ上の原料Ｍの表面に照射し原料Ｍの表面に凹所を形成する。制御部６は、スイッチＳＷをＯＮし、パルス電力供給部３のコンデンサＣ２を充電し、放電電極２ａ，２ｂ間の電圧を立ち上げる。その後エネルギービーム照射機１１から第２のレーザービームを上記凹所に照射し、原料Ｍを気化させる。気化した原料が放電電極２ａに到達すると、放電電極２ａ，２ｂ間で放電が開始してプラズマが加熱され、高温プラズマから波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光が放射される。凹所に対してレーザビームを照射しているので、プラズマの空間的な広がりを小さくすることができ、ＥＵＶ光の出力を高いものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光源装置において、ターゲットにレーザ光を照射することによって発生する高速なイオンデブリを効率良く回収する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、ターゲット物質を噴射してターゲット物質のドロップレットを生成する噴射ノズルを含むターゲット供給手段と、ドロップレットを帯電させる帯電手段と、帯電したドロップレットにレーザ光を照射することによってプラズマを生成するレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して射出するコレクタミラーと、プラズマの生成に寄与しなかったターゲット物質及びプラズマの生成時に発生したデブリを回収するターゲット物質回収装置と、ドロップレットにレーザ光が照射される位置の上流側及び下流側において電界を発生することにより、帯電したドロップレット及びイオンデブリを加速させる加速手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｘ線の焦点の変位を低減したＸ線源を提供する。
【解決手段】本発明に係るＸ線源１の支持部材６０は、Ｘ線管保持部６の一端側においてＸ線出射窓２７ｈを露出させた状態でＸ線管保持部６に固定されてＸ線管保持部６の荷重を支持すると共に、Ｘ線管保持部６の他端側でＸ線管保持部６から離間させられている。このような構成により、Ｘ線管保持部６が熱膨張した場合に、このＸ線管保持部６は、支持部材６０の固定側を基準にして、Ｘ線管保持部６の一端側から他端側に伸び、この伸び分を、支持部材６０とＸ線管保持部６との間の隙間Ｓに逃がすことができる。従って、Ｘ線の焦点の変位量を可能な限り小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】多重イメージング・エネルギ源を用いるＣＴシステムを提供する。
【解決手段】ＣＴシステム（１０）は、ガントリ（１２）の開口部（４８）を通るＸ線（１６）を投射するＸ線源（１４）を含む。Ｘ線源は、ターゲット（１００）へ第１及び第２の電子ビーム（１１４、１１６）をそれぞれ放出する第１及び第２の陰極（１０２、１０４）と、第１及び第２の陰極にそれぞれ結合された第１及び第２のグリッディング電極（１０８、１１２）とを含む。本システムは、第１及び第２の陰極を第１及び第２の電圧までそれぞれ付勢する発生装置（２９）と、ガントリの開口部を通過したＸ線を受け取る検出器（１２３）と、第１及び／又は第２のグリッディング電極にグリッディング電圧を印加して第１及び／又は第２の電子ビームの放出を阻止し、また検出器からイメージング・データを取得するように構成されている制御装置（２８）とを含む。 （もっと読む）

【課題】高い変換効率を維持しつつ、長期間にわたって安定した信頼性の高い極端紫外光を生成することができる極端紫外光源装置を提供すること。
【解決手段】液体金属であるドロップレットＤにプリパルスＰ１を照射した後にメインパルスＰ２を照射してＥＵＶ光を生成する極端紫外光源装置において、プリパルスＰ１をドロップレットＤ１に照射しドロップレットＤ１の一部を残してプリパルスレーザ光照射側の該ドロップレットＤ１空間外の異なる空間にプリプラズマ１の空間を生成するプリパルスレーザと、プリプラズマ１の空間にメインパルスＰ２を照射してＥＵＶ光を生成するメインパルスレーザと、を備える。 （もっと読む）

【課題】熱の放出特性を向上させることができ、しかも、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管装置は、陽極ターゲット３５ａ、陰極３６、並びに真空外囲器３１を有したＸ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、冷却液に直接若しくは間接的に接した筒部４６、並びに筒部の一端側を閉塞しハウジングの外側に露出した底部４７を有し、真空外囲器の一部を形成する高電圧絶縁部材４０と、底部に設けられ陽極ターゲットに高電圧を供給する高電圧供給端子４４と、筒部の内面に接合された接合部３５ｃを含み、真空外囲器の内部に位置し陽極ターゲットを支持する支持体３５ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光源装置のＥＵＶ出力を安定させるために、ターゲット物質の液滴の射出方向のズレを補正する。
【解決手段】ターゲット物質の液滴１０１を予め設定されているプラズマ発光点１０３に向けて出力する液滴生成装置１１０と、ターゲット物質の液滴１０１を帯電させる帯電装置１３０と、帯電されたターゲット物質の液滴１０１ａの進行方向を補正して、プラズマ発光点１０３へ向かうように軌道内に電場または磁場を形成する軌道補正装置１４０と、プラズマ発光点１０３において帯電されたターゲット物質にレーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザ光源１５０と、を備える極端紫外光源装置。 （もっと読む）

【課題】走査装置を通過するコンベヤシステムとの互換性を有し、かつ高速な走査が可能なＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】物品を検査するＸ線画像化検査システムは、撮像容積（１６）の周りに延在し、放射されるＸ線が撮像容積を通過できるように配向された複数の点状放射源（１４）を構成するＸ線放射源（１０）を有する。Ｘ線検出器アレー（１２）は同様に走査容積の周りに延在し、点状放射源からの撮像容積（１６）を通過したＸ線を検出し、この検出されたＸ線に基づく出力信号を生成するように構成されている。コンベヤ（２０）は撮像容積（１６）を通過して物品が運ばれるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 汚染粒子によって与えられる損傷を軽減することである。
【解決手段】 放射源は、極端紫外線を生成するように構成される。放射源は、使用中に内部でプラズマが発生するチャンバと、プラズマから副生成物として形成され蒸着面へと放出される材料を蒸着させるように構成された蒸着面を含む。リソグラフィ装置の放射源内の又はプラズマ放射源から副生成物材料を除去する方法は、使用中にプラズマから蒸着面へと放出される材料を蒸着させることを含む。 （もっと読む）

【課題】 放電電極の周囲に残留する気化した原料ガスによる影響を低減するため、放電電極の周囲に残留する気化した原料ガスを除去すること。
【解決手段】 極端紫外光を放射するための原料と、前記原料の表面にエネルギービームを照射して前記原料を気化させるためのエネルギービーム照射手段と、前記気化した原料を、放電により加熱励起し高温プラズマを発生させるための一対の放電電極と、前記放電電極に高繰り返し高電圧を供給する高電圧供給手段と、を備える極端紫外光光源装置であって、前記放電電極の付近に残留する前記気化した原料を除去するための残留ガス除去手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡の超微小焦点より発生するＸ線を用いて、Ｘ線拡大撮影を行うこと。
【解決手段】 電子顕微鏡で用いられる電子線の超微小焦点の位置に、台形の金属ターゲットを設置し、加速された電子をターゲットにあてることにより、発生する制動Ｘ線を、電子顕微鏡の加速筒（鏡筒）と直角方向に置かれたアダプター内に導き、ターゲットの近傍に設置された試料に当てる。透過したＸ線は、ターゲットから遠くに置かれたＸ線検出器によって拡大画像を得る。照射する電子線の焦点のターゲット上の位置を変えることにより、観察する試料部位と拡大率を決める。 （もっと読む）

【課題】燃料の小滴がレーザビームパルスを通り抜けるためにかかる時間を増加させる方法および／または装置を提供する。
【解決手段】放射源は、放射を生成するように構成されている。放射源は、プラズマ生成部位へと誘導される燃料の小滴の流れを生成するように構成された燃料小滴ジェネレータと、プラズマ生成部位へと誘導されるレーザビームを生成するように構成されたレーザであって、小滴の流れの動きの方向とレーザビームの方向との間の角度は９０℃より小さい、レーザと、放射ビームと小滴とが衝突した場合にプラズマ形成部位で形成されたプラズマによって生成される放射を集光するように構成されたコレクタとを含む。コレクタは、放射を実質的に放射源の光軸に沿って反射させるように構成されている。レーザビームは、コレクタに設けられたアパーチャを通ってプラズマ生成部位へと誘導される。 （もっと読む）

【課題】ビームラインが短く、分解能が高く、且つ短時間で２次元領域の測定が可能な分析装置、特にＸＡＦＳ分析装置又は小角散乱Ｘ線分析装置を提供すること。
【解決手段】荷電粒子発生手段によって生成された荷電粒子を内部に周回させる荷電粒子周回手段（１）と、
周回する荷電粒子の周回軌道（１３）上に配置された横長ターゲット（１４）に、周回する荷電粒子を衝突させて発生したＸ線を分光して単色Ｘ線を発生させる分光手段（２）と、
分光手段（２）から出力される単色Ｘ線を測定対象の試料（４）に照射し、試料（４）から出力されるＸ線を測定する測定手段（３）とを備える。 （もっと読む）

本発明は、電気的に動作される放電によって、光学放射（特に、ＥＵＶ放射又は軟Ｘ線）を生成する装置及び方法に関する。プラズマ１５は、少なくとも２つの電極１、２間のガス媒体において点火され、前記ガス媒体は、少なくとも部分的に、前記放電空間において移動する表面に供給されると共に、１つ又は複数のパルスエネルギビームによって少なくとも部分的に蒸発される液体材料６から生成される。提案される方法及び装置において、パルスエネルギビームのパルス９は、前記表面の移動方向に対して少なくとも２つの異なる横方向の場所に指向される。この手段により、この放射放出ボリュームは、拡張され、空間変動に対する感度があまり高くなく、如何なる用途の光学システムの要件に対してもより良好に適合化されることができる。更に、前記光学出力電力は、この手段によって増大されることができる。
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【課題】被検体に照射するＸ線のオン／オフを高速で行えるＸ線管球装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを出射する電子銃１０１と、制御信号を受けて電子銃１０１から出射された電子ビームを少なくとも２方向へ切り替えて送出させる偏向用電極１０２と、一方向の電子ビームを受けたときは所定の照射野に向けてＸ線を照射する第１反射面１１１と、他の方向の電子ビームを受けたときは所定の照射野と異なる方向に向けてＸ線を照射する第２反射面１１２と、を有するターゲット１１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】真空排気装置を備えることなく、しかもパッケージの気密構造を従来と同程度として、小電力で、一定レベル以上の強度のＸ線を安定して発生させることができる小型軽量のＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】内部に高真空又は低圧ガス雰囲気を維持する容器１と、容器内に配置された少なくとも１つの異極像結晶４と、異極像結晶の温度を昇降させる温度昇降手段３、５〜７と、容器内に配置され、電子の放出を外部から制御可能とされた電界放出型電子源９と、容器内における、温度昇降手段によって熱励起された異極像結晶から生じる電界の到達範囲内に配置され、異極像結晶又は電界放出型電子源又はそれらの両方からの電子線の照射を受けるＸ線発生用金属ターゲット８とを備える。 （もっと読む）

【課題】高エネルギー粒子発生装置及び集光装置並びに高エネルギー粒子発生方法及び集光方法を提供する。
【解決手段】主レーザ光及び副レーザ光を照射するレーザ光照射装置１０と、導光管群２０からの主レーザ光及び副レーザ光を反射するステアリングミラー４１と、主レーザ光が入射される軸外し放物面ミラー４４と、軸外し放物面ミラー４４で集光された主レーザ光が照射されるターゲット部５０と、副レーザ光の光軸とその受光面の法線とが成す傾斜角度を検出する傾斜角度センサ４８と、副レーザ光のその光軸回りの回転角度を検出するＣＣＤカメラ４９と、副レーザ光の回転角度を取得し、これに対応する副レーザ光の最適傾斜角度をあらかじめ定めた最適傾斜角度データから抽出し、当該最適傾斜角度で副レーザ光が傾斜角度センサ４８に受光されるようにステアリングミラー４１を回動させる制御装置を具備する。 （もっと読む）

【課題】小さな電界で大きな出力の軟Ｘ線を安定した状態で大面積状に発生することができるとともに、発生したＸ線の照射方向を制御して非照射物に対して効率良く集中させて照射することが可能な、安価で性能の良い軟Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】密閉可能な筒状の真空ハウジング内に、ハウジングの内壁面の長手方向に沿ってＸ線放出物質により構成されたわん曲面を有する陽極を設け、基材表面に針状体を密集して形成させた電極材料からなる冷陰極を前記陽極と間隔を空けて平行に配置してなり、陽極から発生するＸ線を冷陰極側に放射することを特徴とする軟Ｘ線発生装置。 （もっと読む）

【課題】数μｍ程度の電子ビームの位置の変動の影響を受けることなく、１０〜２０μｍφ程度の微小スポットの特性Ｘ線を低角度で安定して出射すること可能にしたＸ線発生装置を提供することにある。
【解決手段】内部を真空可能に構成した管本体と、該管本体内において電子ビームを発生する電子源と、前記管本体内に設けられ、前記電子源から出射される電子ビームが照射されることによりＸ線を発生するためのターゲット部材とを備えたＸ線発生装置において、
前記ターゲット部材３ａ、３ｂを、繰り返される複数の微小幅のストライプ状金属薄膜３２を基材３１、３１ａに埋め込んで形成し、前記電子ビームを前記特定のストライプ状金属薄膜に照射することにより前記特定のストライプ状金属薄膜から特性Ｘ線を低角度でＸ線窓１２を通して外部に出射するように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）