【課題】膜の全体を略均等に濾過に寄与させることができる水処理用フィルタと、この水処理用フィルタを用いたフィルタモジュールを提供する。
【解決手段】プリーツ体１は、平膜をジグザグに折り返して凸条１ａと凹条１ｂとが交互に平行に配列するようにした形状を有する。プリーツ体１の外周囲に枠体２が配置され、プリーツ体１の外縁部が該枠体２に結合されることにより水処理用フィルタ４が構成されている。この実施の形態では、プリーツ体１の外縁部が枠体２中に埋設されることにより、該外縁部が枠体２に結合されている。プリーツ体１を両側から挟むように支持体３を配置している。水処理用フィルタ５を各々の枠体２同士の間にＯリング７を介して積み重ねると共に、積み重ね方向の両端にそれぞれ集水部材６を重ね合わせる。 （もっと読む）

【課題】原水を逆浸透膜処理装置に導入し、該逆浸透膜処理装置の透過水を電気再生式脱イオン装置又はイオン交換装置に供給して処理するに当たり、後段の脱イオン装置への給水のシリカの負荷を軽減して、安定かつ効率的に、シリカ濃度の低い純水を製造する。
【解決手段】逆浸透膜処理装置が、高分子を主成分とする阻止率向上剤によって処理された逆浸透膜を備える純水製造装置。逆浸透膜処理装置が、その一次側に高分子を主成分とする阻止率向上剤を供給するための阻止率向上剤供給手段を有する純水製造装置。定期的に、又は逆浸透膜処理装置の阻止率が低下した際に、高分子を主成分とする阻止率向上剤で逆浸透膜処理装置の逆浸透膜を処理する工程を有する純水製造方法。 （もっと読む）

【課題】脱炭酸膜を通じて透過水中に空気等の気体を混入させてしまうことがなく、良好に純水の製造を行うことができる脱炭酸装置及び脱炭酸方法を提供すること。
【解決手段】この脱炭酸装置Ｂは、逆浸透膜装置Ａとイオン交換樹脂ボンベＣとの間に接続され、逆浸透膜装置Ａを透過した透過水４中の炭酸ガス４ａを脱気してイオン交換樹脂ボンベＣに向けて透過水４を送水する脱炭酸装置Ｂであって、脱炭酸膜Ｂ３と、脱炭酸膜Ｂ３の上流側に設けられ、透過水４の逆流を防止する逆止弁Ｖ１と、逆止弁Ｖ１の下流側に設けられ、脱気水５を陽圧状態に保持するリリーフ弁Ｖ２とを有している。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト及びテトラアルキルアンモニウムイオンを主として含有するフォトレジスト現像廃液の簡単且つ効率的な再生処理方法を提供する。
【解決手段】フォトレジスト及びテトラアルキルアンモニウムイオンを主として含有するフォトレジスト現像廃液を処理するに当たって、水素イオン形（Ｈ形）の陽イオン交換樹脂、または陰イオン交換樹脂及び／又はＨ形の陽イオン交換樹脂と接触させて不純物を吸着除去し、得られる処理液を電気透析及び電解の少なくとも一方の方法で処理して濃縮分離して、再利用できる高純度の水酸化テトラアルキルアンモニウムの溶液を再生回収する。 （もっと読む）

【課題】様々な界面活性剤を含有する排水に対して適用でき、しかも連続運転性の良好な排水回収システム等を提供する。
【解決手段】界面活性剤を含有する排水をＮＦ膜に通水するＮＦ膜通水装置１１３と、ＮＦ膜を通水した排水を活性炭で処理する活性炭塔１１７と、活性炭で処理した排水を原水として通水し、電子デバイス製造設備１０へ供給する供給水を製造する純水製造装置１２０とを含む排水回収システム１００。 （もっと読む）

本発明は、着用可能な腹膜透析システム（１０）および腹膜透析溶液および結果として患者から正に荷電した必須イオンを除去することなく該溶液を再生する着用可能な腹膜透析システム（１０）中の交換可能なカートリッジ（３２）に関する。本発明は、着用可能な腹膜透析システム（１０）を使用する患者からの尿毒症廃代謝物を除去する方法にも関する。着用可能な腹膜透析システム（１０）は、連続的または半連続的に作動することになっており、患者に大きな負担なく快適に着用される。
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【課題】安定した高品質の酸化剤を高い生産性で得ることのできる酸化剤の精製方法及びその精製装置を提供する。
【解決手段】酸化剤の精製方法が、不純物を含む酸化剤溶液を無機吸着材と接触させて前記不純物を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 陽イオン交換樹脂やキレート樹脂をテトラアルキルアンモニウム（ＴＡＡ）イオン含有液との接触処理に供し、再生するサイクルを繰り返しても、樹脂がクラックを生じて早期に劣化することがない様にする。
【解決手段】 強酸性陽イオン交換樹脂、弱酸性陽イオン交換樹脂及びキレート樹脂の少なくとも一つの樹脂を用いてＴＡＡイオン濃度が０．１５重量％を越えるＴＡＡイオン含有液（例えば、フォトレジスト現像廃液）を処理するに当たって、または、強酸性陽イオン交換樹脂及び弱酸性陽イオン交換樹脂の少なくとも一つの樹脂を用いてＴＡＡイオン含有液からＴＡＡイオンを吸着除去した後に水を回収するに当たって、新品樹脂の最初と前記樹脂を再生した後最初に通液する上記ＴＡＡイオン含有液のＴＡＡイオン濃度を０．１５重量％以下として上記の少なくとも一つの樹脂に接触させてＴＡＡイオンを吸着させる。 （もっと読む）

【目的】種々の外観形態の変更を簡易かつ低価格に行える浄水装置を提供することを目的としている。
【構成】浄水部収容ケースは、原水流入部１３及び原水導入路が設けられた基台１５と、送水ホース６を延出させる開口部を備え、基台１５に着脱自在に係着されて前記浄水部を内装する本体ケース１とからなり、種々の形態の本体ケースが交換可能な取り付け構造を備える。本体ケース１を基台１５に係着する際には、送水ホース６を化粧キャップ３上部の開口部より遊挿して、係合部９０を係合部７０に添わせながら本体ケース１を回動すると、係着溝７２と突起９１が嵌合して係止し、係着状態にすることができる。本体ケース１を基台１５から外す際には、逆方向に、本体ケース１を回動させると、係着溝７２と突起９１の係着状態が解除される。 （もっと読む）

【課題】超純水中のＮａ⁺イオン濃度を０．１ｐｐｔ以下に抑制するとともに、ＴＯＣ濃度を低減して、高純度の超純水を安定に効率よく製造する方法、およびその装置を提供する。
【解決手段】一次純水１０を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂とで構成される混床を備えるイオン交換装置３に通して超純水を形成する超純水の製造方法であって、強酸性カチオン交換樹脂の交換容量が１．５〜２．５ｍｅｑ／ｍＬ、強塩基性アニオン交換樹脂の交換容量が０．５〜１．５ｍｅｑ／ｍＬ、強酸性カチオン交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂の総体積に対するカチオン交換樹脂の体積の比率が、４０％以上７０％未満であることを特徴とする超純水の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い電解効率で以って処理を行うことができ、且つ電解処理後の処理水を再利用に適した水質とすることができる水処理システムを提供する。
【解決手段】被酸化物含有水１０に還元剤１１を添加して塩素を還元する還元装置１と、該還元後の被処理水の水質調整を行う膜前処理装置２と、前処理水１２中の塩化物イオンを濃縮する濃縮装置３と、該濃縮により得られた濃縮水を電解して次亜塩素酸を生成し、該次亜塩素酸により被酸化物を酸化分解する電解装置４と、該電解後の電解処理液１７を前記還元装置１に循環させる循環ラインと、を備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、超純水を製造するため、特に、液浸リソグラフィ法にて使用されるシステム及び方法に関する。本発明の１つの実施の形態において、液浸リソグラフィ装置にて使用される超純水を均一に提供することのできる自己密閉型のユースポイントキャビネットが提供される。本発明は、また、液浸リソグラフィ装置に対して所定の屈折率を有する材料を提供するシステム及び方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】温超純水から微粒子のみならず、金属イオン、アニオン成分等の他の不純物をも除去することができ、したがって高純度の温超純水を安定して供給することが可能な超純水システムを提供する。
【解決手段】超純水システムにおいて、超純水を加温して温超純水を製造する超純水加熱装置１４と、超純水加熱装置により製造された温超純水をイオン吸着膜に通水する温超純水浄化装置１８とを設ける。 （もっと読む）

【課題】レジスト上にナノサイズのバブル（気泡）や凹凸を発生させることのない液浸露光装置用超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】 超純水製造装置で処理され半導体製造工程へ洗浄水として供給される超純水を分取し脱気膜を通過させて溶存窒素ガス量が３ｍｇ／Ｌ以下、溶存酸素ガス量が５０μｇ／Ｌ以下になるまで脱気する。脱気した超純水をイオン交換装置、限外濾過膜に通過させて超純水中のイオン成分と微粒子を除去する。 （もっと読む）

【課題】フィルタからのフッ素の溶出を極力低減し、蒸気発生器等における伝熱管の熱効率低下や腐食の問題を発生させることなく、強度特性に優れたフッ素系材料からなるフィルタの使用を可能ならしめる、復水処理装置の運転方法を提供する。
【解決手段】全揮発性薬品処理を実施している発電プラントにおいて、フッ素系材料からなるフィルタを用いた復水ろ過装置１とその後段に設置したイオン交換樹脂を用いた復水脱塩装置４で系統水を処理するとともに、前記フッ素系材料からなるフィルタを、前記復水ろ過装置１への通水停止中に二次系純水中に浸漬することを特徴とする復水処理装置の運転方法。 （もっと読む）

【課題】 地下水、河川水、湖沼水、下水２次処理水などの被処理水を膜ろ過して透過水を得る膜ろ過方法において、膜の汚れを少なくし、安定に長期間運転できる方法、ならびにそれを実現できる膜ろ過システムを提供する。
【解決手段】 地下水、河川水、湖沼水、および下水２次処理水から選ばれる少なくとも１種からなる被処理水を膜ろ過するために用いられる精密ろ過膜および／または限外ろ過膜を備えた膜ろ過システムにおいて、精密ろ過膜および／または限外ろ過膜の前段に、被処理水中のカルシウム濃度を、好ましくは２ｍｇ／Ｌ以下に低減させる手段を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ランニングコストが低くて、短時間で殺菌処理ができる超純水製造装置の殺菌方法および殺菌装置を提供する。
【解決手段】 この超純水製造装置の殺菌装置によれば、二次純水タンク１内に窒素マイクロナノバブル発生機３が設置されている。殺菌が必要な時は、二次純水タンク１内で窒素マイクロナノバブル発生機３が窒素マイクロナノバブルを発生させて、この窒素マイクロナノバブルにより過酸化水素等の薬品を使用することなく、二次純水タンク１から殺菌することができる。すなわち、二次純水製造装置の最初の設備が二次純水タンク１であるので、最初の設備から殺菌することができる。 （もっと読む）

【課題】活性酸素種や活性化学種を発生させるための装置、貯留させるための装置、およびこれらを酸化分解装置に供給するための装置を必要とせず、比較的容易な構成によって再利用可能な塩を生成することのできる浸出水の処理方法を提供する。
【解決手段】塩類および着色有機成分のうちの少なくとも一方を含む浸出水を濃縮処理する濃縮処理装置と、前記濃縮処理により得られた濃縮液を電気化学的に酸化処理する電気化学処理装置と、で浸出水処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 薬剤を用いることなく、硬度分に起因するスケールの析出を抑制して濾過膜の目詰まりを防止することができ、さらに処理水の水質を維持することができる水処理方法を実現する
【解決手段】 機器へ供給される給水の水処理方法であって、軟水処理部５で軟水化処理した給水を濾過膜部７へ供給するとともに、この濾過膜部７で発生した濃縮水の排水量を、前記濾過膜部７への給水，前記濾過膜部７からの透過水および前記濾過膜部７からの濃縮水のいずれかの硬度分の検出値に応じて調節する。 （もっと読む）

【課題】 ヒドロキシアパタイトまたはセラミックス、活性炭及び中空糸膜を濾過材として用いて、水道水等原水に含まれる塩素、トリハロメタン、農薬、溶解イオン性有害物質、細菌、特に鉛が効果的に除去された、安全でおいしい水を得る浄水器を提供する。
【解決手段】 ヒドロキシアパタイト粒子及びセラミックス粒子の少なくとも一つと活性炭を濾過材として充填した第１浄水槽及びその下流に配置され多孔質中空糸膜を濾過材として収納した第２浄水槽を備えた浄水器、もしくは、第１浄化槽は垂直方向に立設されるとともに、該浄化槽の下方から上方へ通水されること、または、第１浄化槽には、プレフィルターが設けられるとともに、イオン交換樹脂が併用されている浄水器。
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