【課題】 ベータトロン加速器で電子を加速するＸ線発生装置において、加速電圧を制御するコイルに過渡現象を含まない電圧を与えることにより、電子ビーム軌道の変更を正確に行えるようにする。
【解決手段】 電子ビームの軌道を制御するためのビーム制御コイル５に対し、複数の直流電源１１ないし１４のいずれか１つを接続する構成とする。電子ビーム軌道の遷移時に、スイッチ１５ないし１８のいずれか１つを投入してビーム制御コイル５に直流電圧を印加し、安定した電子ビーム軌道の変更を実現するようにしたものである。 （もっと読む）

電磁放射を発生させるための放射源（５０）は、アノード（１）、カソード（２）、及び放電空間（４）を含む。アノード（１）とカソード（２）は、プラズマ（１６）を形成して電磁放射を発生させるべく放電空間（４）内の物質（Ｐ）中に放電（１６）を生成するように構成される。放射源（５０）は、物質（Ｐ）の少なくとも１つの成分を放電空間（４）に近接する位置に供給するように構成された燃料供給源（１４）も含む。この燃料供給源（１４）は、アノード（１）及びカソード（２）から離れて配置される。放射源（５０）は、アノード（１）及び／又はカソード（２）上又は近辺に冷却及び／又は保護層を形成及び／又は維持するように構成された更なる供給源（１０）も含む。
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【課題】レーザビームが照射されなかったターゲット物質を有効活用することが可能なＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ＥＵＶ光の生成が行われるＥＵＶ生成チャンバ１と、ＥＵＶ生成チャンバ１内にターゲット物質として液体状の金属を供給するターゲット物質供給部２と、ＥＵＶ生成チャンバ１内に供給されたターゲット物質にレーザ光を照射することによりプラズマを発生させるレーザ光源５と、プラズマから放射されるＥＵＶ光を集光する集光ミラー１０と、ＥＵＶ生成チャンバ１内に供給されたターゲット物質の内のレーザ光が照射されなかったターゲット物質を精製するためのターゲット物質精製槽２２とを含む。 （もっと読む）

本発明は立体視覚効果を産生させるX線発生装置及び該装置を採用した医用X線設備を提供する。本発明は、２つの互いに距離を有して、人類の目の立体視覚効果に見合う位置からX線を交互に発射するX線発生装置において、人類の目の立体視覚効果に見合うX線画像データを獲得し、コンピュータにより処理した後、立体テレビジョン技術或いは立体映像技術を採用してイメージシステム中で立体画像を形成させる。本発明の技術方案により製造された立体視覚効果を産生させるX線発生装置によれば、リアルタイムの立体視覚効果画像を観察することが可能になり、医師の診断と手術操作が便利になる。
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【課題】出力が比較的大きい露光用の極端紫外光源装置において、ドライバレーザ光の照射に対する除熱を良好に行いつつ、固体のターゲットを高速かつ連続的に供給する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、ワイヤにターゲット物質をコーティングするターゲット物質供給手段と、ターゲット物質がコーティングされたワイヤをチャンバ内の所定の位置に供給するワイヤ供給手段と、ターゲット物質がコーティングされたワイヤにレーザビームを照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来の製品より小形でありながら、しかも高エネルギーでより小径なスポットのＸ線を発射することが可能なＸ線源を得る。
【解決手段】Ｘ線源は、電子線を発射する電子線源と、この電子線源から発射された電子線を高周波電場で加速する加速管と、この加速管で加速された高エネルギの電子を衝突させてＸ線を放出するターゲットとを有する。加速管はターゲットに向けて発射される電子線のスポット径を１ｍｍ以下とし、ターゲットはＸ線案内孔を有するコリメータを備え、このコリメータのＸ線案内孔の孔径を０．６ｍｍ以下としている。より具体的には、電子線源から加速管に向けて発射される電子線のスポット径を１ｍｍ以下とし、加速管でこの電子線を加速し、前記のターゲットに衝突させる。 （もっと読む）

【課題】高圧ガス設備の設置許可申請等の手続きを不要とすること等が可能なＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置用ターゲット物質供給装置等を提供する。
【解決手段】このターゲット物質供給装置２０は、ＬＰＰターゲット物質を出射するための噴射口２１ａが形成されたスリーブ２１と、スリーブ２１内に摺動可能に嵌入されたプランジャー２２と、プランジャー２２を押圧することにより、スリーブ２１及びプランジャー２２によって形成される空間内に充填されたＬＰＰターゲット物質を加圧して、ＬＰＰターゲット物質をスリーブ２１の噴射口２１ａから出射させる押圧装置２３とを含む。 （もっと読む）

【課題】デブリの影響を抑え、強いＥＵＶ光を発生させる液体状のターゲットを効果的に供給することのできるＥＵＶ光源を提供する。
【解決手段】本発明によるＥＵＶ光源は、ターゲット（ＬＱ）からプラズマを生成し、前記プラズマから発生するＥＵＶ光を放出するＥＵＶ光源であって、線状部材（１０１）を備え、前記ターゲットが液体状であり、前記線状部材は、前記ターゲットが前記線状部材に沿って供給されるように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低エネルギの単色性の高い特性Ｘ線20を得ることができるＸ線源11を提供する。
【解決手段】ターゲット19の厚み寸法を電子ビーム15の浸透深さ以上とし、低エネルギのＸ線成分を吸収する。電子ビーム15のエネルギを１０ｋｅＶ以下とし、高エネルギのＸ線成分がターゲット19を透過するのを制限する。低エネルギのＸ線成分の吸収と高エネルギのＸ線成分の非透過により、低エネルギの単色性の高い特性Ｘ線20を得る。 （もっと読む）

【課題】出力が比較的大きい露光用の極端紫外光源装置において、一旦発生したデブリを処理するのではなく、発生するデブリを極力抑制する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に固体の錫又はリチウムをターゲットとして供給するターゲット供給手段と、ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに対して、パルス動作によりレーザビームを照射することによってプラズマを生成するＣＯ_２レーザと、反射面に多層膜を有し、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。 （もっと読む）

【課題】広範囲な医療用途などに対して適用することが可能な、高出力かつ高輝度で平行性に優れたＸ線を利用した画像測定方法及び画像測定装置を提供する。
【解決手段】ターゲットの表面に所定のエネルギー線源からエネルギー線を照射し、被写体の大きさ以上となるような照射面積を有するように前記ターゲットからＸ線を発生させ、次いで、前記Ｘ線を分光器に入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅を選択するとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成する。次いで、前記平行Ｘ線を前記被写体に対して照射し、前記被写体より得たＸ線画像を検知する。 （もっと読む）

【課題】２次ターゲット26の交換を容易に可能とし、複数種類の特性Ｘ線25を容易に放出できるＸ線源11を提供する。
【解決手段】Ｘ線透過窓13を有する真空容器12内に、電子ビーム15を発生する電子銃14、電子ビーム15が入射して１次Ｘ線21を放出する１次ターゲット20を設ける。１次Ｘ線21は、真空容器12のＸ線透過窓13を透過する。真空容器12のＸ線透過窓13の外側を囲って、ボックス形の２次ターゲット体23を着脱可能に取り付ける。２次ターゲット体23は、Ｘ線透過窓13を透過する１次Ｘ線21が入射して特性Ｘ線25を放出する２次ターゲット26を備える。２次ターゲット体23には、特性Ｘ線25を外部に放出する特性Ｘ線取出窓27を設ける。 （もっと読む）

本発明は、放電スペース内の蒸発した液体材料によって形成されるガス状媒体内で、ＥＵＶ放射線および／または軟Ｘ線を放出する放電プラズマ（８）が発生され、液体材料は、放電スペース内の表面に設けられており、エネルギービーム（９）によって少なくとも一部が蒸発されるようになっている、ＥＵＶおよび／または軟Ｘ線ランプの変換効率を高める方法に関する。本発明は、ＥＵＶ放射線および／または軟Ｘ線を発生するための対応する装置にも関する。この方法では、前記液体材料の化学元素よりも質量数が小さい化学元素から構成されたガス（１１）が、指向された状態で放電スペースへ、および／または放電スペースへの供給路上の液体材料へ、少なくとも１つのノズル（１０）を介して局所的に供給され、放電スペース内の蒸発した液体材料の密度を低下させる。本方法および対応する装置によりランプの変換効率が高められる。 （もっと読む）

出口開口まで圧力下で液体物質を推進させることによって、相互作用領域を通って伝搬するターゲット噴流を形成するステップと、少なくとも１つの電子ビームを、前記ターゲット噴流と相互作用して前記電子ビームがＸ線放射を発生するように、前記相互作用領域内のターゲット噴流上に向けるステップとを含む、Ｘ線放射を発生させる方法であって、前記ターゲット噴流の横方向における前記電子ビームの半値全幅が前記ターゲット噴流の横寸法の約５０％以下である、方法。この方法を実施するシステムもまた開示される。
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電子を放射するための陰極とダイナミック陽極とを含んでいるＸ線管を含んでいるＸ線結像システムを提供する。ダイナミック陽極は陰極から電子を受取り、非静止のＸ線ビームを発生する。ダイナミック陽極は非静止ビームを発生するために、Ｘ線ビームがオブジェクト上の第１の位置で誘導されている第１の位置と、Ｘ線ビームがオブジェクト上の第２の位置で誘導されている第２の位置との間で回転する。 （もっと読む）

【課題】ノズルから噴射されたドロップレットターゲットを加速する場合に、加速後のドロップレットターゲットの速度を一定に維持することができるターゲット供給装置を提供する。
【解決手段】液滴状又は固体粒状のターゲット物質を噴射するターゲットノズル１と、該液滴状又は固体粒状のターゲット物質を帯電させる電荷供給装置３と、該電荷供給装置によって帯電させられたターゲット物質の帯電量を計測する帯電量モニタ４及び帯電量計測部７と、帯電量計測部７の計測結果に基づいて、上記電荷供給装置をフィードバック制御する帯電量制御部８と、帯電したターゲット物質を加速する加速器５とを含む。 （もっと読む）

【課題】制御性の優れたマルチＸ線ビームの形成を小型の装置により可能とする。
【解決手段】マルチ電子ビーム発生部１２のマルチ電子放出素子１５から発生した電子ビームｅは、レンズ電極１９によるレンズ作用を受け、アノード電極２０の透過型ターゲット１３の部分で最終電位の高さに加速される。ターゲット１３で発生したマルチＸ線ビームｘは真空内Ｘ線遮蔽板２３、Ｘ線取出部２４を通り、更に壁部２５のＸ線取出窓２７から大気中に取り出される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管のメンテナンスを行うべきか否かの判断をすることができなかった。
【解決手段】カソードとアノードとによって加速した電子線を電子光学系によってターゲットに導いてターゲットからＸ線を出力させるＸ線出力部と、前記Ｘ線出力部によって出力されたＸ線の照射範囲にサンプルを配置するサンプル配置部と、前記照射範囲内のＸ線を取得してＸ線画像を取得するＸ線画像取得部とを含むＸ線検出器において、前記Ｘ線出力部における性能の劣化を示す複数のパラメータを取得して性能の劣化に関する出力を行う。 （もっと読む）

【課題】高効率で特性Ｘ線29を放出させることができ、放出する特性Ｘ線29へのノイズ成分の混入を抑え、シートビーム形状の特性Ｘ線29を容易に得られるＸ線源11を提供する。
【解決手段】真空容器12内に区画する区画部23を設ける。区画部23内には、電子銃14から電子ビーム15が入射して連続Ｘ線28を放出する１次ターゲット26を設け、１次ターゲット26から放出された連続Ｘ線28が入射して特性Ｘ線29を放出する２次ターゲット27を設ける。２次ターゲット27には、ボックス形で、電子ビーム15が通過する電子ビーム通過孔30を設け、電子ビーム通過孔30を設けた面に対して交差する面に特性Ｘ線29をシートビーム形状に規制して放出するＸ線通過孔31を設ける。 （もっと読む）

【課題】X線管のX線主放射方向とターゲット傾斜面との間の角度を可変とする。
【解決手段】X線管10の外囲器16の大径部40と陽極絶縁部44との間に蛇腹状に形成された可撓筒状部50を設ける。陽極12の陽極端30に引張力を与えることにより、外囲器16の可撓筒状部50が撓み（右側50aが伸長し、左側50bが収縮する）、陽極12の中心軸27がX線主放射方向51に対して傾き、X線主放射方向51とターゲット18の傾斜面28とが作るターゲット角度５２が増加するので、その結果X線照射範囲は増加する。また、陽極12の陽極端30にかける引張力を変えることにより、ターゲット角度52及びX線照射範囲の増加を変化させることができる。 （もっと読む）