【課題】無端状の素地に均一に成膜することのできる成膜装置、及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置１は、駆動源により回転するローラー３に無端ベルト５を巻掛し、ローラー３の回転に従わせ無端ベルト５を走行させる走行手段７と、無端ベルト５にスロット２５を近接させたダイ９と、ダイ９のスロット２５に塗布液３９を供給する供給手段１１と、ローラー３の軸方向にダイ９を移動させる移動手段１３とを備える。ダイ９のスロット２５に供給される塗布液３９が無端ベルト５に塗布される過程で、移動手段１３がダイ９をローラー３の軸方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】同時多層塗布方法にて、層どうしの界面が形成された積層体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】複数の層形成用インキ、および難溶性化合物形成用インキを準備して、該複数の層形成用インキ、および該難溶性化合物形成用インキから、複数の層形成用インキ液層および難溶性化合物形成用インキ液層を各々形成して、該複数の層形成用インキ液層、および該難溶性化合物形成用インキ液層を、層形成用インキ液層と難溶性化合物形成用インキ液層と層形成用インキ液層との積層構造が形成されるように積み重ね、積み重ねた時に、該積層構造の層形成用インキ液層と層形成用インキ液層との間に難溶性化合物を形成させ、積み重ねられた該複数の層形成用インキ液層、および該難溶性化合物を基体に塗布し、乾燥する積層体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 粉体塗料組成物中の微粉量を大幅に低減し、微粉によって生じる不均一な塗装や凝集による不具合を低減し、長期塗装安定性に優れた粉体塗料組成物を提供する。
【解決手段】 エポキシ樹脂（Ａ）、無機充填材（Ｂ）及び硬化剤（Ｃ）を必須成分としてなるエポキシ樹脂粉体塗料組成物を構成する粉体塗料粒子であって、表面に細孔を有する多孔質粉体塗料粒子である。細孔の直径が、1μm〜20μmであることが好ましい。
また、エポキシ樹脂、無機充填材及び硬化剤を分散、混合した後、混練することによって、エポキシ樹脂、無機充填材及び硬化剤の混合物からなる粉体塗料粒子を製造する工程（Ｉ）、及び、
前記工程（Ｉ）で得られた粉体塗料粒子の混合物を破砕することによって、表面に細孔を有する多孔質粉体塗料粒子を製造する工程（ＩＩ）からなる多孔質粉体塗料粒子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】作業工程管理が容易で、安価な装置を使用したパターン形成方法を提供する。
【解決手段】第１の液滴２と隣り合う第１の液滴２の中間に着弾した第２の液滴４とは、表面張力により液滴同士が集まり、瘤状からなる凝集体を形成しようとする。このとき、瘤状からなる凝集体を形成しようとすることによって部分的に途切れた箇所が生じるが、この途切れる箇所を補うように、中央ライン５の両側に交互に列方向にずれるように着弾配置した第１の液滴２が中央ライン５側に集まり、この結果、部分的に途切れた箇所が生じることなく、濡れ広がる。 （もっと読む）

【課題】同時多層塗布法にて、層間の境目が形成され、かつ層間の密着性が良好な積層体を得る。
【課題を解決するための手段】複数の層形成用インキと硬化性化合物を含有させた硬化性インキを準備して、該複数の層形成用インキ、および該硬化性インキから、複数の層形成用インキ液層、および硬化性インキ液層を各々形成して、該複数の層形成用インキ液層、および該硬化性インキ液層を、層形成用インキ液層と硬化性インキ液層と層形成用インキ液層との積層構造が形成されるように積み重ね、積み重ねられた該複数の層形成用インキ液層、および該硬化性インキ液層を基体に同時に塗布し、乾燥した後、層間の該硬化性化合物を反応させる。 （もっと読む）

【課題】描画線幅の微細化と厚膜化を実現して高アスペクト比のパターンを可能とするパターン形成方法を提供する。
【解決手段】着弾した第３の液滴は硬化せず、硬化した第１の液滴２の間で架橋するように濡れ広がり、第１の液滴２の間を埋める。これによって、高さのバラツキが小さく、描画線幅の微細化と高アスペクト比の線を形成することができるパターン形成方法が得られる。また、第１の液滴、第２の液滴、第３の液滴、第４の液滴がいずれも同じピッチで着弾配置されているので、液滴の凝集等が同じように起こり、線幅が均一なパターンが得られる。 （もっと読む）

【課題】チクソトロピー性の高い塗液であっても、塗工開始後から所望の目付け量で安定して塗工可能な塗工装置及びその塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、塗工開始前に塗工ヘッド（２）から塗液タンク（３）に還流する塗液経路を設け、所望の目付け量が得られる塗工時の塗工ヘッド（２）の内圧以上の圧力で還流可能なポンプ（３）を有する。このような構成により、塗工直前まで塗工ヘッド（２）内の圧力を塗工時と同じもしくはそれ以上に保ち、流動させておくことが可能となる。その結果、塗工開始時の塗液粘度を低減し、かつ流動性を確保することで、塗工開始からの目付け量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】塗布液が乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板に対して塗布液を塗布する際に、出来上がった塗布膜の厚さ分布の均一性の悪化を抑制できる塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布方法は、表面ｆに塗布されたレジスト液ｒが乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板Ｓに対して塗布液を塗布する塗布方法であって、前記操作で生じ得る基板（Ｓ）の撓みが大きい箇所が小さい箇所に比べてレジスト液ｒの厚さが薄くなるように基板Ｓの表面ｆにレジスト液ｒを塗布する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】走行するウェブに塗布液を塗布する際に厚塗り部を吸引ノズルで従来よりも効率的に吸引することができるので、吸引圧力を比較的小さくすることができ、走行するウェブがバタつく等の不具合がない。
【解決手段】走行する帯状のウェブ１８に塗布液を塗布する際に、塗布幅方向両端部に形成され、目標塗布膜厚ｄよりも厚い厚塗り部４３を吸引する吸引ノズル１５を備えた塗布装置１０において、吸引ノズル１５の塗布幅方向における吸引面幅Ｄｏ及び吸引口幅Ｄｉは、厚塗り部４３の塗布幅方向の幅をＷ及び高さをＨ、ウェブ１８と吸引面５４との間のクリアランスＬとしたときに、下記の式１及び式２を満足する。
Ｗ≦Ｄｏ…（式１）、Ｗ＊Ｈ／Ｌ≦Ｄｉ＜Ｄｏ−１ｍｍ…（式２） （もっと読む）

【課題】 スジムラ故障や泡欠陥のないエクストルージョン型ダイヘッドを用いた塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】 塗液を外部に吐出するスリット１７とこのスリット１７と連通し塗液を供給するマニフォールド１８とを内部に有するエクストルージョン型ダイヘッド１を使用して被塗布物上に塗液を塗布する塗布装置であって、マニフォールド１８の壁面に気泡捕集部１９としてＶ字溝を設ける。 （もっと読む）

【課題】機能性インクのロットにより粘度が異なる場合や、インクジェットヘッドを交換した場合であっても、基板間で膜厚を均一にする。
【解決手段】インクジェットヘッドのノズルから機能性インクをインク滴として吐出させ、前記インク滴を基板表面に離散的に配置する配置工程と、前記基板表面に配置されたインク滴にモールドを接触させることで、前記モールドと前記基板との間に前記機能性インクを充填させる接触工程と、前記充填された機能性インクを硬化させる硬化工程と、前記硬化した機能性インクから前記モールドを剥離する離型工程と、前記硬化した機能性インクの厚みを計測する計測工程と、前記計測した厚みに基づいて、前記ノズルからの吐出量を補正する補正工程と、を備えた機能性インク配置装置の吐出量補正方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、かつ所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】所定の極性に帯電されているＰＺＴ前駆体溶液２０３がノズルから吐出された後所定時間が経過した後にミスト回収用電極２０９に電圧を印加する。ミスト回収用電極２０９への電圧印加の開始を吐出から所定時間遅らせることで、主液滴３００は電圧が印加されたミスト回収用電極２０９の電界から静電気力を受ける時間を少なくするとともに、ミスト液滴３０１を第１の電極に到達する前に回収される。第１の電極の所定部分に塗布され、基板１１上の所望のパターンに塗布される。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】ノズル近傍に付着した塗布不良を起こしうる異物を検知する着弾状態検査モードを有する塗布装置および着弾状態検査方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数の吐出ノズル１１を有し、各吐出ノズル１１が吐出面１４に配置されている吐出ユニット１３と、液滴を着弾させる検査面３１と、を備え、各吐出ノズル１１から検査面３１へ液滴を吐出し、液滴の着弾状態を検査する着弾状態検査モードを有する塗布装置であって、着弾状態検査モードにおいて、吐出ユニット１３は、検査面３１へ液滴を吐出して着弾パターン２１を形成した後、着弾パターン２１の上を吐出面１４が通過するよう移動し、次に、着弾パターン２１の上を吐出面１４が再度通過するよう先の移動方向と反対の方向に移動し、吐出ユニット１３が両方向に移動した後の着弾パターン２１の各液滴の形状から着弾状態検査が行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ドクターブレードとグラビアロールの接触が適正な状態であることを確認して塗布を開始するグラビア塗布装置と塗布方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材１０５の表面に塗膜を形成するグラビア塗布装置であって、塗布されるインキ１１７を溜めるインキパン１１６と、インキパン中のインキを掻き上げ、表面に設けられた凹部に充填するグラビアロール８と、掻き上げられたグラビアロール表面のインキを掻き落とすドクターブレード１０１と、グラビアロールとグラビアブレード間の電気抵抗値を測定する電気抵抗測定器１０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】遮光層と着色層からなるカラーフィルタ表面の平坦性と着色層内の平坦性を改善するカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板上に所定のパターンよりなる遮光層を形成する工程と、前記遮光層の開口部に着色材料をインクジェット法により規定の配列となるように吐出する工程と、前記着色材料に含まれる溶剤を蒸発させる乾燥工程と、前記着色材料を光重合させて硬化する硬化工程と、前記硬化工程後の着色材料をさらに熱硬化し着色層を形成する加熱工程とを有し、前記着色材料が、着色剤、分散剤、バインダー樹脂、光重合開始剤、光重合モノマー、及び溶剤からなり、前記光重合開始剤として、オキシムエステル系化合物を用い、かつ膜厚分布（Ｔ１に対するＴ２およびＴ３の百分率）が、前記遮光層の膜厚に対して９０〜１１０％の範囲内である製造方法。 （もっと読む）

【課題】表面塗膜と裏面塗膜の走行方向における間欠パターンの両端位置が異なる場合でも、膜厚の均一性に優れた機能性シートを製造できる製造装置および方法を提供する。
【解決手段】片面に間欠的に塗膜６が形成され未塗工部分を有するシート状の基材７を、バックアップロール３の搬送面にその片面を接触させた状態で搬送しながら、反対側の面に塗膜１６を転写して、その面にも間欠パターンを形成する。バックアップロール３は、基材７を搬送する搬送面を持つ搬送ロール４０と、未塗工部分の形状に対応する形状を有し、搬送面の近傍に位置し、搬送ロール４０の回転に同期して移動するプレート１３と、未塗工部分が搬送面の部分を通過する際、搬送方向についてプレート１３が未塗工部分の空間内に配置された状態で通過するように、基材７の搬送に同期させてプレート１３を移動させる。 （もっと読む）

【課題】塗工材が基材の塗工面に塗工された塗工製品を、低コストで、かつ歩留まりをより高くして製造することができる塗工材塗工方法、及び塗工材塗工装置を提供する。
【解決手段】ダイ２と相対的に金属箔３１を搬送させながら、ダイ２のスリット３から吐出した塗工液４０を、金属箔３１の塗工面３１ａに塗工する塗工材塗工方法において、塗工面３１ａと対向する位置に配置されるダイ２の先端面２ａと、塗工面３１ａとの距離であるダイギャップＨで、塗工開始時を、第１ダイギャップＨ１とし、塗工液４０を所望の厚みｔ＝３０（μｍ）でコンスタントに塗工している状態にあるときを、第２ダイギャップＨ２（Ｈ２＜Ｈ１）とすると、塗工液４０をスリット３から吐出開始と同時に、ダイ２を金属箔３１と相対的に等速度Ｖで移動させることにより、ダイギャップＨを、第１ダイギャップＨ１から第２ダイギャップＨ２に小さくする。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある面でも斑なく塗装し、塗り際を美しく仕上げる塗装方法と塗装装置を提供すること。
【解決手段】凹凸部の塗装はスプレーガンヘッド１１から圧縮空気と液体塗料を混ぜて吹き付け、塗り際の塗装は圧縮空気を止めて前記液体塗料のみを噴射して行うこととした。
これにより、溝や突条などの凹凸がある部分の塗装は、エアスプレーのように、液体塗料を圧縮空気と混ぜて微粒化し霧状態にしてから吹き付けるため、比較的斑なく均一な厚みの塗膜が得られ、その上、塗装境界付近の塗装は、噴射パターンの外郭が明確なエアレススプレーと同様の塗装を行うので塗り際が美しく仕上がる。 （もっと読む）

【課題】低い粘度の塗布液を使用しても良好に製膜可能な塗布装置及び多層膜付きフィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ダイ先端部の空間を減圧するための吸引装置と、前記塗布液を貯留するためのポケットと、を備え、前記ポケットは、塗布点よりも下の位置に配置され、下流リップと、前記ウエブと、の最短距離をｄ１とし、隣接リップと、前記ウエブと、の最短距離をｄ２とし、前記隣接リップの前記走行方向の幅をＬ２とし、最上層の膜厚をｈ１とし、最上層を除く全ての膜の総膜厚をｈ２としたとき、式１〜式４の全てを満たすように前記ブロックが設置されて前記ダイが構成された塗布装置。
10μｍ≦（ｄ１−ｄ２）≦200μｍ 式１
ｄ２≦３×ｈ２ 式２
５０μｍ≦Ｌ２≦２００μｍ 式３
dP/dX＞０ 式４ （もっと読む）