【課題】塗装性に優れながら水性塗料をスプレー塗装することができ、なおかつ、極めて薄い塗膜を形成することができるスプレー塗装による水性塗料の塗装方法を提供する。
【解決手段】無機質造膜剤、アルコール、及び水を含んだ水性塗料をスプレー塗装して基材の表面に無機塗膜を形成する水性塗料の塗装方法であって、水に対する接触角を２０°以下にした基材の親水性表面に、アルコールが飽和溶解度の８０％以上の量で溶解した水性塗料をスプレー塗装することを特徴とする水性塗料の塗装方法である。 （もっと読む）

【課題】導電性、帯電防止性、反射防止性など所望の性質を付与するための機能性薄膜を樹脂基材、特にオレフィン系樹脂基材表面に高い密着性で形成し得る機能性薄膜形成用組成物、およびそれを用いた機能性薄膜形成方法を提供すること。
【解決手段】機能性材料、該樹脂基材に熱融着可能な樹脂微粒子、および分散媒を含有する、機能性薄膜形成用組成物が提供される。この組成物を樹脂基材に付与して薄膜を形成する工程、およびこの薄膜を有する樹脂基材を加熱する工程を包含する方法により、機能性薄膜が形成される。 （もっと読む）

電子部品又は回路基板などの基板に液体コーティング材料を塗布するためのシステム及び方法を提供する。コーティングシステム（１０）の制御システム（１８、２４、２６）が、アプリケータ（１６）と該アプリケータ（１６）を動かすロボット（１４）とを制御して、コーティングプログラムに含まれる情報に従って液体コーティング材料を基板（１２）に塗布する。制御システム（１８、２４、２６）は、コーティングプログラムの実行中に基板（１２）上に実際に供給された液体コーティング材料の量を求め、液体コーティング材料の供給量を望ましい供給量と比較して、計算値と望ましい量の値との間の差を示す誤差信号を生成する。制御システム（１８、２４、２６）は誤差信号を使用して、今後に向けたコーティングプログラムにより後続する基板上の液体コーティング材料の供給量を変更する。 （もっと読む）

【課題】フィールド内への機能物皮膜の施工において、機能性溶液の損失がなく、誰でも短時間で簡単に、皮膜の厚みの調整ができ、フィールド内壁面に機能物を均等に付着させる施工方法と施工後フィールド内壁面全体を一度に効率よく乾燥させる機能物皮膜の吸着方法を提供する。
【解決手段】噴射粒子径5μｍアンダーで機能性溶液の時間当たりの噴射量及び使用量を調整しながらフィールド内に噴射し循環させることでフィールド内壁面に機能物が必要皮膜の厚みで均等に付着させることを特徴とする施工方法と施工後にフィールド内全体の温度と湿度を調整し効率よく一度にフィールド内壁面全体を乾燥させることを特徴とする機能物皮膜の形成方法。 （もっと読む）

【課題】塗布液の酸化を防止しながら装置効率を上げて基板に塗布を行う塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、そのステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。ボックスは、ステージを少なくとも包囲して設けられる。第１の供給口は、ボックスの一方側に設けられ、そのボックスの内部空間へ所定の気体を供給する。第１の排気口は、ボックスの他方側に設けられ、そのボックスの内部空間内の気体を排出する。循環機構は、少なくとも第１の排気口から排出された気体を循環させてボックス内部へ供給する。第２の供給口は、ボックスの一方側に設けられ、そのボックスの内部空間へ循環機構から供給された気体を供給する。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物の温度を精度良く制御して塗布対象物上に均一な厚さの塗布膜を形成することができるインク塗布装置及びそれを用いたインクの塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明は、気密的なフード６内において支持台３に支持される塗布対象物２に対してインク４を塗布するインク塗布装置であって、支持台３の表面に温度制御ガス１２を流すための凹凸状のガス流路２１が設けられている。インク４の塗布の際、所定の温度に制御された温度制御ガス１２をガス流路２１に導入することにより、塗布対象物２の温度を一定の温度に制御する。 （もっと読む）

【課題】均一な膜厚の膜を効率よく形成し得る成膜方法、およびかかる成膜方法に用いることができる成膜装置を提供すること。
【解決手段】本発明の成膜方法は、基材１上に、膜材料と溶媒とを含む液状材料の液滴１６１を供給して、液状被膜２を所定パターンで形成した後、基材搬送部１７により液状被膜２が形成された基材１をチャンバ１１内の基材ステージ１３上に搬送し、冷却手段１４により液状被膜２を冷却するとともに、排気ポンプ１２により液状被膜２の周囲の雰囲気を減圧して、液状被膜２を一次乾燥する第１の工程と、一次乾燥された液状被膜２を、加熱部１５により加熱して二次乾燥することにより、二次乾燥膜を得る第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 塗布によって成膜された膜または低誘電率膜層間絶縁膜の劣化を確実に抑止することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理装置としての熱処理ユニット４は、低誘電率膜層間絶縁膜が成膜されたウエハＷを収容するチャンバー４２と、このチャンバー４２内に気相の蟻酸を供給する蟻酸供給機構４４と、蟻酸供給機構４４によって蟻酸が供給されたチャンバー４２内でウエハＷを加熱するヒーター４３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来のようなプライマ塗装を施す必要がなく、樹脂ガラス用高分子基板とハードコート層との付着性が十分に高く、しかも樹脂ガラス用高分子基板の紫外線による劣化が十分に防止できる高度な耐候性を発揮できるとともに優れた耐擦傷性を発揮することが可能な樹脂ガラス用積層体、並びに、その樹脂ガラス用積層体を効率よく且つ確実に製造することが可能な樹脂ガラス用積層体の製造方法を提供すること。
【解決手段】樹脂ガラス用高分子基板と、前記樹脂ガラス用高分子基板上にアルミニウム、ケイ素、チタン、アルミニウム化合物、ケイ素化合物及びチタン化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の微粒子を付着してなる無機層と、前記無機層を介して前記樹脂ガラス用高分子基板に積層されたアルコキシシラン含有ハードコート層とを備えることを特徴とする樹脂ガラス用積層体。 （もっと読む）

【課題】塗布液の利用効率を極めて高くすることができ、被膜形成に要する塗布液の量を極めて少なくすることができる塗布液塗布方法を提供する。
【解決手段】微細線状にした塗布液を微小間隔で基板のほぼ表面全体にわたって同心円状に供給するステップＳ３（供給過程）と、基板に供給された塗布液に対して面方向への微小な力を付与して塗布液をならすステップＳ４（レベリング過程）とを順に実施する。面方向への微小な力により塗布液をならすので、塗布液が周囲に飛散することなく微小間隔が塗布液で埋められて基板の表面全体が塗布液で覆われる。したがって、ほとんど全ての塗布液を被膜形成に利用することができ、塗布液の利用効率を最大限に高めることができる。 （もっと読む）

本発明は有機材料の層の製造方法を提供する。その製造方法は、堆積条件下で基体に、溶媒中に溶解した前記有機材料を含む溶液の層を供給する工程と、必要に応じて前記溶液の層を部分的に乾燥する工程と、その後前記溶液の層をアニーリングする工程であって、前記アニーリングは前期溶液の層が完全に乾燥する前に実施され、前記アニーリングの継続時間はアニーリングの間に前期溶液の層が安全に乾燥しないように制限され、前記アニーリングが前期溶液の層のリフローを生じさせるアニーリング工程と、その後前記溶液の層を乾燥させる工程であって、堆積条件下で乾燥するよりも遅く前記乾燥が実施されるように制御される乾燥工程とを含む。得られた有機材料の層はミクロ品質およびマクロ品質の両方で改善を示し、より少ない表面粗さと正確な線解像度およびエッジ解像力をを萎えた十分に長いフィルムの獲得をもたらす。 （もっと読む）

【課題】 より耐熱性に優れた樹脂膜の製造方法を提供する。また、特性に優れる半導体装置を提供する。
【解決手段】 架橋基を有する熱硬化性樹脂又は架橋基を有する熱硬化性樹脂及び架橋剤を含む樹脂組成物を用いて、樹脂膜を製造する方法であって、前記樹脂組成物より構成される樹脂層を加熱硬化し、更に活性エネルギー線を照射する工程を有することを特徴とする樹脂膜の製造方法により解決される。前記樹脂膜の製造方法において、前記活性エネルギー線は、電子線又は紫外線を用いる。前記樹脂膜の製造方法において、前記活性エネルギー線を照射する工程は、不活性ガス雰囲気下で行うものである。 （もっと読む）

【課題】反りのない又は少ないフレキシブル積層板を十分歩留まりよく製造可能なフレキシブル積層板の製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂フィルムの少なくとも一方面上に金属箔が設けられた積層体を１又は２以上有するフレキシブル積層板の製造方法であって、材質の異なる２以上の層が積層された帯状の多層体を加熱すると同時に、その多層体の両主面に交互に複数の搬送ロールが当接した状態で多層体を搬送する加熱搬送工程を有し、多層体における１以上の層が、樹脂フィルム又は樹脂フィルムの前駆体を含有する層である製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１枚の基板上に形成された機能膜間の膜厚のばらつきを抑制すると共に、基板上に多数形成されるそれぞれの機能膜における膜厚の不均一を抑制することができる膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】本発明による膜形成方法は、機能膜を構成する材料を含む液状材料を基板上の機能膜形成領域に配置し、当該液状材料を減圧環境下で乾燥させることで機能膜を形成する膜形成方法であって、液状材料を機能膜形成領域に充填する液状材料配置工程と、機能膜形成領域に対応する位置にマスク穴が形成された乾燥マスクを、基板と隙間を隔てて対向する位置に、マスク穴が機能膜形成領域に対向するように設置するマスク設置工程と、液状材料を減圧環境下で乾燥させて機能膜を形成する乾燥工程と、を有する膜形成方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板上に多数形成されるそれぞれの機能膜の膜厚が不均一になることを抑制することができる膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、電気光学装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明による膜形成方法は、基板上の機能膜が有効に機能する機能有効領域に設定された、機能膜を形成すべき１以上の機能膜形成領域と、当該機能有効領域の周囲に設定された調整領域に設定された１以上の調整膜形成領域とに、機能膜の材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を減圧環境下で乾燥させることで機能膜を形成する膜形成方法であって、機能有効領域及び調整領域に配置する液状材料の総量が第一の総量である場合に、液状材料が乾燥して形成された機能膜の厚さ方向の形状に応じて、液状材料の総量を変える膜形成方法である。 （もっと読む）

【課題】薄膜を形成する塗布装置に関係なく、所望の厚みの薄膜層を形成することができる薄膜の製造方法及び薄膜製造装置を提供する。
【解決手段】基材１００に薄膜剤を塗布して薄膜層１１０を形成する薄膜形成工程と、薄膜形成工程により形成した薄膜層１１０の厚みを、基材１００に薄膜層１１０を浸透させることにより、変化させる第１の膜厚調整工程と、第１の膜厚調整工程により変化した薄膜層１１０を、乾燥させることにより安定させる第２の膜厚調整工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム材の表面に親水性皮膜を介して塗膜を形成することにより、廃液処理や有害物質の使用を必要とすることなく、耐食性及び密着性に優れた塗膜を有するアルミニウム塗装材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材の表面に塗膜を有するアルミニウム塗装材であり、上記アルミニウム材の表面には、オゾン含有ガスを用いたオゾン表面処理により形成され、接触角が３０°以下である親水性皮膜が、また、必要によりこの親水性皮膜の上に更に珪素酸化物含有皮膜が設けられているアルミニウム塗装材及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】被塗布面上の異物に起因する膜厚ムラを十分に低減させることができるスピンコート装置およびスピンコート方法を提供する。
【解決手段】被塗布物９が載置され、前記被塗布物９と一体化された状態で回転されるテーブル２と、前記被塗布物９に塗布液を供給する塗布液供給手段４と、前記テーブルを回転させる回転手段５と、塗布液供給手段４内の塗布液を加熱する塗布液加熱手段６と、前記被塗布物９を加熱する被塗布物加熱手段８とを備えているスピンコート装置とする。 （もっと読む）

【課題】乾燥ムラがなく、均一で薄い膜厚の電極層を有する電極の製造方法、電極の製造装置、及び二次電池の製造方法を提供する。
【解決手段】集電体と、該集電体上に形成された活物質を含む電極層とを有する電極の製造方法であって、前記集電体上に、活物質及び有機溶媒を含有する電極層形成用組成物を液滴吐出装置により吐出して前記組成物の塗膜を形成後、所定時間内に、前記塗膜を含む雰囲気を前記有機溶媒の沸点が１０〜３０℃となる圧力まで減圧し、維持することにより、前記溶媒を乾燥除去して電極層を形成する電極の製造方法、この方法を実施するための電極の製造装置、及び前記電極の製造方法により電極を形成する工程を有する二次電池の製造方法。 （もっと読む）

【課題】被塗布面上の異物に起因する膜厚ムラを十分に低減させることができるスピンコート装置およびスピンコート方法を提供する。
【解決手段】被塗布物９が載置され、前記被塗布物９と一体化された状態で回転されるテーブル２と、前記被塗布物９に塗布液を供給する塗布液供給手段４と、前記テーブルを回転させる回転手段５と、前記被塗布物９を冷却する被塗布物冷却手段８とを備えているスピンコート装置とする。 （もっと読む）