【課題】不使用の塗布液ノズル先端部を乾燥抑制溶剤で封止して長時間乾燥を防ぐ処理を容易に最適な状態に調整し、吸引溶剤層の量で設定される長時間の間にダミーディスペンを行わないで済むようにすることにある。
【解決手段】基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、塗布液ノズルから塗布液を供給して前記基板の表面に向けて吐出させて塗布膜を形成する液処理をする液処理装置（方法）において、塗布液ノズル１０先端部を撮像する手段を設けて、予め長時間乾燥を防ぐ処理を行う場合の塗布液の位置、乾燥抑制溶剤の位置を撮像映像が表示される画面中に挿入されるソフトスケール１２１ａによって設定を行なうことで、目視に頼らずに設定値に基づいてディスペンス制御して、前記塗布液ノズルの先端部内の塗布液の乾燥抑制の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】複数のインクジェットヘッドを省スペースで所定位置に位置決めが可能で、インクジェットヘッド交換が必要な際に短時間で交換が可能であるインクジェットヘッド位置決め装置を提供する。
【解決手段】複数のインクジェットヘッドを所定位置に位置固定する位置決め装置であって，インクジェットヘッドの高さを調整する高さ調整プレートと、前記高さプレートを載置するモジュールプレートと、前記モジュールプレートの位置を微調整するＸθ微調整ユニットが固定されるメインプレートを具備することを特徴とするインクジェットヘッド位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタヘッドのような円柱状物品の固定調整冶具を提供する。
【解決手段】プリンタヘッド４０を固定側１０にとりつける冶具は、固定側１０にとりつけられたホルダ１００を有し、締め付けネジ１０６で固定される。回転止めリング１２０はホルダ１００の穴１０８に挿入されるピン１３０を有し、プリンタヘッド４０の角度位置を規制する。高さ固定リング１４０は高さ調整ボルト１５０を有し、ホルダ１００からの高さ位置を規制する。 （もっと読む）

【課題】ペースト塗布時のノズルの破損防止を図りつつ、ゼロセットを適切に行うことが可能なペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】固定力制御機構２００は、ゼロセット時には、圧力調整弁２０６で調整された圧力の気体で、エアシリンダ２０２内のピストン２０４を下降させ、更には、ノズルクランプ１５８も下降させて、つば部１４４をノズルホルダ１５６とノズルクランプ１５８とで挟み込んで、ノズル１４２の上下方向の位置を固定する。一方、固定力制御機構２００は、ペースト塗布時には、圧力調整弁２０８で調整された圧力（圧力調整弁２０６による調整圧力よりも小さい圧力）の気体で、エアシリンダ２０２内のピストン２０４を押し下げ、ノズルクランプ１５８とノズルホルダ１５６との間でつば部１４２を挟持する。 （もっと読む）

【課題】液滴の配置位置を決定するために工程時間が増大したり、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大したりすることを抑制する液状体吐出方法及び液状体吐出装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出方法は、液状体の液滴を吐出する吐出ノズルと、被配置区画を備える基材と、を主走査方向に相対移動させ、被配置区画に吐出ノズルから吐出された液状体を配置する液状体吐出方法であって、第一の被配置区画に液滴を配置する位置を規定する第一の配置パターンを生成する工程と、第一の被配置区画と相似の形状を有する第二の被配置区画に液滴を配置する位置を規定する第二の配置パターンを生成する工程と、第二の配置パターンに従って液滴を配置する工程と、を有し、第二の配置パターンは、第一の配置パターンと相似形状であって、第一の配置パターンに対する相似比が、第一の被配置区画の形状に対する第二の被配置区画の形状の相似比と等しい。 （もっと読む）

【課題】塗布装置の稼働率を向上させることにより、塗布基板の低コスト化を図ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージに載置された基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、基板に付着した異物の存在を検知する検知ユニットと、前記検知ユニットからの異物情報に応じて前記塗布ユニットを制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記検知ユニットからの異物情報から基板上における異物位置情報を得、その異物位置情報に基づいて基板に付着した異物を回避するように前記塗布ユニットを駆動制御するように構成する。 （もっと読む）

【課題】振動の少ない印刷装置を提供する。
【解決手段】本発明の印刷装置１は第一、第二の印刷ヘッド２１、２２を有しており、第一の印刷ヘッド２１と第二の印刷ヘッド２２は互いに逆向きに移動可能になっている。第一の印刷ヘッド２１を加速又は減速させるとき、第二の印刷ヘッド２２を逆向きに加速又は減速させれば、反力が打ち消しあって、印刷装置１に発生する振動が小さくなる。振動が小さいから、振動を鎮めるための静定時間が短くてすみ、製造効率が上がる。印刷ヘッド２１、２２により振動が防止されるから、振動防止専用の装置が不要である。 （もっと読む）

【課題】カメラやセンサなどの特別な機器を必要とせず、簡易な構成で機械的に位置調整が行えるノズル位置補正機構およびそれを備える塗布装置の提供。
【解決手段】液体材料を吐出するノズルとテーブル上に載置されたワークとを駆動機構により相対移動させてワーク面に液体材料を塗布する際に、前記ノズルの位置を補正するためのノズル位置補正機構であって、前記駆動機構に対する前記ノズルの相対位置を調整する調整部と、前記ノズルが挿通されるノズル挿通孔、および、前記ノズル挿通孔に挿通されたノズルの先端部分と当接する当接面を有する位置決め部材を備えることを特徴とするノズル位置補正機構およびそれを備える塗布装置。 （もっと読む）

【課題】塗布処理のタクトタイムを短縮させるとともに、基板製造の歩留まりを向上させる技術を提供する。
【解決手段】塗布装置１０は、搬入部２０、塗布部３０および搬出部４０で構成される。搬入部２０に搬入された基板９０は、浮上ステージ２１および塗布ステージ３１上面に設けられた噴射孔からのエア噴射により浮上力が付与されるとともに、シャトルチャック２２により塗布部３０へ搬送される。塗布部３０へ搬入されると、基板９０は、塗布ステージ３１に支持され、スリットノズル３２の吐出走査によりレジスト液が塗布される。塗布処理が完了すると、基板９０は、塗布ステージ３１および浮上ステージ４１上面に設けられた噴射孔からのエア噴射により浮上力が付与されるとともに、シャトルチャック４２により搬出部４０へ搬送される。 （もっと読む）

【課題】液晶滴を単位パネル領域に吐出するのにかかる時間を短縮させ、マザー基板の液晶量をマザー基板に吐出するために、ヘッドユニットが移動する距離を減らし、また、ヘッドユニットが揺れないように、加減速制御する回数を減らすこと。
【解決手段】本発明は、マザー基板に定義された単位パネル領域に液晶を吐出する方法に関する。本発明であるマザー基板に定義された単位パネル領域に液晶を吐出する方法によれば、単位パネル領域を経ながら、各単位パネル領域に少なくとも一つの液晶滴を吐出する第１の段階と；前記単位パネル領域の各々に吐出された液晶量が基準の単位パネル領域の液晶量に到達するまで、前記第１の段階を繰り返す第２の段階と；を含む。 （もっと読む）

【課題】基板保持部に保持される複数の基板に対してそれぞれ処理液を供給可能な複数のノズルを備えることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを水平姿勢で保持する複数のスピンチャックと、基板Ｗに処理液を供給する複数のノズル２１と、選択ノズル２１ｓを準備位置から処理位置Ｐａ、Ｐｂへ移動させる選択ノズル移動機構５１と、各準備位置の間で複数のノズル２１を一体に移動させるノズル群搬送機構４１と、を備えている。ノズル群搬送機構４１は複数のノズル２１を各準備位置間で移動させる。選択ノズル移動機構５１は、複数のノズル２１から任意に選択される選択ノズル２１ｓを、処理位置Ｐに移動させる。処理位置Ｐに移動した選択ノズル２１ｓは処理液を基板に供給する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドホルダ３０のノズルの軸方向への移動若しくは振動によるノズルのメニスカス破壊を防止する。
【解決手段】第１及び第２ガイド部材５、６の端部で、ギャップ調整部材をスライドさせて、ヘッドホルダ３０の印字のためのギャップを大小に変更する時、両ガイド部材に設けられた規制部７２ａ、７２ｂに上押圧部７６または下押圧部７７が衝突する前に、緩衝体７３に当たって圧縮変形させて、ギャップの大小変更動作に伴う衝撃力を緩和させて、ノズルのメニスカス破壊を防止する。 （もっと読む）

【課題】塗布位置精度及び塗布量精度の低下を抑えることができる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布装置１において、塗布対象物Ｋの塗布面Ｋａ上の塗布区画に向けて液滴を吐出する塗布ヘッド５と、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを塗布面Ｋａに沿う方向に相対移動させる移動機構３，４と、液滴が着弾した塗布区画を撮像する撮像部７と、塗布位置情報及び塗布量情報を記憶する記憶部８ａと、その塗布位置情報及び塗布量情報に基づいて、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させて液滴を順次吐出する塗布動作を行うように塗布ヘッド５及び移動機構３，４を制御する手段と、塗布動作の実行中に、液滴が着弾した塗布区画を順次撮像するように撮像部７を制御する手段と、順次撮像した塗布区画の画像を用いて塗布位置のズレ及び塗布量のズレを求め、前述の塗布位置情報及び塗布量情報を補正する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】被加工物の保護膜を被覆すべき領域に確実に保護膜を被覆することができる保護膜形成装置を提供する。
【解決手段】被加工物の加工面における所定の被覆領域に液状樹脂を被覆する保護膜形成装置であって、被加工物保持手段と、被加工物保持手段に保持された被加工物に液状樹脂を微細粒子として噴射する噴射手段と、噴射手段と被加工物保持手段を相対的に移動せしめる加工送り手段と、加工送り手段によって相対移動する噴射手段と被加工物保持手段との相対位置関係を検出する加工送り位置検出手段と、加工送り位置検出手段からの検出信号に基いて該噴射手段を制御する制御手段とを具備し、制御手段は被加工物の加工面における被覆領域が設定された座標マップを格納するメモリを具備し、メモリに格納された座標マップに設定された被覆領域と該加工送り位置検出手段からの検出信号に基いて噴射手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】溶液を効率的に目的の位置のみに精度よく付着することである。
【解決手段】透明基板２の一方の面上には網目状に隔壁６が形成されており、隔壁６によって囲繞された各囲繞領域内に透明電極３が形成されている。この透明基板２を溶液噴出装置５０にセットし、溶液噴出装置５０で有機ＥＬ層４を成膜する。溶液噴出装置５０は、透明基板２を載置するワークテーブル５１と、ワークテーブル５１を副走査方向に移動する駆動装置５２と、走査方向に移動するヘッド部５４と、ヘッド部５４に設けられたノズル５５と、ノズル５５に設けられた加熱器５９とを備える。加熱器５５によって加熱されたＥＬ溶液が液滴としてノズル５５の噴出口５５ａから噴出されて、透明電極３に液滴が着弾し、液滴の溶媒が蒸発することで、有機ＥＬ層４が形成される。 （もっと読む）

【課題】所期の塗布性能を確保することが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】基板を浮上させて搬送する構成において、基板に液状体を塗布する塗布部が当該液状体を吐出するノズルを有し、基板を基準としたノズルの水平調整を基板搬送部上から外れた所定位置で行う調整機構を備えることとしたので、ノズルを基板に対して水平にすることが容易になると共に、ノズルと基板との距離の調整を容易に行うことができる。これにより、所期の塗布性能を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを補正した配置パターンを作成することによって、工程時間が増大したり、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大したりすることを抑制する液状体吐出方法及び液状体吐出装置を提供する。
【解決手段】配置パターンによって規定された配置位置に、液状体を配置する液状体吐出方法であって、液状体の着弾位置を検査する工程と、検査結果から、配置位置に対する着弾位置のずれを検証する工程と、検証結果に基づいて補正配置パターンを生成する工程と、を有し、位置ずれ検証では、取得された着弾位置から算出される第一の配置パターンに対応する着弾位置の位置ずれ量を、第一の配置パターンによって規定された第一の配置位置に対応する閾値と比較し、補正配置パターンの生成では、着弾位置が第一の配置位置から閾値を超えて乖離している吐出ノズルについて、第一の配置パターンに対して配置位置を補正した第二の配置パターンを生成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのインク噴射面とメンテナンス部との距離合わせを精度良く、遠隔で行い得る液体噴射装置、及び液体噴射装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１のメンテナンスを行う複数のメンテナンス部を備えたメンテナンスユニット５と、インクジェットヘッド１又はメンテナンスユニット５を一体に取り付けた昇降移動自在かつ少なくとも複数のメンテナンス部の対向位置にインクジェットヘッド１のインク噴射面４を平行移動自在の３次元移動部材３と、インク噴射面４と各メンテナンス部との高さ方向の距離を間接的に計測する距離センサ２と、距離センサ２によるインク噴射面４と各メンテナンス部との高さ方向の距離の間接的な計測値から、３次元移動部材３における、インク噴射面４をメンテナンスするための昇降移動量を決定し、３次元移動部材３を昇降移動させるメンテナンス位置設定部とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ディスペンサー方式でありながら、位置精度良く機能膜溶液を塗布することが可能な電子デバイス用基材および機能膜製造方法および製造装置を提供すること。
【解決手段】ノズルと基材またはノズルと基材載置テーブル間に電界を印加して機能膜溶液を塗布するディスペンサー塗布方法において、基材上に塗布領域外でかつ塗布領域の延長線上に凸部を設けた基材を用いることにより、位置精度良く機能膜溶液を塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の垂れ落ち等の問題を生じることがなく、塗布液の無駄をなくし、しかも塗布処理に要する時間を短くすることができる塗布装置を提供すること。
【解決手段】 塗布ヘッド３６の本体３８の下部には、保持板３１より保持された基板Ｇの表面に向けて塗布液としてのレジスト液を吐出する複数の吐出孔３９が列設されたノズル４０が設けられている。そして、ノズル４０を吐出孔３９の列設方向５０と直交する方向に走査しつつこれら複数の吐出孔３９から同時にレジスト液を吐出している。また、回動機構を設けることでノズル４０を回動し、列設方向５０と走査方向５１との間に一定の角度を持たせることで隣接する吐出孔３９間のピッチＰを調節できるようにしている。 （もっと読む）