【課題】 塗布膜面に悪影響を与えず蒸発溶剤を取り除き、高速搬送される塗布膜であっても、わずかな乾燥ムラの発生を抑制することができる塗布膜の乾燥装置および乾燥方法、これらを用いた塗布物の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】 溶剤除去部内に空気の流れを発生させ、かつ、加熱手段を用いている。また、塗布膜搬送部内の温度Ｔ１と溶剤除去部内の温度Ｔ２とが、温度Ｔ１＞温度Ｔ２の関係を満たすように、加熱手段の出力と気流発生手段の風力とを制御する制御手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜面に悪影響を与えず蒸発溶剤を取り除き、わずかな乾燥ムラの発生を抑制することができる塗布物の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】 有機溶剤を含む塗布液を塗布した基材を連続的に搬送し、搬送方向に沿って配置された複数の乾燥ゾーンによって前記塗布液を乾燥させる乾燥装置であって、前記乾燥ゾーンは、複数の穴を有する整風部材によって、前記基材を通すための搬送部と給気口および排気口を有する溶剤除去部に分離され、前記整風部材は各乾燥ゾーンの搬入口側に穴を有しない領域を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】材料の選択自由度を高くした新たなパターニング方法を提供するとともに、膜形成方法、パターニング装置、膜形成装置、電気光学装置とその製造方法、電子機器、及び電子装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】高真空度に調整可能な真空チャンバー２と、材料供給源７に接続されかつ真空チャンバー２に取り付けられて、真空チャンバー２内に材料供給源７からの材料を供給するノズル３と、真空チャンバー２内に設けられて基体Ｓを保持固定する基体ステージ４とを備えてなるパターニング装置１。ノズル３または基体ステージ４に、これらの位置を相対的に移動させる移動機構１１が設けられている。理想的には材料分子のフリージェットを生成し、このフリージェットを用いてパターニングする（フリージェットパターニング）ことが望ましい。これにより、より精度の高いパターニングが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、被覆でのシリカゲル材料の再被覆、特に既に使用され又は費やされた被覆シリカゲル材料の再被覆方法、該方法によって得ることができる再被覆シリカゲル材料、及びその使用に関する。
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【課題】ウエブの高い走行精度と高精度張力制御が必要なく、ウエブの伸び、皺、癖等の歪みの影響も無く、ウエブ塗工面の平面性、塗工膜厚の均一性を実現できる間欠塗工によるウエブの塗工装置およびその塗工方法を提供することを目的とする。
【解決手段】間欠搬送する基材シートの下方に吸着定盤を備え、上方に少なくとも一つ以上のダイヘッドを備え、前記吸着定盤上の基材シート横幅方向の外側に、基材シート横幅方向移動し、基材シートを介して吸着定盤と相対するウエブ歪み除去治具を備えたウエブの塗工装置であって、
ウエブ歪み除去治具と吸着定盤によって基材シートの面を弾性体またはエアーで押圧し基材シートの裏面を吸着定盤に歪なく吸着させることを特徴とするウエブの塗工装置。 （もっと読む）

【課題】溝付板材の溝内面を、溝のエッジまできれいに塗装することができる溝塗装方法及びそれを実施するための簡単な構造の溝塗装装置を提供する。
【解決手段】溝付板材１の溝４の開口をマスク８で閉じ、マスク８に形成している貫通孔９から塗布液１０を溝４内に供給することで塗布液が溝４の外側に流出しないようにし、次いで貫通孔９を通して余分な塗布液を吸引、除去し、その後、溝４内を負圧状態に保った状態でマスク８を上昇させて溝４から離すことで、マスク８を持ち上げた際に溝４内の塗布液が毛細管現象によって溝４の外側に滲み出すことを防止し、溝内面のみをきれいに塗装可能とする。 （もっと読む）

【課題】流路内の磁気ディスクに潤滑剤コーティングを塗布する潤滑剤蒸気の流路における表面で凝縮するのを防止する。
【解決手段】蒸気は、リザーバ内の液体を加熱することで得る。流路は、リザーバと開孔を有するディフューザとの間に蒸気チャンバを有する。この蒸気チャンバはリザーバとディスクとの間における直線経路と同一方向に延在する第１の壁と、ヒータとリザーバとの間に熱伝導経路を生ずる第２の壁とを有する。第１および第２の壁の相対温度を制御して、流路表面における凝縮をほぼ防止する。 （もっと読む）

固体担持体と、前記固体担持体上の複数の層と、を含む基板を作成するための方法であって、ａ）超臨界流体における単数又は複数の金属酸化物の前駆体の溶液によって加熱された固体担持体又は既に蒸着された下敷層を含浸し、担持体上又は下敷層上に、一つ以上の金属酸化物の粒子、あるいは、一つ以上の金属酸化物の均一、均質な分散された粒子からなる均一、均質及び連続したフィルムを蒸着する段階と、ｂ）担持体上又は下敷層上に、１つ以上の金属又は１つ以上の金属合金の連続又は不連続なフィルム、あるいは、一つ以上の金属又は１つ以上の金属合金の分散されたナノ粒子を、一つ以上の前駆体から、化学蒸着蒸着CVDによって、蒸着する段階と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】光学特性に優れ、表面抵抗の低い透明導電膜の形成方法及び透明電極の提供。
【解決手段】金属酸化物の微粒子を含む塗布液を基材上に塗布して乾燥し、酸化性雰囲気ガス中で焼成し、得られた塗膜を還元性ガス雰囲気中で焼成し、次いで酸化性ガス雰囲気中で焼成して、透明導電膜を形成する。この透明導電膜から透明電極を得る。 （もっと読む）

【課題】導電性に優れた透明導電膜の形成方法及び透明電極の提供。
【解決手段】インジウム、スズ、アンチモン、アルミニウム、及び亜鉛から選ばれた少なくとも１種の金属の微粒子、これらの金属から選ばれた２種以上の金属からなる合金の少なくとも１種の微粒子、又はこれらの微粒子の混合物を含有する塗布液を基材上に塗布し、形成される塗膜を１×１０^−２Ｐａ以上１×１０^２Ｐａ以下の減圧下で焼成して、透明導電膜を得る。この透明導電膜から透明電極を得る。 （もっと読む）

【課題】安定な透明導電膜形成用塗布液、電気抵抗の低い透明導電膜の形成方法、及び透明電極の提供。
【解決手段】インジウム、スズ、アンチモン、アルミニウム、及び亜鉛から選ばれた１種類以上の金属を含む微粒子が分散されている塗布液において、微粒子の表面に吸着する分散剤として、総炭素数６〜２０の脂肪酸及び／又は脂肪酸エステルを用いる。この塗布液を基材に塗布後、乾燥及び焼成して透明導電膜を得る。この透明導電膜から透明電極を得る。 （もっと読む）

【課題】膜に帯電防止機能を付与するとともに、膜の硬度及び防汚性をさらに向上させることができ、しかも、成膜性及び保存安定性に優れた帯電防止硬化膜形成用塗料と帯電防止硬化膜及び帯電防止硬化膜付きプラスチック基材並びに帯電防止硬化膜の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の帯電防止硬化膜形成用塗料は、アンチモン含有酸化スズ（ＡＴＯ）等の導電性を有する金属酸化物微粒子と、陽イオン系界面活性剤と、紫外線（ＵＶ）硬化性樹脂と、エチレングリコール等の有機溶媒とを含有してなる塗料であり、この塗料における金属酸化物微粒子の含有率は１重量％以上かつ５重量％以下である。 （もっと読む）

【課題】プロセスマージンが広く、制御性が向上した電気光学装置の製造方法、および乾燥装置を提供する。
【解決手段】基板１００上に、機能性材料と溶媒等とからなる液材のパターンを複数個形成する液材供給工程と、液材のパターンを基板１００に垂直な仕切り部材１１０で区画する区画工程と、基板１００を減圧雰囲気に晒すことにより溶媒等を乾燥除去して機能性材料からなる薄膜のパターンを形成する乾燥工程と、を含む電気光学装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】光学物品に干渉縞が発生することを抑制できるコーティング膜形成装置を提供すること。
【解決手段】液体Ｌに接する雰囲気が雰囲気保持用囲い５内に保持されている。これにより、光学物品用基材２０を浸漬槽１に対して昇降させることにより光学物品用基材２０に塗布された液体Ｌは、浸漬槽に収納された液体Ｌから引き出される順番に関わらず液体Ｌに接する雰囲気内にあり、光学物品用基材２０に塗布された液体Ｌの乾燥条件は略同じになる。このため、光学物品用基材２０に塗布された液体Ｌの乾燥斑が発生しにくくなり、光学物品に干渉縞が発生することを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】処理雰囲気の制御を容易にすることができる成膜装置構成を提供する。
【解決手段】処理室内に配置された基板(100)上に塗布部(113)から液体を塗布することにより基板上に膜を形成する成膜装置を、処理室(107)を区画する壁(107a,107b，107d等)と、塗布部(113)を処理室に搬送する第１搬送部(105)と、基板の載置台(103)と、を有し、上記処理室(107)は、少なくとも上記壁、上記第１搬送部および上記載置台を有する部位により閉空間とされるよう構成する。かかる構成によれば、載置台と塗布部との距離を小さくすることができる。よって、処理室の容量を小さくすることができ、内部雰囲気の制御を容易にすることができる。例えば、その内部を不活性ガスでパージする際、パージに要する時間を低減でき、また、使用する不活性ガス量を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】従来のＩＴＯ塗料以外では実現できなかった表面抵抗が１×１０^５Ω／□程度と低く、量産性にも優れ、しかも従来のＩＴＯ塗料と比べて安価な透明帯電防止膜形成用塗料及び透明帯電防止膜並びに透明帯電防止膜の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の透明帯電防止膜形成用塗料は、アンチモン含有酸化スズ（ＡＴＯ）微粒子及びアンチモン含有水酸化スズ（ＡＴＯＨ）を含有し、このＡＴＯ微粒子とＡＴＯＨの重量比（Ｗ_ＡＴＯ：Ｗ_ＡＴＯＨ）は１：１０〜１０：１であり、このＡＴＯＨにおけるアンチモンとスズの重量比（Ｗ_Ｓｂ：Ｗ_Ｓｎ）は０．５：９９．５〜２０：８０であり、ＡＴＯＨのゾルの状態におけるイオン導電率は、このＡＴＯＨの固形分１重量％あたり２００μＳ／ｃｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】基板上に光硬化性樹脂をスピンコートした後も樹脂層の厚みの均一性が低下せず、スタンパを貼り合わせる際の光硬化性樹脂の流動が生じにくい多層の情報記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】高粘度の光硬化性樹脂を揮発性溶媒によって希釈することにより低粘度化させた光硬化性樹脂の溶媒溶液を、スピンコート法で基板上に塗布して樹脂層を形成する。光硬化性樹脂の溶媒溶液の回転塗布中に揮発性溶媒を揮発させることによって、ゲル状の樹脂層とし、樹脂層の厚みの均一性の低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】大型基板上への塗布に適しており、塗布均一度が向上する他、スジムラやモヤムラなどのムラの発生を防ぐと共に、スピンレスコートにより塗布速度が高速になり、しかも、最終品の品質を高めることのできる感光性有機物を提供する。
【解決手段】ポリシロキサン樹脂の混合高分子樹脂と、感光性化合物と、有機溶媒とを有する。 （もっと読む）

【課題】被調湿液、特に、有機薄膜の形成用溶液を調湿する有効な方法を提供すること。
【解決手段】湿度調整された調湿部内に被調湿液をノズルから噴霧状又はシャワー状に噴出させることからなる。ノズルから噴出した被調湿液は、調湿部内を落下する間に、調湿部内に充満している水蒸気あるいは除湿された空気と接触して調湿される。調湿された液は、調湿部内の底部に貯留するか又は貯留することなく輸送手段を用いて次の領域に送ることができる。調湿後の液は、必要に応じて、複数回調湿部を循環させて水分調整することもできる。 （もっと読む）

【課題】保存安定性が優れ、硬質シリカ系層を形成できる液状硬化性組成物；均一性と平坦性と耐クラック性と密着性に優れた硬質シリカ系層を形成できるコーテイング方法；耐熱性、耐寒性、電気絶縁性、機械的強度、耐薬品性等が優れた無機質基板；精度と信頼性と長期間安定性が優れた半導体装置を提供する。
【解決手段】水酸基を有する多価金属酸化物微粒子が分散している有機溶媒中で、ハイドロジェンハロシランもしくはアルコキシシランを縮合反応または加水分解縮合反応させて得られた液状硬化性組成物。該組成物を無機質基板にコーテイングし、硬化させて硬質シリカ系層を形成する、無機質基板のコーテイング方法。該硬質シリカ系層を有する無機質基板。該無機質基板上に半導体層を有する半導体装置。 （もっと読む）