【課題】半導体製造や液晶製造などの先端産業における原材料、半製品、製品の基材や基板表面の汚染を防止するための清浄気体の調製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材又は基板表面の汚染を防止するための方法であって、クリーンルーム内の気体を、吸着手段および／または吸収手段と、除塵手段とに通すことによって、非メタン炭化水素濃度が０．２ｐｐｍ以下且つ微粒子濃度クラスが１０以下の清浄気体を調整し、得られた清浄空気を基材又は基板の表面と接触させることを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、性能を改良し、かつ可能であれば複数の濾過機能を一体型フィルタに組み込むことによって、粒子状物質及び気相汚染物質のような汚染物質を、汚染に影響されやすい電子又は光学機器（例えばコンピュータディスクドライブ）のような密閉した環境から濾過するための機器に関する。濾過性能を改良する流れ層をフィルタは含んでいる。濾過機能には受動的吸着アセンブリが含まれ、注入口、又はブリーザフィルタ及び吸着フィルタの組み合わせが含まれてもよい。さらに、筐体内部に望まれる機能に応じて、再循環フィルタ、拡散チューブ、及び外部実装機能をフィルタに追加してもよい。
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本発明は高純度の酸素を製造するための設備（好ましくは輸送可能なコンテナ（２１）内に設置される）に関し、この設備は、ゼオライトシーブを含む上流の圧力スイング吸着（ＰＳＡ）装置（Ａ₁）と、炭素系ふるいを含む下流のＰＳＡ装置（Ａ₂）と、２つの装置の間のループにおける、酸素をアルゴンから分離することが可能な透過装置（Ｐ）と、中圧酸素コンプレッサー（２０）とを有する。本発明は、現場で、一般的には孤立した場所において、高純度の酸素を製造するために用いられる。
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本発明は、三フッ化窒素ガスの精製方法、およびそれに用いられる吸着剤に関するものである。本発明は、アルカリ土類金属でイオン交換されて１５０〜６００℃で３０分〜１００時間の間加熱処理されたゼオライト３Ａ、４Ａまたは５Ａを充填させたカラムに四フッ化炭素（ＣＦ_４）を含有する三フッ化窒素（ＮＦ_３）ガスを通気させ、三フッ化窒素だけを選択的に吸着するステップを含む三フッ化窒素ガスの精製方法およびそれに用いられるゼオライト３Ａ、４Ａまたは５Ａからなる三フッ化窒素吸着剤に関するものである。 （もっと読む）

本発明は、三フッ化窒素ガスの精製方法に関し、より詳しくはアルカリ土類金属でイオン交換されて含浸された後、１５０〜６００℃で３０分〜１００時間の間加熱処理したゼオライト３Ａ、４Ａまたは５Ａを充填させたカラムによって、四フッ化炭素（ＣＦ_４）を含有する三フッ化窒素（ＮＦ_３）ガスを通気させ、三フッ化窒素だけを選択的に吸着するステップを含む三フッ化窒素ガスの精製方法に関するものである。 （もっと読む）

【課題】携帯式の酸素に富む気体を製造する装置の提供。
【解決手段】（ａ）第１及び第２のコンプレッサ９を含み、重量Ｗ_pにより特徴づけされる主気体ポンプ１１、（ｂ）第１及び第２のコンプレッサ９を駆動するように適合された駆動モータ１３、（ｃ）重量Ｗ_bによって特徴づけされる充電式電源、及び（ｄ）加圧原料空気を生成物流量Ｆ_pの酸素に富む生成物と酸素欠乏廃気とに分離するように適合され、吸着剤を収容する複数の吸着床４１，４３，４５，４７，４９を含み、吸着剤の合計重量Ｗ_aにより特徴づけされる圧力／真空スイング吸着ユニット、を含む装置であり、吸着剤、主気体ポンプ１１及び充電式電源の総重量（ポンド単位）Ｗ_tが、式０．７５Ｆ_p＜Ｗ_t＜２．０２Ｆ_p（Ｆ_pは生成物流量リットル／分（２３℃、１ａｔｍａ）で特徴づけらる。 （もっと読む）

一定の流れで、精製ガス製品（好ましくは水素）を製造できる複数ステップ（好ましくは１２ステップ）のプロセスサイクルにおいて、一定の連続供給ガス（好ましくは水素成分を含む）が供給される、３床（１、２、３）圧力スイング吸着システム。
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【解決手段】 本発明は、一般に収着（吸着および吸収）プロセスを実行する方法、装置、およびシステムに関する。特に、脱着を生じる電場および電流、また特に分離、精製、反応、加熱、冷蔵、ヒートポンプ、および／または真空ポンププロセスに電子動力学的バイアス脱着材料を使用する方法、システム、および装置を提供する。 （もっと読む）

本発明においては、オレフィンおよびパラフィンなどの炭化水素を吸着することなく水素および炭化水素ストリームから一酸化炭素を分離するのに好適な変成クリノプチロライト吸着剤を用いる方法が提供される。精製装置内のプラットフォームユニットでの標準的な用途において、これらの水素ストリームは、５〜２０ｐｐｍの一酸化炭素を含む。他の用途においては、一酸化炭素のレベルはこれより高い。この水素ストリームからの一酸化炭素の分離は、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム、バリウムおよびマグネシウムから選択された少なくとも一つのカチオンとイオン交換されたクリノプチロライトモレキュラーシーブを用いることによって実現する。 （もっと読む）

本発明は分子ふるい吸着剤の製造に関し、それはアルゴンおよび/または窒素とのガス状混合物から酸素に対し選択的である。さらに、本発明は酸素−アルゴンガス状混合物の分離に有用な分子ふるい吸着剤の製造に関する。さらには、本発明は希土類カチオンによりゼオライトにおけるカチオン交換した分子ふるい吸着剤の製造および使用に関し、大気の温度および圧力で窒素およびアルゴンとのガス状混合物から酸素を選択的に吸着する吸着剤を得る。製造された吸着剤は酸素との混合物から窒素およびアルゴンの分離および精製に有用である。 （もっと読む）

希釈VOCガス流からエネルギーを生成するための装置及び方法。装置100は、希釈VOCガスを濃縮VOC燃料に濃縮する濃縮器120を含む。濃縮VOC燃料は機関160の燃料入口に供給される。装置100は、濃縮器120内の吸着媒質上にVOCを吸着することによって作動される。濃縮器120はVOCの単位体積あたりの濃度を高める。吸着されたVOCはその後、濃縮VOC燃料流を形成するため脱離させられる。濃縮VOC燃料流は、液化VOC若しくは、より濃縮されたVOCガス流のいずれかでもよい。濃縮VOC燃料流はその後、運動エネルギー若しくは電気エネルギーを生成するため機関に送られる。 （もっと読む）

横型ガス循環装置は、吸着剤（４）の上端上の設置位置に維持された柔軟壁（９）を備え、柔軟膜（９）と容器（１）のドーム（１０）との間の容積は、吸着剤（４）の両側においてチャンバ（７，５）の一方（７）と連通（１２）している。
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いくつかの源に由来しかつ自動車のエンジンが停止している時に前記エンジンの空気浄化装置を通って大気の中に放出される可能性のある揮発性炭化水素を回収するための炭化水素吸着装置。この装置を空気取り入れ機構の中に前記エンジンを通って流れる空気の全部が前記装置を通るように位置させる。この装置は入り口と出口を有するハウジングを含んで成る。前記ハウジングに基質とこの基質の表面の上を覆っている揮発性炭化水素吸着剤を入れる。そのような吸着剤はシリカゲル、モレキュラーシーブおよび／または活性炭であってもよい。前記材料に更に前記材料を前記基質の表面に接着させる結合剤も含有させる。 （もっと読む）

１以上の金属ヒドロキシ塩および、マトリックス、バインダーまたは担体物質を含む組成物において、金属ヒドロキシ塩が、（ａ）金属としての（ｉ）１以上の２価金属、それらの少なくとも１はＮｉ、Ｃｏ、Ｃａ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｆｅ、およびＭｎから成る群から選択される、または（ｉｉ）１以上の３価金属、のいずれか、（ｂ）骨組としてのヒドロキサイド、および（ｃ）置き換え可能なアニオンを含む化合物であるところの組成物。この組成物は、種々の触媒用途を有する。 （もっと読む）