【課題】優れた成形性と強度を持ち、良好な誘電性を示し、高周波帯で使用することが可能な誘電体部品用成形体を提供する。
【解決手段】ガラス繊維を含有する熱可塑性樹脂からなる基材の表面に、酸素を含む雰囲気の減圧化で、高周波励起プラズマ処理を施し、高周波イオンプレーティング法により、導電性膜および誘電体膜を順次成膜する。高周波励起プラズマ処理を、酸素プラズマおよびアルゴンプラズマの混合プラズマ雰囲気で、導電性膜の下層の成膜を、酸素プラズマおよびアルゴンプラズマの混合プラズマ雰囲気で、その上層の成膜をアルゴンプラズマ雰囲気で、かつ、誘電体膜の成膜を酸素プラズマおよびアルゴンプラズマの混合プラズマ雰囲気で行うことが好ましい。 （もっと読む）

ガスフローが、ニオブ、タンタル、タングステン、モリブデン、チタン、ジルコニウム、ニッケル、コバルト、鉄、クロム、アルミニウム、銀、銅、それらの少なくとも２種の混合物、又はそれらの少なくとも２種もしくは他の金属との合金から成る群から選択される材料の粉体とのガス−粉体混合物を形成し、この粉体が、０．５〜１５０μｍの粒径、５００ｐｐｍ未満の酸素含有量、及び５００ｐｐｍ未満の水素含有量を有し、超音速をこのガスフローに付与して、超音速のジェットを物体の表面に吹き付けることによる、表面にコーティングを適用する方法が開示される。例えば、製造されたコーティングは腐食防止用コーティングとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】被塗装体の種類によらず、簡単でかつ低コストに塗膜の耐久性を高めることができる塗膜の形成方法を提供する。
【解決手段】被塗装体としての鋼材４の塗膜形成面に対して表面処理を施す表面処理工程と、この表面処理工程において表面処理を施した鋼材４の前記塗膜形成面へ塗膜を形成する塗膜形成工程とを備えた塗膜の形成方法であって、前記表面処理工程において、大気圧又は大気圧近傍の圧力下で対向する電極１間に存在する気体に高周波電圧を印加して発生させたプラズマを用いて表面処理を施すことにより、被塗装体の種類によらず、簡単でかつ低コストに塗膜の耐久性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの線幅寸法のばらつきを抑制可能とした、レジストパターンの形成方法およびレジスト塗布現像装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るレジストパターンの形成方法は、第一基板上にフォトレジストを塗布し、この塗布されたフォトレジストに所定のパターンを露光した後、現像を施すレジストパターンの形成方法であって、前記塗布、前記露光および前記現像の少なくとも１つの工程において、前記第一基板が属するロットの切り替え時に常に、前記ロットが滞在する雰囲気の入れ替えを行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶剤の結露に起因する欠陥の発生を防止して歩留まりを向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】減圧加熱装置８は、減圧部９によりチャンバ４１内の空気を吸引して減圧し、加熱部１０により基板３の着色層４５を加熱する。着色層４５から水分や溶剤が気化して気化成分５１が生じる。気化成分５１は、分離膜４２を透過するので、下室４４から上室４３へ流入する（図５（ａ））。上室４３に流入した気化成分５１は、放熱等による温度低下により、結露５２となって上室４３の内面に付着する（図５（ｂ））。複数の基板３の減圧加熱処理を継続すると、結露５２の付着量が大きくなり、液滴５３となって落下する。液滴５３は、分離膜４２を透過しないので、分離膜４２の上に滞留する（図５（ｃ））。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物上に均一な膜厚の塗布膜を形成することができるインク塗布装置及びインクの塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明は、塗布対象物５上にインク７を塗布するインク塗布装置であって、外気を導入可能な気密的な筐体２と、筐体２の内部に設けられ、塗布対象物５に沿って所定の方向へ直線状に移動しつつ当該塗布対象物５に対してインクを吐出するように構成されているインクジェットヘッド６と、インクジェットヘッド６の移動方向前方側に設けられ筐体２内部の雰囲気を排出する第１及び第２排気口９１、９２を有する第１及び第２排気手段８１、８２とを有する。 （もっと読む）

【課題】塗布方法を用いて透明導電膜を製造する際に、物理的手法により得られる膜と同等の特性を示す透明導電膜の製造を可能にすることを目的とする。
【解決手段】
透明導電性微粒子を含む流動性材料を基板上に塗布して塗膜を形成した後、この塗膜に圧力を加えた後に電磁波を照射し、透明導電性微粒子を燒結させる。この際に、塗膜の密度が3.0g/cm³以上になるように塗膜に圧力を加えるのが好ましい。また、ロールプレスによって塗膜の面に圧力を加えるのが好ましい。また、ロールプレスの線圧を200kg/cm以上に設定するのが好ましい。また、照射する電磁波は1GHz〜1THzのマイクロ波であるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】カチオン電着塗装の付きまわり性を向上させるためにカチオン電着塗装に先立って行われる金属基材の表面処理方法、当該表面処理方法により処理されてなる金属材料、及びこの金属材料を用いた塗装方法を提供すること。
【解決手段】金属基材上に、ジルコニウムイオン及び／又はチタンイオンと、（Ａ）ケイ素含有化合物、（Ｂ）密着付与金属イオン、及び（Ｃ）密着付与樹脂からなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする密着性付与剤と、を含有する金属表面処理組成物を接触させて化成皮膜を形成させる表面処理工程と、前記化成皮膜が形成された金属基材を、６０℃以上１９０℃以下で３０秒間以上加熱乾燥させる加熱乾燥工程と、を含むカチオン電着塗装の付きまわり性を向上させる金属基材の金属表面処理方法。 （もっと読む）

【課題】 塗布された膜に水分や酸素などの原子・分子レベルの汚染がない膜塗布装置を提供すること。
【解決手段】 被塗布基板を内部に導入して、この基板に膜塗布を行うための塗布容器５０，１１６と、塗布液を保持する塗布液容器２０と、前記塗布液容器２０から塗布液を前記塗布容器５０，１１６に輸送する液輸送系３０とを含む膜塗布装置１１０において、塗布された膜内における酸素及び水分の内の少なくとも一方の含有を抑制する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 高い表面硬度と良好な防眩性を示し、とりわけ機能層との密着性の高い防眩性積層体及びその製造方法並びにそれを用いた表示媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】 透明基材上に、微粒子含有硬化樹脂層を設けてなる防眩性積層体であって、該微粒子含有硬化樹脂層が、少なくとも基材側の微粒子を含む硬化樹脂からなる第一層目と、クリア硬化樹脂からなる第二層目からなり、かつ該第一層目と第二層目の明瞭な界面が存在しない状態で一体化していることを特徴とする防眩性積層体。 （もっと読む）

本発明は、カーテンコータで繊維ウェブにコーティングする方法に関する。この方法では、塗工カラーは、コータに供給される前に脱ガス処理される。この方法は、脱ガス処理プロセスにおいて、真空脱ガス器を使用して、前記塗工カラーのガス成分によって生じる有害な欠陥を除去するステップを有し、前記脱ガス器には、約2から35％の範囲のガス成分を有する塗工カラーが供給され、前記脱ガス処理プロセスは、前記塗工カラーの空気量が約0から約0.25％まで低減されるように行われる。
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【課題】液滴吐出装置において材料の大量の廃棄を行うことなく、加圧室内の気泡を除去し、吐出不良を防ぐ液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置において材料を吐出する前に、加圧室と接続している材料供給部内を減圧状態とし、加圧室内に存在する気泡を除去する工程を設ける。加圧室のノズル表面の開口や、材料供給部の材料注入口などの外部に接続する流路を封止し、材料供給部に接続する入出口よりポンプなどによる減圧手段を用いて、加圧室及び材料供給部を減圧する。 （もっと読む）

本開示は、コーティングを有する静電気拡散性物品を開示する。コーティングは、ナノ粒子の表面上に第四級アミン基を有する表面官能化ナノ粒子と、このナノ粒子が分散した結合剤とを含んで成る。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法においてエアロゾル微粒子の吐出量を正確に計測する方法を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散したエアロゾルを、真空チャンバー３内でエアロゾル吐出ノズル２の吐出開口部２ａから基材上に噴射して成膜を行なうエアロゾルデポジション法による成膜工程において、微粒子が通過しない微細な孔を持つ捕集フィルター１０を吐出開口部２ａを覆って取り付け、エアロゾル吐出ノズル２から吐出される微粒子を所定時間捕集するステップと、捕集フィルター１０を取り外し捕集された微粒子重量から吐出量を計測するステップとを備えてなり、上記捕集フィルター１０は、真空チャンバー３内を 1000 Pa 以下に減圧したときのガス通気量が 1 Ｌ／分 以上であり、捕集フィルター１０の微細な孔は粒子径 0.1μm 以上の微粒子を通過させない孔である。 （もっと読む）

【課題】ウェハの表面にレジスト液を塗布する塗布処理において、塗布液の省液化を図る。
【解決手段】先ず、ウェハがスピンチャックに保持される（Ｓ１）。その後、ウェハＷが回転され（Ｓ２）、その回転されたウェハの表面に液体窒素が供給される（Ｓ３）。この液体窒素の供給は、冷却用ノズルから液体窒素を吐出した状態で、冷却用ノズルをウェハの表面の外周部上から中央部上まで移動させることにより行われる。この液体窒素の供給により、ウェハを周辺エアの露点温度以下に冷却し、ウェハの表面に水分を結露させることができる。その後、ウェハの表面にレジスト液が塗布される（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】塗布範囲の制御を容易に行うことができる塗布装置及び電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】溶剤を塗布領域２ａに塗布する溶剤吐出ノズル３と、溶剤が配置された塗布領域２ａを挟んで一方側から他方側に向けて気体を流動させる気体吐出ノズル４及び吸引ノズル５からなる気体流動手段１５とを備え、基板２上に形成された塗布領域２ａに溶剤を塗布する。 （もっと読む）

【課題】
粘性が小さく溶媒の揮発性が極めて高い撥油剤溶液を、微小量域に、均一かつ正確に塗布する。
【解決手段】
先端に毛細開口部を有する塗布部材に撥油剤溶液を圧送することにより、塗布部材先端部に撥油剤溶液を滲出させ、微小な間隙を持って対向したワークの表面に非接触状態を保って撥油剤を塗布する。塗布部材とワークは相対的に回転し、少なくとも塗布開始点は二回以上繰返し塗布することで、均一性の高い塗膜が得られる。摩擦磨耗による塗布部材の損傷もないので、大量生産に適している。 （もっと読む）

本発明は、ホウ素、アルミニウムおよび／またはチタニウム、およびケイ素結合分岐状アルコキシ基を含有するシリコーン樹脂；同シリコーン樹脂を含有するシリコーン組成物；シリコーン組成物を基板に塗布して膜を形成し、膜のシリコーン樹脂を熱分解することからなる被覆基板の製造方法に関する。前記シリコーン樹脂は、（ＥＯ_ｓ／２）_ｔ（ＨＳｉＯ_３／２）_ｖ（（Ｒ^１Ｏ）_３ＳｉＯ_１／２）_ｗ（（Ｒ^１Ｏ）_２ＳｉＯ_２／２）_ｘ（Ｒ^１ＯＳｉＯ_３／２）_ｙ（ＳｉＯ_４／２）_ｚ（各Ｅは独立してホウ素、アルミニウム、およびチタニウムから選択される原子であり；Ｒ^１はＣ_１からＣ_１０の分岐状アルキルであり；Ｅがホウ素またはアルミニウムであるときは、ｓ＝３で、Ｅがチタニウムであるときは、ｓ＝４であり；ｔは０．０１から０．８であり；ｖは０から０．９９であり；ｗは０から０．９９であり；ｘは０から０．９９であり；ｙは０から０．９９であり；ｚは０から０．８であり；ｗ＋ｘ＋ｙ＝０．０１から０．９９；かつ、ｔ＋ｖ＋ｗ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）で表される。 （もっと読む）

【課題】有機溶媒を不使用ないしは殆ど使用することなく、常温の大気中で高い生産性をもって所望のパターンの微粒子膜を製造できる塗布技術の提供。
【解決手段】超臨界状態の二酸化炭素流体を用い常温常圧下で微粒子を塗布して被塗布物の表面上に微粒子膜を形成する方法であって、真空状態ないしは真空状態に近い状態とした高圧容器に数十μｍ以下の微粒子である微粒子を注入し、超臨界状態の二酸化炭素流体を注入し、それらを撹拌して超臨界状態の二酸化炭素を分散媒体とする微粒子の高分散状態になった混合物とし、該混合物をノズルから被塗布物に噴射することで膜を形成する微粒子膜形成工程を有することを特徴とする方法。
前記混合物を被塗布物へ噴射するに際し、超臨界流体の圧力およびノズルと被塗布物の距離を制御することで数十ないし数千ｍ／ｓの速度で微粒子を噴射することを特徴とする微粒子膜の形成方法。 （もっと読む）

【課題】乾燥後の液滴の薄膜形状及び膜厚のばらつきを抑えることができる液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射装置１において、塗布対象物２に対して液滴を噴射する液滴噴射ヘッド７と、液滴噴射ヘッド７により液滴が噴射された塗布対象物２に対して気体をそれぞれ噴出する複数の噴出ノズル及び液滴噴射ヘッド７により液滴が噴射された塗布対象物２の周囲の気体をそれぞれ吸引する複数の吸引ノズルを有し、塗布対象物２上の液滴を乾燥させる乾燥部１０とを備える。 （もっと読む）