【課題】 インクジェット方式によって形成した塗布液の薄膜の膜厚均一性を向上させる。
【解決手段】 塗布液供給機構１２の進行方向前側に溶剤供給機構１８を、進行方向後側に気体噴射機構１４を、それぞれ連結して塗布ヘッド１０が構成されている。塗布ヘッド１０を基板Ｗに対して相対移動させながら、溶剤供給機構１８から基板Ｗ上に溶剤を供給し、続いて塗布液供給機構１２から溶剤の被膜上に塗布液を供給し、最後に、気体噴射機構１４から塗布液の凹凸表面に気体を噴射して溶剤の薄膜表面を平滑化する。 （もっと読む）

【課題】気泡を含む液体が基板などの対象物に供給されることを抑制または防止できるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４に供給される液体が流通する液体流路５５が形成された供給部４３と、液体流路５５を上流側と下流側とに仕切っており、上流側と下流側とを接続する複数の第１接続路６４が形成された第１拡散板４７とを含む。 （もっと読む）

【課題】液膜の幅を安定させることができるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４の長手方向Ｘ１の両端にそれぞれ配置された一対のガイド部４６とを含む。一対のガイド部４６は、長手方向Ｘ１に間隔を空けて対向する一対のガイド面６６をそれぞれ含む。一対のガイド部４６のそれぞれには、ガイド面６６より凹んだ凹部６８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】被吐出物を押す圧力の調整及び吐出手段と被吐出物との距離の調整を同時に行うことにより作業の効率性を向上させることのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】
インクジェットプリンタ１０は、インクを吐出し、メディアの上を移動するスライダ１と、メディアを載せるプラテン２と、スライダ１の移動方向をガイドするガイド機構３と、プラテン２の上に載せられるメディアを押さえ付けるクランプ機構４と、ガイド機構３をプラテン２に対して相対的に移動させるアクチュエータと、を備え、ガイド機構３は、スライダ１に接続されており、アクチュエータによる移動により、スライダ１とメディアとの距離を調整するものであり、且つ、クランプ機構４に接続されており、アクチュエータによる移動により、クランプ機構４とメディアとの距離を調整するものである。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に溶液を均一に塗布することができる塗布装置、ならびに塗布対象物への溶液の塗布によって均一な薄膜を形成することができる薄膜製造方法を実現する。
【解決手段】吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物の上に塗布されて、塗布対象物の上に皮膜が形成される。この皮膜が形成される工程において、吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物に塗布される前または吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物に塗布され始める際に帯電によって吐出部に蓄積されている電気量が低減される。 （もっと読む）

【課題】異なる塗工条件に低コストで対応できるとともに、塗工膜の厚みを高精度に管理することができる塗工装置、塗工方法及び電極製造方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、基材１の表面に塗工材２を塗工する塗工ダイと、塗工ダイの上流側に設けられ塗工材２のビード２ａ上流側を減圧する減圧用スリットとを有する。塗工ダイは、上流側ブロック２１と下流側ブロック２５とを有し、上流側ブロック２１と下流側ブロック２５との間には、塗工材２を吐出するための塗工用スリット２６が形成される。上流側ブロック２１は、上流側から順に第１のパーツ２２、第２のパーツ２３及び第３のパーツ２４に分割形成される。第２のパーツ２３のリップ面２３ａは、第１のパーツ２２のリップ面２２ａ及び第３のパーツ２４のリップ面２４ａより凹んだ位置に配置されて、第２のパーツ２３のリップ面２３ａを底面とする凹部２７が形成される。 （もっと読む）

【課題】液状材料により形成される膜の膜厚を均一化することができると共に前記膜の乾燥時間を短くすることのできる成膜方法および成膜装置を提供すること。
【解決手段】導電性を有するノズルプレート２６に形成されたノズル２６１から帯電性を有する液状材料１０を液滴Ｄとして吐出する液滴吐出ヘッド２と、液滴吐出ヘッド２と液状材料１０の吐出方向に対向配置された電極３１との間に、基材Ｓを配置し、ノズルプレート２６と電極３１の間に電位差を生じさせた状態でノズル２６１から液状材料１０を液滴Ｄとして吐出することにより、液滴Ｄを該液滴Ｄよりも小さな複数の微小液滴Ｄ１に分裂した霧状にして基材Ｓに供給し、基材Ｓ上に膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板表面の微細領域に安定して液体を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】この塗布装置では、ノズル１の内部にインク２を注入し、ノズル１に固定した歪センサ３の出力信号に基づいてノズル１の先端が基板４の表面に接触したか否かを判別する。制御部５は、Ｚステージ７を制御してノズル１を基板４の方向に移動させ、ノズル１の先端が基板４の表面に接触したことに応じてノズル１を停止させ、ノズル１の先端のインク２を基板４の表面に塗布する。したがって、ノズル１の先端径と略同じ径のインク層２ａを塗布できる。 （もっと読む）

【課題】鋼製ロープなど外周面にスパイラル状の凹凸のある長尺材の外周方向及び長手方向に、揮発性の高い接着剤を変質なく付着させて、周方向の凹凸にムラなく、かつ長手方向の膜厚変動を抑制する接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】鋼製ロープ１など外周面にスパイラル状の凹凸のある長尺の被塗布材への接着剤塗布装置であって、接着剤４１を貯蔵する温度調節可能な溶液タンク１１と、所要量の接着剤を送り出す吐出機構２６と、前記被塗布材１を移動させながら挿通させ、挿通の途中において、前記吐出機構２６から送り出された接着剤を供給穴から吐出して前記被塗布材１に付着させる筒状ノズル２と、前記被塗布材１上に付着した接着剤の膜厚を調整する絞り機構３を備えている。 （もっと読む）

【課題】吐出部及びその周囲近傍部分の熱可塑性接着剤の堆積を抑える。
【解決手段】熱可塑性接着剤を吐出する吐出部を有し、所定の走行経路を走行する吸収性物品に係る連続シートの片面に、吐出部から熱可塑性接着剤を吐出して塗布する接着剤塗布装置である。前記連続シートと吐出部とを接離方向に相対移動する接離機構と、吐出部からの熱可塑性接着剤の吐出動作を行う吐出機構と、接離機構及び吐出機構を制御するコントローラと、を有する。前記連続シートの走行速度が所定の閾値よりも大きい場合には、吐出部を前記連続シートの前記片面に接触させつつ吐出部から熱可塑性接着剤を吐出するようにコントローラは接離機構及び吐出機構を制御する。前記走行速度が前記閾値以下になった場合には、吐出部からの熱可塑性接着剤の吐出を停止するとともに、当該吐出の停止以降に前記連続シートと吐出部とが離間状態になるように、コントローラは接離機構及び吐出機構を制御する。 （もっと読む）

【課題】ホールダイ型コーティングダイの塗布上流側に吸引口を設けたホールダイコータにおいて、基板バラツキあるいは偏肉によって塗工ギャップが変化し、それによって生じる圧力差バラツキによって塗布液の液柱が不安定になるという問題を解決し、ホールダイコータの塗布プロセス時の液柱の安定性を高める。
【解決手段】基板６上に塗布液Ａをコーティングする際の基板６とホールダイヘッド４との相対移動方向と逆の向きに気体吸引口を設置し、かつホールダイヘッド４の隣接するノズル穴５間におけるリップ部９に、塗布液Ａの塗布上流方向と下流方向とを連通する溝２０を形成する。これにより基板６の寸法のバラツキあるいは偏肉による圧力差バラツキによって塗布液Ａの液柱１０が不安定になることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】小さい吸引力でノズルから液体を吸引する。
【解決手段】インクジェットプリンタ１は、インクを貯留するタンク３と、タンク３から供給されたインクを、複数のノズル２ａが形成されたノズル面２ｂからインク液滴として吐出するインクジェットヘッド２と、タンク３における上部空間Ａの圧力を調節することで、ノズル面２ｂにおけるインクの圧力を調節する調圧ポンプ４と、インクジェットヘッド２を掃引する掃引ユニット６と、不良ノズルを検出するノズルチェック装置７と、制御部１０と、を備える。そして、制御部１０は、掃引ユニット６を用いてノズルチェック装置７で検出された不良ノズルが含まれる一部のノズル２ａを吸引する際、調圧ポンプ４による上部空間Ａの圧力制御により、ノズル面２ｂにおけるインクの圧力を指定圧力よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】リップ部の微調整を行う際の作業性に優れたスロットダイを提供する。
【解決手段】一対のブロックの平面部同士を対向させるとともに離間配置して構成し、平面部間を通過した塗液を吐出させるリップ部と、リップ幅を調節するリップ幅調節手段とを備えて塗液の吐出状態を制御するコーティングダイであって、少なくとも一方のブロックは、リップ部側の面からブロックの内部へ向けてブロックの平面部と略平行に形成されるスリットと、スリットと交差し、リップ幅調節手段の断面形状に沿って形成されたリップ幅調節手段収容溝とを備え、リップ幅調節手段は、ナットと固定リングとの間において回転軸がスリットに直交し、且つ回転軸の一方の端部がブロックの外方に突出した状態でリップ幅調節手段収容溝に収容され、回転軸を回転させて、ナット及び固定リングでスリットを挟み込み又は押し開く力を作用させてリップ幅を調節可能なコーティングダイを採用した。 （もっと読む）

【課題】ノズル列内の液体噴射特性にバラツキがない液体噴射ヘッドおよび所定量の液体が噴射される液体噴射装置を得ること。
【解決手段】インク導入口２３１の位置が、圧力室２２１の列２２４の中心より重力方向ｇとは反対側にあるので、水頭圧の影響の小さい圧力の低い領域に、インク導入による圧力が加わる。加えて、水頭圧の影響の大きい圧力の高い領域からインク導入口２３１の位置が遠くなるので、流路抵抗が増えることによる圧力の低下が、水頭圧の影響の大きい圧力の高い領域で起こり、各インク供給口２２３に加わる圧力の差を小さくできる。したがって、圧力室２２１内の圧力を変化させてノズル開口２１１からインクを噴射する際に、圧力室２２１内の圧力の差を小さくでき、ノズル開口２１１間のインク吐出特性の差を小さくでき、インクの吐出量のばらつきの小さいインクジェット式記録ヘッド２００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドの個体差による吐出されたスペーサの配置位置及び個数の偏りを小さくできるスペーサ塗布装置及びスペーサ塗布方法を提供する。
【解決手段】
基板４１の移動方向に沿って吐出孔２３ａ〜２３ｃを三個以上並んで配置する。吐出制御装置５５は同一の吐出孔２３ａ〜２３ｃから吐出液を吐出される着弾位置４４₁〜４４₉が、隣接して連続しないように吐出液を吐出するように構成されている。第一例では、着弾位置４４₁〜４４₉に吐出液を吐出する吐出孔２３ａ〜２３ｃを定めた対応関係が予め設定され、前記対応関係に従って吐出する。第二例では、着弾位置４４₁〜４４₉に吐出液を吐出した吐出孔２３ａ〜２３ｃを記憶しておき、ランダムに選択された吐出孔２３ａ〜２３ｃから次の着弾位置に吐出液を吐出させるか、又は選択をやり直すかのいずれかを、記憶内容に基づいて決定する。 （もっと読む）

【課題】ノズル毎の駆動電圧を変更することなく、また複数の濃度のインクを用いることなく、ノズル毎のインク吐出量のバラツキによって発生する濃度ムラによる品質低下がなく、高品質なカラーフィルタ及び有機機能性素子を製造することができるインクジェットパターン形成装置を提供する。
【解決手段】インクジェットノズルヘッドユニットを駆動させるためのノズルパラメータ情報及び基板内の画素の位置を示す基板パラメータ情報からインクを吐出する有効なノズルを選択する手段と、前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数の増減を基準となるデータから多値誤差拡散法を用いて算出する手段と、算出されたインクのドロップ数を増減させるノズルを選択する手段とを具備することを特徴とするインクジェットパターン形成装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ノズル毎の吐出バラツキによるムラを低減し、かつ視覚的なざらつき感を抑えた高品質な位相差層付きカラーフィルタを製造することができる吐出パターン生成方法を提供すること。
【解決手段】隔壁により複数の開口部に区分された基板の各開口部に吐出する重合性液晶化合物の量を吐出パターンとしてメモリーに保持する手段と、前記基板上の開口部と複数のノズルを備えたインクジェットヘッドを位置合わせした上で前記吐出パターンに基づいて前記ノズルから重合性液晶化合物を吐出する機構を具備する吐出パターン生成装置における前記吐出パターンの生成方法であって、前記吐出パターンは、所定の面積からなる任意の領域に存在する開口部の重合性液晶化合物の平均量をあらかじめ設定した目標量にするための基準データと、多値誤差拡散法によって生成されることを特徴とする吐出パターン生成方法。 （もっと読む）

【課題】溶液の塗布装置において、塗布ヘッドのノズルから吐出される溶液の吐出状態を風の影響なく高精度に検出すること。
【解決手段】塗布ヘッド２０に設けたノズルから溶液を吐出させて基板１に塗布する溶液の塗布装置において、塗布ヘッド２０のノズルから吐出される溶液の吐出状態を検出する検出手段３０を備えるとともに、塗布ヘッド２０のノズルから吐出される溶液の吐出領域への風の進入を防止する風防手段４０を備えるもの。 （もっと読む）

【課題】 軌条踏面に対して微少量の油粒を安定的に噴射することができる軌条踏面塗油装置を提供する。
【解決手段】 コイル２に電圧を印加したプランジャー３の作動時には、プランジャー３とストッパー４との隙間に貯留された油の分だけプランジャー３側の油圧が高められ、プランジャー３側の油圧が吐出路１２を介して吐出チェック弁１３にかかると、スプリング１４の付勢に抗して、吐出チェック弁１３が吐出チェック弁孔１５で僅かに揺動し、油貯留室１１に貯留された油が吐出チェック弁孔１５を介して吐出供給路１６に供給され、吐出供給路１６よりも径の細い吐出絞り部１７が油を絞って開放状態の吐出口５から勢いよく噴射するようになる。このため、微少量の油粒を噴射する場合であっても、油の噴射距離を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】塗工液を少量にしてカーテン塗工を行っても、膜厚が均一で外観の良好な被膜シートの製造を可能にするカーテン塗工装置及びそれを用いた被膜シートの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るカーテン塗工装置は、走行中のウェブ上にカーテン膜状の塗工液を流下させ、前記ウェブ上に塗工膜を形成するカーテン塗工装置であって、前記塗工液を吐出する吐出部と、前記吐出部から吐出された前記塗工液をカーテン膜状に流下させる一対のエッジガイドとを有し、前記エッジガイドは直線状の剛性部分と可撓性部分とを有し、前記可撓性部分は前記エッジガイドの自由端側に少なくとも設けられている。 （もっと読む）