【課題】 製品品質の低下を極力防止し、良好なペーストの塗布を行なうこと。
【解決手段】 ステージ４を跨いで設けられた門形フレーム５の梁状部材５ａにガイド装置８を介して塗布ヘッド６を水平移動自在に支持する。ガイド装置８は、梁状部材５ａに固定されたガイドレール８ａ１とこのガイドレール８ａ１に摺動自在に設けられ塗布ヘッド６側に固定された可動台８ａ２とを有する。また、梁状部材５ａには、ガイドレール８ａ１に沿って複数の真空吸引孔５ｂが所定の間隔で設けられ、各真空吸引孔５ｂは、電磁弁を有する配管を介して真空源に接続される。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式による基板への機能性液の打滴が最適化され、好ましい微細パターンを形成し得る液体塗布装置及び方法並びにナノインプリントシステムを提供する。
【解決手段】基板(102)上に機能性液を打滴する複数のノズル(120)、及び少なくとも一部が圧電素子(123)で構成された側壁（121）によって区画され、各ノズルのそれぞれに連通される液室を具備し、圧電素子をせん断変形させて液滴を打滴する液体吐出ヘッド(110)と、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させる搬送部(108)と、を具備し、液体吐出ヘッドに具備される複数のノズルについて、両隣のノズルが異なるグループに属するように複数のノズルを３つ以上のグループにグループ化するとともに、同一の打滴タイミングにおいて同一のグループに属するノズルのみから打滴を行い、液体を前記基板上に離散的に着弾させるように圧電素子の動作が制御される。 （もっと読む）

【課題】液体流路からの放熱を防ぐと共に、ノズル近傍を効率的に加熱することで、噴射する液体の粘度を調節し、信頼性の高い液体噴射ヘッドを提供することにある。
【解決手段】ヘッドケース３２の側面に装着したヒーター３９と、該ヒーターに少なくとも一部が当接する側面部分３３ａと、該側面部分と連結して、ノズルプレート３４側に屈曲すると共に、ノズルプレートに対してヘッドケースとは反対側で対向する底面部分３３ｂと、により構成され、流路ユニット３８の周縁を覆うヘッドカバー３３と、を備え、底面部分は、ノズルプレートのノズル３７が露出するように窓部３３ｃを開口し、該窓部の開口縁の先端が、ノズルプレートに対して、リザーバー３４に対応する領域とノズルとの間に当接し、ノズルプレートと底面部分との間であって、リザーバーに対応する領域に空隙を形成した液体噴射ヘッド。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式による基板への機能性液の打滴が最適化され、好ましい微細パターンを形成し得る液体塗布装置及び液体塗布方法並びにナノインプリントシステムを提供する。
【解決手段】基板(102)上に光硬化性樹脂を含有する液体を打滴するための複数のノズル(120)が所定の方向に沿って一列に並べられた構造を有し、複数のノズルのそれぞれに連通される複数の液室(122)、及び複数の液室に対応して配設される液室内の液体を加圧するための圧電素子を具備する液体吐出ヘッド(110)を備え、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させて、液体を基板上に離散的に着弾させるように圧電素子を動作させるとともに、前記液体吐出ヘッドの構造に対応して前記複数のノズルがグループ化され、該グループごとに圧電素子の動作が制御される。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、圧電体３０を構成する少なくとも一つの金属元素を含有する多孔質体５０と、を含み、圧電体３０は、第１電極２０と第２電極４０との間の距離を厚さとして有し、第１電極２０と第２電極４０とで挟まれた第１部分３２と、第１部分３２とは、第１部分３２の膜厚方向と直交する方向において連続し、第１部分３２の厚さより小さい厚さを有する第２部分３４と、を有し、多孔質体５０は、第２部分３４と第２電極４０との間に形成され、多孔質体５０は、第１部分３２に近づくにつれて、厚さが小さくなる。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドのノズル形成面との間に密封した空間を確実に形成することができるキャップ、メンテナンス装置、及び流体噴射装置を提供する。
【解決手段】本体部２５の開口部２５ａより上方位置に突出し、ノズル開口を囲うように記録ヘッド１９に当接してノズル形成面１９ａとの間に密封した空間域を形成する第１環状突部２９と、本体部２５の開口部２５ａより上方位置に第１環状突部２９を囲繞するように突出し、ノズル開口を囲うように記録ヘッド１９に当接してノズル形成面１９ａとの間に密封した空間域を形成する第２環状突部３０とを備え、各環状突部２９，３０は基部２８を通じて連結されると共に、キャップ２３が当接位置に位置した状態で、第１環状突部２９が第２環状突部３０から離れる方向に変位した場合、第２環状突部３０が第１環状突部２９から基部２８を通じて伝播される変位力に従って記録ヘッド１９に対して密着する方向に変位する。 （もっと読む）

【課題】インク消費量を低減しつつインク滴の吐出不良を回復することができる液滴吐出装置、および液滴検知方法を提供する。
【解決手段】ノズルから吐出された液滴を検知する検知部１４２と、液滴が吐出された時点から液滴が検知されるまでの検知時間を計測する計測部１４３と、検知時間が予め定められた閾値を超えるか否かを判断し、閾値を超えると判断した場合にノズルによる液滴の吐出状態が不良であると判断する判断部１４４と、吐出状態が不良であると判断された場合に、吐出状態の不良を回復させるために吐出させる液滴の量を算出する算出部１４５と、算出された量の液滴をノズルに吐出させる吐出制御部１４６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ホールダイ型コーティングダイの塗布上流側に吸引口を設けたホールダイコータにおいて、基板バラツキあるいは偏肉によって塗工ギャップが変化し、それによって生じる圧力差バラツキによって塗布液の液柱が不安定になるという問題を解決し、ホールダイコータの塗布プロセス時の液柱の安定性を高める。
【解決手段】基板６上に塗布液Ａをコーティングする際の基板６とホールダイヘッド４との相対移動方向と逆の向きに気体吸引口を設置し、かつホールダイヘッド４の隣接するノズル穴５間におけるリップ部９に、塗布液Ａの塗布上流方向と下流方向とを連通する溝２０を形成する。これにより基板６の寸法のバラツキあるいは偏肉による圧力差バラツキによって塗布液Ａの液柱１０が不安定になることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 例えば太陽電池用のフィンガー配線パターンなどのパターンを、その開始端も含めて均一に形成することができるパターン形成方法およびパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 ペーストに加えるせん断応力の増加に応じたペーストの粘度変化（粘度特性）を測定する（ステップＳ１０）。測定した粘度特性に応じて、ノズルからのペーストの吐出を開始する際における基板の移動速度条件を調整する（ステップＳ２０）。調整された速度条件で基板を移動させるとともにノズルからペーストを線状に吐出して基板上に線状のフィンガー配線パターンを塗布形成する（ステップＳ３０）。 （もっと読む）

【課題】記録メディアに再度インクを吐出して液滴吐出ヘッドの吐出動作の確認を行う必要がなく、さらに、液滴吐出ヘッドを取り外すことなく流路溝内の気泡発生箇所を正確に特定できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】判断部６は、液滴吐出ヘッド１から吐出される液滴の速度を液滴吐出速度測定部３に測定させる前に、液滴吐出ヘッド１をヘッド用軌道部４を介して液滴吐出速度測定部３から撮像部２へ平行移動して、流路溝内の状態を撮像部２に撮像させて、撮像部２によって撮像された流路溝内の状態が良好であるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】装置内におけるカラーフィルター用インク中に含まれる異物を検出することが可能な液滴吐出装置、および、インクの検査方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置１００は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むインク２を吐出する液滴吐出装置１００であって、インク２を貯留する１次インク貯留槽１３２と、１次インク貯留槽１３２から送液されたインク２を貯留する２次インク貯留槽１５０と、２次インク貯留槽１５０から送液されたインク２を吐出する液滴吐出ヘッド１１４と、超音波の伝播速度の度合いを測定することによってインク２中の異物を検出する異物検出手段１５２とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】キャビテーションが発生するのを良好に防止することが可能な液体噴射装置および液体噴射方法を提供すること。
【解決手段】液体噴射装置１０は、液体貯留手段２７から供給される液体を、駆動信号情報に基づく駆動信号の印加に基づいて噴射させる液体噴射ヘッド３０と、液体噴射装置１０の設置される場所の気圧を計測する気圧計測手段５０と、気圧に応じて変動する液体中における溶存気体量に関連付けられている駆動信号情報と、気圧との関係を示す気圧相関情報を記憶している情報格納部７３と、気圧計測手段５０で計測された気圧および気圧相関情報に基づいて、液体噴射ヘッド３０で印加される駆動信号の基となる駆動信号情報を選択し、その駆動信号情報に基づいて液体噴射ヘッド３０の駆動を制御する制御手段７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の技術を用いた傾斜機能材料の製造方法、装置を提供する。
【解決手段】 Ｃｕナノ粒子を含むＣｕインクをインクジェットヘッド５０Ｃｕから吐出されるＣｕナノ粒子インクの量と、インクジェットヘッド５０Ａｕから吐出されるＡｕナノ粒子を含むＡｕインクの量との比率を決定し、決定された比率にしたがってヘッド５０Ｃｕ、ヘッド５０Ａｕからインクを吐出させて１つの層を形成し、基材上に複数の層を積層して積層体を得る積層させ、最下層から最上層へ向かってＣｕインクの吐出量比率が減少するとともにＡｕインクの吐出量比率が増加し、かつ、Ａｕインクに対するＣｕインクの相対的な吐出量比率が小さくなり、Ｃｕインクに対するＡｕインクの相対的な吐出量比率が大きくなるように、Ｃｕインクにおける各層間の吐出量、Ａｕインクにおける各層間の吐出量、ＣｕインクとＡｕインクとの各層間の相対的な吐出量比率を決定する。 （もっと読む）

【課題】吐出環境の低下を防ぐこと。
【解決手段】流体噴射ヘッドから流体を噴射するときの第一状態に配置された流体タンクの流体室のうち流体流出口よりも鉛直方向下側に位置する空間の基準体積が、第一状態に対して９０度傾いた第二状態に配置された流体タンクの流体室のうち流体流入口よりも鉛直方向下側に位置する空間の体積よりも小さくなるように、流体流入口及び流体流出口が配置されている。 （もっと読む）

【課題】大面積基板上にインクを塗布する場合に対応して、不吐出ノズルや着弾精度が悪い不良ノズルなどを正確に検知することができるインクジェット装置を提供する。
【解決手段】印刷媒体である基板３と吐出検査用プレート６とを同じ高さに配置する。これにより基板３上での塗布結果と、吐出検査用プレート６上での塗布結果との間に相関を取ることができる。このため、吐出検査用プレート６上での検査パターンの塗布結果を基に、塗布液滴の位置ずれやノズルの不吐出状態を補正することによって、基板３上への塗布状態を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出面に付着した塗布液の乾燥に起因する吐出異常の発生を抑止する。
【解決手段】塗布装置１は、吐出口が形成された吐出面Ｍ１を有し吐出口から溶液系の接着剤を液滴として吐出する塗布ヘッド４と、吸液性を有し吐出面Ｍ１に接触しつつ吐出面Ｍ１を払拭するワイピング部材６ｂと、ワイピング部材６ｂに接着剤の溶質を溶かす溶剤を供給する溶剤供給部６ｄと、ワイピング部材６ｂの吸液状態を許容範囲内に保つように溶剤供給部６ｄを制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布膜厚分布の高さ検出を所定精度でいつでも検出を可能にし、膜厚分布測定ができない時は、塗布を停止して不良製品流出を回避する。常に検出器の較正を行い膜厚分布の測定を可能とし、生産性・稼働率で高品質製品の生産を可能とする塗布方法および塗布装置を提供する。更にこの方法および装置を用い高品質で高生産性を維持したプラズマディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】塗布前に被塗布部材９の表面高さを検知するステップと、被塗布部材に塗布膜を形成するステップと、塗布後に被塗布部材の表面高さ９ａを検知するステップと、塗布前後の被塗布部材の高さより塗布膜の厚さを演算して求めるステップと、を有する塗布方法で、塗布前後の表面高さを検知するステップの前、中または後に連続して、異なる高さの２以上の基準面を持つ基準器６を用い基準器高さを測定する塗布方法。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図ること。
【解決手段】流体を噴射する流体噴射ヘッドと、前記流体噴射ヘッドから排出された前記流体を受ける流体受部と、前記流体受部に流路を介して接続され、前記流体を吸収する流体吸収部と、前記流路に設けられ、前記流体受部から前記流体吸収部へと前記流体を流通させるように作用するポンプと、前記ポンプの駆動に連動して作動し、前記流路からの前記流体を前記流体吸収部に行き渡らせる作動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル用ＴＦＴ基板におけるゲート絶縁膜のように、濡れ広がりの制約を満足しつつ、膜厚を上限および下限値がある所定の範囲内に収めることが必要な成膜工程において、制約条件を満足する範囲での膜厚制御性を向上させ、プロセスマージンを向上させる膜形成方法および膜形成装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る絶縁膜形成方法は、絶縁材料および有機マトリクス成分を含有する液体を基板に塗布した後、非加熱下で所定の時間置き、その後で、上記有機マトリクス成分の架橋促進温度を超えない温度で強制乾燥処理を施す。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークを備える基板の位置決めにおいて、アライメントマークの正確な位置が未知である場合においても、正確に基板の位置合せを行なう。
【解決手段】基板２におけるアライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。 （もっと読む）