【課題】 薄膜の深さ（厚み）方向の濃度変化を精密に制御可能とし、かつ、この変化を薄膜の平面位置でのバラツキを抑えて均一として、機能性傾斜構造薄膜を形成する。
【解決手段】 ２成分以上の無機または有機機能材料とポリマーを、大気圧下に置かれた溶液または分散液状態から、各成分混合して噴霧ノズル（１）を経て高真空容器（３）内に直接噴霧して基板（１５）上に堆積させ、その深さ方向に成分の濃度を任意に変化させた高機能な機能性薄膜を制御良く容易に形成する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの周縁部に付着した機能液を良好に除去することを課題とする。
【解決手段】 ノズル面５３に機能液が付着した機能液滴吐出ヘッド１７に対して振動を付与し、ノズル面５３の一端部に機能液を集める振動手段１８と、ノズル面５３の一端部に集まった機能液を、ノズル面５３から除去する清掃手段６２と、を備えた。また、清掃手段６２は、機能液を吸収する吸収材８１と、ノズル面５３の一端部に、吸収材８１を当接させる当接手段と、を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高品質なＳｒＣｕ_２Ｏ_２薄膜を形成すること。
【解決手段】Ｓｒ（ＯＡｃ）_２、Ｃｕ（ＯＡｃ）_２・Ｈ_２Ｏ、および酢酸を調製し（１２）、これらを、混合した後に還流する（１４）。さらに、エタノールアミンを加え（１８）、続いて、溶液を濾過する（２０）。以上により得られた溶液をウェーハ上に塗布し（２４）、次いで、該ウェーハをベーキングして溶剤成分を蒸発させる（３０）。続いて、フォーミングガス中においてアニール処理を行う（３２）。酸素と窒素との混合雰囲気下においてポストアニール処理を行ってもよい（３４）。 （もっと読む）

【課題】 膜厚を容易に制御することができ、平坦な膜を容易に得ることができる膜形成方法、有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法、有機エレクトロルミネセンス装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 インクの周囲の圧力が混合溶媒うち一の種類の液体の飽和蒸気圧に対応する圧力に達した後、減圧速度を減少させ、減圧速度を減少させてから所定の時間が経過した後に、減圧速度を増加させることによって、複数種類の混合溶媒のうちまず一の種類の液体を蒸発させてから、他の種類の液体を蒸発させることができる。このように混合溶媒の異なる種類の液体を選択的に蒸発させることによって、インクの形状が乱れるのを防ぐことができる。これにより、形成される正孔注入層や発光層の膜厚を容易に制御することができ、平坦な膜を容易に得ることができる。 （もっと読む）

【課題】凹凸を有する基板上に樹脂膜を塗布し、該樹脂膜にて凹凸を平滑化するための樹脂膜の形成方法において、該樹脂膜の膜厚を厚くすることなく、段差平滑性を向上することができる塗膜乾燥方法およびその装置を提供する。
【解決手段】凹凸を有する基板上に塗布した塗膜を減圧乾燥装置を用いて減圧乾燥させる塗膜の減圧乾燥方法において、該減圧乾燥装置内の圧力が乾燥終点圧力に到達した時点から１秒〜１０秒の間、該乾燥終点圧力で減圧乾燥することを特徴とする塗膜の減圧乾燥方法。
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【課題】 連続生産及び高速塗布が可能なフレキソ印刷方式において、均一な膜厚の塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】 版材が装着される回転可能な版胴と、版材が装着される版胴に対向して設けられ、版材に塗布液を供給する塗布液供給部と、版材が装着される版胴に対向して塗布液供給部よりも版胴の回転方向下流に設けられ版材に塗布液供給部により供給された塗布液が転写される支持体が担持された圧胴と、版胴と圧胴とのニップ部における支持体の搬送方向の上流側に対向してニップ部の上流側の空間を囲繞する囲繞手段と、囲繞手段で囲繞された空間の空気を減圧するための減圧手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、バンディング耐性に優れ、かつカール特性が向上したインクジェット記録媒体の製造方法を提供することにある。
【解決手段】 支持体上に少なくとも１層のインク吸収層を塗布、乾燥して製造するインクジェット記録媒体の製造方法において、該インクジェット記録媒体を塗布、乾燥した後、シート状に断裁し、該シート状のインクジェット記録媒体を積層した状態で、３５℃以上で２４時間以上のエージング処理を施すことを特徴とするインクジェット記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 加熱された空気の結露を低減して、高粘度の液状体をワーク表面に供給することができる液状体の吐出装置およびその吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液晶吐出装置１は、液状体としての液晶が充填された液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を加熱する加熱手段としてのヒータプレート１１と、液滴吐出ヘッド２０に取り付けられ乾燥空気を送風する吹き出し部１２とを備えた。液晶を基板Ｗに吐出する吐出工程では、ヒータプレート１１により液滴吐出ヘッド２０を加熱して充填された高粘度の液晶を低粘度化して吐出する。また、ヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気の相対湿度が上昇しないように、吹き出し部１２から乾燥空気を基板Ｗに向かって送風する。これにより加熱された空気の結露を低減した。 （もっと読む）

【課題】 液状体のミストの飛散を低減して、高粘度の液状体をワーク表面に付与することができる液状体の吐出装置および液状体の吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液晶吐出装置１は、液状体としての液晶が充填された液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を加熱する加熱手段としてのヒータプレート１１と、液滴吐出ヘッド２０に取り付けられ周囲の空気を排気する排気部１２とを備えた。液晶を基板Ｗに吐出する吐出工程では、ヒータプレート１１により液滴吐出ヘッド２０を加熱して充填された高粘度の液晶を低粘度化して吐出する。また、ヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気と共に液滴吐出ヘッド２０から排出される液晶のミストを排気部１２から排出する。これによりミストが飛散することを低減した。 （もっと読む）

【課題】 平坦性の高い機能膜を効率的に形成することができる機能膜の形成方法等を提供する。
【解決手段】 基板Ｐ上に所定形状のバンクＢを形成し、バンクＢによって区画された領域にインクジェット法等により蒸気圧が異なる複数の溶媒を含む液状体Ｌを配置して、基板Ｐ上に液状体Ｌを塗布する。液状体Ｌが塗布された基板Ｐを真空容器内に配置して真空容器内の減圧を開始し、減圧乾燥により液状体Ｌに含まれる溶媒を除去する。この減圧乾燥中に、液状体Ｌに含まれる複数の溶媒のうち最も蒸気圧が低い溶媒Ｓを真空容器内に供給しつつ減圧乾燥を行う。溶媒Ｓを真空容器内に供給するタイミングは、真空容器内の減圧を開始してから真空容器内の圧力が溶媒Ｓの蒸気圧になるまでの間に行う。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ上に塗布された塗布膜を十分に平坦化して乾燥する。
【解決手段】 平坦化装置７１の処理容器１２０内に，ヒータ１２２が内蔵された保持台１２１が設けられる。保持台１２１の上方には，下面が平坦に形成された押圧板１３０が配置される。押圧板１３０は，昇降駆動部１３２により昇降可能であり，保持台１２１上に下降して，ウェハＷのレジスト膜を押圧できる。レジスト液が塗布されたウェハＷを保持台１２１上に載置する。保持台１２１上のウェハＷをヒータ１２２により所定の温度で加熱して，レジスト膜を乾燥させる。その乾燥中に，押圧板１３０によりレジスト膜の上面を断続的に押圧して平坦化する。 （もっと読む）

【課題】 誘電率と被膜強度を表わすヤング率とに優れたシリカ系被膜、特に、比誘電率が２．７以下と小さく、さらに被膜強度を表わすヤング率が半導体配線層作製プロセスに耐えうるだけの強度特性を備えたシリカ系被膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 （ｉ）シリカ系被膜形成用塗布液を基板上に塗布し、（ｉｉ）塗布後の基板を加熱処理し、（ｉｉｉ）加熱後の基板に、ケイ素の不対電子を安定化できる物質を含む雰囲気中で活性エネルギー線を照射して、シリカ系被膜を得る。 （もっと読む）

本発明は、ａ）フィルム形成性シリコーン組成物を基板表面に堆積すること（前記シリコーン組成物は：（ｉ）少なくとも一つのフィルム形成性シリコーン架橋樹脂、（ｉｉ）少なくとも１種のα，ω−ヒドロキシル化された、実質的に直鎖状の熱分解可能なシリコーンオイル、および（ｉｉｉ）少なくとも１種の、シリコーン樹脂（ｉ）およびシリコーンオイル（ｉｉ）を相溶化するための溶媒を含む）と、ｂ）同時にまたは連続的に溶媒（ｉｉｉ）を、好ましくは加熱によって除去することと、ｃ）フィルム形成性シリコーン組成物を加熱によって硬化することに本質がある、低誘電率のシリコーン被覆を製造するための方法に関する。本発明の方法を実行することによって得られるシリコーン被覆および前記シリコーン被覆を、電気絶縁体の形態で含む集積回路も開示される。 （もっと読む）

【課題】電気絶縁性基材の静電塗装方法でありながら、静電塗装前に電気絶縁性基材に対して予め導電性処理を施すことなく、静電塗装の際の火災原因となるといった問題を十分に解決することができるとともに、塗料の付着性を十分に向上させることができ、しかも塗装廃棄物の量を低減させて環境負荷の低減を図りながら電気絶縁性基材に対して効率よく確実に塗装を施すことが可能な電気絶縁性基材の静電塗装方法を提供すること。
【解決手段】表面固有抵抗値が１０^９Ω以上の電気絶縁性基材１の被塗装面の一部を接地する工程と、該被塗装面に対して導電性塗料２０を静電塗装する工程とを含むことを特徴とする電気絶縁性基材の静電塗装方法。 （もっと読む）

【課題】 乾燥過程において、液状体の種類に応じて、塗布された液状体の溶媒の蒸発速度を最適化可能で、溶媒の蒸気圧の分布が塗布された面内においてほぼ均一な状態で減圧乾燥を行うことができる減圧乾燥方法、この減圧乾燥方法を用いた機能膜の製造方法および電気光学装置の製造方法、電気光学装置、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 本発明の減圧乾燥方法は、第１室に液状体が塗布された基材を収容した状態で、第１室と第２室とを連通させて、所定の操作圧Ｐｓまで減圧手段により減圧する減圧工程と、所定の操作圧Ｐｓに到達した段階で第１室を密閉し、溶媒が蒸発して第１室が所定の圧力に上昇するまで放置する放置工程と、所定の圧力に上昇した第１室と第２室とを連通する連通工程と、第１室と第２室とに拡散した溶媒の蒸気を減圧手段により排出する排出工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】連続走行するウエブ又は塗布層表面への異物やゴミ、塵等の付着を抑制し、スジ故障等の塗布欠陥を低減させる。
【解決手段】
連続走行する帯状のウエブＷの片面に１層以上を塗布する塗布方法において、塗布工程の前段に、ウエブＷ近傍の清浄度をクラス１０００以下に維持するクリーン工程を設けた。 （もっと読む）

【課題】フィルムや基板の塗膜等形成方法において、フィルムの歪みを防止し、塗膜の平滑性や作業性を向上させる方法を提供する。
【解決手段】塗料塗布基板製造方法は、ロール外周面の一部にその外周面よりも突出した又は窪んだ塗料塗布部が形成された又は形成されない塗布ロール、又はロール外周面の一部にその外周面よりも突出した又は窪んだ塗料塗布部が形成された又は形成されない移行ロールと塗布ロールを用いて走行中のフィルム又は、単葉或は連続のプリント配線基板（以下「基板」とする。）に塗料塗布部の塗料をフィルム又は基板の一部又は全面に塗布し、塗布された塗料が半乾燥状態のうちに、そのフィルムを基板に貼り付け、又は、その塗料の上から基板にフィルムを貼り付けることとした方法である。 （もっと読む）

【課題】 全体としての高い通気性を維持しつつ、部分的に剛性を保有させることができて、操作性、耐久性及び洗浄効果を高めることができるようにする。
【解決手段】 除膜処理したポリウレタンフォームよりなる本体１２の一側部の骨格１２ａに対して、同骨格１２ａよりも硬質のポリウレタン等の樹脂１３をスプレーにより塗布する。これにより、本体１２の一側部に硬質の樹脂含浸層１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】 所望の微細パターンを高い精度で効率よく形成するパターン形成装置を得る。
【解決手段】 液体材料から複数の液滴を生成するミスト生成部１０３と、生成された複数の液滴を荷電する荷電部１１４と、複数の液滴から、第１の粒径の液滴を抽出し、第１の粒径と大きさの異なる第２の粒径の液滴を除去するミスト分級部１０４と、第１の粒径の液滴を散布するミスト散布部１０６と、第１の粒径の液滴の散布方向に設置された基板設置部１０７を備える。 （もっと読む）

ａ）次式（Ｉ）
-(SiR'R''-NR''')_n- (1)
［式中、Ｒ'、Ｒ''、Ｒ'''は、同一かまたは異なり、互いに独立して、水素、あるいは場合によっては置換されたアルキル基、アリール基、ビニル基または（トリアルコキシシリル）アルキル基を表し、この際、ｎは整数であり、そしてｎは、該ポリシラザンが１５０〜１５０，０００ｇ／モルの数平均分子量を有するように定めされる］
で表されるポリシラザン、及び
ｂ）有機溶剤中の触媒、
を含む溶液で基材を被覆し、次いで溶剤を蒸発させて除去し、それによって０．０５〜３．０μｍの層厚のポリシラザン層を基材上に残し、そして水蒸気を含む雰囲気中において、酸素、活性酸素、場合によっては及び窒素の存在下において、上記のポリシラザン層を、＜２３０ｎｍの波長成分を含むＶＵＶ放射線及び２３０〜３００ｎｍの波長成分を含むＵＶ放射線で照射することによって、基材上にガラス様の透明被膜を形成する方法。 （もっと読む）