【課題】室外循環経路のエアハンドリングユニットに実装されるフィルタの寿命の判定を容易に行うことができる寿命判定用ファンフィルタユニットを提供することができる。
【解決手段】寿命判定用ファンフィルタ１では、気流の流入側のフィルタ部２のフィルタ押え部材２３は、カセットホルダとほぼ同寸法の開口を有しカセットホルダをカセットホルダ受け部材２８へ圧着する格子状圧着部２４と多孔板２５を有し、カセットホルダ受け部材２８は、カセットホルダとほぼ同寸法の開口を有する格子状受け部２９，３０と格子状受け部から下流に向かってフィルタ部内を仕切る中仕切り部２９Ｃ、３０Ｃを有し、複数個のカセットホルダ２２はフィルタ押え部材２３の開放により取り出し可能に収容され、各カセットホルダ２２が備えるサンプリング用フィルタパックの通過風速が実装されるフィルタの通過風速となるように複数のカセットホルダ２２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】空気中に含まれる窒素酸化物を空気の流れを利用して高活性炭素繊維に接触させて酸化吸着し降雨（雨水）によって洗浄除去することが可能で設置スペースの制約を受けず稼動用エネルギー及び保守管理作業を必要としない窒素酸化物の除去システムを提供する。
【解決手段】浄化ユニット５８、５９、６０が道路上を走行する自動車５６に搭載され、空気中に含まれる一酸化窒素及び二酸化窒素のいずれか一方又は双方を含む窒素酸化物の除去システム５５であって、空気の流れる場所に、窒素酸化物を捕捉する高活性炭素繊維を集めた板状物を１又は２以上備えた浄化ユニット５８、５９、６０を、雨水に曝される状態で配置し、高活性炭素繊維に空気を接触させて含まれる窒素酸化物を酸化吸着し、酸化吸着した窒素酸化物を雨水によって硝酸と化して洗浄除去し、高活性炭素繊維を再生する。 （もっと読む）

【課題】 ハニカムフィルタとプリーツフィルタは複雑な構造を持つ為高価で、ＶＯＣ除去能力を上げるには、エア通過面積（フィルタ断面積）を増やさなければならない。しかし大型のフィルタを体積の限られた複写機に装着することは困難である。また、装置内部から発生する騒音（特に装置背面の駆動部品）は、装置外壁を透過して装置外部に漏れてしまう。
【解決手段】 装置外壁に沿って形成されたダクトの内部に大面積の板状フィルタを外壁に沿って配置した。
フィルタ面積が大きいため、フィルタの除去性能向上と圧力損失低減を同時に実現できる。また板状フィルタはハニカム型に比べて簡略な構造のため、安価である。 （もっと読む）

【課題】光学素子の曇りを抑制できるようにする。
【解決手段】光学部材２１は、紫外光を透過可能なガラス等の部材から構成され、光源から出射される紫外光の光路ＯＰ上に配置される。そして、光学部材２１は、ケミカルフィルタＣＦにより不純物が除去された後の空気Ａに混入している不純物を吸着させることで、ケミカルフィルタＣＦでは取りきれなかった不純物を除去し、ケミカルフィルタＣＦだけで不純物を除去する場合よりも、さらに不純物の含有量を低減させて、紫外光を用いた所定の光学処理を行うレンズ等の光学素子の曇りを抑制する。本発明は紫外光を出射する光源と複数の光学素子から構成される光学機器に配置される不純物除去装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】フィルタパネルをＶ形に配置したケミカルフィルタユニットにおいて、ガス吸着性能を低下させることなく、圧力損失を抑制する。
【解決手段】フィルタパネル２１、２１は、一端部同士２１Ａ、２１Ａが空隙４４を介して近接し、Ｖ形を呈する。フィルタパネル２１、２１の近接する隅部２１Ｅ、２１Ｅに、第１及び第２Ｌ字状部材７１、７２を嵌合する。第１及び第２Ｌ字状部材７１、７２それぞれは、一端部２１Ａ、２１Ａの端面２１Ｄ、２１Ｄの一部を覆う第１被覆部５１と、互いに相対する一面２１Ｃ、２１Ｃの一部を覆う第１及び第２突出部６１、６２から成る。これらの先端５１Ｂ、６１Ｂ間の離間距離Ｒは、フィルタ厚さＴと一致する。第１及び第２Ｌ字状部材７１、７２は、接着剤で接着されて空隙４４を塞ぐ。 （もっと読む）

【課題】通気性をもち圧力損失が低いながらも、１パスの吸着性能が高く、且つ吸着剤の充填量が多くできることで高寿命のガス吸着フィルタ及びガス吸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】粒状吸着剤と粒状熱可塑性樹脂を混合したものを加熱成形した板状成形体に、複数の円形の貫通孔２を規則的に配列するように設けた成形フィルタ３を、ガスが通過する厚み方向に複数枚並べてなり、各成形フィルタ３を間隔４を設けて配置していることを特徴とするガス吸着フィルタ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】汚染物質除去部材の浄化機能を洗浄以外の手段で簡単に回復させることができ、装置全体として高い汚染物質除去性能を得ることができる空気清浄化装置および空気清浄方法を提供する。
【解決手段】空気流路を有するダクト型中空構造物２と、ダクト型中空構造物２の内部に、空気の流通方向と略平行に且つ着脱自在な状態で配置された汚染物質除去部材３とを備える空気清浄化装置１である。汚染物質除去部材３は、ダクト型中空構造物２の壁面２ａ，２ｂと略平行に配置された複数のブロック９を有し、各ブロック９が、両面に浄化機能を有する浄化部材１０を少なくとも二枚以上重ね合わせて互いに密着させた集合体よりなる。 （もっと読む）

【課題】低湿度の空気に対してもこの空気に含まれる汚染物質を効果的に吸着除去することが可能なケミカルフィルタ及びこれを備えたクリーンルームを提供する。
【解決手段】通過する空気に含まれた汚染物質を吸着除去する吸着体２１を備え、この吸着体２１で清浄化した空気２７を供給するためのケミカルフィルタ６において、清浄化した空気２７を供給する空気環境下で生産あるいは使用され、汚染物質が吸着することにより悪影響が生じる保護対象物を加工し、この加工した保護対象物を吸着体２１として備える。また、吸着体２１及び／又は吸着体２１に供給する空気２８を冷却する冷却装置２２を備える。 （もっと読む）

【課題】酸素に対して高い吸着性能を有する吸着材であって、かつ環境適正の高い有機物を主剤として用いながらも、酸化反応時の発熱を抑制した吸着材と断熱性能に優れた断熱材を得る。
【解決手段】断熱材１は、芯材２と、外被材３と、吸着材４と、水分吸着材５から構成されている。ここで、吸着材４は、セルロース誘導炭素前駆体６と無機粉体７の混合体である。断熱材１は、芯材２が外被材３内部に配置され、また、吸着材４および水分吸着材５は、芯材２部分に配置され、外被材３内部は減圧密封されている。上記セルロース誘導炭素前駆体は高い酸素吸着性能を有する。また、無機粉体との混合体とすることによって、酸化反応時の発熱を抑制する。 （もっと読む）

【課題】従来に比較して安価な、かつ、常温常圧、あるいは常温減圧下でも大容量の気体を吸着可能な気体吸着材を備えた、優れた断熱性能を有する断熱体を提供する。
【解決手段】断熱体６は、芯材７と、ガスバリア性を有し芯材７を覆う外被材８と、芯材７と共に外被材８に覆われる気体吸着材１とを備え、外被材８の内部を減圧してなる。気体吸着材１は、少なくとも、イオン交換率が１００％以上２００％以下の銅イオン交換されたＺＳＭ−５型ゼオライトと水分吸着性物質とを含む。ＺＳＭ−５型ゼオライトの銅イオン交換工程において、銅イオン交換がバッチ式にて行われ、銅イオン含有イオン交換溶液が、銅イオン交換前のＺＳＭ−５型ゼオライト１ｇあたり５０ｍｌ以上２００ｍｌ以下の量である。 （もっと読む）

本発明は、圧力スイング吸着プロセスおよび熱スイング吸着プロセスで用いられる、工学的構造化吸着剤接触器に関する。好ましくは、接触器が工学的かつ実質的に平行なフローチャネルを含み、接触器の空洞細孔容積（フローチャネル分を除く）の２０容量パーセント以下がメソ孔およびマクロ孔の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】ケミカルフィルタ内を通過する空気の漏れをなくすことで、除去効率を向上させるようにした。
【解決手段】ケミカルフィルタユニットは、空気を吸込口から吹出口へ循環させ、空気中のケミカル物質を除去するケミカルフィルタ４を組み込んでいる。ケミカルフィルタ４は、両側面に第１側面開口が設けられ、第１側面開口を覆う綿布の内側に吸着材が保持されてなるフィルタトレー２０と、枠部材によって囲われた第２側面開口が設けられ、枠部材の一端に通気口Ｒ３が設けられたスペーサー３０とを備えている。フィルタトレー２０とスペーサー３０とは、それぞれ側面開口を連通させた状態で交互に配置され、フィルタトレー２０の一方の側面に、通気口Ｒ３を吸込口側に向けたスペーサー３０をシール部材３３を介して密着させ、他方の側面に、通気口Ｒ３を吹出口側に向けたスペーサー３０をシール部材３３を介して密着させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 従来の内部に連通空間を有する３次元骨格構造のセラミック多孔体は、連通空間が均質に形成されず、吸着剤を担持して吸着体を形成しても、ガスの分配が不均一となり、反応効率が高い放電反応器を得ることが困難であった。

【解決手段】 放電反応器１は、第１の電極２と、この第１の電極の周囲に設けられた第２の電極３の間に形成された放電空間５に、セラミックスラリーを付着させた平板の合成樹脂発泡体を湾曲して成形した後に焼成して得られた基体９００を吸着材料で被覆した内部に連通空間を有する三次元骨格構造セラミック多孔体からなる筒状の吸着体６を備えた。 （もっと読む）

【課題】排気の搬送動力が小さく、消費エネルギーが少なく、ケミカルフィルタの延命や削減を図ることができる汚染ガス除去空気調和装置を提供する。
【解決手段】顕熱冷却を行なう冷却コイル７０と、加熱を行なう加熱コイル７２とを備え、冷却コイル７０と加熱コイル７２との間に熱媒体を循環させる循環配管７３および循環ポンプ７４を設け、本体ケーシング７５の水噴霧室７６の空気入口７６ａに最上流ワッシャメディア７７を配置し、水噴霧室７６の最下流位置に最下流ワッシャメディア７８を配置し、水噴霧室７６の内部に循環水供給系に連通する複数の第１段ノズル７９を最上流ワッシャメディア７７より下流側に配置した。 （もっと読む）

【課題】効率良く蒸発燃料の高沸点成分を吸着できる蒸発燃料吸着材を提供する。
【解決手段】ＨＣ吸着シート２２０に細孔径が異なる複数種の活性炭を内包させ、細孔径の比較的大きい活性炭と細孔径の比較的小さい活性炭とを樹脂板２２２の中で区分けしている。蒸発燃料の高沸点成分を吸着する吸着物を細孔径の比較的大きい活性炭に内包させたＨＣ吸着シート２２０Ｂ、蒸発燃料の低沸点成分を吸着する吸着物を細孔径の比較的小さい活性炭に内包させたＨＣ吸着シート２２０Ａに区分けし、蒸発燃料の高沸点成分を吸着するＨＣ吸着シート２２０Ｂをエアクリーナ底面側に配置することにより、エアクリーナ底面側に漂う蒸発燃料の高沸点成分を効率良く吸着する。 （もっと読む）

【課題】壁流を抑制し、吸着剤容量を増加させたり、通気抵抗を変化させたりすることなく、フィルタ内部を通気するガスと吸着剤との接触効率を高め、高い除毒能力を有するガス吸着用フィルタを提供する。
【解決手段】扁平四角形状をもち、両面が通気性部材で構成され、内部に粒状の多孔質吸着剤を充填した吸着層をもつフィルタにおいて、吸着層の上流側および下流側の少なくとも一方の通気表面の四角形状の角部に非通気性部材を配したことを特徴とするガス吸着用フィルタ。 （もっと読む）

【課題】ケミカルフィルタの余命を簡易かつ迅速・的確に判定する。
【解決手段】判定対象ケミカルフィルタを構成する吸着材と同一の吸着材の所定量を所定の流路中に配して所定濃度の所定ガスを所定の流速で送り込んだ際の、二次側の所定ガス濃度と吸着材への化学物質の既吸着量との相関データに基づく関係式を得た上で、吸着材をサンプリングすると共に相関データを得た条件と同一の条件により二次側の所定ガス濃度を測定してサンプリングデータを取得し、関係式とサンプリングデータとからサンプリング吸着材の所定量への化学物質の既吸着量を判定し、サンプリング吸着材の既吸着量と関係式とから判定対象となるケミカルフィルタを構成する吸着材の所定量における破過までの残余吸着量を算出し、積算通気時間とサンプリング吸着材の既吸着量とから単位時間当たりの単位吸着量を算出し、単位吸着量と残余吸着量とから破過までの時間を算出する。 （もっと読む）

本発明は、半導体処理装置内のガスから汚染物質を除去するための装置を含むシステムおよび方法を提供する。この装置は、少なくとも２つの並列フィルタステージが内部に設置されたフィルタユニットを含むことができる。フィルタステージは、貫流するガス中に存在する汚染物質の少なくとも一部を除去するように設計される。この装置は、フィルタステージ間にガスフローを分配するフローコントローラを備えることもできる。一実施形態では、コントローラは拡散プレートで構成することができる。本発明は、本発明のシステムまたは方法におけるガスフロー制御のためのサンプリングチューブオリフィスも提供する。他の実施形態では、クリーンルーム内のガスから汚染物質を除去するための装置は、ガスが装置を通過するときにガス内の汚染物質の少なくとも一部を除去するために使用される少なくとも２つの並列フィルタステージを有するフィルタユニットを含む。
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【課題】 機械的強度が高く、二次成形が容易なフィルター。
【解決手段】 多数の微細空隙を有する吸着剤粒子３が糸状のホットメルト接着剤４を介して一体となり、所要形状に成形される。 （もっと読む）