レーザレンズを重力場において、Ｚ軸に沿って、リニアアクチュエータによって、集中移動させる、アセンブリを含む、電子部品基板を処理するためにデバイスを支持する装置及び方法。該アセンブリに用いられる流体式釣合い装置は、ハウジングに組み込まれて端部行程限界位置の間を移動するピストンによって画定される。ピストンは、ハウジングを、第１及び第２流体連通ポートを有する第１及び第２流体チャンバに分割する。流体圧力供給源は、第１及び第２チャンバに接続することができ、かつ調整可能であるので、支持されるレーザレンズを平衡状態で重力場において静的に吊り下げることができる。流体圧力供給源によって、支持されるレーザレンズの質量を平衡状態に維持しながら、支持されるレーザレンズを、ピストンの対向する端部行程限界位置の間のいずれの位置にも移動させることができる。
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【課題】加工ノズルを清浄な状態に保ちながら、加工ノズルに効率良く精確なレーザ加工を行なわせることができるレーザ加工装置を得ること。
【解決手段】レーザ光のレーザ出射口となる加工ノズル３Ａを加工ヘッドに着脱させるノズル交換部を有するとともに、加工ヘッドに取り付けられた加工ノズル３Ａからレーザ光を出射して被加工物のレーザ加工を行うレーザ加工装置において、ノズル交換部は、加工ノズル３Ａへの付着物の付着を防止する付着防止剤を供給する付着防止剤供給部と、レーザ出射口の内部であってレーザ光を通過させる加工ノズル３Ａの内壁面に、付着防止剤供給部からの付着防止剤を塗布するブラシ２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】開弁圧を安定した低い値に設定することができ、加工ヘッドの移動・停止時に慣性により開弁するようなことがなく、耐久性の高い、密閉光路用のチェック弁及びレーザ加工機を得ること。
【解決手段】密閉光路に供給されたパージガスを大気圧より高い一定圧に保ちながら前記密閉光路外へ排出するチェック弁において、通気孔２ｂを設けた板状の弁座２と、該弁座２の通気孔２ｂを塞ぐように該弁座２に片持ち梁状に固定され、前記通気孔２ｂからのパージガスの圧力を受けて略全長に亘って撓んで開弁して該パージガスを前記密閉光路外へ排出し、前記密閉光路内のパージガスの圧力が前記一定圧以下になると、自身の弾性により閉弁する弾性薄板から成る弁体３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】密閉伸縮光路のパージガスを浪費することがなく、大気中の粉塵が密閉伸縮光路内に侵入することがなく、圧力調整用バッファージャバラや、バッファー手段としてのガス袋を必要としないレーザ加工機を得ること。
【解決手段】レーザビームを出力するレーザ発振器と、前記レーザビームを集光してワークに照射する加工ヘッド部と、前記レーザ発振器と加工ヘッド部との間を接続し、該加工ヘッド部の移動に伴なって伸縮し、前記レーザビームを前記加工ヘッド部まで伝送する密閉伸縮光路２０と、前記加工ヘッド部の移動を制御する制御装置１５と、を備えるレーザ加工機において、前記制御装置１５の加工ヘッド部移動指令に基づいて、前記密閉伸縮光路２０内のパージガスの圧力が大気圧より高くなるように調整する圧力調整手段１００、３１を備える。 （もっと読む）

【課題】光学系の調整を容易なものとしつつ、十分な機械的強度を持つスポット状の溶接部の形成が可能なレーザ溶接用ヘッドを提供する。
【解決手段】レーザ溶接用ヘッド２７では、シリンドリカルレンズ５１，５２の協働により、ワーク１０Ａ，１０Ｂの溶接予定線Ｒに照射する際に、レーザ光源４０から供給されるレーザビームＬを、溶接予定線Ｒと直交するＸ方向を長軸とし、溶接予定線Ｒに沿うＹ方向を短軸とする楕円状に予め集光させることができる。これにより、形成されるスポット溶接部Ｗの平面形状が略真円形となり、スポット溶接部Ｗの機械的強度を十分に確保できる。また、レーザ溶接用ヘッド２７では、平凸レンズ５３の配置位置をレーザビームＬの光軸方向に沿って調整するだけで、レーザビームＬの集光位置Ｐの位置合わせを行うことができる。このため、光学系Ｓの調整も容易なものとなる。 （もっと読む）

【課題】スリット溝から押し出された直後の材料の緻密性を従来よりも高めることができ、成形後の工程においてハニカム構造体にクラック等の不具合が発生することを抑制できるハニカム構造体成形用金型及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】ハニカム構造体成形用金型８は、材料を供給するための供給穴８１と、供給穴８１に連通して格子状に設けられ、材料をハニカム形状に成形するためのスリット溝８２とを有する。スリット溝８２の溝幅Ｗは、供給穴８１側からスリット溝８２が形成されている溝形成面８２０に向けて徐々に狭くなっており、かつ、スリット溝８２の内面８２１の傾斜角αは、溝形成面８２０に垂直な方向に対して３′〜５′である。 （もっと読む）

【課題】作業用開口部に溜まった水を完全に排出することができて、床面を含む任意の作業面の溶接が可能な水中溶接装置を提供する。
【解決手段】水中溶接装置に、作業用開口部１１及び排水口１２が開設されたチャンバー１と、チャンバー１内に収納された溶接トーチ２と、チャンバーを作業面に固定する吸着パッド８と、チャンバー１内に外部からガスを供給するガス供給ライン１５ａ〜１５ｈを備え、チャンバー１の外面の作業用開口部１１を取り囲む位置に透水性及び弾力性を有するシールパッキン１３を設ける。吸着パッド８によりチャンバー１を作業面に固定すると共にガス供給ライン１５ａ〜１５ｃを通してチャンバー１内に所要のガスを導入し、チャンバー１内の水を排水口１２及びシールパッキン１３を通して外部に排出する。 （もっと読む）

【課題】汎用性が高くて使い勝手の良いレーザ加工ヘッドを提供する。
【手段】レーザ加工ヘッドは、底部１ａを有する筒状のボデー４を備えており、ボデー４には反射鏡１２と第１集光レンズ２０及び第２集光レンズ２４が内蔵されている。レーザ光は、ボデー４の外周部に設けたレーザ光導入部５から光ファイバー８を介して反射鏡１２に入射される。ボデー４の先端部にはインナーカバー３５とフロントカバー３４とが取付けられており、フロントカバー３４に、フィラーワイヤー４１を繰り出すチューブ取付け部３７が設けられている。チャックを介して工作機械に取付けた使用と手持ち作業のいずれも選択できる。また、フィラーワイヤー４１を使用した溶接とレーザ光のみの加工とも選択できる。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工により発生する加工飛散物を効率よく除去、回収し、加工対象物に付着するデブリを削減する。
【解決手段】入射レーザ光を透過する透過窓９と、透過窓９を透過したレーザ光を通す開口部２０と、内部に気体を導入する導入孔４１と、内部の雰囲気を外部へ排出する排気孔１６と、加工対象物７のレーザ光照射領域近傍に気体を導入する第１通気孔１８と、第１通気孔１８と対向する位置に設けられ加工対象物７のレーザ光照射領域近傍の雰囲気を排出する第２通気孔１７と、透過窓９と開口部２０の間に配置され、透過窓９を透過したレーザ光を通す開口４２ａ、並びに、該開口４２ａ、導入孔４１及び排気孔１６を連通する通気部４４とが形成されてなる遮蔽板４２ａとを有するレーザ加工ヘッドを備える。これにより、レーザ加工時に発生する加工飛散物２１を、遮蔽板４２でトラップする。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工用ガスの噴射圧力を微調整することが容易なレーザ加工ヘッド及びレーザ加工方法を提供すること。
【解決手段】レーザ加工ヘッド１は、ノズル部１０と流路２０，２２とを備えている。流路２０，２２にドライエアＧＢが供給されると、ドライエアＧＢが流路２０，２２を流れることにより負圧が発生する。ノズル部１０の内室１１と流路２０，２２の中途とは連通路３２，３４を介して連通しているので、発生した負圧により、内室１１のシールドガスＧＡは流路２０，２２に吸引されることとなる。その結果、噴出孔１２におけるシールドガスＧＡの噴射圧力が低下する。ドライエアＧＢの流量を変えれば、流路２０，２２に吸引されるシールドガスＧＡの量を変えることができ、噴出孔１２におけるシールドガスＧＡの噴射圧力を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】加工ヘッドとワークの衝突を回避してワークの安定したレーザ加工を行なうレーザ加工装置を得ること。
【解決手段】レーザ加工装置において、ワーク１０４と加工ヘッド３の相対位置を制御するＮＣ制御部７と、ＮＣ制御部７が加工ヘッド３を退避位置から次の加工ポイントへアプローチさせる際にワーク１０４の加工面と加工ヘッド３との間の最短距離を距離情報として検出する距離検出部と、を備え、ＮＣ制御部７は、加工ヘッド３を退避位置から次の加工ポイントへアプローチさせる際に距離検出部が検出した距離情報に基づいて加工ヘッド３の倣い制御を行なうとともに、アプローチの際には加工ヘッド３を退避位置から次の加工ポイントへ斜め下降させる斜め下降制御を用いてアプローチさせる。 （もっと読む）

【課題】加工ヘッドのノズルを容易に交換可能となる加工ヘッドを提供する。
【解決手段】加工ヘッド本体１０と別体にて形成され内部にヘッド導出路２３に連通するノズル導出路２７を有しノズル孔２９を先端に有するノズル２２と、ノズル２２に内周方向に突出して形成されるピン３２と、加工ヘッド本体１０の外周縁に形成されピン３２の挿入する挿入口２６を有するとともに挿入したピン３２を当接して係止する係止部２５と、加工ヘッド本体１０の外周縁に形成されたヘッド整合部１６と、ノズル２２の外周縁のヘッド整合部１６と整合する位置に形成されたノズル整合部１４と、ヘッド整合部１６とノズル整合部１４との間の環状に配設されヘッド整合部１６とノズル整合部１４との整合に隙間を介在させるＯリング３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】加工ノズルの交換を行う場合でも加工品質に優れたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】交換自在に装着された加工ノズル１５を有する加工ヘッド１３と、加工ヘッド１３に対して加工ノズル１５の着脱交換を行う加工ノズル交換手段１６と、加工ヘッド１３とワーク４とＸＹＺ軸方向の任意の位置に移動するとともに加工ヘッド１３を加工ノズル交換手段１６まで移動する移動手段３０と、複数種の加工ノズル１３とワーク４との間隔に応じた間隔信号の校正値をそれぞれ取得し複数種の加工ノズル１５に対応させて各校正値を蓄積しレーザ加工に応じて複数種の加工ノズル１５から適切な加工ノズル１５を移動手段３０および加工ノズル交換手段１６を制御して加工ヘッド１３に装着させて装着された加工ノズル１５に対応した校正値に基づいて移動手段３０を制御して加工ヘッド１３の位置を制御してレーザ加工を行う制御手段１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、レーザ発振器から出力されたレーザ光を波長変換して得られる紫外レーザ光で加工するレーザ加工装置において、メンテナンス周期の長いレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 波長変換手段を、レーザ光のビーム形状を変更するビーム整形手段と被加工物に集光走査させる集光走査手段とを結ぶ光路上に設け、ビーム整形手段でパワー密度の低下した赤外レーザ光を紫外レーザ光に波長変換することで、光学素子がパワー密度の低下した紫外レーザ光に曝されるようにするとともに、紫外レーザ光に曝される光学素子の数を減らして、光学素子の汚れや光学損傷を抑制した。 （もっと読む）

【課題】プラズマを閉じ込める液体による腐食、汚染、同液体の大量消費を防ぐことができ、水槽等の大型の装置を用いることのない、クリーンかつ省エネルギーで利便性に優れたレーザピーニング装置を提供する。
【解決手段】本発明のレーザピーニング装置は、被加工物Ｗの局所の表面上にプラズマを閉じ込める液体Ｒを形成保持する液体保持ヘッド１と、液体保持ヘッド１に保持された液体を介して被加工物Ｗの表面にレーザを照射するレーザ照射ヘッド２とを備える。 （もっと読む）

【課題】フライングオプティックス型のレーザ加工機における大容量のトーチ交換装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工機のテーブル１５は固定され、レーザ加工ヘッド５０が３軸方向に移動する。テーブルの端部の加工エリア外に設けた段取りステーション９０にはトーチ交換ユニット３００が配設される。トーチ格納装置１００は、チェーン１３０の外側にフォークにより支持される多数のトーチホルダ１５０が設けられる。トーチホルダシフタ２００は、シフトポジションにあるトーチホルダ１５０をトーチ交換ユニット３００へ送り出し、加工ヘッド５０のトーチが交換される。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ発振器を備えた焼入れ装置を提供する。
【解決手段】レーザ焼入れ装置１は、ベッド１０上にＣ軸まわりに回転するテーブル２０を備える。Ｃ軸に直交するＹ軸に沿って移動するコラム３０にはＺ軸に沿って移動する焼入れヘッド４０が装備される。焼入れヘッド４０は半導体レーザ発振器を備える。焼入れヘッドの主軸５０はＢ軸まわりに回転し、トーチＴからレーザビームを照射して、テーブル２０のチャック２２に把持されたワーク表面に焼入れ処理を行う。トーチ自動交換装置１００は、回転するマガジンの外周部に複数のトーチＴが格納され、主軸５０に対してトーチを自動交換する。 （もっと読む）

【課題】テーブル移動型のレーザ加工機における旋回型のトーチとノズルの交換装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工機の自動工具交換装置１００は、マガジン１５０上に配置される複数のトーチホルダ１６０とノズル交換装置１７０を備える。加工ヘッド４０は紙面に垂直なＹ軸方向と、Ｚ軸方向に移動する。交換すべきトーチを格納したトーチホルダ１６０をＹ軸パスライン上に旋回させ、加工ヘッド４０を降下させてトーチの交換を行う。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を直線偏光から円偏光へ変換する１／４波長板を光路に導入しても、その戻り光によりレーザ発振器が損傷を受けることや不安定になることを低減できるレーザ用加工ヘッドを提供する。
【解決手段】１／４波長板７を、レーザ加工ヘッド２内に導入することで、当該１／４波長板７をレーザ発振器３から遠ざける。 （もっと読む）

【課題】
通常加工の静電容量式ノズルの外側に厚板材加工の際には容易に冷却液を供給できる加工ノズルを提供する。
【解決手段】レーザ加工機の加工ヘッド先端部に設けられた静電容量式ギャップセンサを備えた加工ノズルを囲むようにして、冷却液を噴霧するための冷却ノズルをリング状に設けた。さらにその冷却液が静電容量式センサへの影響をなくするため、その加工ノズルの周囲にエアーカーテンとして圧縮エアーを噴射するためのスリット状の溝を設けてそこからエアーを噴射する機構とした。 （もっと読む）