【課題】不要な放射線を除去するフィルタ材料を使用する透過型Ｘ線管及び反射型Ｘ線管を提供する。
【解決手段】透過型Ｘ線管は、ターゲット材料及びフィルタ材料を備える。ターゲットは、少なくとも一つの元素を有し、元素が励起されるとＸ線が発生する。Ｘ線は、元素の特性Ｋα放射線及びＫβ放射線のエネルギーを備え、これらがＸ線の衝突により物体の画像を形成するために用いられる。Ｘ線が通過するフィルタ材料はＫ吸収端エネルギーを有し、Ｋ吸収端エネルギーは、放射されるＫα放射線のエネルギーよりも高く、Ｋβ放射線のエネルギーよりも低い。フィルタ材料の厚みは、少なくとも10ミクロン3ミリメートル未満である。 （もっと読む）

【課題】骨塩量測定システム等に設けられるＸ線発生装置において、十分な放熱と散乱Ｘ線の遮蔽とが行われるようにする。
【解決手段】Ｘ線発生ユニット１４の上部には構造体４４が設けられている。構造体４４はフィルタユニット４２の周囲に設けられ、それは１つの水平板５２と複数の垂直板５４とからなる。フィルタユニット４２の内部において散乱Ｘ線が生じた場合、構造体４４によってそれが遮蔽される。また構造体４４の放熱作用により、Ｘ線管が効果的に冷却される。構造体４４は電磁シールド作用も発揮する。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線の発生効率を向上させることができるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置１は、Ｘ線を出射するＸ線管３と、Ｘ線の照射によって蛍光Ｘ線を放出するターゲットＴと、蛍光Ｘ線を一端５ａから他端５ｂに伝播するキャピラリー管５を複数含むキャピラリー管集合体４と、を備えている。キャピラリー管集合体４は、キャピラリー管５の一端５ａの集合によって形成された一端面４ａを有している。ターゲットＴは、キャピラリー管集合体４の一端面４ａに膜状に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 X線高電圧装置から発生するノイズによる周辺機器への誤動作の低減、及び、発熱低減による冷却構造の簡易化をすることが可能なX線高電圧装置と、このX線高電圧装置を用いてX線を発生させるX線装置を提供する。また、このX線装置を用いて撮影画像へのノイズ混入等の影響を低減可能なX線診断装置を提供する。
【解決手段】 X線を発生させるX線管装置に電力を供給する、半導体スイチング素子を備えた複数の半導体電力変換回路と、この半導体電力変換回路を制御する制御回路と、を備えたX線高電圧装置であって、このX線管装置からX線を発生させる際に、そのX線発生条件に応じて、これら複数の半導体電力変換回路のうち、一つの半導体電力変換回路内の半導体スイチング素子の動作を停止させる。 （もっと読む）

【課題】異なる処理装置の仕様に対してＥＵＶチャンバの仕様変更を少なくすることができるＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】極端紫外光を用いて処理を行う処理装置に極端紫外光を供給する極端紫外光源装置であって、処理装置に供給するための極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内において生成された極端紫外光を集光して前記処理装置に出射する集光ミラーと、チャンバと処理装置との間において極端紫外光の経路を画定するとともに、極端紫外光の経路を外部から隔離する光路接続モジュールとを具備する。 （もっと読む）

電離放射線（１２）を制御可能にダウンホール発生させる装置であって、装置は少なくとも、電気的に絶縁された真空容器（９）の第１端部（７ａ）に配置された熱イオン発生器（１１）と、電気的に絶縁された真空容器（９）の第２端部（７ｂ）に配置されたレプトンターゲット（６）と、を含み、前記熱イオン発生器（１１）は一連の直列接続された負電位増加要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄）に接続され、各電位増加要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄）は、印加された直流電位（δＶ₀，δＶ₁，δＶ₁₊₂，・・・，δＶ₁₊₂₊₃）を印加された駆動電圧（Ｖ_AC）を変換することで増加し、増加された負の直流電位（δＶ₁，δＶ₁₊₂，・・・，δＶ_1+2+3+4）と駆動電圧（Ｖ_AC）とを前記一連の直列接続された要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄，５）の次の構成単位へ送り、電離放射線（１２）は２００ｋｅＶを越え、スペクトル分布の主要部分がコンプトン範囲内である装置。
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【課題】高速回転による短時間でのスキャンが可能なＸ線コンピュータ断層撮像装置を電力容量の小さな電源からの供給電力で動作することを可能とする。
【解決手段】ＤＣ／ＡＣインバータ１４ｃは、第１の直流電圧を交流電圧に変換する。高電圧発生器１４ｄは、ＤＣ／ＡＣインバータ１４ｃにより得られた交流電圧を利用して、Ｘ線コンピュータ断層撮像装置に備えられたＸ線管１１ａによるＸ線照射を生じさせるための交流電力を発生する。電気二重層キャパシタ１４ｂは、第２の直流電圧により電気エネルギを蓄積し、この蓄積した電気エネルギを第３の直流電圧として出力する。ＡＣ／ＤＣコンバータ１４ａは、Ｘ線照射を行わない期間には電気二重層キャパシタ１４ｂに電気エネルギを蓄積させ、Ｘ線照射を行う期間には第３の直流電圧との合成により第１の直流電圧が得られるように第２の直流電圧を生成する。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内に配置された光学素子等の部品に付着したデブリを排除することができる極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内にターゲット物質を供給するターゲット物質供給部と、ターゲット物質にドライバ用パルスレーザ光を照射してプラズマを生成するドライバレーザ装置と、クリーニング用パルスレーザ光を射出するクリーニングレーザ装置と、チャンバ内に設置された部品にクリーニング用パルスレーザ光を照射することにより、該部品の表面に付着したデブリを除去するように、クリーニングレーザ装置から射出されるクリーニング用パルスレーザ光の照射位置を制御する制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】スペクトル純度の高いＥＵＶ光が得られるスペクトル純度フィルタを用いたＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、チャンバと、ターゲット物質を供給するターゲット供給部と、炭酸ガスを含むレーザガスをレーザ媒質として使用し、ターゲット物質にレーザ光を照射してプラズマを生成するドライバレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射する集光ミラーと、極端紫外光の光路中に設られ、極端紫外光を透過してレーザ光を反射するスペクトル純度フィルタであって、ドライバレーザによって照射されるレーザ光の最も短い波長の半分以下のピッチを有する開口の配列が形成され、電気伝導性を有するメッシュを含むスペクトル純度フィルタとを具備する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線源における線質と照射位置の選択の自由度を増すことで、低線量で高コントラストのＸ線画像を高速に得ることを可能とする。
【解決手段】２次元に配置された複数の電子源と、それらに対向する位置に配置されたターゲットとを備えたマルチＸ線発生装置は、複数の電子源を含み、供給された駆動信号に応じて、複数の電子源を選択的に駆動して駆動された電子源から電子を出力するマルチ電子源と、マルチ電子源から出力された電子の照射に応じてＸ線を発生する複数のターゲットを含み、Ｘ線の発生個所に応じて異なる線質のＸ線を出力するターゲット部とを有し、マルチ電子源における電子源の選択的な駆動により、ターゲット部からのＸ線の発生個所と線質が制御される。 （もっと読む）

【課題】１次Ｘ線の混入がほとんどない単色Ｘ線を発生させることができ、しかも放熱性に優れているため、大強度のＸ線を発生することができるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】放熱性に優れた回転陽極のエッジ付近１次ターゲット層と２次ターゲット層を重ねて設置する。２次ターゲットで発生した特性Ｘ線は、回転陽極に近接したスリット２０より、ベリリウム層３０を介して電子ビームに対して垂直方向に取り出す。１次Ｘ線は、１次ターゲット層と、遮蔽材によって吸収されスリット２０からは、射出されない。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ビームを形成する小型かつ軽量のＸ線ビーム源を得る。
【解決手段】Ｘ線ビーム源１３は、絶縁材１に挿入され電圧を印加する導入線２と、導入線２の一端に設けられた陰極と、陰極と対面して設けられ発生した電子ビームを衝突させてＸ線を発生させる陽極であるターゲット６と、導入線２、陰極及びターゲット６を収納しＸ線が通過するＸ線透過窓５を有する真空容器７と、Ｘ線透過窓５の外側に設けられＸ線から特性Ｘ線を選択的に取り出すフィルタ８と、真空容器７及びフィルタ８を収納するハウジング１０と、ハウジング１０に設けられ特性Ｘ線を収束するＸ線集光素子であるフレネルゾーンプレート（ＦＺＰ）９と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光を濾過するフィルタの劣化及び／又は破損を防止することが可能なＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ＥＵＶ光の生成が行われるＥＵＶ生成チャンバ２と、ＥＵＶ生成チャンバ２内にターゲット物質を供給するターゲット物質供給部３と、ＥＵＶ生成チャンバ２内に供給されたターゲット物質にレーザビームを照射することによりプラズマを発生させるレーザ光源１と、プラズマから放射されるＥＵＶ光を集光するＥＵＶ光集光ミラー８と、ＥＵＶ光集光ミラー８によって集光されたＥＵＶ光を濾過するＳＰＦ１４と、プラズマとＳＰＦ１４との間に配置され、プラズマからＳＰＦ１４に向かって飛散する飛散物を遮ることによりＳＰＦ１４を防護するＳＰＦ防護板１５とを含む。 （もっと読む）

【課題】撮影の際に、各照射時間において実際にＸ線が照射される時間の増減幅を抑制することができる透視撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線の吸収量の異なる複数個の付加フィルタ２２を備え、移動制御部５３は被検体Ｍの体厚に応じて付加フィルタ２２を選択し、選択した付加フィルタ２２をＸ線の照視野内に移動させる。このとき、被検体Ｍの体厚が薄いほど、吸収量の大きい付加フィルタ２２を選択する。また、高電圧制御部５１は、撮影の際、インバータ３２の駆動周波数を決定し、決定した駆動周波数に応じた管電圧を高電圧発生部３１から出力させる。このように、体厚が薄い被検体Ｍに対しても、撮影の際に、インバータの駆動周波数が低くなることを抑制し、実際にＸ線が照射される時間の増減幅を抑制できる。この結果、得られたＸ線画像を動画で表示させても「ちらつき」を視認できない程度に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特に、流体を真空室に噴射するための、ノズル装置（１）に関する。
【解決手段】ノズル流路の内輪郭は、少なくとも部分的に凹面状に形成されている。
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【課題】低エネルギー領域と高エネルギー領域において、明確に分離されたＸ線ピークを有するマルチＸ線を発生させる方法及びその装置の提供。
【解決手段】連続Ｘ線発生器に金属材料のフィルターを配置して管電圧をかけることにより低エネルギーの狭帯域及び／又は高エネルギーの狭帯域にＸ線ピークを有するマルチＸ線の発生方法であって、金属材料のフィルターが少なくとも１種類の金属元素からなり、該金属フィルターが金属元素の特性Ｘ線のエネルギーより１０〜３０ｋｅＶの高エネルギー位置において、ｅｘｐ（−μρｘ）≦０．１（μは金属元素の特定のエネルギーにおける質量減弱係数（ｃｍ^２／ｇ）、ρは金属元素の密度（ｇ／ｃｍ^３）、ｘは金属フィルターの厚さ（ｃｍ）を表す）、かつ管電圧が該金属元素の特性Ｘ線のエネルギーを発生させるに必要な管電圧または該電圧より数ｋＶ以上高い電圧であることを特徴とするマルチＸ線の発生方法及びその装置。 （もっと読む）

本発明は、感光性レジストに覆われた物体を検査する照射装置に関し、その照射装置は、物体への放射線の経路を横切るシステムのみならず、ＥＵＶ放射線源と、ＥＵＶ放射線源をフィルタリングする光学系と、物体を収容するチャンバとを備える。本発明は、上記の装置を操作する方法にも関する。本発明は、複雑な光学系を用いることなく安価な実験用放射線源を用いて、複数の照射領域への、少なくとも一部同時の、異なった線量の照射ができる限り速く得られることを目的とする。従って、本発明は、シンプルでコンパクトな光学系を備える装置を提供し、照射される物体の前面に閉口可能なダイアフラム開口部を配置し、放射線の経路に少なくとも１つの制御センサーを配置し、放射線量の測定を可能にする。
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