【課題】マニホールド内のエアを十分に排出可能なダイヘッド及びこれを備えたダイコーターを提供する。
【解決手段】レジスト液Ｒを第１及び第２スリット２４、２５に供給するマニホールド２３が長手方向に延びて形成され、マニホールド２３の上端にはレジスト液Ｒを導入する導入口１５が設けられ、マニホールド２３の下端と連結される第１及び第２スリット２４、２５からレジスト液Ｒが吐出されるダイヘッド３において、マニホールド２３を形成する上壁面２２ｅが、導入口１５を下端として長手方向に勾配を有し、その上端にはエアを排出するエア排出口１６ａ、１６ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】煩雑な調整を要することなく、支持体の非塗布部と塗布ヘッドとの接触を確実に回避する。
【解決手段】塗布ヘッド１５は、塗布液を吐出するスリット２１を有し、スリットの長手方向に交差する方向へ連続的に搬送される支持体１１の表面にスリットより吐出される塗布液を塗布する。この塗布ヘッドには、塗布ヘッドの長手方向の両端それぞれに、支持体の幅方向端部の非塗布部分３３に加圧流体を吹き付けるための加圧流体の流路３５を形成する流路構成部材３７が設けられている。流路構成部材は、少なくとも加圧流体の吹き出し口を形成する部材が単一の部品として塗布ヘッドへ取り付けられるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】連続走行するウェブに薄膜を形成する際、スジやムラ等の塗工欠陥の抑制を図り、安定して高性能、高機能な薄膜を得ることを可能にするダイコート塗工装置及び塗工方法を提供する。
【解決手段】連続走行するウェブに塗液を塗布する塗工装置であって、前記ウェブを走行させるバックロールと、バックロールに近接して設けられ、前記ウェブに塗布する塗液を押し出すスリットを有するダイヘッドと、ダイヘッドにおける前記スリットの上流側に設けられた減圧チャンバーと、前記減圧チャンバの上流側に設けられ、前記バックロールの外周面と同一の形状を有するバックブロックと、前記バックブロックのゆるやかな傾斜の掛かった形状を有する面に沿って前記ウェブの走行方向と逆方向にエアを噴射する第一のエアブロー機構を備えたことを特徴とするダイコート塗工装置。 （もっと読む）

【課題】 重量が大きく反りが大きい基板に対して塗布液を塗布する場合においても、装置コストを増大させることなく、短い処理時間で精度よく塗布液を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板は、基板搬送機構１４によりステージ１２上に搬送されて、その保持面３０に吸着保持される。そして、ステージ１２上に吸着保持された基板の表面に、スリットノズル４１における塗布液吐出用スリットを近接させた状態で、スリットノズル４１を基板に対して移動させることにより、基板の表面に塗布液を塗布する。しかる後、塗布液が塗布された基板は、基板搬送機構１５によりステージ上から搬出される。 （もっと読む）

【課題】低い粘度の塗布液を使用しても良好に製膜可能な塗布装置及び多層膜付きフィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ダイ先端部の空間を減圧するための吸引装置と、前記塗布液を貯留するためのポケットと、を備え、前記ポケットは、塗布点よりも下の位置に配置され、下流リップと、前記ウエブと、の最短距離をｄ１とし、隣接リップと、前記ウエブと、の最短距離をｄ２とし、前記隣接リップの前記走行方向の幅をＬ２とし、最上層の膜厚をｈ１とし、最上層を除く全ての膜の総膜厚をｈ２としたとき、式１〜式４の全てを満たすように前記ブロックが設置されて前記ダイが構成された塗布装置。
10μｍ≦（ｄ１−ｄ２）≦200μｍ 式１
ｄ２≦３×ｈ２ 式２
５０μｍ≦Ｌ２≦２００μｍ 式３
dP/dX＞０ 式４ （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼にシャープエッジを形成する際にバリが根元から折れてシャープエッジが欠けてしまうことを防止することができるステンレス鋼製部材の製造方法及びその方法で製造されたステンレス鋼製部材で塗布液を塗布する塗布フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ステンレス鋼のシャープエッジを形成する面（Ａ面）、及び、シャープエッジの長さ方向に接する両側面（Ｂ面、Ｃ面）を研削するステップａと、シャープエッジを形成する面（Ａ面）を研磨するステップｂと、を有し、ステップｂでは、シャープエッジを形成する面と接する側から順に、１層目３２が砥粒、２層目３４が軟質部材、３層目３６が２層目よりも剛性が高い支持体、から成る研磨手段３０を用いて研磨する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ダイコータを用いて光学素子を作成する場合の厚みムラの問題を解決し、より薄い塗工膜を、広範囲に、厚みムラを抑えつつ、高い精度にて形成することができるダイコーティング法を提供することを目的とする。
【解決手段】 塗料を吐出可能に開口してなるスリット８を形成するとともに該スリット８に向かってマニホールド７から延びて塗料の通路をなすスロット９を形成した口金４を、所定の基体に対して相対的に移動可能に構成されたダイ本体２に設けてなり、且つ、スロット９の周囲の所定位置に口金４を加熱する加熱機構３を設けたダイコータ１を用い、加熱機構にて口金を加熱しながらスリットの位置から、光透過性を有する基材を備えた基体の面上に、液晶化合物を含有する液晶組成物にてなる塗料を吐出して塗工膜を形成することを特徴とするダイコーティング方法により、塗工膜を、広範囲に、厚みムラを抑えつつ、高い精度にて形成することができる。 （もっと読む）

【課題】高速間欠塗布、および被塗布材全域への塗布を可能にする、塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】液体を塗布対象物に塗布する液体塗布装置において、気体の吸引口を有し、且つ、吸引口側の壁面に複数の凹凸が存在する、もしくは吸引口側の壁面の濡れ性が一定ではない部分を設けたノズルを用い、塗布終端において吸引を強めることで選択的に塗布液をノズル壁面に濡れ上がらせ、ビードに細かい亀裂を複数生じさせる。 （もっと読む）

【課題】スリット状の吐出口から被処理基板に対して処理液を吐出し、塗布膜を形成する塗布膜形成方法において、ノズル吐出口のビード量およびノズル吐出口からの吐出圧力の変化に拘わらず、現場オペレータの熟練度に依存することなく、安定した膜厚形成を行うことができ、基板に形成される塗布膜の有効面積を広範囲なものとする。
【解決手段】経過時間Ｔｓにおける推定膜厚Ｔｈは、式（１）により規定され、前記式（１）の推定膜厚Ｔｈに目標膜厚を代入し、基板Ｇの相対的移動速度Ｖを変数とすることにより、時間Ｔｓごとに前記基板の相対的移動速度Ｖを求めるステップと、前記時間Ｔｓごとに求められた前記基板の相対的移動速度Ｖに従い、ノズル吐出口に対する前記基板の相対的移動速度を制御するステップとを含む。
Ｔｈ＝（ΔＢ＋Ｑ）・β／（Ｔｓ・Ｖ・Ｌ） ・・・（１） （もっと読む）

【課題】ダイコータによる塗布の直前に吐出口を複数の清掃部材で拭取るのは、安定した塗布膜を得るために効果的な方法であるが、ノズルを交換する毎に、清掃部材を取り替えて、個々に吐出口にフィットするように調整するのは、時間がかかっていた。
【解決手段】塗布装置は、支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能で、上面に垂直な回転軸を有するθステージと、前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成されている清掃手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の姿勢を安定に保ちつつ浮上搬送のゆらぎやうねりを補償して塗布膜の膜厚均一性を改善する。
【解決手段】このレジスト塗布装置では、浮上ステージ上で基板の左右両側の縁部を保持する各吸着パッド４２から見てパッド支持部材４０の反対側つまり外側の面に、各吸着パッド４２と同じ形状および同じ材質を有する被測定部材としてのダミーパッド４６を同じ高さ位置に取り付けている。そして、搬送方向（Ｘ方向）においてレジストノズル１８の吐出口１８ａ付近に監視点が設けられ、この監視点を通過する吸着パッド４２の吸着面高さ位置のプロファイルを光学的に監視するための監視部４８が備えられている。 （もっと読む）

【課題】ダイコータで、ガラス基板とダイ間のクリアランスを全幅に渡って略均一に非常に小さくすることで、ガラス基板に非常に薄い塗布膜を形成できる塗布装置および塗布方法、並びにディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】スリット状の吐出口を有する塗布器から、塗布液を被塗布部材上に吐出して塗布膜を形成する塗布方法で、被塗布部材表面が高さＨだけエアー浮上されて保持されている被塗布部材に、塗布器の吐出口面がＨ−６０μｍ〜Ｈ＋５０μｍの高さに位置するよう塗布器を近接させ、吐出口より塗布液を吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて、被塗布部材上に塗布膜の形成を行う塗布方法。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜の膜厚バラツキを抑制し得る塗布装置を提供する。
【解決手段】 第１の方向に搬送される透明のフィルム（１６）の一方の面（１６a）に接触する第１ローラー（１２）と、前記第１ローラーに対して前記第１の方向に、前記第１ローラーに隣接して配置され、前記一方の面に接触する第２ローラー（１４）と、前記第１ローラーと前記第２ローラーの間に位置する前記フィルムの他方の面に対向するように配置され、前記他方の面に塗布液を塗布する塗布ノズル（２０）と、を有し、前記塗布ノズルにおいて前記塗布液を放出する開口（２２）と、前記第２ローラーの中心軸である第２中心軸（１４ａ）との前記第１の方向に沿う間隔である第２間隔（Ｌ２）は、前記第２ローラーの半径（Ｒ）以上であって５０ｍｍ以下であり、前記開口と、前記第１ローラーの中心軸である前記第１中心軸（１２ａ）との前記第１方向に沿う間隔である第１間隔（Ｌ１）は、前記第２間隔より長い塗布装置。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に塗布膜の周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０の上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）

【課題】片面塗工に用いられている塗布ヘッドを用いつつ、良好な両面同時塗布を行うこと。
【解決手段】基材Ｓを送出方向に搬送する送出機構２０と、基材Ｓの表面Ｓ１側に配置され、塗液Ｄを送出方向に交差する向きに塗布領域Ｓａと非塗布領域Ｓｂとを交互に形成して塗液Ｄを塗布する第１塗布ヘッド３１と、基材Ｓの裏面Ｓ２側に配置され、塗液を送出方向に交差する向きに塗布領域Ｓａと非塗布領域Ｓｂとを交互に形成して塗液を塗布する第２塗布ヘッド４１と、基材Ｓの表面Ｓ１側で且つ第２塗布ヘッド４１の基材Ｓを挟んだ対向する位置近傍に配置され、軸方向に沿って直径の異なる小径部４２ａと大径部４２ｂとを有し、塗布領域Ｓａに小径部４２ａ、非塗布領域Ｓｂに大径部４２ｂが対向する塗工ロール４２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ３層以上の多層を安定して支持体上に形成することが可能な多層を形成する塗布装置および方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
塗布液を供給する複数のマニホールドから通じたスリットを経由して支持体上にこの塗布液を塗出して塗布を行なうエクストルージョン型コーターヘッドを用いて３層以上の多層塗布を行なう塗布装置であって、このコータヘッドが、支持体にその先端から塗布液を吐出する主スリットと、塗布液を供給する複数のマニホールドと、該複数のマニホールドから通じ主スリットに合流する複数の枝スリットと、を含み、前記複数の枝スリットが主スリットに合流する複数の合流点が主スリットの塗布液吐出方向の軸上の異なる位置にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】開閉動作が迅速で、かつ、正確に行うことができるバルブ及びそれを用いた塗工装置を提供する。
【解決手段】バルブ１０の第１の出口１６からダイ１０４に塗工液を供給し、バルブ１０の第２の出口１８から塗工液のタンク１１０に塗工液を循環させ、バルブ１０の第１の出口１６の第１の弁体２６を第１のボイスコイルモータ３０によって開閉し、第２の出口１８の第２の弁体２８第２のボイスコイルモータ３２によって開閉することにより、走行するウエブＷに間欠塗工を行う。 （もっと読む）

【課題】塗布厚みに寄らず端部の塗布形状を制御することができ、耳立ちを抑えることができるエクストルージョン塗布装置を提供する。
【解決手段】スリット１６の両端部に塗布幅規制板２４が挿入され、塗布液をスリット１６の吐出口１６Ａから吐出するスリットダイ１０と、ウエブ走行方向上流側を減圧するチャンバー２６と、を有し、塗布幅規制板２４には、ウエブ下流側に曲げられた、ウエブに対向する突出部２４Ａが設けられており、塗布幅規制板２４の突出部２４Ａのウエブ対向面に塗布液をチャンバー２６の減圧により染み出させた状態で塗布液をウエブに塗布する。 （もっと読む）

【課題】吐出口周辺に突出部を有するノズルを用いてストライプ状塗布膜を形成する手段で、いかなる特性の塗布液や塗布条件であっても、塗布開始部から均一な厚さや幅のストライプ状塗布膜を形成できる塗布方法ならびに塗布装置を実現させるとともに、低コストで高品質のディスプレイ用部材を製造できるディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】長手方向にわたってノズル３０と被塗布部材Ａの両方に接触する全幅連結ビードを形成した後に、連結ビードの連続性を切断する塗布液量を、ノズルの吐出口４０を介して塗布液供給装置で吸引して、ノズルの吐出口周辺にある突出部と被塗布部材の両方に接触する部分連結ビードＢＰを形成して、被塗布部材上にストライプ状塗布膜を形成する塗布方法。 （もっと読む）