【課題】小型、省エネルギーの除湿機を有するミニエンを提供する。
【解決手段】ミニエンにおいて、ウェーハ搬送を行う搬送室を内部に有するミニエン本体と、ミニエン本体の排気側と吸気側との間に設置され、ミニエン本体の内部を除湿する除湿機とを備えている。そして、除湿機は、吸着式除湿機からなり、水分を吸着する除湿材に供給する空気を冷却するプレクーラー２７、アフタークーラー２８と、水分を吸着する除湿材に供給する空気を加熱する排気ヒーター３３、再生ヒーター２３とを備え、プレクーラー２７、アフタークーラー２８と排気ヒーター３３、再生ヒーター２３との熱源にペルチェ素子４１が使用されている。 （もっと読む）

【課題】除湿負荷が変化した場合、露点温度を目標露点温度へ短時間で追従させるようにする。
【解決手段】例えば、再生側の空気の流量を制御対象とし、露点温度ｔｄpvを目標露点温度ｔｄspに一致させるように、制御対象に対する制御値（再生ファンＩＮＶ出力）を決定する。決定された今回の再生ファンＩＮＶ出力と前回の再生ファンＩＮＶ出力とからフィードフォワード量を演算する。演算されたフィードフォワード量を補償量として、再生コイルバルブ開度出力、ロータＩＮＶ出力、給気ファンＩＮＶ出力、予冷コイルバルブ開度出力を制御値とする関連制御対象の制御の遅れを改善する。 （もっと読む）

【課題】 輻射用パネルヒーターに冷温水を循環する居室内冷暖房システムに於いて、居室内の湿度コントロールシステムを合理的に一体化する。
【解決手段】 水熱交換ユニット６Ｃから放熱回路７を引出して輻射用パネルヒーター７Ａを配置した冷温水循環タイプの冷暖房システムに於いて、放熱回路７の水熱交換ユニット６Ｃの近傍から空気熱交換器１用の冷温水循環回路６を分岐し、冷温水循環回路６は、空気熱交換器１を経由して、還流を放熱回路７と合流させて水熱交換ユニットに還流させると共に、空気熱交換器１には、吸気回路３、供給回路４及びドレン回路８を連設し、居室内の温湿度及び循環水の温度を検知回路５で検知して空調システムを制御運転する。 （もっと読む）

【課題】本発明は除湿装置に関するもので、安全性を更に向上できるものである。
【解決手段】そしてこの目的を達成するために本発明は、ヒータユニット８を発熱するヒータ部２０と、このヒータ部２０を覆う略椀形状のヒータカバー部２１とから形成し、このヒータカバー部２１に設けられた温度検出手段２２の検出値により、再生風路７の風量を調節させることを特徴とし、温湿度の変化や第１の送風手段１４の送風量の変化に伴うヒータユニット８からの発熱量の変化を検知させ、再生風路７の送風量を調節することにより、除湿ロータ４への熱負荷を一定にすることができる除湿装置を得られる。 （もっと読む）

【課題】制御性及びメンテナンス性を向上させ、イニシャルコストを低減する。
【解決手段】本発明の省エネ除湿システム２０は、除湿セクション２２の出口側における処理空気の露点温度が所定値の時の、パージセクション２３を通過する低温空気が取得したエネルギーと再生セクション２４を通過する高温空気が損失したエネルギーとの差分のエネルギーを除湿セクション２２を通過する処理空気の風量で除して得たエネルギー収支値と、再生セクション２４を通過する高温空気の風量を除湿セクション２２を通過する処理空気の風量で除して得た再生風量比と、の第１の関係式を予め格納し、実際の測定により得られたエネルギー収支値及び再生風量比と第１の関係式とにより推定した除湿セクションの出口側における処理空気の推定露点温度が所定の露点温度の時の第１の関係式に一致するように、再生風量比を制御する制御装置を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】衣類を乾燥する機能を備えた除湿装置において、使用者の好みに応じた衣類の乾燥状態の調整を行う除湿装置を提供することを目的とする。
【解決手段】使用者による衣類乾燥運転の短縮または延長する嗜好を操作表示部８に接続された切タイマー設定スイッチ１５の操作を受けて学習する運転要求確認手段２７により運転時間短縮嗜好判断手段２８と運転時間延長嗜好判断手段３１にて切タイマー設定スイッチ１５の操作がなくても運転の短縮または延長を実行するようにしたことにより、使用者の好みに応じた衣類の乾燥度合いに仕上げる衣類乾燥運転を行うことができ使い勝手の向上が図れた除湿装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】圧縮空気の除湿と、それと異なる系統の気体又は液体の温度調整を、除湿能力を下げることなく実行できる圧縮空気除湿装置を提供する。
【解決手段】圧縮機４１からの冷媒が、第１の分岐流路４３に分配器４５，４６により分配され、第１凝縮器４７、膨張弁４８、蒸発器４９、および圧縮機４１の順に循環される冷却回路Ｘと、圧縮機４１から送り出される冷媒が、第２の分岐流路４４に分配器４５，４６により分配され、第２凝縮器５８を経て冷却回路Ｘの第１凝縮器４７の上流側に合流するように循環する異系統温調回路Ｙとを具備し、冷却回路Ｘの蒸発器４９に圧縮空気が導入されて冷却・除湿され、異系統温調回路Ｙの第２凝縮器５８に、蒸発器４９に導入される圧縮空気とは異なる系統の温度調整対象の気体又は液体が導入される。 （もっと読む）

【課題】除湿された圧縮空気を従来よりも高温に加熱することができ、且つその温度を高精度に制御可能な圧縮空気除湿装置を提供する。
【解決手段】圧縮機４１からの冷媒が、第１の分岐流路４３に分配され、第１凝縮器４７、膨張弁４８、蒸発器４９および圧縮機４１の順に循環される冷却回路Ｘと、蒸発器４９によって冷却・除湿された圧縮空気が導入され、冷却前の圧縮空気と熱交換して除湿後の圧縮空気を加熱するリヒート部５５と、圧縮機４１からの冷媒が、冷媒流路４２から分岐する第２の分岐流路４４に分配され、リヒート部５５により加熱された圧縮空気を再加熱する第２凝縮器５８を通過した後に第１凝縮器４７の上流側に合流する冷媒リヒート回路Ｙと、圧縮空気の出口温度を検出する出口温度センサ６４と、圧縮空気の温度が所要設定温度となるように第１の分岐流路４３と第２の分岐流路４４とに流れる冷媒量を分配器で制御する制御部６０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】温度制御の応答性がよく、高精度に温度制御ができる圧縮空気除湿装置を提供する。
【解決】圧縮機３１から送り出される冷媒が、冷媒流路３２から分岐する第１の分岐流路３３に分配器３５、３６により分配され、第１凝縮器３７ 、第１膨張弁３８、第１蒸発器３９、および圧縮機３１の順に循環される冷却回路Ｘと、圧縮空気入口４２から流入された圧縮空気が、冷却回路Ｘの第１蒸発器３９によって冷却され、除湿されたうえで、リヒート部によって再加熱されて圧縮空気出口４４から流出される圧縮空気流通部Ｙとを具備する圧縮空気除湿装置３０において、圧縮機３１ から送り出される冷媒が、第２の分岐流路３４に分配器３５、３６から分配され、リヒート部を構成する第２凝縮器４８、第２膨張弁４９、冷却回路Ｘの第１凝縮器３７ の排熱を吸熱する第２蒸発器５０、および冷却回路Ｘの第１蒸発器３９の下流側となる冷媒流路３２に合流されて圧縮機３１に循環されるリヒート回路Ｚを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、排ガス処理装置が排出する排ガスに含まれる水分、フッ酸、及び粉体を効率よく除去可能で、かつガス分析計用前処理装置のメンテナンスの頻度を低減することの可能なガス分析計用前処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】排ガス処理装置１１と接続され、排ガス処理装置１１が排出する排ガスに含まれる水分を除去する水分除去ユニット１５と、水分除去ユニット１５と接続され、水分が除去された排ガスに含まれるフッ酸を除去するフッ酸除去ユニット１６と、フッ酸除去ユニット１６及び分析計１２と接続され、水分及びフッ酸が除去された排ガスに含まれる粉体を除去し、該粉体が除去された排ガスを分析計１２に供給する粉体除去ユニット１７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】優れたガス分離性能を有する金属錯体を提供すること。
【解決手段】５−シアノイソフタル酸と、周期表の２族及び７〜１２族に属する金属のイオンから選択される少なくとも１種の金属イオンと、該金属イオンに二座配位可能な有機配位子とからなる金属錯体によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ガラス管の破損を確実に防止でき、かつガラス管の組付作業も容易にできる除湿器を提供すること。
【解決手段】除湿器１は、表裏に対向した冷却面および放熱面を有する冷却素子２と、冷却素子２の冷却面２１に当接される背面を有し、かつ背面とは反対側の表面３１に開放した溝３２を有する金属製のホルダ３と、ホルダ３の溝３２内に収容されるガラス管４と、冷却素子２の放熱面に当接されたヒートシンク５とを備え、ホルダ３の側面３３，３４には、溝３２と外部とを連通させる開口部３５〜３７が設けられ、ガラス管４の開口部３５〜３７から突出した位置には、開口部３５〜３７を覆うシート部材８がガラス管４に挿通された状態で設けられ、溝３２およびガラス管４の間の隙間には、液状硬化型のゴム状弾性体７が充填されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は除湿装置に関するもので、安全性を更に向上できるものである。
【解決手段】そしてこの目的を達成するために本発明は、吸湿経路７内の再生チャンバー９と熱交換器１０との間に第１の温度検出手段２０を設けると共に、第１の送風路における吸気口２と除湿ロータ４との間に第２の温度検出手段２１を設け、第１の温度検出手段２０または第２の温度検出手段２１が所定の設定値を上回るとヒータ８への通電を遮断する制御部２２を備えたことを特徴としたものである。 （もっと読む）

【課題】衣類乾燥に使用される除湿機において、運転開始時にはわからない乾燥負荷に応じた、より精度の高い判断ができる除湿機の制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】機器本体内に除湿手段１１２および送風手段１１３と、これら除湿手段１１２および送風手段１１３の運転制御を行う制御手段１と、機器周辺温度を検知する温度検知手段１０４、湿度を検知する湿度検知手段１０５および運転操作を行なう操作部を備えた除湿機において、制御手段１により乾燥運転が開始され、前記温度検知手段１０４と前記湿度検知手段１０５の検知値や運転モードから乾燥終了を判断する乾燥常数Ｄｘを初期設定し、初期およびその後の前記温度検知手段１０４と前記湿度検知手段１０５の検知値とその変化のいずれかに応じて乾燥常数Ｄｘを修正する構成にしたことにより、運転開始時にはわからない乾燥負荷に応じた、より精度の高い衣類乾燥終了判断をする除湿機。 （もっと読む）

【課題】装置のコンパクト化を図ると共に原ガスからの水分の除湿そして吸着剤の再生を効率的に行える除湿装置を提供することを課題とする。
【解決手段】水分を含有する原ガスから水分を除去し乾燥ガスを得る除湿装置であって、原ガス中の水分を吸着して除湿する吸着剤を収納する吸着塔Ａ，Ｂと、原ガス中の水分を吸着させ除湿を行うために吸着塔に送る除湿手段１０と、水分を吸着した吸着剤から水分を脱着して、吸着剤の再生を行うために吸着塔に加熱ガスを供給する再生手段２０とを備え、吸着塔に収納される吸着剤が、吸着塔内に装入及び取り外し可能なカートリッジ５０として形成され、カートリッジは、吸着剤により形成された平板状の充填層５２が、複数平行となるように配置されていると共に、各充填層の一方の側面側に供給された原ガスが、充填層を通過して他方の側面側に抜けるようなガス流を形成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】タンクの水量を検知しタンク満タン時間を演算するとともに、タンク容量と除湿運転状況から除湿効率を演算し補正する除湿乾燥機を提供する。
【解決手段】室内の空気を循環させる送風ファン２とその送風経路８中にあり、空気中の水分を分離する除湿装置３と除湿装置３にて分離した水分を貯蔵する水量タンク４と除湿乾燥機本体１の運転状況を表示する表示部５と運転を操作する操作部６で構成され、水量タンク中にはタンクの水量を計測するためのタンク水量計測装置９が設けてある。また、送風経路８中には温度センサ１０と湿度センサ１１を設け、除湿乾燥機本体１に流入する空気の温湿度を計測するようにしておき、タンクの水量状況からタンク満水予定時間を演算する制御演算部７とタンク満水予定時間を表示する表示部５を設けることで、タンクの満水までの時間を演算し、タンク水量増加量と運転時間から現在の除湿効率を求め、次からの計算に反映する。 （もっと読む）

【課題】対象物および器具をより効率的に乾燥するための乾燥装置を提供する。
【解決手段】再生可能なシリコ−チタノ−アルミノ−ホスフェート（ＴＡＰＳＯ）であるチタノ−アルミノ−ホスフェートを吸着剤として有する吸着容器を含む熱管理付きの乾燥装置であって、吸着剤はゼオライトに比較してかなり低温の５０℃〜１００℃で再生することができるため乾燥中の余熱を用いることが可能で、エネルギーコストの削減と再生時間の短縮ができ、食器洗浄機または回転式乾燥機への応用が可能である。 （もっと読む）

【課題】 脱硫器の不具合を抑制しつつ除湿器を再生することができる脱硫システムおよび脱硫システムの制御方法を提供する。
【解決手段】 脱硫システム（１００）は、水素含有ガスに改質される原燃料ガス中の水分を吸着する吸着材を備える除湿器（２１）と、除湿器によって除湿された原燃料ガスを脱硫する脱硫器（２２）と、除湿器に供給される原燃料ガスよりも水蒸気分圧の低いまたは温度が高い除湿器再生ガスを除湿器に供給することによって除湿器を再生させる再生手段（４０）と、再生手段が除湿器に除湿器再生ガスを供給する際に、除湿器再生ガスが脱硫器、除湿器の順に供給されるように流路を構成する流路構成手段（２３，２４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】再生領域の雰囲気温度が異常高温に達する前に、吸着材への投入熱量を調整して再生領域の雰囲気温度の調整が可能となり、除湿装置内の構成部品に異常がない状況では、再生領域の雰囲気温度が異常高温に達して異常停止することなく継続して除湿運転を行う除湿装置を提供することを目的とする。
【解決手段】前記再生領域と熱交換器の間に位置するダクト部を介し、前記熱交換器で凝縮して水滴化する再生経路を備えた除湿装置において、前記熱交換器の入口の雰囲気温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手段の検出値に基づいて前記再生領域の雰囲気温度を調整する温度調整手段と、前記温度検出手段の検出値が高温になったときに異常停止する高温異常検知手段を備えたことを特徴とする除湿装置。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストを低減させて効率良く運転できる屋内用除湿装置を提供する。
【解決手段】室内の空気を吸い込み除湿ローター１０を通し除湿した後、再び室内に吹き出す循環風路８と、吸い込んだ空気を再生ヒーター１３で加熱して除湿ローター１０に吹き付け、除湿ローター１０を通過した空気を排出管６から屋外へ排出する再生風路１１を備えた除湿装置２において、再生用空気吸込口７ａ，７ｂを複数の部屋に設け、再生用空気吸込口７ａ，７ｂの近傍にそれぞれ湿度センサー１５ａ，１５ｂを配設して、湿度センサー１５ａ，１５ｂの検出値に基づいて再生用空気吸込口７ａあるいは７ｂを選択して開ける切替ダンパー１４を設けて構成する。 （もっと読む）