【課題】本発明は半導体製造装置および排気トラップ装置に関し、冷却コイルに生成した未反応ガスの堆積物によって排気ガス通過経路が閉塞することを防止する半導体製造装置および排気トラップ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の排気トラップ装置は、ハウジングと、前記ハウジングの内部に排気ガスを導入する排気ガス導入口と、前記ハウジングの外部に排気ガスを導出する排気ガス導出口と、前記ハウジングの内部に設けられた冷却コイルと、前記冷却コイルに冷媒を供給する冷媒供給手段と、前記冷却コイルを加熱する加熱手段と、を備えることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 従来の海水淡水化装置は浸透膜や加圧式など巨大な設備や膨大な電力の消費を要するものが殆どで経済的負担と環境への負荷が大きい。
【解決手段】 装置が簡単であり無限に降り注ぐ太陽光熱を活用することにより原始的ではあるが僅かな電力の消費で済み経済的で自然環境に優しく長期に渉り淡水が得られ、加えて副産物として塩も精製できる。 （もっと読む）

【課題】不溶解性を有する被乾燥物由来の凝結物の内部付着を抑制する遠心式薄膜乾燥機およびその洗浄方法を提供する。
【解決手段】回転シャフト１３と、回転シャフト１３に回転ブレード取付座３０を介して回動自在に取り付けられた複数個の回転ブレード１４と、内面側に所定温度に加熱される伝熱面２２を備え、伝熱面２２により回転シャフト１３および回転ブレード１４を包囲する伝熱胴１１とを備える。回転シャフト１３および回転ブレード１４には、少なくとも撥水性を有する物質により被膜処理が施されることで、被乾燥物の凝結物の付着を抑制する。 （もっと読む）

【課題】洗浄水に対して不溶解性或いは難溶解性を示す固着物を対象とした洗浄にあっても、従来の洗浄方法の洗浄効果を損なうことなく遠心薄膜乾燥機の振動を抑制できる遠心薄膜乾燥機の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】遠心薄膜乾燥機１０（図１参照）の洗浄方法において、伝熱胴１３に対する廃液の供給の停止後に、主軸１８の回転数を降下させる第２工程と、降下させた主軸１８の回転数を所定時間維持する第３工程と、主軸１８或いはブレード１７に対する負荷を示す指標を回転数上昇条件として用い、この回転数上昇条件を満たすように降下させた主軸１８の回転数を上昇させて行く第４工程とを設けるようにした。第４工程により、主軸１８の回転数は遠心薄膜乾燥機１０に対して許容される振動の加速度１０（m/sec²）を超えることなく上昇していく。また、第２工程および第３工程により、従来の洗浄方法による洗浄効果が維持される。 （もっと読む）

【課題】 特に複雑な装置を必要とすることなく、高い回収率で洗浄剤を脱水することが可能な洗浄剤の回収方法を提供する。
【解決手段】 水を含む洗浄剤を蒸留して脱水する方法において、前記洗浄剤に沸点が３０℃以上１００℃以下であるハロゲン系溶剤を混合した後に、蒸留して洗浄剤を分離する。 （もっと読む）

【課題】 気体を冷却して凝縮する凝縮器の冷却管が付着物で汚れることを防止する。
【解決手段】 プラスチックを熱分解して得られる分解ガス等の不純物を含む気体を凝縮器３０で凝縮する際に、凝縮により得られた凝縮液の少なくとも一部を気体洗浄部３１の気液接触部３７に上方から供給し、気体供給部３８から導入した気体を前記気液接触部３７で凝縮液と向流接触させて該気体に含まれる不純物を洗浄し、洗浄後の気体を凝縮器３０に導入してその冷却管３２と接触させて冷却し凝縮する。 （もっと読む）

【課題】効率よく蒸気を捕集・処理して、環境を改善することができる蒸気捕集装置を提供する。
【解決手段】蒸気発生源と連結されるために、筐体１２の外面に設けられた蒸気入口１４と、給水源と連結されるために、筐体１２の外面に設けられた水入口１６と、筐体１２内に配置された熱交換器２０と、筐体１２の外面に設けられる出口１８と、を有する。熱交換器２０は、交互に重ね合わされた複数の第１伝熱プレート及び複数の第２伝熱プレートを有し、第１伝熱プレート及び第２伝熱プレートには、それぞれ第１流路及び第２流路が形成されて、第１入口２６は第１流路を介して第１出口２８に連通し、第２入口３２は第２流路を介して第２出口３０に連通する。蒸気入口１４は熱交換器２０の第１入口２６に連通し、水入口１６は熱交換器２０の第２入口３２に連通し、出口１８は、熱交換器２０の第１出口２８及び第２出口３０に連通する。 （もっと読む）

【課題】従来の乾燥機では、処理槽壁面に処理物が固着したり、撹拌の十分に行き届かないところで処理物が固まったりすることによる、乾燥度の不均等や熱伝導率の低下という不具合や、処理槽を飛散する飛散物まで排気口より排出され、飛散物が真空ポンプや熱交換器等に滞留してしまうという不具合があった。
【解決手段】強制排気による減圧雰囲気の処理槽内１２で、処理物を攪拌しながら加熱する減圧乾燥機１０において、処理物を攪拌する攪拌翼２０を、回転軸１９に固設された脚部２９と、該脚部２９に着脱可能に設けられた翼部３０とで構成した。また、該攪拌翼２０の回転軸１９より放射方向に突出する板状部材１８を備えた。 （もっと読む）

【課題】処理液の水分含有量を維持しながら、処理液の蒸留時に生じる発泡を抑制し、処理液からの揮発性不純物除去を正常に精度よく実施できるようにする。
【解決手段】揮発性不純物１を含む処理液２を、脱気缶３が組み込まれた循環系Ｒを循環させながら脱気缶３内に処理液２を分散吐出して蒸留することによって、処理液２から揮発性不純物１を除去する不純物除去方法において、循環系Ｒの内、脱気缶３の上流側の処理液流路に対して、揮発性不純物１を含む処理液２の循環を維持しながらスチームＪを導入させる。 （もっと読む）

【課題】処理液の蒸留時に生じる発泡を抑制し、処理液からの溶媒除去を正常に精度よく実施できるようにする。
【解決手段】有機溶媒１を含む処理液２を、減圧環境下において蒸留することによって処理液２から有機溶媒１を除去する溶媒除去方法において、蒸留の前処理工程として、処理液２の品質劣化を生じない温度範囲で、且つ、沸騰しない温度範囲の減圧環境下において、処理液２を分散させて処理液中の溶存ガスを脱気する。 （もっと読む）

【課題】気液の接触を円滑に行うことができる気液接触装置ないし気液接触方法、あるいは粘性固形物を含んだスラリーであっても効率的な気液接触を行わせることができる脱溶媒装置を提供する。
【解決手段】本発明の気液接触装置１０は、通気開口を有するトレイ１３を塔本体１１内に多段に設け、トレイ１３下方の気体を通気開口を通してトレイ１３上の液体に接触させる構成とされる。本発明の気液接触装置１０においては、トレイ１３を傾斜させて設けることでトレイ１３上を液体が所定方向に向けて流れるようにすると共に、通気開口を液体の流れの下流側に向けて開口する形状となすことで、トレイ１３上の液体の流れに基づいて発生する負圧により、通気開口を通してトレイ１３の下面側の気体を液体内に吸引させる。 （もっと読む）

【課題】汚水を効率良く蒸散できる汚水蒸発処理装置を提供する。
【解決手段】巻取機24を駆動して蒸発用シート11を汚水槽２の汚水Ｗに浸漬し、蒸発用シート11で汚水槽２の汚水Ｗを吸収する。巻取機24を駆動して蒸発用シート11を汚水槽２の汚水Ｗから引き出す。蒸発用シート11で吸収した汚水Ｗが蒸発する度に、蒸発用シート11を汚水槽２の汚水Ｗに出し入れする動作を間欠的に繰り返す。汚水槽２の汚水Ｗを効率良く蒸発させて飛散できる。汚水Ｗの分量を効率良く少なくできる。 （もっと読む）

【課題】有用な有機成分を回収するために、硫黄含有残留物流れを処理するために用いられる改良された残留物処理システムの提供。
【解決手段】ａ）液状有機物含有硫黄含有残留物流れをストリッピング領域に移送する段階；およびｂ）ストリッピング領域において、該液状有機物含有硫黄含有残留物流れを間接的に加熱して、有機物を含む蒸気流れおよび液状残留物流れを形成する段階を含む、硫黄含有残留物流れから有機物をストリッピングする方法 （もっと読む）

本発明は、水素含有ハロゲンシラン、とりわけ水素含有クロロシランを不均化するための触媒、その使用、及びまたその方法に関する。
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【課題】真空発生装置のコンデンサー本体および排気用配管詰まりによる停機を防止する真空発生装置を提供する。
【解決手段】アンモニアを含むガスを、減圧蒸留するためのコンデンサーを備えた真空発生装置において、該コンデンサーへの水供給配管の外側にＮ極性とＳ極性を対向するように複数個の磁石を配列させたことを特徴とする真空発生装置。 （もっと読む）

本発明は、装置内で精製を行う不飽和化合物の精製方法であって、当該装置が少なくとも２つの蒸発器を有し、かつこれらの蒸発器は前記不飽和化合物の一部が１つの循環に送られるように接続されており、この際に第一の蒸発器で凝縮された蒸発物が単離され、かつ第二の蒸発器で凝縮された蒸発物が第一の蒸発器に導入される方法に関し、本方法は、凝縮された蒸発物を第一の蒸発器で精製すべき混合物から単離する質量流量が、凝縮された蒸発物を第二の蒸発器から第一の蒸発器に導入する質量流量よりも少ないことを特徴とする。さらに本発明は本方法を実施するための装置を記載し、当該装置は少なくとも３つの蒸発器を有し、これらの蒸発器は、第一の蒸発器の液相に残る残留物を、第二の蒸発器に導入することができ、第二の蒸発器の凝縮された蒸発物を第一の蒸発器に、及び第二の蒸発器の液相に残る残留物を第三の蒸発器に導入することができ、かつ第三の蒸発器の凝縮された蒸発物を、第二の蒸発器に導入することができるように、相互に接続されている。
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【課題】１つの装置だけで、液体原料の濃縮処理と精密な蒸留処理とを簡単に切り替えながら目的の処理を良好に行えるコンパクトな濃縮蒸留装置を提供する。
【解決手段】気密された連通閉鎖空間内での物質の相変化を利用した装置であり、蒸発容器３６内に投入した液体原料を加熱して気化させる蒸発部１２と、蒸気を冷却して液化する凝縮部１４と、精留塔１６と、凝縮液を受ける第１液受部１８と、精留塔１６の上方側で還流弁５８を介して分岐して接続され精留塔１６で精留された凝縮液を回収する第２液受部２０と、精留塔１６から流下する凝縮液を蒸発部１２に戻して精留塔１６での精留を行わせる帰還経路と、精留塔からの凝縮液を第１液受部１８に回収して蒸発部１２での液体原料の濃縮を行わせる不帰経路と、を選択的に切り替え可能な切替経路部２２と、を備えた濃縮蒸留装置１０から構成される。 （もっと読む）

【課題】電子工業用で使用可能な純度の高価な剥離液の補充を少なくし、剥離液廃液から従来より高い回収率で精製剥離液を再生することのできる新規な剥離液の高収率再生方法および装置の提供。
【解決手段】液晶ディスプレイパネルの製造工程から排出されるレジストを含有する剥離液廃液からレジストを分離除去し、剥離液を再生する方法において、剥離液廃液中のレジスト重量に対し０．０１〜０．２倍重量のアルカリを添加することを特徴とする剥離液の再生方法および装置。 （もっと読む）

【課題】残留農薬検査等において必要な、サンプルの濃縮作業と、それに関連する一連の作業の自動化が未だなされていない。
【解決手段】そこで、本発明では、カラム１、サンプル容器２及び溶媒容器３を一次元方向に配置し、その上方において分注用ニードル５を移動可能で、且つ上下方向に昇降可能に構成し、カラムを含む配置よりも下方に濃縮容器６を装着する濃縮用加温装置７と廃液容器８を移動可能に構成し、濃縮容器の上部開口に当接可能な減圧系統の接続ヘッド１０を、移動可能で、且つ昇降可能に構成した自動濃縮装置を提案している。 （もっと読む）

【課題】処理液を蒸発濃縮するときに、処理液に含まれる物質が不純物として凝縮水に混入することを抑制する濃縮装置を提供する。
【解決手段】濃縮装置は、処理液４５を加熱して蒸気を排出するフラッシュ型蒸発器５１と、フラッシュ型蒸発器５１への処理液４５の流入経路を遮断する開閉弁２６，２８と、フラッシュ型蒸発器５１からの処理液４５の流出経路を遮断する開閉弁２７と、開閉弁２６，２８および開閉弁２７の開閉を制御する制御装置とを備える。濃縮装置は、フラッシュ型蒸発器５１から排出される蒸気に混入する不純物の濃度を検知するための電気伝導度計５５を備える。制御装置は、フラッシュ型蒸発器５１において処理液４５を蒸発濃縮するときに、開閉弁２６，２８および開閉弁２７を全閉に制御する。 （もっと読む）