【課題】フッ素含有廃棄物を別に燃料を必要とすることなく処理でき、他の廃棄物から燃料ガスを回収し有効に利用できるフッ素含有廃棄物の処理方法及びフッ素含有廃棄物の処理装置を提供する。
【解決手段】廃棄物を回分的に圧縮し圧縮ブロックを成形する圧縮装置２０と、熱分解部５２、ガス改質部５３及び溶融部５４を有するガス化溶融炉５０と、圧縮ブロックＰとフッ素含有液状廃棄物を熱分解部５２に供給する供給装置４０と、ガス改質部５３でガス改質された改質ガスを洗浄水で洗浄して精製し燃料ガスとして回収するガス精製装置８０と、ガス精製装置８０で改質ガスを洗浄した洗浄水からフッ素を除去する洗浄水処理装置９０とを備え、熱分解部５２は、圧縮ブロックＰとフッ素含有液状廃棄物とを熱分解・ガス化し、ガス改質部５３は、発生したガスをガス改質し、溶融部５４は、圧縮ブロックＰとフッ素含有液状廃棄物の不燃物を溶融し排出する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板、ガラス基板またはその他の珪素含有材料を処理するフッ酸含有処理液を再生する方法及び装置において、効果的な再生または回収を可能にする。
【解決手段】、使用後のフッ酸含有処理液を貯留する貯蔵タンク1と、この貯蔵タンク1中の液におけるヘキサフルオロ珪酸の濃度を測定する濃度測定装置11と、貯蔵タンク1から受け入れた液を静置可能な析出反応タンク2と、測定された濃度から求められる理論計算量に基づき析出反応タンク2中に所定量のカリウム塩の水溶液を添加する析出用薬液供給部7,8,15と、析出した不溶性カリウム塩の懸濁液を静置して上澄み液を取り出し、必要に応じて濾過することで、清澄液と沈殿固形物とに分離する固液分離機構3-6,9と、この清澄液におけるフッ酸及び硝酸の濃度を測定する濃度測定装置11と、この濃度測定結果に基づきフッ酸及び硝酸を追加する機構13,14,23とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置構成にて確実にリン酸水溶液を再生することができるリン酸再生方法、リン酸再生装置、および、そのリン酸再生装置を用いた基板処理システムを提供する。
【解決手段】浸漬処理装置２の浸漬処理槽２０に加熱したリン酸水溶液を貯留し、そこにシリコン窒化膜が形成された基板Ｗを浸漬してエッチング処理を行う。繰り返しエッチング処理に使用されてシリコン濃度が上昇したリン酸水溶液は、浸漬処理装置２からリン酸再生装置５の貯留タンク５０に移送されて貯留される。貯留タンク５０内にて使用後のリン酸水溶液の徐冷を行うことによって、ケイ素酸化物を含む不純物が析出し、その不純物は比較的サイズの大きな粒子に成長する。不純物が析出したリン酸水溶液がフィルター５１を通過することによって、不純物がフィルター５１に付着して除去され、リン酸水溶液の再生処理がなされる。 （もっと読む）

【課題】 平板印刷版の製版において、珪酸塩を利用した現像廃液を再利用するために固液を分離させて処理する方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 製版装置から排出された現像廃液に、撹拌しながら有機酸あるいは無機酸を少しずつ添加して固液を分離させ、上澄み液と沈殿物を傾斜法あるいは濾過によって分離し、固体および液体のいずれの成分も再資源化できるように分取することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ケイフッ酸を含む酸廃液からの酸の回収を、効率及び酸の純度のバランス良く行うことができる方法及び装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る酸廃液の処理方法は、ケイフッ酸及び他の酸を含む酸廃液を第１ナノろ過膜３３に通す工程と、第１ナノろ過膜３３で分離された濃縮液を第２ナノろ過膜３６に通す工程と、第２ナノろ過膜３６で分離された透過液を、酸廃液とともに第１ナノろ過膜３３に通し、分離された透過液を回収する工程と、を有する。酸回収路３９から回収した透過液は、酸使用部２０において再利用される。 （もっと読む）

【課題】 安価な材料を用いて、ケイフッ化水素酸含有廃液中のケイフッ化水素酸を容易に除去し、高純度のフッ化カルシウムとして効率よく回収するとともに、フッ化物イオン濃度の低い処理液を得ることができるケイフッ化水素酸含有廃液の処理方法を提案する。
【解決手段】 被処理廃液を、前処理工程として反応槽１に導入し、無機金属塩を注入して反応させ、固液分離槽３で固液分離する。固液分離槽３で分離した前処理液を回収装置４に導入し、炭酸カルシウム粒を充填した充填槽４ａ、４ｂ、４ｃにに順次通液してフッ化カルシウムを生成させ回収する。固液分離槽３で分離したケイフッ化物塩を含む汚泥は脱水分離し、分離液は反応槽１に送る。 （もっと読む）

【課題】少なくともフッ酸、フッ化水素アンモニウム、珪素および水を含む混酸から、簡単に、高純度のフッ酸を分離することのできる分離方法および分離装置を提供すること。
【解決手段】少なくともフッ酸、フッ化水素アンモニウム、珪素および水を含む混酸１００から、フッ酸を分離する分離方法であって、混酸１００を蒸留することによって、フッ酸および水を含む留出液２００を回収するとともに、フッ化水素アンモニウムおよび珪素を含む缶出液５００として回収する第１の蒸留工程と、留出液２００を蒸留することによって、留出液２００から水を主に分離し、留出液２００よりもフッ酸の濃度の高い缶出液６００を回収する第２の蒸留工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 不純物となる成分を添加することなく、ケイフッ化水素酸の除去、さらにはホウフッ化水素酸の除去を効率よく行うことができ、処理液量を増加させることもなく、不純物の少ない処理液を得ることができ、処理液はそのまま回収して再利用する。
【解決手段】 ガラス加工・洗浄装置１からケイフッ化水素酸含有廃液を第１反応槽３に導入し、無機塩貯槽４から無機の炭酸塩または重炭酸塩を供給してケイフッ化水素酸の無機塩を析出させ、第１分離槽５で固液分離する。第１分離槽５の分離液を第２反応槽７へ導入し、カリウム塩貯槽８からカリウムの炭酸塩または重炭酸塩を供給してホウフッ化水素酸のカリウム塩を析出させ、第２分離槽９で固液分離し、第２分離槽９の分離液は処理液として回収し、加工・洗浄液槽２からフッ化水素酸を含む水溶液を添加して加工液または洗浄液を調製し、ガラス加工・洗浄装置１に供給する。 （もっと読む）

【課題】リン回収効率を向上すると共に装置を小型化することが可能な、汚泥焼却灰からのリン回収方法およびリン回収装置を提供する。
【解決手段】少なくともリンおよびケイ素を含有する汚泥焼却灰と、アルカリ性反応液とを混合し、汚泥焼却灰に含まれているリンおよびケイ素をアルカリ性反応液中に抽出して、ケイ素含有リン抽出液を得るリン抽出工程と、ケイ素含有リン抽出液とカルシウム化合物とを３０℃以上７０℃以下の析出反応温度で混合して、ケイ素含有リン抽出液中のリンをリン酸カルシウムとして析出させるリン酸カルシウム析出工程と、リン酸カルシウムを回収するリン酸カルシウム回収工程とを含むことを特徴とする汚泥焼却灰からのリン回収方法である。また、リン酸カルシウム析出槽と、リン酸カルシウム析出槽内の温度を３０℃以上７０℃以下に制御する温度制御手段と、リン酸カルシウム回収手段とを備えることを特徴とする汚泥焼却灰からのリン回収装置である。 （もっと読む）

【課題】フッ化ホウ素を含む廃液から、ホウ素を有価物であるホウ酸またはホウ酸塩として回収する。
【解決手段】廃液である原液を濃縮装置１で濃縮し、濃縮した原液のフッ化ホウ素を、フッ素とホウ素とに分解し、分解したフッ素を、原液から分離し、フッ素が分離された原液を晶析槽３で晶析してホウ素をホウ酸として回収し、あるいは、フッ素が分離された原液にアルカリ溶液を添加してホウ素をホウ酸塩として回収する。 （もっと読む）

【課題】ケイフッ酸を含む廃液から回収される酸に含まれるケイフッ酸の量を可及的に低減する。
【解決手段】ケイフッ酸を含む廃液を原液とし、この原液に、アルカリ金属の水酸化物として水酸化ナトリウム水溶液を添加してケイフッ酸を、ケイ酸塩であるケイフッ化ナトリウムとして析出させてろ過装置２で除去し、原液を、濃縮装置３で蒸発濃縮させて凝縮水としてフッ酸を含む酸を回収する。回収した酸は、ケイフッ酸が除去されているので、例えば、回収した酸を、エッチング液として再利用する場合に、エッチング速度が低下するのを防ぐことができる。しかも、ケイフッ酸は、濃縮工程に先立つ除去工程で除去されているので、濃縮工程で使用する濃縮装置３等に、ケイ素系のスケールが付着するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】シリカを含む酸性排液を処理する際に、沈降性のよい凝集物を生成させることができると共に、小型化しやすい排水処理装置等を提供する。
【解決手段】シリカを含む酸性の排水に水酸化ナトリウムを添加することでｐＨの調整を行なう第１反応槽２０と、第１反応槽２０によりｐＨの調整を行なった排水に水酸化カルシウムを添加しｐＨの調整を行なうことで、凝集物を生成する第２反応槽３０と、第２反応槽３０により生成した凝集物を分離する沈殿槽５０と、を備えることを特徴とする排水処理装置１。 （もっと読む）

【課題】フッ素系廃液に含まれる、或いはフッ素系廃液の処理過程で発生するケイフッ化水素酸を原料として、ケイフッ化ナトリウムを製造する。
【解決手段】フッ素系廃液に含まれるケイフッ化水素酸、及びフッ素系廃液に含まれるフッ化水素を酸化珪素化合物と反応させ、生成したケイフッ化水素酸をナトリウム化合物と反応させ、ケイフッ化ナトリウムを製造する。
【効果】工業用薬品レベルの品位のケイフッ化ナトリムを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】溶解状態にあるシリカをフロックよりも安定性の高い固体にすることで、分散を抑制するための凝集剤の添加及び大型の設備を不要にし、しかも、熟成時間を不要にして設備のコンパクト化を図りながら廃液中からシリカを除去できるようにして、廃液の処理コストを低減する。
【解決手段】廃液処理装置１は、シリカ含有廃液を貯留する廃液貯留槽２と、シリカと化学反応して難溶解性化合物を生成する添加薬剤を貯留する添加薬剤貯留槽２と、シリカ含有廃液と添加薬剤とを反応させる反応槽４と、反応槽４で生成された難溶解性化合物を液体成分から分離する固液分離機５と、上記固液分離機５によって固体を分離した後の液体成分を貯留する液体成分貯留槽６と、上記液体成分貯留槽６の液体にｐＨ調整剤を添加してｐＨを調整するｐＨ調整装置７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】フッ素およびケイ素を含む排水を処理することで生成する汚泥の量を、従来よりも削減することができる排水処理技術（特に前処理技術）を提供すること。
【解決手段】フッ素およびケイ素を含む排水にカルシウム化合物を添加して当該排水を凝集沈殿処理する際、前処理として、排水に水酸化ナトリウムを添加（第１反応槽１）してケイフッ化ナトリウムを析出させ、析出したケイフッ化ナトリウムを固液分離して除去する（第１沈殿槽２）。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハエッチング排水に酸を添加して析出したシリカ（ＳｉＯ_２）を固液分離する方法において、凝集剤の必要添加量の低減、発生汚泥の減溶化、汚泥含水率の低減と脱水性の向上、処理水質の安定化を図る。
【解決手段】酸を、固液分離汚泥の一部と混合してシリコンウエハエッチング排水に添加する。汚泥に酸を添加混合して汚泥表面を酸で改質することにより、シリカ（ＳｉＯ_２）が汚泥表面で析出するようになり、この結果、汚泥に取り込まれる水の量を最小限に抑えることができる。このため、含水率が低く、また、脱水性に優れた汚泥が得られ、凝集剤の必要添加量が低減されることにより汚泥発生量も低減され、汚泥の固液分離性が向上することにより、処理水質も安定する。 （もっと読む）

【課題】フッ素およびケイ素を含む排水を処理することで生成する汚泥の量を、従来よりも削減することができる排水処理技術（特に前処理技術）を提供すること。
【解決手段】フッ素およびケイ素を含む排水にカルシウム化合物を添加して当該排水を凝集沈殿処理する際、前処理として、排水に水酸化ナトリウムを添加（第１反応槽１）してケイフッ化ナトリウムを析出させ、析出したケイフッ化ナトリウムを固液分離して除去する（第１沈殿槽２）。 （もっと読む）

【解決手段】フッ化水素酸を主成分とし、塩酸を添加したガラスのケミカルエッチング剤を使用した後のフッ素系廃液を原料として、以下(a)〜(e)の順に処理する。
(a) アルミニウムをアルカリ土類塩と反応させ、フルオロアルミン酸アルカリ土類塩としてアルミニウムを分離する。(b) アルミニウムを分離した廃液に含まれるフッ化水素酸を酸化ケイ素化合物と反応させ、ケイフッ化水素酸に変換する。(c) ケイフッ化水素酸に変換した廃液にナトリウム塩を添加し、ケイフッ化ナトリウムを合成する。(d) ケイフッ化ナトリウムを合成後分離した液にカリウム塩を添加し、ホウフッ化カリウムを合成する。(e) ホウフッ化カリウムを合成後、分離した液を蒸留して塩酸を製造する。
【効果】工業用薬品として有価物であるケイフッ化ナトリウム、ホウフッ化カリウム、塩酸を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】フッ素およびケイ素を含む排水を処理してフッ化カルシウムを回収するにあたり、従来よりも薬品コストを低く抑えることができる排水処理技術（特に前処理技術）を提供すること。
【解決手段】フッ素およびケイ素を含む排水をｐＨ調整槽１に供給し水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）を添加してケイ酸ナトリウムを析出させ、析出したケイ酸ナトリウムを固液分離手段２により除く。固液分離したあとのフッ化ナトリウム（ＮａＦ）を含む分離液を、バイポーラ膜２１を具備してなる電気透析装置５に供給して当該分離液をフッ化水素を含む酸性溶液と水酸化ナトリウムを含むアルカリ性溶液とに分離する。 （もっと読む）

【課題】混酸廃液から有価物としての硝酸を効率よく回収できるようにする。
【解決手段】硝酸とフッ酸とを含む混酸により酸処理を行った後の混酸廃液の処理方法であって、前記混酸廃液中に珪素が含まれる場合、前記混酸廃液にアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩を添加して珪フッ化塩と硝酸を生成させ、前記珪フッ化塩と前記硝酸を含む混合液から固液分離手段により硝酸を分離して回収する。 （もっと読む）