【課題】 通気性のシート材によってガス除去粒子を挟持したガス除去用濾材がプリーツ加工されており、前記ガス除去用濾材に枠材が装着されたフィルタエレメントにおいて、ガス除去粒子がガス除去用濾材の端面から製造工程や使用時の衝撃や摩擦によって離脱や脱落を生じるという問題がなく、脱落防止の加工を容易に行うことができるガス除去用フィルタエレメント及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 通気性のシート材５によってガス除去粒子３を挟持したガス除去用濾材１３がプリーツ加工されており、ガス除去用濾材１３に枠材が１４装着されたフィルタエレメントあって、前記ガス除去用濾材のプリーツ折り方向にある枠材が１４フィルタエレメントの内側に折り曲げられており、前記ガス除去用濾材のプリーツ折り方向の先端にある端部１６が折り曲げられた枠材によって挟持されているガス除去用フィルタエレメント及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】ケミカルフィルタの余命を簡易かつ迅速・的確に判定する。
【解決手段】判定対象ケミカルフィルタを構成する吸着材と同一の吸着材の所定量を所定の流路中に配して所定濃度の所定ガスを所定の流速で送り込んだ際の、二次側の所定ガス濃度と吸着材への化学物質の既吸着量との相関データに基づく関係式を得た上で、吸着材をサンプリングすると共に相関データを得た条件と同一の条件により二次側の所定ガス濃度を測定してサンプリングデータを取得し、関係式とサンプリングデータとからサンプリング吸着材の所定量への化学物質の既吸着量を判定し、サンプリング吸着材の既吸着量と関係式とから判定対象となるケミカルフィルタを構成する吸着材の所定量における破過までの残余吸着量を算出し、積算通気時間とサンプリング吸着材の既吸着量とから単位時間当たりの単位吸着量を算出し、単位吸着量と残余吸着量とから破過までの時間を算出する。 （もっと読む）

【課題】 除湿とＶＯＣ除去の効率を向上させることができる空気浄化システムを提供する。
【解決手段】 除湿モードとＶＯＣ除去モードとを切り替えることを特徴とし、除湿モードでは、送出経路５内の送風装置９の向きを加熱手段８で加熱された空気が水分吸着ロータ７に向かうようにし、ＶＯＣ除去モードでは、送出経路５内の送風装置１０の向きを除湿モードと反対にし、加熱手段８で加熱された空気がＶＯＣ吸着ロータ６に向かうようにする。 （もっと読む）

【課題】
イオン交換当量が高く、アンモニアなどの塩基性ガス除去用フィルター用途に好適な、塩基性ガス除去用シート状物を提供する。
【解決手段】
ポリオレフィン系繊維を構成材料としてなるシート状物、またはポリオレフィン系繊維および繊維状活性炭からなるシート状物に、無水硫酸ガスとの反応によりスルホン酸基が付与されており、シート状物におけるスルホン酸基のイオン交換当量が３．０ｍｅｑ／ｇ以上であることを特徴とする塩基性ガス除去フィルター用シート状物。 （もっと読む）

【課題】 屋内空気中のＶＯＣ濃度が低い場合でも、当該濃度を高精度に計測するＶＯＣ濃度測定装置と、屋内空気中のＶＯＣ濃度が低い場合でも、当該濃度を高精度に計測しつつ、ＶＯＣを屋外に排出するＶＯＣ除去システムとを提供する。
【解決手段】 再生可能なＶＯＣ吸着手段と、ＶＯＣ吸着手段を通過する空気流を発生させる送風手段と、前記空気流に関してＶＯＣ吸着手段の上流に配設されＶＯＣ吸着手段を再生させる再生手段と、前記空気流に関してＶＯＣ吸着手段の下流に配設されたＶＯＣセンサーとを備え、ＶＯＣセンサーは前記再生手段が前記ＶＯＣ吸着手段を再生する際に前記ＶＯＣ吸着手段から放出される濃縮されたＶＯＣの濃度を計測する。 （もっと読む）

【課題】 ＶＯＣの除去効率を向上させることができるシステムを提供する。
【解決手段】 送風手段９，１０を駆動すると供給経路４及び送出経路５内に空気が流れ、供給経路４内では先ず室内から取り入れた空気の水分が水分吸着ロータ６に吸着され、水分が除去された空気は下流側のＶＯＣ吸着ロータ７に接触し、このＶＯＣ吸着ロータ７にＶＯＣが吸着される。一方、水分吸着ロータ６に吸着された水分は水分吸着ロータ６が回転するに連れて送出経路５内に入り、加熱手段８によって加熱された外気が水分吸着ロータ６に吸着されている水分を蒸発させる。そして、この水蒸気を含んだ高温の空気は下流側のＶＯＣ吸着ロータ７に至り、ＶＯＣ吸着ロータ７に吸着されているＶＯＣは酸化分解若しくは脱着して送出経路５を介し外部に放出される。 （もっと読む）

【課題】 ＶＯＣの除去効率を向上させることができるシステムを提供する。
【解決手段】 送風手段９，１０を駆動すると、供給経路４及び送出経路５内に空気が流れ、供給経路４内では室内から取り入れた空気がＶＯＣ吸着ロータ６に接触してＶＯＣが吸着される。一方、送出経路５内に取り入れられた外気には水蒸気付加手段８から水蒸気が付加され、この水蒸気を含んだ空気は下流側のＶＯＣ吸着ロータ６に至り、ＶＯＣ吸着ロータ６に吸着されているＶＯＣを酸化分解しガス化して送出経路５を介して外部に放出される。 （もっと読む）

【課題】 アウトガス中に潤滑剤が混入しないエアフィルタならびに前記エアフィルタに適した、成形性に優れ、且つ潤滑剤を含有しないシートおよびその製造法を提供すること。
【解決手段】 平均粒径が０．１〜３０μｍの機能剤、及び数平均分子量が３００万〜５０００万のポリテトラフルオロエチレン樹脂の針状繊維を含有し、該ポリテトラフルオロエチレン樹脂の針状繊維に対する該機能剤の重量比が１〜９９であることを特徴とするエアフィルタ用シート。 （もっと読む）

本発明は、半導体処理装置内のガスから汚染物質を除去するための装置を含むシステムおよび方法を提供する。この装置は、少なくとも２つの並列フィルタステージが内部に設置されたフィルタユニットを含むことができる。フィルタステージは、貫流するガス中に存在する汚染物質の少なくとも一部を除去するように設計される。この装置は、フィルタステージ間にガスフローを分配するフローコントローラを備えることもできる。一実施形態では、コントローラは拡散プレートで構成することができる。本発明は、本発明のシステムまたは方法におけるガスフロー制御のためのサンプリングチューブオリフィスも提供する。他の実施形態では、クリーンルーム内のガスから汚染物質を除去するための装置は、ガスが装置を通過するときにガス内の汚染物質の少なくとも一部を除去するために使用される少なくとも２つの並列フィルタステージを有するフィルタユニットを含む。
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不純物の除去性能を高く維持しつつ、気体の温度安定性を向上させるフィルタ装置。フィルタ装置（７０）は、気体に含まれる不純物を除去するフィルタ（８０）と、気体の温度を所定の温度に調整する温度調整装置（７６）とを含む。フィルタ装置は、フィルタの上流側に配置され、かつフィルタを通過する前の気体の湿度を調整する湿度調整装置（８４）を更に含む。
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【課題】
活性炭フィルタから脱離した揮発性有機化合物ガスと水分子ガスを通気パイプに流通させる際に発生する臭気を帯びた水を除去するとともに、揮発性有機化合物ガスの酸化反応により生成する窒素酸化物を除去することができる、活性炭フィルタの再生処理装置および活性炭フィルタの再生処理方法を提供する。
【解決手段】
活性炭フィルタに吸着された揮発性有機化合物ガスと水分子ガスを加熱により脱離させて、この活性炭フィルタを再生処理する活性炭フィルタの再生処理装置において、前記揮発性有機化合物ガスを分解する白金触媒反応器と、除湿器と、窒素酸化物成分を除去する酸性ケミカルフィルタ装置と、前記活性炭フィルタ、前記白金触媒反応器、前記除湿器および前記酸性ケミカルフィルタ装置のそれぞれの構成要素の順に沿って、それぞれの構成要素内のガスを吸引する吸引機とを備えたことを特徴とする活性炭フィルタの再生処理装置である。 （もっと読む）

【目的】 触媒によるガス分解性能を向上させる。
【構成】 触媒を担持した多孔質のガス吸着性担体からなる主活性成分を触媒を担持しない多孔質のガス吸着性担体からなる吸着成分へ分散させる。 （もっと読む）

空気の圧縮、冷却および精製のための一体化された方法において、断熱コンプレッサ（１）が空気流（２）を圧縮して圧縮空気流を生成する。圧縮空気流を、第１の圧力の第１の加圧流（３７）と第２の圧力の第２の加圧流（３９）を温めるために用いる（３）。生じた流は、第１の温められた加圧流（７）と、第２の温められた加圧流（９）と、冷却された圧縮空気流（４）とを含む。第１の温められた加圧流はガス状であり、タービン（１１）で膨張する。タービンにより生じた仕事の少なくとも一部を用いて、断熱コンプレッサに動力を供給する。冷却された圧縮空気流を、水（１５、１７）との熱交換（５）により冷却ユニットでさらに冷却した後、ＴＳＡプロセスを用いる精製ユニット（８）で精製する。温められた第２の加圧流（９Ｂ、９Ｃ）の少なくとも一部を用い、冷却プロセスにおいて用いられる水を冷却（３１）する、および／または精製ユニットを再生するために用いられるガス（４５）を温める。
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【課題】薫蒸処理した後の残留した薫蒸ガスおよびＶＯＣ、大気汚染ガス等の各種汚染ガスを吸着除去し、収蔵庫の薫蒸処理後の安全管理や、新築、リフォーム後の建材等から発生するＶＯＣや大気汚染ガスを吸着除去して、人や物に対して安全な環境を提供する。
【解決手段】本発明は、疎水性ガス吸着性粉体と接着剤を主体とした塗料を塗工した汚染ガス除去紙と、親水性ガス吸着性粉体と接着剤を主体とした塗料を塗工した汚染ガス除去紙とを組み合わせて、表裏に薄葉紙を積層して一体化させる。疎水性ガス吸着性粉体としては粉末活性炭が、親水性ガス吸着性粉体としては含鉄アルミニウム水和物、アルミノケイ酸亜鉛系鉱物、シリカゲル、シリカアルミナ質ゲル状粘土を単独で、あるいは適宜組み合わせて使用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】プラズマを利用した化学反応装置で大気中の有害物質を無害無臭化し、反応生成物を用途に応じて有効利用することのできる資源循環型施設を提供する。
【解決手段】吸引された大気中の有害物質の各種成分を吸着させる前段処理機構、吸引された有害物質中の除去対象である特定物質を吸着する吸着機構、この特定物質の吸着量が所定量に達した際に当該特定物質を離脱させる離脱機構及び離脱された特定物質をプラズマ分解処理するプラズマ分解機構とよりなる有害物質の分解浄化装置を、該有害物質の発生源或いは施設への大気の取り込み口に配置し、該分解浄化装置の機構の可動によって得られた各種反応生成物を当該施設又は施設外での有効的なものとして利用することのできる自己完結型に連続可動させることを特徴とする有害物質を分解浄化して有効材料とする資源循環型施設。 （もっと読む）

【課題】半導体製造や液晶製造などの先端産業における原材料、半製品、製品の基材や基板表面の汚染を防止するための清浄気体の調製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材又は基板表面の汚染を防止するための方法であって、クリーンルーム内の気体を、吸着手段および／または吸収手段と、除塵手段とに通すことによって、非メタン炭化水素濃度が０．２ｐｐｍ以下且つ微粒子濃度クラスが１０以下の清浄気体を調整し、得られた清浄空気を基材又は基板の表面と接触させることを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 低濃度で大量の揮発性有機塩素化合物を処理する場合においても、塩素の存在下に光を照射する分解方法によって効率的に処理を行う。
【解決手段】 揮発性有機塩素化合物に対して吸着及び脱着可能な吸着剤を充填した吸着器に低濃度の揮発性有機塩素化合物を含有する大量の媒体を流通させることによって媒体中の揮発性有機塩素化合物を吸着器に回収し、次いで水蒸気を含有する気体を吸着器内の吸着剤に接触させることによって吸着器からＶＯＣを脱着・排出し、その脱着気体を冷却することによって揮発性有機塩素化合物と水を凝縮し、さらに凝縮液から再び気化させた少量かつ高濃度の揮発性有機塩素化合物を塩素の存在下に光を照射することで分解処理を行い、後段で分解副生成物を分解処理を行う。 （もっと読む）

本発明は、性能を改良し、必要であれば一体型フィルタに複数の濾過機能を組み込むことによって、粒子状物質及び気相汚染物質のような汚染物質を、汚染されやすい電子又は光学機器のような閉じた環境から濾過するためのデバイスに関する。濾過機能には、受動吸着フィルタが含まれる。その上、筐体内部に所望される機能に応じて、再循環フィルタ、拡散チューブ、及び外部実装機能をフィルタに付与できる。
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【課題】吸着材が充填された吸着シート２を細かく折り曲げることなく通気抵抗の低い簡素な構造の吸着エレメント１を得る。
【解決手段】吸着エレメント１は、両面の不織布ないしは紙の間に粒状の活性炭を充填し、シート状に構成した複数枚の長方形状をなす吸着シート２と、複数の襞を折り返し形成してなる一対の紙状シート３Ａ，３Ｂからなる保持部材３と、を備える。吸着シート２は、対向配置された各々の襞の谷部１１に挟み込まれ、間隙１５を介して積層された状態に保持される（ｄ）、（ｅ）。吸着シート２と保持部材３とを組み合わせたものを、圧縮しつつ角筒状のケース内に挿入することで、カートリッジ状の吸着エレメント１が完成する。臭気成分を含む空気は間隙１５を通流し、その間に、臭気成分が吸着される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造や液晶製造などの先端産業における原材料、半製品、製品の基材や基板表面の汚染を防止するための清浄気体の調製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材又は基板表面の汚染を防止するための方法であって、クリーンルーム内の気体を、吸着手段および／または吸収手段と、除塵手段とに通すことによって、非メタン炭化水素濃度が０．２ｐｐｍ以下且つ微粒子濃度クラスが１０以下の清浄気体を調整し、得られた清浄空気を基材又は基板の表面と接触させることを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）