【課題】被塗布面上の異物に起因する膜厚ムラを十分に低減させることができるスピンコート装置およびスピンコート方法を提供する。
【解決手段】被塗布物９が載置され、前記被塗布物９と一体化された状態で回転されるテーブル２と、前記被塗布物９に塗布液を供給する塗布液供給手段４と、前記テーブルを回転させる回転手段５と、塗布液供給手段４内の塗布液を加熱する塗布液加熱手段６と、前記被塗布物９を加熱する被塗布物加熱手段８とを備えているスピンコート装置とする。 （もっと読む）

【課題】 減圧チャンバーにおけるサクション変動（減圧変動）を低減させる塗布装置および塗布方法と、そのような塗布装置や塗布方法によって得られる塗布膜を含む光学フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】 エアー配管２８を介して減圧チャンバー２６にブロア３０が接続され、減圧チャンバー２６とブロア３０との間のエアー配管２８には、オリフィス３２およびバッファ装置３３が順次設けられている。オリフィス３２は、エアー配管２８内の通気可能な断面積を４分の１以下に局所的に絞る。バッファ装置３３は、バッファタンク３４と、バッファタンク３４に給気するエアー吸引口３５とを有する。 （もっと読む）

【課題】
マグネシウムは耐食性の乏しい活発な金属で、湿度の高いところに放置しただけで腐食が始まり、普通の水道水に漬けておくだけでも激しく腐食してしまうものであり、一般的にメッキ加工で用いられる塩酸や硫酸にも激しく反応するためメッキ加工は困難であった。
【解決手段】
マグネシウム合金成型品Ａに化成処理薄膜Ａａを形成する行程と、２液硬化型ウレタン系樹脂塗料の第１の下塗り層１を形成する工程と、ＵＶ硬化性樹脂塗料を塗布する手段により第２の下塗り層２を形成する工程と、蒸着法で単層又は多層の蒸着膜３を形成する工程と、錫又はインジウムの薄膜４を形成する行程と、トップコート層５を形成する工程と、を含み、更に、レーザーマーキング６を刻設する工程と、中塗り層７を形成する工程と、第２の中塗り層７ａを形成する工程と、更に、印刷層８を形成する行程を含む。
（もっと読む）

【課題】通常のフォトリソグラフィーの工程において使用される塗布装置に対しユニットの追加等の大幅な装置の付加をすることなく、また塗布、乾燥等の工程を増やすことなく遮光パターンの上面にだけ撥インク性を付与することを可能にする感光性樹脂の塗布装置及び塗布方法を提供することが求められていた。
【解決手段】基板の表面にスリットノズルで塗布液を供給する塗布ユニットと、該基板の表面に塗布した塗布液を乾燥せしめる減圧乾燥装置を備える減圧乾燥ユニットと、を備える塗布装置において、減圧乾燥装置がフルオロカーボン系のガス導入部、プラズマ放電部を備えていることを特徴とする塗布装置および塗布方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法において噴射開始直後の不安定なエアロゾルでの成膜を容易になくすことができる被膜形成装置および被膜形成方法を提供する。
【解決手段】被膜形成装置１は、真空チャンバー５内に基材７と、エアロゾル吸気口２と、エアロゾル噴射ノズル１２と、該エアロゾル噴射ノズル１２を移動させる移動手段３とを備え、エアロゾル噴射ノズル１２よりエアロゾルの噴射を開始してから、噴射されるエアロゾルの濃度が安定になるまでの所定期間、エアロゾル噴射ノズル１２が、エアロゾル吸気口２に移動するとともに噴射されたエアロゾルを真空チャンバー５外に吸引・排出し、所定期間経過後、エアロゾル噴射ノズル１２が、基材７に対しエアロゾルを噴射できる位置に移動する。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に着弾した液滴の表層膜の破裂による塗布体の製造不良の発生を防止することができる液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を塗布対象物２ａに噴射して塗布する塗布部と、液滴が塗布された塗布対象物２ａを収容する収容室５ａと、収容室５ａ内の気体を排気する排気部５ｃと、排気部５ｃにより収容室５ａ内から排気される気体の排気流量を調整する調整部５ｄと、排気流量を段階的に変化させるように調整部５ｄを制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】近赤外線領域に大きくて、かつ、幅広い吸収を有し、可視光領域の光線透過率が高く、光学特性の経時変化が少なく、かつ、近年のディスプレイの高輝度化、フルハイビジョン化、大画面化に対応しうる、塗膜外観に高度に優れて経時での外観劣化も少ない近赤外線吸収フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基材フィルムの少なくとも片面に、近赤外線吸収層を積層してなる近赤外線吸収フィルムの製造方法であって、近赤外線吸収層は、バインダー樹脂、ジイモニウム塩系化合物を含む近赤外線吸収色素、アルコール系有機溶剤を含む有機溶剤からなる塗布液を２０℃〜３０℃の範囲に温調しながら透明基材フィルムに塗布し、初期乾燥を２０℃〜３０℃で１０秒〜２０秒間、風速２ｍ／秒未満の湿度５０％以下のドライエアーで行って積層されることを特徴とする近赤外線吸収フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法において噴射開始直後の不安定なエアロゾルでの成膜を容易になくすことができる被膜形成装置および被膜形成方法を提供する。
【解決手段】被膜形成装置１は、真空チャンバー５内に基材７と、エアロゾル噴射ノズル１２と、エアロゾル吸気口２と、該エアロゾル吸気口２を移動させる移動手段３とを備え、エアロゾル噴射ノズル１２よりエアロゾルの噴射を開始してから、噴射されるエアロゾルの濃度が安定になるまでの所定期間、エアロゾル吸気口２が、基材７に対しエアロゾル噴射を遮蔽する位置に移動するとともに噴射されたエアロゾルを真空チャンバー５外に吸引・排出し、所定期間経過後、エアロゾル吸気口２が、基材７に対しエアロゾル噴射を遮蔽しない位置に移動する。 （もっと読む）

【課題】効率的な乾燥工程を実現できる機能薄膜付きガラス板の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、ガラス板の表面に液状の機能コーティング剤を塗布し、ガラス板の表面に液膜を形成する塗布工程と、前記液膜が形成されたガラス板を加熱し、前記液膜を焼成する加熱工程とを含む、機能薄膜付きガラス板の製造方法であって、前記塗布工程と前記加熱工程の間に、塗布された前記液状の機能コーティング剤を乾燥させる乾燥工程を有し、該乾燥工程は、真空乾燥工程と、該真空乾燥工程に後続する送風乾燥工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機能液滴が塗布された基板を乾燥するときに、機能液滴から発生する生成物を除去するとともに、機能液滴の塗布作業から乾燥作業までを一貫して行うことが可能な機能液滴塗布装置、機能膜製造方法、および表示装置、ならびに電子機器を提供する。
【解決手段】機能液滴塗布装置１０は、機能液滴Ｌを吐出する機能液滴吐出ヘッド１１と、前記機能液滴吐出ヘッド１１から吐出された前記機能液滴Ｌが塗布される基板Ｐを載置するステージ５と、前記基板Ｐに塗布された前記機能液滴Ｌを乾燥する乾燥室２５と、前記乾燥室２５で生成された生成物を捕集する捕集部４４と、前記捕集部４４に接続するように配置され、前記乾燥室２５を減圧する減圧部４１と、前記乾燥室２５と、前記捕集部４４と、前記減圧部４１とに接続され、前記生成物を排気する排気部４２と、前記排気部４２を加熱する加熱部４３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスの消費量を低減でき、しかも紫外線硬化型塗料の早期硬化を図ることができる紫外線塗料硬化設備を提供すること。
【解決手段】紫外線塗料硬化設備１１は、ワークＷに紫外線を照射して紫外線硬化型塗料を硬化させる。紫外線塗料硬化設備１１は、処理槽１２、搬送手段１４、光源１３及び供給手段３１を備える。処理槽１２は、槽上部１２ａが閉塞され、槽最下部にワーク出入口１２ｃ，１２ｄが形成される。搬送手段１４は、ワーク出入口１２ｃを介してワークＷを処理槽１２内に搬入し、ワーク出入口１２ｄを介して処理槽１２外にワークＷを搬出する。光源１３は、処理槽１２内のワークＷに紫外線を照射する。供給手段３１は、加熱された空気よりも軽い不活性ガスを処理槽１２内に供給し、処理槽１２内に溜める。 （もっと読む）

【課題】成形型の内面に凸部を形成しなくても実質的に良好なマスキングが可能となり、成形後の製品も基部材部分と別部材との間に隙間が生じることがないマスキング治具とマスキング方法を提供する。
【解決手段】基部材１内に別部材２を埋設した成形品Ｗの、基部材ｑ又は別部材２の表面に塗料を塗布するとき、成形品Ｗを成形する成形型１１上に載置された基部材１又は別部材２をカップ部材１２で覆い、カップ部材１２内の空気を吸引手段１４により吸引し、カップ部材１２を基部材１又は別部材２に取り付けることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】幅方向の塗膜厚み分布が発生することを防止できる塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１０は、ダイ１４の先端のリップ部２８を保温するための保温配管３４を備える。リップ部２８の温度は、ダイ本体部３０の温度に対して±０．５℃以内の温度に保温される。 （もっと読む）

生体活性および／または構造の損失なく、金属または非金属の表面に、アミノ酸または他の炭素ベースの物質などの生体適合物質のコロイド状懸濁液を堆積させる分子プラズマ放電蒸着法が記述される。方法は、荷電コロナプラズマを生成することに基づいており、次に、該荷電コロナプラズマは、真空チャンバに導入されることにより、バイアスされた基板に生体適合材料を堆積させる。堆積させられた生体適合材料は、様々な医療の用途に対して選択され得、該様々な用途は、医薬品のインサイチュでの放出のためのコーティングされたインプラントを含む。
（もっと読む）

【課題】簡単な構成で、塗布材料の均一性を確保できるとともに、調整が容易なスピン塗布装置及びスピン塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１を支持する載置台２１、基板１上に滴下された樹脂Ｒが展延されるように、載置台２１を回転させる駆動部２３とを備える。基板１における樹脂Ｒの塗布面に対向する対面部４を備え、対面部４に、基板１の表面と対面部４との間に気体を流入させる開口部４２と、基板１の回転により生じる基板１表面の気流Ａの速度を変化させるように、基板１の周縁近傍に接近する接近部４１とを有する。 （もっと読む）

【課題】被塗布体に塗布された液滴の乾燥を均一に行うことである。
【解決手段】液滴塗布装置は、液体を収容する液室とこの液室に連通される複数のノズルとを有し、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、ノズルから吐出される液滴が塗布される被塗布体を保持する保持部と、液滴が塗布された被塗布体を乾燥させる乾燥部４と、を備え、乾燥部４は、被塗布体を収容するチャンバー３３と、チャンバー３３内に収容された被塗布体７の上方空間の気体を中央領域と縁部領域との間で循環させる循環手段３５と、チャンバー３３内の気体を吸引する吸引部３７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】重合反応の阻害を抑制し、機械強度に優れ且つ低誘電率である層間絶縁膜を形成する方法、及び該方法に用いる前駆体溶液を提供する。
【解決手段】アルデヒド基を有するアダマンタン誘導体（１０ａ）と芳香族アミン誘導体（１０ｂ）とを含む溶液を基板上に塗布した後に、酸素を含有する雰囲気下において熱処理を行なうことにより、アダマンタン骨格とベンツオキサゾール骨格とを有する有機高分子膜（１０ｄ）よりなる層間絶縁膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ガスバリア性に優れた透明ガスバリア性フィルムを効率良く製造することが可能な透明ガスバリア性フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】 同一の真空槽１２を用いて、透明基材フィルム１８の片面または両面にガスバリア性有機薄膜層およびガスバリア性無機薄膜層を形成する透明ガスバリア性フィルムの製造方法において、前記ガスバリア性有機薄膜層の形成は、前記ガスバリア性有機薄膜層形成材料を気化して発生した蒸気を前記透明基材フィルム１に接触させて塗膜を形成し、前記塗膜を硬化して前記透明ガスバリア性有機薄膜層を形成することで実施され、前記塗膜形成を真空槽１２内で実施し、前記塗膜形成において、前記真空槽１２内の圧力よりも低い雰囲気圧力条件下で前記蒸気を前記透明基材フィルム１８に接触させる。前記真空槽１２内の圧力よりも低い雰囲気条件下は、例えば、真空槽１２の真空引きとは別に設けた真空ポンプ１９により実現する。 （もっと読む）

【課題】塗布液の酸化を防止しながらコスト面および安全面を考慮した塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】ステージ上に配置されたノズル５２から吐出された塗布液をそのステージ上面に載置された基板に塗布する塗布方法である。塗布方法は、局所雰囲気生成工程を含む。局所雰囲気生成工程は、ノズル５２が塗布液を吐出する空間および塗布液が塗布された基板の塗布部位を含む塗布空間に対して局所的に所定気体を供給して、塗布液の塗布を所定の雰囲気で行う。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法においてセラミックス被膜の形成に供されず飛散するセラミックス微粒子を回収し、セラミックス微粒子の歩留まりを向上させることができる微粒子回収容器およびこの容器を用いる微粒子回収方法を提供する。
【解決手段】微粒子回収容器２は、真空チャンバー５内で基材４上にセラミックス被膜を形成するエアロゾルデポジション法において、セラミックス被膜の形成に供されず飛散する微粒子を真空チャンバー５内で回収する微粒子回収容器２であって、微細な孔を持つフィルターで構成され、少なくとも噴射ノズル８および基材４を覆う形で配設され、回収容器２の内壁に付着した微粒子を除去する機構（振動装置）３を備えてなる。 （もっと読む）