【課題】 ウエーハ上の所定の領域に薬液を塗布することができるとともに、ウエーハに形成されたトレンチなどを確実に充填することが可能な薬液塗布方法及び薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】 ステージ２上に被処理ウエーハ１を載置、固定する工程と、前記被処理ウエーハ１表面の所定領域上に、圧力制御手段６、薬液供給手段７を備える密閉空間５を形成する工程と、前記密閉空間５を前記圧力制御手段６により減圧する工程と、前記密閉空間５に前記薬液供給手段７より薬液７ａを供給し、前記被処理ウエーハ１表面の所定領域上に前記薬液７ａを塗布する工程を具備する。 （もっと読む）

本発明は、曲面を有する基材の表面に、厚さが均一でかつ厚みのある被覆層を広い領域にわたり効率よく形成できる方法を提供することを目的としている。この目的を達成するため、本発明では、基材の曲面上に重合性単量体を含有するコーティング剤を塗布して所定の厚さの塗膜を形成した後に、当該塗膜の厚さの均一性を実質的に保持したまま酸素濃度が５００ｐｐｍ以下の雰囲気下で当該塗膜を光重合により硬化させることを特徴としている。また、塗膜の光重合時に、２０〜１５００ｒｐｍの回転速度で基材を回転させながら塗膜の光重合を行うことが好ましい。
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少なくとも１つの目的物質を含む溶液をキャピラリーに供給し、前記溶液に電圧を印加して静電噴霧するエレクトロスプレイステップと、前記エレクトロスプレイステップで噴霧された溶液中の目的物質の機能性および／または活性を保持したままほぼ乾燥した状態、かつ、ナノメートルオーダーの厚さで任意の形状の被塗物に静電気力で固定化する固定化ステップとを含む固定化方法、装置、及び微小構造体製造方法を提供する。
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【課題】 耐チッピング透明塗膜において、環境にやさしい水分散系の透明な塗料を充分な厚さに塗布して下地の着色をそのまま生かせて、低温乾燥できて省エネルギーにもなり、加湿することで短時間で乾燥でき、充分な耐チッピング性が得られること。
【解決手段】 水分散樹脂Ａとしてウレタンディスパージョン１００重量部に対して、水分散可能イソシアネートＢとしてノニオン性の親水性基を付与したポリイソシアネート化合物を１０重量部、増粘剤Ｃとしてウレタン変性ポリエーテル系化合物を１重量部混合して作製した耐チッピング塗料を約５００μｍの厚膜まで塗布して、約５０℃〜約６０℃で約１０分間低温乾燥した後、湿度８０％±５％に約１０分間加湿する。Ｂの平均官能基数を２．５以上、側鎖のアルキル基（Ｃ_n Ｈ_2n+1 ）のｎ数を５以上とすれば、透明で塗面外観にも上塗付着性にも耐チッピング性にも耐水白化性にも優れた耐チッピング透明塗膜が得られる。 （もっと読む）

【課題】
透明性が改良された無機質膜−基板複合材料及びその製造方法を提供する。

【解決手段】
基板上に、０．１５μｍ以下の微粒子を殆ど含まない０．２〜２μｍ以下の脆性無機質微粒子のエアロゾルを吹き付けるエアロゾルデポジション法＜ＡＤ法＞により、無機質膜を形成した複合材料であって、無機質膜が可視光線部において透過率８５％以上であることを特徴とする無機質膜−基板複合材料。
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【課題】 インクジェット塗布方法などにより基板に塗布液の液滴を噴射して塗布した後、その塗布液を加熱して乾燥させる際に、良好な膜厚分布の固化物や膜を得ることのできる液滴噴射塗布方法を提供する。
【解決手段】 複数の溶媒を含有する塗布液の液滴を被塗布材の表面に噴射して塗布した後、前記被塗布材の表面に塗布された塗布液を、前記複数の溶媒の各沸点温度に応じて加熱温度を順次に上昇させながら加熱して乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】面内、面間厚みムラが非常に小さな、色目ムラの認識できない塗布型光学膜及びその作製方法、光学多層膜、反射型スクリーン並びに浸漬塗布装置を提供する。
【解決手段】隔壁で囲われた密閉空間を形成するブース１０１内に、溶媒を含有する塗料１０２Ｌが満たされた塗布槽１０２と、支持体１１を塗布槽１０２上で保持し、支持体１１を昇降させる昇降機構１０３と、塗料１０２Ｌ液面上にさらに隔壁で囲われた重密閉空間を形成し、上部に支持体１１を通過させる隙間を有する重密閉槽１０４とを備え、支持体１１を降下させて塗布槽１０２の塗料１０２Ｌ中に浸漬し、ついで支持体１１を塗料１０２Ｌ液面から引き上げながら支持体１１上に塗料を付着させて塗膜を形成し、同時に重密閉槽１０４及びブース１０１内で塗膜から溶媒を蒸発させて乾燥する。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、かつ高品位な反射防止フィルムを提供する。
【解決手段】バックアップローラ１１に支持されて連続走行するウェブＷ上に、スロットダイを使用して塗布液を塗布し、乾燥状態での膜厚が２００ｎｍ以下であり、かつ、ウェブよりも屈折率の低い層を少なくとも１層形成する反射防止フィルムの製造方法。ウェブ走行方向下流側の先端リップのウェブ走行方向ランド長さＩＬＯが３０〜１００μｍであり、かつ、ウェブ走行方向上流側の先端リップ１８ａとウェブ表面との隙間を、ウェブ走行方向下流側の先端リップ１８ｂとの隙間よりも３０〜１２０μｍ大きく設定する （もっと読む）

【課題】 十分な反射性能を有しながら耐擦傷性に優れた反射防止フィルムの製造方法を提供すること。並びに該製造方法によって得られた反射防止フィルムを提供すること。さらには、該反射防止フィルムを具備した偏光板及び画像表示装置提供すること。
【課題を解決する手段】 透明基材上に、少なくとも一層からなる反射防止層を有する反射防止フィルムの製造方法であって、透明基材上の少なくとも一層を下記（１）および（２）の工程を含む層形成方法によって形成することを特徴とする反射防止フィルムの製造方法。
（１）透明基材上に塗布層を塗設する工程
（２）大気中の酸素濃度より低い酸素濃度雰囲気下で電離放射線を照射することにより、該塗布層を硬化する工程。 （もっと読む）

本発明は、腐食保護され、そして、有機コーティング剤でコーティングされる鋼板（１）を製造する方法に関する。本発明によると、亜鉛又は亜鉛合金コーティングにより腐食保護される鋼板（１）を、少なくとも１つの追加金属又は金属合金を用いて真空中でコーティングし、熱拡散処理を施し、そして、次に冷却する。本発明の方法は、鋼板を水溶冷却媒体によって冷却することを特徴とする。
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本発明は、一方では、コーティングがプラズマ重合プロセスによって提供される開放気泡構造を有する製品の表面にその構造全体にわたってコーティングを提供する方法に関する。上記発泡体は、特定の方法に関して、上記プラズマ重合プロセス用に調製されるべきである。重合は、定性的および均質に、開放気泡および半開放気泡構造中で行われる。他方では、本発明は、ポリマー構造全体にわたって、開放気泡ポリマーの表面の疎水性物質、疎油性物質、難燃性および／またはバリヤコーティングとしての前述の方法の使用方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、サイズがより小さく、より高い効率で作業する粒子線処理装置に関し、そしてまた、処理可能な材料から成る基材上のコーティングを処理するために、例えばフレキシブル包装のためにこのような装置を使用することに関する。処理装置は、粒子線生成アセンブリとフォイル・サポート・アセンブリと処理アセンブリとを含む。粒子線生成アセンブリにおいて、電子を生成し加速することにより、電子がフォイル・サポート・アセンブリを通過するようにする。フレキシブル包装用途において、低電圧、例えば110kボルト以下で操作する処理装置に基材を供給し、そして、加速粒子に対して暴露することにより、基材上のコーティングを処理する。
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【課題】薄層の塗布を行った場合でも、幅方向の膜厚を均一にでき、塗布液圧の変動によるスジ状ムラ等の発生を抑え、安定した塗布を維持する。
【解決手段】支持体Ｗの走行方向上流側より減圧チャンバ４０とスロットダイ１３とを隣接して設けるとともに、スロットダイに対向させてバックアップローラ１１を設け、減圧チャンバにより張力を与えバックアップローラに巻き掛けて連続走行させる支持体上に、スロットダイを使用して塗布液１４を塗布する塗布方法。ηが塗布液粘度であり、Ｖが塗布速度であり、ｈが湿潤状態の塗布膜厚であり、Ｌがスロット長さであり、Ｄがスロット幅である場合であって、Ａ＝η×Ｖ×ｈ×Ｌ×１／Ｄ³ のときに、２Ｎ／ｍ² ≦Ａ≦７００Ｎ／ｍ² で塗布液を塗布する。 （もっと読む）

本発明は、推進剤ユニット構造体に熱保護用コーティングを形成する方法であって、少なくとも１種類のポリウレタンと特定の充填剤が予め分散されている重合剤の混合物とを連続的に測量および混合（１４）することと、１つの回転している円筒形の支持面（２）を、互いに隣接する巻部に混合物のフィラメント（１８）を連続的に注型することによってコーティングすることと、ポリウレタンが機械的なストレスに耐えるのに十分なように重合化されるように形成されたコーティングを周囲圧力で予重合化することとを有する方法に関する。
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【課題】低反射率、密着性、面状及び耐擦傷性に優れる積層フィルムを効率よく製造する方法を提供すること。
【解決手段】 透明樹脂を含有してなる支持体の上に、直接又は他の層を介して、ゾルゲル反応を行うケイ素化合物を含有してなる塗工液を塗工して屈折率１．４以下の低屈折率層を形成したフィルムを得、これを少なくもと２０秒間、４０〜９５℃、相対湿度１０〜９０％の雰囲気下に置く。 （もっと読む）

【課題】 薄膜塗布基板の製造過程において、乾燥工程では、平坦性の高い基板を得ることができるように、基板上の塗布膜を均一な速度で蒸発させているにもかかわらず、基板上に液体材料を塗布して薄膜を形成する工程から塗布された液体材料の薄膜を乾燥させる工程への搬送中に液体材料が自然乾燥してしまうことによって、乾燥後の基板の平坦性が低下してしまう。
【解決手段】 薄膜塗布基板の製造過程において、基板上に液体材料を塗布して薄膜を形成する工程から、塗布された液体材料の薄膜を乾燥させる工程に、基板を、薄膜の乾燥を抑制する雰囲気下に保持して搬送する方法およびそのための装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】各種のディスプレイ装置で使用される機能性光学フィルム、特に十分な反射防止性能を有しながら耐擦傷性の向上した反射防止フィルムの安価な製造方法、及び該方法により得られる反射防止フィルムを提供すること、並びにそのような反射防止フィルムを具備した偏光板及び画像表示装置を提供すること。
【解決手段】透明基材上に、少なくとも２層の電離放射線により硬化する層を有する光学フィルムの製造方法において、感光波長域での長波長側の吸収末端が異なる２種類以上の重合開始剤を含んでなる層Ａを、該重合開始剤の少なくとも１種（ａ）が実質的に感光せず、且つ該重合開始剤の少なくとも１種（ｂ）が感光する波長の電離放射線照射を行う工程１と、工程１の後に、層Ａの上に、少なくとも１種の重合開始剤（ｃ）を含む層Ｂ形成用塗布液を塗布して、重合開始剤（ａ）及び（ｃ）が感光する波長の電離放射線照射を行う工程２とを有して硬化することを特徴とする光学フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】良質な光情報記録媒体用の透明層を製造することが可能な光情報記録媒体用の透明層の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】ベース原反１から送り出されたベースＢは、その一方の面の表面エネルギーが表面エネルギー均一化部１５によって均一化された後、非接触除塵部１６によって非接触で除塵が行われる。この時点で、ベースＢの塗布液を塗布すべき面は、表面エネルギーが均一であり、且つ、塵が付着していない状態となる。その後、ベースＢは、パスローラ１１を通過して塗布部２に到達し、ここで塗布液が塗布される。塗布液が塗布されたベースＢは、パスローラ１２、プルロール３を通過して乾燥部４に到達し、ここで塗布された塗布液が乾燥される。塗布液が乾燥されたベースＢは、紫外線照射部５に到達する。紫外線照射部５では、ベースＢの塗布液が紫外線照射によって硬化される。紫外線照射部５を通過したベースＢは、巻芯に巻き取られ、巻取ロール６が形成される。 （もっと読む）

【課題】塗布面状故障の改良された光学機能フィルムの製造方法、光学機能フィルム、偏光板用保護フィルムを提供する。また、適切な手段により反射防止処理がされている偏光板、画像表示装置を提供する。
【解決手段】５ｍ／分から２００ｍ／分で搬送されるセルロースアシレートフィルムからなるウェブ状支持体上に、硬化後膜厚２００nm以下の光学機能層を少なくとも１層塗布する光学機能フィルムの製造方法であって、該光学機能フィルムの塗布層の少なくとも１層が、バックアップロールに支持されて連続走行するウェブの表面にスロットダイの先端リップのランドを近接させ、該先端リップのスロットから吐出される塗布液を塗布する光学機能フィルムの製造方法、この製造方法で作製された光学機能フィルム、およびこの製造方法で作製された反射防止フィルムを適用した偏光板、画像表示装置によって達成された。 （もっと読む）

【課題】 基板上に、精度の高い平坦度で機能性膜（着色膜）を形成することが可能な、液滴吐出法を利用した成膜方法、および、精度の高い平坦度で着色膜が形成されたカラーフィルタとカラーフィルタの製造方法を提供すること。
【解決手段】 微小な連続気孔を有する基板２の表面に隔壁３を形成し、隔壁３によって仕切られた区画内に、色材を含む液状体を、液滴吐出法により吐出させる。その後、区画内の液状体に含まれる分散媒を、基板２の裏面側から蒸発させることにより、着色膜８を形成する。この過程において、基板２の表面側からの分散媒の蒸発は抑えられ、着色膜８は精度の高い平坦度で形成される。 （もっと読む）