Ｘ線源および蛍光Ｘ線分析装置
【課題】２次ターゲット26の交換を容易に可能とし、複数種類の特性Ｘ線25を容易に放出できるＸ線源11を提供する。
【解決手段】Ｘ線透過窓13を有する真空容器12内に、電子ビーム15を発生する電子銃14、電子ビーム15が入射して１次Ｘ線21を放出する１次ターゲット20を設ける。１次Ｘ線21は、真空容器12のＸ線透過窓13を透過する。真空容器12のＸ線透過窓13の外側を囲って、ボックス形の２次ターゲット体23を着脱可能に取り付ける。２次ターゲット体23は、Ｘ線透過窓13を透過する１次Ｘ線21が入射して特性Ｘ線25を放出する２次ターゲット26を備える。２次ターゲット体23には、特性Ｘ線25を外部に放出する特性Ｘ線取出窓27を設ける。
【解決手段】Ｘ線透過窓13を有する真空容器12内に、電子ビーム15を発生する電子銃14、電子ビーム15が入射して１次Ｘ線21を放出する１次ターゲット20を設ける。１次Ｘ線21は、真空容器12のＸ線透過窓13を透過する。真空容器12のＸ線透過窓13の外側を囲って、ボックス形の２次ターゲット体23を着脱可能に取り付ける。２次ターゲット体23は、Ｘ線透過窓13を透過する１次Ｘ線21が入射して特性Ｘ線25を放出する２次ターゲット26を備える。２次ターゲット体23には、特性Ｘ線25を外部に放出する特性Ｘ線取出窓27を設ける。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特性Ｘ線を放出するＸ線源および蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的なＸ線源では、高電圧で加速した電子を陽極であるターゲットに入射することにより、制動Ｘ線とターゲット特有の特性Ｘ線とが混在して放出されることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
制動Ｘ線は、連続的なエネルギスペクトルであって白色で構成され、そのスペクトル分布は入射する電子エネルギによって変化するのに対し、特性Ｘ線は、電子エネルギに依存せず、ターゲット固有の単一的なエネルギ分布の単色である。蛍光Ｘ線分析は、特性Ｘ線を試料に入射したときに放出される蛍光Ｘ線の信号のエネルギ分布を測定し、試料中の元素の種類、量を同定するものであるが、分析性能を高めるべく工夫された様々のＸ線源が利用されている。
【０００４】
蛍光Ｘ線分析装置においては、既知のスペクトルを持つ特性Ｘ線を利用して試料を励起することによって、蛍光Ｘ線の信号と入射Ｘ線の散乱であるノイズ成分とを分別しやすくなり、高Ｓ／Ｎ比での元素分析が可能となることから、Ｘ線源から放出されるＸ線スペクトルを単色に近いものにする試みが試行され、その一部が実用に至っている。
【０００５】
図９は、上述の特性Ｘ線を利用する高分解能の蛍光Ｘ線分析装置の一般的な構成例を示したものである。ここでは、一般的なＸ線源１を用いて、そのＸ線源１から放出させた連続エネルギスペクトルの１次Ｘ線である連続Ｘ線２を２次ターゲット３に入射し、特性Ｘ線４を放出させて外部に設置したコリメータ５を通して試料６に照射し、試料６の表面の元素を励起して発する蛍光Ｘ線７をＸ線検出器８で検出する構成としている。
【０００６】
この構成における特性Ｘ線４の放出方式では、Ｘ線源１と２次ターゲット３とを離して設置しなければならない。連続Ｘ線２は全周方向である４π方向に放出され、その強度は距離の２乗に反比例して減少するため、従来の構成ではＸ線源１から放出される連続Ｘ線２で２次ターゲット３を照射する効率が低く、２次ターゲット３から放出される特性Ｘ線４の強度を高めるには、大出力のＸ線源１を備える必要が生じ、これにより高分解能の蛍光Ｘ線分析装置が大形化、電力消費量の増大、Ｘ線遮蔽規模の増加、さらに結果的にコスト増加を招き、普及に対する制約を強める要因となっている（例えば、非特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００４−２８８４５号公報（第４−５頁、図１−２）
【非特許文献１】蛍光Ｘ線分析の現状と展望 中井泉 応用物理 第７４巻 第４号（２００５年） 第４５５頁〜第４５６頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のように、高分解能の蛍光Ｘ線分析装置においては、特性Ｘ線を効率良く発生できること、放出されるＸ線スペクトル中に不要なノイズの成分を極力含まないＸ線源を提供することが重要な課題としてある。
【０００８】
さらに、分析対象に合わせて複数種類の特性Ｘ線を選べるようなＸ線源を提供することも重要な課題としてある。一例として、半導体分野で普及の著しい高分解能型の全反射蛍光Ｘ線分析では、超微量の軽元素から重元素まで多数の対象元素を分析することが要求される。そのため、複数種類の特性Ｘ線を放出可能とする１次や２次のターゲットの異なる複数のＸ線源を用い、利用するＸ線エネルギ領域に別けてＸ線源を切り換えて使用しなければならない。
【０００９】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、高効率で特性Ｘ線を放出でき、放出する特性Ｘ線へのノイズ成分の混入が抑えられ、例えば全反射蛍光Ｘ線分析に適するようなシートビーム形状の特性Ｘ線を容易に得ることができ、しかも、２次ターゲットの交換を容易に可能とし、複数種類の特性Ｘ線を容易に放出できるＸ線源および蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のＸ線源は、Ｘ線透過窓を有する真空容器と、この真空容器内で電子ビームを発生する電子銃と、前記真空容器内に設けられ、前記電子銃が発生する電子ビームが入射してＸ線を放出する１次ターゲットと、前記真空容器のＸ線透過窓の外側を囲って着脱可能に取り付けられるボックス形に設けられ、前記１次ターゲットから放出されて前記Ｘ線取出窓を透過するＸ線が入射して特性Ｘ線を放出する２次ターゲット、および２次ターゲットから放出される特性Ｘ線を外部に放出する特性Ｘ線取出窓を有する２次ターゲット体とを具備しているものである。
【００１１】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、特性Ｘ線を試料に照射する請求項１ないし６いずれか記載のＸ線源と、前記特性Ｘ線の照射にて試料の表面の元素が励起して発する蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器とを具備しているものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、真空容器内の１次ターゲットから放出されたＸ線が真空容器のＸ線取出窓を透過するとともにこのＸ線透過窓の外側を囲うボックス形の２次ターゲット体内に侵入して２次ターゲットに入射し、この２次ターゲットから放出される特性Ｘ線が２次ターゲット体の特性Ｘ線窓から外部に放出されるため、高効率で特性Ｘ線を放出でき、放出する特性Ｘ線へのノイズ成分の混入が抑えられるとともに、例えば全反射蛍光Ｘ線分析に適するようなシートビーム形状の特性Ｘ線を容易に得ることができる。しかも、２次ターゲット体は真空容器側に対して着脱できるため、種類の異なる２次ターゲットに容易に取り換えることができ、複数種類の特性Ｘ線を容易に放出できるＸ線源を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１４】
図１に第１の実施の形態を示す。
【００１５】
Ｘ線源11は、内部が真空保持される真空容器12を有し、この真空容器12の一端寄りの側面にＸ線を外部に放出するＸ線透過窓13が配設されている。Ｘ線透過窓13は、例えばＢｅ（ベリリウム）等の材料で形成されていて気密を保つ役割を果たす。
【００１６】
真空容器12の他端には電子銃14が配設され、真空容器12内に位置する電子銃14の端部に、真空容器12内の一端側へ向けて電子ビーム15を放出するエミッタである電子源16が設けられている。電子源16は、ライン状に形成され、細長いライン形状の電子ビーム15を放出することができる。電子銃14は、駆動電源17によって電子ビーム15を発生、加速する。
【００１７】
真空容器12内には、電子銃14に対向して１次ターゲット20が配設されている。この１次ターゲット20は、電子ビーム15が入射してＸ線としての連続Ｘ線である１次Ｘ線21をＸ線透過窓13へ向けて放出する。
【００１８】
真空容器12のＸ線透過窓13が設けられた外側面には、Ｘ線透過窓13の外側を囲むように覆うボックス形の２次ターゲット体23が着脱可能に取り付けられている。この２次ターゲット体23の真空容器12に対向する面にはＸ線透過窓13を透過する１次Ｘ線21が２次ターゲット体23内に通過するＸ線通過口24が開口形成され、２次ターゲット体23の少なくとも内面には１次Ｘ線21が入射することによって２次Ｘ線である特性Ｘ線25を放出する２次ターゲット26が形成されている。
【００１９】
２次ターゲット26は、２次ターゲット体23の例えばステンレスのような一般的な材料でボックス形に形成された主構成材の１次Ｘ線21が入射する内表面部分だけに２次ターゲット26の材料の箔を貼り付けたものや２次ターゲット26の材料をコーティングしたもので対応できる。あるいは、２次ターゲット体23を２次ターゲット26の材料で形成してもよい。
【００２０】
２次ターゲット体23には、Ｘ線透過窓13およびＸ線通過口24に対向する対向面23aに対して交差する面であって、その対向面23aに沿った位置に、特性Ｘ線25を放出する特性Ｘ線取出窓27が開口形成されている。特性Ｘ線取出窓27は、１次Ｘ線21が混入せず、シートビーム形状の特性Ｘ線25を取り出せるように、対向面23aに沿った細長いスリット状の開口形状に形成されている。
【００２１】
なお、１次ターゲット20側である陽極側を接地電位とし、電子銃14側である陰極側に負高電圧を印加する構成である。
【００２２】
また、１次ターゲット20は、２次ターゲット26よりも原子番号で２程度大きな元素を用いて、それにより放出される１次Ｘ線21を利用することが最も効率良く２次ターゲット26を励起することができる。
【００２３】
そして、電子銃14に駆動電源17から電圧を印加することによって放出された電子ビーム15が１次ターゲット20に入射し、１次ターゲット20から放出される１次Ｘ線21がＸ線透過窓13から２次ターゲット体23内に透過する。２次ターゲット体23内に透過した１次Ｘ線21が主として２次ターゲット体23の対向面23aの２次ターゲット26に入射し、この２次ターゲット26から特性Ｘ線25を放出する。２次ターゲット体23の対向面23aの２次ターゲット26の表面から浅い角度で放出される特性Ｘ線25の成分だけが特性Ｘ線取出窓27を通過し、２次ターゲット体23の外部にシートビーム形状の特性Ｘ線25を放出する。
【００２４】
このように、利用しようとする特性Ｘ線25以外のノイズ成分の混入が抑制されたシートビーム形状の特性Ｘ線25が得られるＸ線源11を提供できる。
【００２５】
また、この構成を採ることにより、特性Ｘ線25は固体のＸ線透過窓13を通していないため、透過時の減衰作用を受けることがなく、これは特に大きな減衰作用を受ける低エネルギの特性Ｘ線25を得ようとする場合に有利となる。さらに、固体のＸ線透過窓13を通過する際のコンプトン散乱成分の発生も懸念する必要がなく、これにより、Ｘ線強度の確保と高いスペクトル単色性を保証することが可能となる。
【００２６】
しかも、２次ターゲット体23は真空容器12側に対して着脱できるため、利用しようとする特性Ｘ線25が得られる複数種類の２次ターゲット26を有する２次ターゲット体23を複数種類用意しておくことにより、種類の異なる２次ターゲット26に取り換えることにより、複数種類の特性Ｘ線25を容易に放出できるＸ線源11を提供できる。
【００２７】
次に、図２に第２の実施の形態を示す。
【００２８】
この実施の形態では、第１の実施の形態のＸ線源11においては、１次ターゲット20側である陽極側を接地電位とし、電子銃14側である陰極側に負高電圧を印加する構成であったのに対して、その逆の構成としたもので、すなわち、電子銃14側である陰極側を接地電位、１次ターゲット20側である陽極側を高圧電位にしたものである。
【００２９】
図３は、陰極、陽極どちらを接地電位とするかによって受ける影響について説明したものである。
【００３０】
図３(b)に示すように、陽極接地の場合は、１次Ｘ線21を放出する１次ターゲット20とＸ線透過窓13が同じ接地電位であるため、絶縁距離を考慮する必要が無く、その間の距離を短縮して２次ターゲット26への１次Ｘ線21の照射効率を高くすることが可能となる。反面、１次ターゲット20から放出される１次Ｘ線21の中の高エネルギー成分である反跳電子29は、エネルギを減少することなくＸ線透過窓13に衝突し、損傷を与えることになる。一般的に、このＸ線透過窓13には、Ｘ線減弱率の小さなＢｅ（ベリリウム）が用いられ、低エネルギ成分を取り出す場合には、その厚さも１ｍｍ以下の非常に薄いものが使用されるが、上述の反跳電子29による損傷を考慮すると、窓厚を薄くすることが困難となることが短所がある。
【００３１】
図３(a)に示すように、これと逆の構成、すなわち陰極を接地電位とした場合には、１次ターゲット20から放出された反跳電子29は、ほとんどが１次ターゲット20に回帰するため、Ｘ線透過窓13に到達して衝撃を与えることはない。これにより非常に薄いＸ線透過窓13を用いることができ、低エネルギＸ線を効率良く取り出すうえで有利となる。反面、１次ターゲット20とＸ線透過窓13は、絶縁確保のため一定以上の距離Ｌを確保することが必要となり、そのため２次ターゲット26までの距離が大きくなり、１次Ｘ線21の２次ターゲット26への照射効率を高くする上で不利となる。
【００３２】
したがって、目的とする２次ターゲット26の特性Ｘ線25のエネルギが低いものであれば、この第２の実施の形態のように、陰極接地の構成を採ることが効果的となる。
【００３３】
次に、図４に第３の実施の形態を示す。
【００３４】
この実施の形態では、第１の実施の形態のＸ線源11において、電子銃14に独立に運転できる電子源16a，16bと、異なる材質（元素）の１次ターゲット20a，20bとを用いて構成したものである。一方の電子源16aからの電子ビーム15aは一方の１次ターゲット20aに、他方の電子源16bからの電子ビーム15bは他方の１次ターゲット20bに照射される。また、電子源16a，16bは１つの駆動電源17で簡単に加速エネルギを変えることが可能である。
【００３５】
さらに、１次ターゲット20a，20bに対して、種類の異なる２次ターゲット26を有する２次ターゲット体23を組み合わせることで、２種類以上の特性Ｘ線25を得ることが可能である。
【００３６】
Ｘ線による励起方式を利用する場合、２次ターゲット26の特性Ｘ線25を効率よく放出できるエネルギの１次Ｘ線21a，21bを選ぶことが効果的となる。そのため、目的とする特性Ｘ線25を得るため、複数の２次ターゲット26を取り換えて用いる場合には、それぞれの元素を励起するのに最適な元素の１次ターゲット20a，20bを選定する必要がある。
【００３７】
最適な組合せの一例は、２次ターゲット26としてチタン（Ｔｉ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ４．５ｋｅＶ）に対する１次ターゲット20a，20bとしてはクロム（Ｃｒ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ５．４ｋｅＶ）、２次ターゲット26としてモリブデン（Ｍｏ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ１７．５ｋｅＶ）に対する１次ターゲット20a，20bとしてはロジウム（Ｒｈ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ２０．２ｋｅＶ）、２次ターゲット26としてガドリニウム（Ｇｄ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ４３ｋｅＶ）に対する１次ターゲット20a，20bとしてはタンタル（Ｔａ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ５７．５ｋｅＶ）などの組合せを採ることができる。
【００３８】
また、２次ターゲット26は１次ターゲット20a，20bよりも原子番号で２程度小さな元素が最も高い励起効率を与えるが、より小さな原子番号の１次ターゲット20a，20bも同時に内蔵していれば、最適値よりも小さな原子番号の２次ターゲット26を選択した場合にも、高い励起効率で２次ターゲット26から特性Ｘ線25を放出させることが可能となる。
【００３９】
これにより、高エネルギから低エネルギまで複数の単色エネルギ成分を含む特性Ｘ線25を放出させることができ、元素分析の領域を広く採ることが可能となる。
【００４０】
このように、１つの電子銃14の電子源16a，16bを選定したり、２次ターゲット26側を取り換えるだけで、高エネルギから低エネルギまで複数の特性Ｘ線25を放出できるＸ線源11を提供できる。
【００４１】
次に、図５に第４の実施の形態を示す。
【００４２】
この実施の形態では、真空容器の一端に電子銃14に対向するＸ線透過窓13を形成し、このＸ線透過窓13の内面に１次ターゲット20をコーティングによって形成する。１次ターゲット20の厚みは、加速電子の飛程より厚いものとする。
【００４３】
真空容器12のＸ線透過窓13が設けられた一端面には、Ｘ線透過窓13の外側を囲むように覆うボックス形の２次ターゲット体23を着脱可能に取り付ける。
【００４４】
そして、電子銃14が発生した電子ビーム15が１次ターゲット20に入射し、この１次ターゲット20から放出される１次Ｘ線21がＸ線透過窓13から２次ターゲット体23内に透過する。２次ターゲット体23内に透過した１次Ｘ線21が主として２次ターゲット体23の対向面23aの２次ターゲット26に入射し、この２次ターゲット26から特性Ｘ線25を放出する。２次ターゲット体23の対向面23aの２次ターゲット26の表面から浅い角度で放出される特性Ｘ線25の成分だけが特性Ｘ線取出窓27を通過し、２次ターゲット体23の外部にシートビーム形状の特性Ｘ線25を放出する。
【００４５】
このように、真空隔壁であるＸ線透過窓13と１次ターゲット20を一体化することにより、１次Ｘ線21の２次ターゲット26への照射角度を大きくとることができ、１次Ｘ線21の利用効率が高くすることができる。
【００４６】
また、１次ターゲット20を透過して放出する１次Ｘ線21を利用する場合は、２次ターゲット26までの遮蔽物が無く、１次Ｘ線21により他構成材が励起されて放出されるノイズ成分の放出を抑制し易い構成となっている。これにより、１次ターゲット20から特性Ｘ線取出窓27までの構成を小形化でき、Ｘ線源11を小形化できる。
【００４７】
この場合にも、２次ターゲット26側を取り換えるだけで、複数の特性Ｘ線25を放出でき、利用効率が高く小形化が可能なＸ線源11を提供することができる。
【００４８】
次に、図６に第５の実施の形態を示す。
【００４９】
この実施の形態では、第４の実施の形態のＸ線源11において、電子銃14に独立に運転できる電子源16a，16bと、異なる材質（元素）の１次ターゲット20a，20bとを用いて構成したものである。一方の電子源16aからの電子ビーム15aは一方の１次ターゲット20aに、他方の電子源16bからの電子ビーム15bは他方の１次ターゲット20bに照射される。また、電子源16a，16bは１つの駆動電源17で簡単に加速エネルギを変えることが可能である。
【００５０】
さらに、１次ターゲット20a，20bに対して、種類の異なる２次ターゲット26を有する２次ターゲット体23を組み合わせることで、２種類以上の特性Ｘ線25を得ることが可能である。
【００５１】
このように、２次ターゲット26側を取り換えるだけで、高エネルギから低エネルギまで複数種類の特性Ｘ線25を放出できるＸ線源11を提供できる。
【００５２】
次に、図７に第６の実施の形態を示す。
【００５３】
この実施の形態では、第５の実施の形態のＸ線源11において、電子銃14から放出された電子ビーム15a，15bの軌道を偏向させて複数種類の１次ターゲット20a，20bのうちの任意のいずれか１つに対して入射させる電子ビーム偏向手段31としての偏向電磁石32を備えている。なお、電子を偏向する場合は電界を用いてもよい。
【００５４】
また、電子銃14は駆動電源17の操作で簡単に加速エネルギを変えることが可能である。
【００５５】
さらに、１次ターゲット20a，20bに対して、種類の異なる２次ターゲット26を有する２次ターゲット体23を組み合わせることで、２種類以上の特性Ｘ線25を得ることが可能である。
【００５６】
このように、１つの電子銃14の電子源16a，16bを選定したり、２次ターゲット26側を取り換えるだけで、高エネルギから低エネルギまで複数種類の特性Ｘ線25を放出できるため、出力増大または小形化が可能なＸ線源11を提供できる。
【００５７】
次に、図８に上記各実施の形態のＸ線源11を用いた蛍光Ｘ線分析装置61を示す。
【００５８】
蛍光Ｘ線分析装置61は、Ｘ線源11から放出されるシートビーム形状の特性Ｘ線25を試料62に照射し、この試料62の表面の元素が励起されて発する蛍光Ｘ線63をＸ線検出器65で捉え、元素分析を行う構成である。
【００５９】
試料62としての半導体ウェハの表面汚染検査を目的とする場合には、特性Ｘ線25は、半導体ウェハ表面に対してできるだけ一定角度で、しかも０．１°以下の非常に浅い角度で入射する必要があるため、例えば扇状のファンビームのようなものも含むシートビーム形状としている。
【００６０】
そして、蛍光Ｘ線分析装置61に適用するＸ線源11は、そのエネルギスペクトルが、２次ターゲット26の特性Ｘ線25が主成分となっており、それによって試料62の表面の元素が励起されて発する蛍光Ｘ線63を捉え、元素組成を分析することができる。
【００６１】
このとき、励起する特性Ｘ線25のスペクトルを予め分析機器に記憶させておき、それによって得られる蛍光信号／励起強度の関係をとらえておけば、蛍光信号強度から、試料62の表面の元素の定量分析を精度良く行うことができる。
【００６２】
このように、シートビーム形状の特性Ｘ線25を効率良く放出できるＸ線源11により、高分解能の蛍光Ｘ線分析装置61を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図３】Ｘ線源の接地電位の影響について、(a)に陰極接地、(b)に陽極接地を示して説明する説明図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図７】本発明の第６の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図８】本発明のＸ線源を用いた蛍光Ｘ線分析装置の説明図である。
【図９】従来の蛍光Ｘ線分析装置の説明図である。
【符号の説明】
【００６４】
11 Ｘ線源
12 真空容器
13 Ｘ線透過窓
15，15a，15b 電子ビーム
20，20a，20b １次ターゲット
21，21a，21b Ｘ線としての１次Ｘ線
23 ２次ターゲット体
25 特性Ｘ線
26 ２次ターゲット
27 特性Ｘ線取出窓
31 電子ビーム偏向手段
61 蛍光Ｘ線分析装置
62 試料
63 蛍光Ｘ線
65 Ｘ線検出器
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特性Ｘ線を放出するＸ線源および蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的なＸ線源では、高電圧で加速した電子を陽極であるターゲットに入射することにより、制動Ｘ線とターゲット特有の特性Ｘ線とが混在して放出されることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
制動Ｘ線は、連続的なエネルギスペクトルであって白色で構成され、そのスペクトル分布は入射する電子エネルギによって変化するのに対し、特性Ｘ線は、電子エネルギに依存せず、ターゲット固有の単一的なエネルギ分布の単色である。蛍光Ｘ線分析は、特性Ｘ線を試料に入射したときに放出される蛍光Ｘ線の信号のエネルギ分布を測定し、試料中の元素の種類、量を同定するものであるが、分析性能を高めるべく工夫された様々のＸ線源が利用されている。
【０００４】
蛍光Ｘ線分析装置においては、既知のスペクトルを持つ特性Ｘ線を利用して試料を励起することによって、蛍光Ｘ線の信号と入射Ｘ線の散乱であるノイズ成分とを分別しやすくなり、高Ｓ／Ｎ比での元素分析が可能となることから、Ｘ線源から放出されるＸ線スペクトルを単色に近いものにする試みが試行され、その一部が実用に至っている。
【０００５】
図９は、上述の特性Ｘ線を利用する高分解能の蛍光Ｘ線分析装置の一般的な構成例を示したものである。ここでは、一般的なＸ線源１を用いて、そのＸ線源１から放出させた連続エネルギスペクトルの１次Ｘ線である連続Ｘ線２を２次ターゲット３に入射し、特性Ｘ線４を放出させて外部に設置したコリメータ５を通して試料６に照射し、試料６の表面の元素を励起して発する蛍光Ｘ線７をＸ線検出器８で検出する構成としている。
【０００６】
この構成における特性Ｘ線４の放出方式では、Ｘ線源１と２次ターゲット３とを離して設置しなければならない。連続Ｘ線２は全周方向である４π方向に放出され、その強度は距離の２乗に反比例して減少するため、従来の構成ではＸ線源１から放出される連続Ｘ線２で２次ターゲット３を照射する効率が低く、２次ターゲット３から放出される特性Ｘ線４の強度を高めるには、大出力のＸ線源１を備える必要が生じ、これにより高分解能の蛍光Ｘ線分析装置が大形化、電力消費量の増大、Ｘ線遮蔽規模の増加、さらに結果的にコスト増加を招き、普及に対する制約を強める要因となっている（例えば、非特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００４−２８８４５号公報（第４−５頁、図１−２）
【非特許文献１】蛍光Ｘ線分析の現状と展望 中井泉 応用物理 第７４巻 第４号（２００５年） 第４５５頁〜第４５６頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のように、高分解能の蛍光Ｘ線分析装置においては、特性Ｘ線を効率良く発生できること、放出されるＸ線スペクトル中に不要なノイズの成分を極力含まないＸ線源を提供することが重要な課題としてある。
【０００８】
さらに、分析対象に合わせて複数種類の特性Ｘ線を選べるようなＸ線源を提供することも重要な課題としてある。一例として、半導体分野で普及の著しい高分解能型の全反射蛍光Ｘ線分析では、超微量の軽元素から重元素まで多数の対象元素を分析することが要求される。そのため、複数種類の特性Ｘ線を放出可能とする１次や２次のターゲットの異なる複数のＸ線源を用い、利用するＸ線エネルギ領域に別けてＸ線源を切り換えて使用しなければならない。
【０００９】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、高効率で特性Ｘ線を放出でき、放出する特性Ｘ線へのノイズ成分の混入が抑えられ、例えば全反射蛍光Ｘ線分析に適するようなシートビーム形状の特性Ｘ線を容易に得ることができ、しかも、２次ターゲットの交換を容易に可能とし、複数種類の特性Ｘ線を容易に放出できるＸ線源および蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のＸ線源は、Ｘ線透過窓を有する真空容器と、この真空容器内で電子ビームを発生する電子銃と、前記真空容器内に設けられ、前記電子銃が発生する電子ビームが入射してＸ線を放出する１次ターゲットと、前記真空容器のＸ線透過窓の外側を囲って着脱可能に取り付けられるボックス形に設けられ、前記１次ターゲットから放出されて前記Ｘ線取出窓を透過するＸ線が入射して特性Ｘ線を放出する２次ターゲット、および２次ターゲットから放出される特性Ｘ線を外部に放出する特性Ｘ線取出窓を有する２次ターゲット体とを具備しているものである。
【００１１】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、特性Ｘ線を試料に照射する請求項１ないし６いずれか記載のＸ線源と、前記特性Ｘ線の照射にて試料の表面の元素が励起して発する蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器とを具備しているものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、真空容器内の１次ターゲットから放出されたＸ線が真空容器のＸ線取出窓を透過するとともにこのＸ線透過窓の外側を囲うボックス形の２次ターゲット体内に侵入して２次ターゲットに入射し、この２次ターゲットから放出される特性Ｘ線が２次ターゲット体の特性Ｘ線窓から外部に放出されるため、高効率で特性Ｘ線を放出でき、放出する特性Ｘ線へのノイズ成分の混入が抑えられるとともに、例えば全反射蛍光Ｘ線分析に適するようなシートビーム形状の特性Ｘ線を容易に得ることができる。しかも、２次ターゲット体は真空容器側に対して着脱できるため、種類の異なる２次ターゲットに容易に取り換えることができ、複数種類の特性Ｘ線を容易に放出できるＸ線源を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１４】
図１に第１の実施の形態を示す。
【００１５】
Ｘ線源11は、内部が真空保持される真空容器12を有し、この真空容器12の一端寄りの側面にＸ線を外部に放出するＸ線透過窓13が配設されている。Ｘ線透過窓13は、例えばＢｅ（ベリリウム）等の材料で形成されていて気密を保つ役割を果たす。
【００１６】
真空容器12の他端には電子銃14が配設され、真空容器12内に位置する電子銃14の端部に、真空容器12内の一端側へ向けて電子ビーム15を放出するエミッタである電子源16が設けられている。電子源16は、ライン状に形成され、細長いライン形状の電子ビーム15を放出することができる。電子銃14は、駆動電源17によって電子ビーム15を発生、加速する。
【００１７】
真空容器12内には、電子銃14に対向して１次ターゲット20が配設されている。この１次ターゲット20は、電子ビーム15が入射してＸ線としての連続Ｘ線である１次Ｘ線21をＸ線透過窓13へ向けて放出する。
【００１８】
真空容器12のＸ線透過窓13が設けられた外側面には、Ｘ線透過窓13の外側を囲むように覆うボックス形の２次ターゲット体23が着脱可能に取り付けられている。この２次ターゲット体23の真空容器12に対向する面にはＸ線透過窓13を透過する１次Ｘ線21が２次ターゲット体23内に通過するＸ線通過口24が開口形成され、２次ターゲット体23の少なくとも内面には１次Ｘ線21が入射することによって２次Ｘ線である特性Ｘ線25を放出する２次ターゲット26が形成されている。
【００１９】
２次ターゲット26は、２次ターゲット体23の例えばステンレスのような一般的な材料でボックス形に形成された主構成材の１次Ｘ線21が入射する内表面部分だけに２次ターゲット26の材料の箔を貼り付けたものや２次ターゲット26の材料をコーティングしたもので対応できる。あるいは、２次ターゲット体23を２次ターゲット26の材料で形成してもよい。
【００２０】
２次ターゲット体23には、Ｘ線透過窓13およびＸ線通過口24に対向する対向面23aに対して交差する面であって、その対向面23aに沿った位置に、特性Ｘ線25を放出する特性Ｘ線取出窓27が開口形成されている。特性Ｘ線取出窓27は、１次Ｘ線21が混入せず、シートビーム形状の特性Ｘ線25を取り出せるように、対向面23aに沿った細長いスリット状の開口形状に形成されている。
【００２１】
なお、１次ターゲット20側である陽極側を接地電位とし、電子銃14側である陰極側に負高電圧を印加する構成である。
【００２２】
また、１次ターゲット20は、２次ターゲット26よりも原子番号で２程度大きな元素を用いて、それにより放出される１次Ｘ線21を利用することが最も効率良く２次ターゲット26を励起することができる。
【００２３】
そして、電子銃14に駆動電源17から電圧を印加することによって放出された電子ビーム15が１次ターゲット20に入射し、１次ターゲット20から放出される１次Ｘ線21がＸ線透過窓13から２次ターゲット体23内に透過する。２次ターゲット体23内に透過した１次Ｘ線21が主として２次ターゲット体23の対向面23aの２次ターゲット26に入射し、この２次ターゲット26から特性Ｘ線25を放出する。２次ターゲット体23の対向面23aの２次ターゲット26の表面から浅い角度で放出される特性Ｘ線25の成分だけが特性Ｘ線取出窓27を通過し、２次ターゲット体23の外部にシートビーム形状の特性Ｘ線25を放出する。
【００２４】
このように、利用しようとする特性Ｘ線25以外のノイズ成分の混入が抑制されたシートビーム形状の特性Ｘ線25が得られるＸ線源11を提供できる。
【００２５】
また、この構成を採ることにより、特性Ｘ線25は固体のＸ線透過窓13を通していないため、透過時の減衰作用を受けることがなく、これは特に大きな減衰作用を受ける低エネルギの特性Ｘ線25を得ようとする場合に有利となる。さらに、固体のＸ線透過窓13を通過する際のコンプトン散乱成分の発生も懸念する必要がなく、これにより、Ｘ線強度の確保と高いスペクトル単色性を保証することが可能となる。
【００２６】
しかも、２次ターゲット体23は真空容器12側に対して着脱できるため、利用しようとする特性Ｘ線25が得られる複数種類の２次ターゲット26を有する２次ターゲット体23を複数種類用意しておくことにより、種類の異なる２次ターゲット26に取り換えることにより、複数種類の特性Ｘ線25を容易に放出できるＸ線源11を提供できる。
【００２７】
次に、図２に第２の実施の形態を示す。
【００２８】
この実施の形態では、第１の実施の形態のＸ線源11においては、１次ターゲット20側である陽極側を接地電位とし、電子銃14側である陰極側に負高電圧を印加する構成であったのに対して、その逆の構成としたもので、すなわち、電子銃14側である陰極側を接地電位、１次ターゲット20側である陽極側を高圧電位にしたものである。
【００２９】
図３は、陰極、陽極どちらを接地電位とするかによって受ける影響について説明したものである。
【００３０】
図３(b)に示すように、陽極接地の場合は、１次Ｘ線21を放出する１次ターゲット20とＸ線透過窓13が同じ接地電位であるため、絶縁距離を考慮する必要が無く、その間の距離を短縮して２次ターゲット26への１次Ｘ線21の照射効率を高くすることが可能となる。反面、１次ターゲット20から放出される１次Ｘ線21の中の高エネルギー成分である反跳電子29は、エネルギを減少することなくＸ線透過窓13に衝突し、損傷を与えることになる。一般的に、このＸ線透過窓13には、Ｘ線減弱率の小さなＢｅ（ベリリウム）が用いられ、低エネルギ成分を取り出す場合には、その厚さも１ｍｍ以下の非常に薄いものが使用されるが、上述の反跳電子29による損傷を考慮すると、窓厚を薄くすることが困難となることが短所がある。
【００３１】
図３(a)に示すように、これと逆の構成、すなわち陰極を接地電位とした場合には、１次ターゲット20から放出された反跳電子29は、ほとんどが１次ターゲット20に回帰するため、Ｘ線透過窓13に到達して衝撃を与えることはない。これにより非常に薄いＸ線透過窓13を用いることができ、低エネルギＸ線を効率良く取り出すうえで有利となる。反面、１次ターゲット20とＸ線透過窓13は、絶縁確保のため一定以上の距離Ｌを確保することが必要となり、そのため２次ターゲット26までの距離が大きくなり、１次Ｘ線21の２次ターゲット26への照射効率を高くする上で不利となる。
【００３２】
したがって、目的とする２次ターゲット26の特性Ｘ線25のエネルギが低いものであれば、この第２の実施の形態のように、陰極接地の構成を採ることが効果的となる。
【００３３】
次に、図４に第３の実施の形態を示す。
【００３４】
この実施の形態では、第１の実施の形態のＸ線源11において、電子銃14に独立に運転できる電子源16a，16bと、異なる材質（元素）の１次ターゲット20a，20bとを用いて構成したものである。一方の電子源16aからの電子ビーム15aは一方の１次ターゲット20aに、他方の電子源16bからの電子ビーム15bは他方の１次ターゲット20bに照射される。また、電子源16a，16bは１つの駆動電源17で簡単に加速エネルギを変えることが可能である。
【００３５】
さらに、１次ターゲット20a，20bに対して、種類の異なる２次ターゲット26を有する２次ターゲット体23を組み合わせることで、２種類以上の特性Ｘ線25を得ることが可能である。
【００３６】
Ｘ線による励起方式を利用する場合、２次ターゲット26の特性Ｘ線25を効率よく放出できるエネルギの１次Ｘ線21a，21bを選ぶことが効果的となる。そのため、目的とする特性Ｘ線25を得るため、複数の２次ターゲット26を取り換えて用いる場合には、それぞれの元素を励起するのに最適な元素の１次ターゲット20a，20bを選定する必要がある。
【００３７】
最適な組合せの一例は、２次ターゲット26としてチタン（Ｔｉ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ４．５ｋｅＶ）に対する１次ターゲット20a，20bとしてはクロム（Ｃｒ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ５．４ｋｅＶ）、２次ターゲット26としてモリブデン（Ｍｏ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ１７．５ｋｅＶ）に対する１次ターゲット20a，20bとしてはロジウム（Ｒｈ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ２０．２ｋｅＶ）、２次ターゲット26としてガドリニウム（Ｇｄ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ４３ｋｅＶ）に対する１次ターゲット20a，20bとしてはタンタル（Ｔａ：特性Ｘ線Ｋαエネルギ５７．５ｋｅＶ）などの組合せを採ることができる。
【００３８】
また、２次ターゲット26は１次ターゲット20a，20bよりも原子番号で２程度小さな元素が最も高い励起効率を与えるが、より小さな原子番号の１次ターゲット20a，20bも同時に内蔵していれば、最適値よりも小さな原子番号の２次ターゲット26を選択した場合にも、高い励起効率で２次ターゲット26から特性Ｘ線25を放出させることが可能となる。
【００３９】
これにより、高エネルギから低エネルギまで複数の単色エネルギ成分を含む特性Ｘ線25を放出させることができ、元素分析の領域を広く採ることが可能となる。
【００４０】
このように、１つの電子銃14の電子源16a，16bを選定したり、２次ターゲット26側を取り換えるだけで、高エネルギから低エネルギまで複数の特性Ｘ線25を放出できるＸ線源11を提供できる。
【００４１】
次に、図５に第４の実施の形態を示す。
【００４２】
この実施の形態では、真空容器の一端に電子銃14に対向するＸ線透過窓13を形成し、このＸ線透過窓13の内面に１次ターゲット20をコーティングによって形成する。１次ターゲット20の厚みは、加速電子の飛程より厚いものとする。
【００４３】
真空容器12のＸ線透過窓13が設けられた一端面には、Ｘ線透過窓13の外側を囲むように覆うボックス形の２次ターゲット体23を着脱可能に取り付ける。
【００４４】
そして、電子銃14が発生した電子ビーム15が１次ターゲット20に入射し、この１次ターゲット20から放出される１次Ｘ線21がＸ線透過窓13から２次ターゲット体23内に透過する。２次ターゲット体23内に透過した１次Ｘ線21が主として２次ターゲット体23の対向面23aの２次ターゲット26に入射し、この２次ターゲット26から特性Ｘ線25を放出する。２次ターゲット体23の対向面23aの２次ターゲット26の表面から浅い角度で放出される特性Ｘ線25の成分だけが特性Ｘ線取出窓27を通過し、２次ターゲット体23の外部にシートビーム形状の特性Ｘ線25を放出する。
【００４５】
このように、真空隔壁であるＸ線透過窓13と１次ターゲット20を一体化することにより、１次Ｘ線21の２次ターゲット26への照射角度を大きくとることができ、１次Ｘ線21の利用効率が高くすることができる。
【００４６】
また、１次ターゲット20を透過して放出する１次Ｘ線21を利用する場合は、２次ターゲット26までの遮蔽物が無く、１次Ｘ線21により他構成材が励起されて放出されるノイズ成分の放出を抑制し易い構成となっている。これにより、１次ターゲット20から特性Ｘ線取出窓27までの構成を小形化でき、Ｘ線源11を小形化できる。
【００４７】
この場合にも、２次ターゲット26側を取り換えるだけで、複数の特性Ｘ線25を放出でき、利用効率が高く小形化が可能なＸ線源11を提供することができる。
【００４８】
次に、図６に第５の実施の形態を示す。
【００４９】
この実施の形態では、第４の実施の形態のＸ線源11において、電子銃14に独立に運転できる電子源16a，16bと、異なる材質（元素）の１次ターゲット20a，20bとを用いて構成したものである。一方の電子源16aからの電子ビーム15aは一方の１次ターゲット20aに、他方の電子源16bからの電子ビーム15bは他方の１次ターゲット20bに照射される。また、電子源16a，16bは１つの駆動電源17で簡単に加速エネルギを変えることが可能である。
【００５０】
さらに、１次ターゲット20a，20bに対して、種類の異なる２次ターゲット26を有する２次ターゲット体23を組み合わせることで、２種類以上の特性Ｘ線25を得ることが可能である。
【００５１】
このように、２次ターゲット26側を取り換えるだけで、高エネルギから低エネルギまで複数種類の特性Ｘ線25を放出できるＸ線源11を提供できる。
【００５２】
次に、図７に第６の実施の形態を示す。
【００５３】
この実施の形態では、第５の実施の形態のＸ線源11において、電子銃14から放出された電子ビーム15a，15bの軌道を偏向させて複数種類の１次ターゲット20a，20bのうちの任意のいずれか１つに対して入射させる電子ビーム偏向手段31としての偏向電磁石32を備えている。なお、電子を偏向する場合は電界を用いてもよい。
【００５４】
また、電子銃14は駆動電源17の操作で簡単に加速エネルギを変えることが可能である。
【００５５】
さらに、１次ターゲット20a，20bに対して、種類の異なる２次ターゲット26を有する２次ターゲット体23を組み合わせることで、２種類以上の特性Ｘ線25を得ることが可能である。
【００５６】
このように、１つの電子銃14の電子源16a，16bを選定したり、２次ターゲット26側を取り換えるだけで、高エネルギから低エネルギまで複数種類の特性Ｘ線25を放出できるため、出力増大または小形化が可能なＸ線源11を提供できる。
【００５７】
次に、図８に上記各実施の形態のＸ線源11を用いた蛍光Ｘ線分析装置61を示す。
【００５８】
蛍光Ｘ線分析装置61は、Ｘ線源11から放出されるシートビーム形状の特性Ｘ線25を試料62に照射し、この試料62の表面の元素が励起されて発する蛍光Ｘ線63をＸ線検出器65で捉え、元素分析を行う構成である。
【００５９】
試料62としての半導体ウェハの表面汚染検査を目的とする場合には、特性Ｘ線25は、半導体ウェハ表面に対してできるだけ一定角度で、しかも０．１°以下の非常に浅い角度で入射する必要があるため、例えば扇状のファンビームのようなものも含むシートビーム形状としている。
【００６０】
そして、蛍光Ｘ線分析装置61に適用するＸ線源11は、そのエネルギスペクトルが、２次ターゲット26の特性Ｘ線25が主成分となっており、それによって試料62の表面の元素が励起されて発する蛍光Ｘ線63を捉え、元素組成を分析することができる。
【００６１】
このとき、励起する特性Ｘ線25のスペクトルを予め分析機器に記憶させておき、それによって得られる蛍光信号／励起強度の関係をとらえておけば、蛍光信号強度から、試料62の表面の元素の定量分析を精度良く行うことができる。
【００６２】
このように、シートビーム形状の特性Ｘ線25を効率良く放出できるＸ線源11により、高分解能の蛍光Ｘ線分析装置61を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図３】Ｘ線源の接地電位の影響について、(a)に陰極接地、(b)に陽極接地を示して説明する説明図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図７】本発明の第６の実施の形態を示すＸ線源の説明図である。
【図８】本発明のＸ線源を用いた蛍光Ｘ線分析装置の説明図である。
【図９】従来の蛍光Ｘ線分析装置の説明図である。
【符号の説明】
【００６４】
11 Ｘ線源
12 真空容器
13 Ｘ線透過窓
15，15a，15b 電子ビーム
20，20a，20b １次ターゲット
21，21a，21b Ｘ線としての１次Ｘ線
23 ２次ターゲット体
25 特性Ｘ線
26 ２次ターゲット
27 特性Ｘ線取出窓
31 電子ビーム偏向手段
61 蛍光Ｘ線分析装置
62 試料
63 蛍光Ｘ線
65 Ｘ線検出器
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線透過窓を有する真空容器と、
この真空容器内で電子ビームを発生する電子銃と、
前記真空容器内に設けられ、前記電子銃が発生する電子ビームが入射してＸ線を放出する１次ターゲットと、
前記真空容器のＸ線透過窓の外側を囲って着脱可能に取り付けられるボックス形に設けられ、前記１次ターゲットから放出されて前記Ｘ線取出窓を透過するＸ線が入射して特性Ｘ線を放出する２次ターゲット、および２次ターゲットから放出される特性Ｘ線を外部に放出する特性Ｘ線取出窓を有する２次ターゲット体と
を具備していることを特徴とするＸ線源。
【請求項２】
電子銃側を接地電位、１次ターゲット側を高圧電位とした
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線源。
【請求項３】
複数種類のＸ線を放出する複数種類の１次ターゲットを備えている
ことを特徴とする請求項１または２記載のＸ線源。
【請求項４】
１次ターゲットは、Ｘ線透過窓に電子の飛程より厚い厚みにコーティングされている
ことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載のＸ線源。
【請求項５】
電子銃は、複数種類の１次ターゲット毎に電子ビームを発生する複数の電子源を備えている
ことを特徴とする請求項３記載のＸ線源。
【請求項６】
１つの電子銃が発生する電子ビームの軌道を偏向させて複数種類の１次ターゲットのうちの任意の１次ターゲットに対して入射させる電子ビーム偏向手段を具備している
ことを特徴とする請求項３記載のＸ線源。
【請求項７】
特性Ｘ線を試料に照射する請求項１ないし６いずれか記載のＸ線源と、
前記特性Ｘ線の照射にて試料の表面の元素が励起して発する蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器と
を具備していることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項１】
Ｘ線透過窓を有する真空容器と、
この真空容器内で電子ビームを発生する電子銃と、
前記真空容器内に設けられ、前記電子銃が発生する電子ビームが入射してＸ線を放出する１次ターゲットと、
前記真空容器のＸ線透過窓の外側を囲って着脱可能に取り付けられるボックス形に設けられ、前記１次ターゲットから放出されて前記Ｘ線取出窓を透過するＸ線が入射して特性Ｘ線を放出する２次ターゲット、および２次ターゲットから放出される特性Ｘ線を外部に放出する特性Ｘ線取出窓を有する２次ターゲット体と
を具備していることを特徴とするＸ線源。
【請求項２】
電子銃側を接地電位、１次ターゲット側を高圧電位とした
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線源。
【請求項３】
複数種類のＸ線を放出する複数種類の１次ターゲットを備えている
ことを特徴とする請求項１または２記載のＸ線源。
【請求項４】
１次ターゲットは、Ｘ線透過窓に電子の飛程より厚い厚みにコーティングされている
ことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載のＸ線源。
【請求項５】
電子銃は、複数種類の１次ターゲット毎に電子ビームを発生する複数の電子源を備えている
ことを特徴とする請求項３記載のＸ線源。
【請求項６】
１つの電子銃が発生する電子ビームの軌道を偏向させて複数種類の１次ターゲットのうちの任意の１次ターゲットに対して入射させる電子ビーム偏向手段を具備している
ことを特徴とする請求項３記載のＸ線源。
【請求項７】
特性Ｘ線を試料に照射する請求項１ないし６いずれか記載のＸ線源と、
前記特性Ｘ線の照射にて試料の表面の元素が励起して発する蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器と
を具備していることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００８−１６３３９（Ｐ２００８−１６３３９Ａ）
【公開日】平成２０年１月２４日（２００８．１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１８６８４２（Ｐ２００６−１８６８４２）
【出願日】平成１８年７月６日（２００６．７．６）
【出願人】（０００００３０７８）株式会社東芝 (54,554)
【出願人】（５０３３８２５４２）東芝電子管デバイス株式会社 (369)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１月２４日（２００８．１．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年７月６日（２００６．７．６）
【出願人】（０００００３０７８）株式会社東芝 (54,554)
【出願人】（５０３３８２５４２）東芝電子管デバイス株式会社 (369)
【Ｆターム（参考）】
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