【課題】生産効率を向上させる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ワーク５に液滴を吐出する前にワーク５に前処理を施す前処理部２０と、液滴を水平方向に吐出可能に取り付けられた液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して液滴をワーク５に塗布する液滴吐出部３０と、液滴が吐出されたワーク５に後処理を施す後処理部５０と、ワーク５を鉛直方向に吊り下げて把持可能なチャック部７８を有する搬送部７０と、を有し、前処理部２０と、液滴吐出部３０と、後処理部５０とが搬送部７０のチャック部７８の移動範囲６内において順に配置され、搬送部７０のチャック部７８がワーク５を把持した状態で前処理部２０と、液滴吐出部３０と、後処理部５０とを順次移動可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】ミストに起因するインクの基板に対する密着性の低下を防止できる、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】紫外線硬化型の液滴を基板に吐出する液滴吐出ヘッド６０と、液滴が吐出された基板に紫外線を照射するランプ部を含むランプユニットと、基板上に吐出された液滴を加熱する加熱部９６と、を備えた液滴吐出装置である。ランプユニットの基板入口又は基板出口からの紫外線の漏れ光を加熱部に反射する領域に紫外線の反射を防止する反射防止膜１５０が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ミストに起因するキャリッジの動作不良を防止できる、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】紫外線硬化型の液滴を基板に吐出する液滴吐出ヘッド６０と、液滴が吐出された基板に紫外線を照射するランプ部を含むランプユニットと、液滴吐出ヘッド６０を保持するキャリッジ６９をガイドするガイド部６６を有するヘッド移動機構と、を備えた液滴吐出装置である。ランプユニットの基板入口又は基板出口からの紫外線の漏れ光をガイド部６６に反射する領域に紫外線の反射を防止する反射防止膜１５０が設けられる （もっと読む）

【課題】小型化を図ることが可能な記録装置の提供。
【解決手段】光硬化性を有する機能液４７を液滴の状態でワークＷに向けて吐出する吐出ヘッド３３と、吐出ヘッド３３を支持するキャリッジ７と、キャリッジ７を主走査方向に沿って往復移動させるキャリッジ移動装置と、ワークＷに付着した機能液４７に向けて紫外光５１を照射する照射装置１５と、ワークＷに付着した機能液４７を加熱する加熱装置１７と、を含み、照射装置１５及び加熱装置１７は、それぞれ、キャリッジ７に設けられている、ことを特徴とする記録装置。 （もっと読む）

【課題】表面にマークを描画する基板の裏面に位置検出用マークが形成されているときにも、基板の位置及び角度を検出して、生産性良く描画する装置を提供する。
【解決手段】表裏面を有する半導体基板１の表面２ａに液滴を吐出する塗布部１３と、裏面２ｂに形成された第１位置検出用マーク７及び第２位置検出用マーク８を撮影しての位置及び角度を検出する基板位置検出部１２と、基板位置検出部１２が検出した半導体基板１の位置及び角度の情報を用いて塗布部１３の所定の場所へ所定の角度で半導体基板１を移動する搬送部１６と、を有し、基板位置検出部１２は、塗布部１３が液滴を吐出する向きと反対の向きから第１位置検出用マーク７及び第２位置検出用マーク８を撮影する。 （もっと読む）

【課題】 使用コストの点で有利なインプリント装置を提供すること。
【解決手段】 基板上のインプリント領域への樹脂の塗布と、塗布された樹脂の型による成形とを含む処理を行うインプリント装置は、樹脂を吐出する複数の吐出口を含む吐出部を有し、前記インプリント領域に樹脂を塗布する塗布手段と、同一サイズの複数のインプリント領域に対する前記処理の間に、樹脂を吐出する前記複数の吐出口の範囲を切替えるように、前記塗布手段を制御する制御手段と、を有するものとする。 （もっと読む）

【課題】複数の処理部と搬送部とから構成された液滴吐出装置にかかわる。搬送部が各処理部にワークを搬入し難い構造であるときにも、各処理部にワークを搬入して膜を形成できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１に液滴を吐出して塗布する塗布部１０と、液滴を吐出する前に半導体基板１に前処理を施す前処理部９と、液滴が吐出された半導体基板１に後処理を施す後処理部１１と、塗布部１０と前処理部９と後処理部１１との間で半導体基板１を移動させる搬送部１３と、を備え、搬送部１３は半導体基板１を把持する把持部１３ａを有し、塗布部１０と前処理部９と後処理部１１とは半導体基板１を受け渡しする中継場所９ａ，１０ａ，１１ａを有し、中継場所９ａ，１０ａ，１１ａは把持部１３ａの移動範囲内に位置している。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生を防止した液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０を有する液滴吐出部６５と、液滴吐出部６５を移動可能に保持するヘッド移動部６２と、液滴が吐出された基板に紫外線を照射する紫外線処理部と、ヘッド移動部６２に設けられ、紫外線処理部からの漏れ光を遮光する遮光部材２００と、を備えた液滴吐出装置である。遮光部材２００は、紫外線処理部により生じた熱を吸収するとともに放熱する放熱部を有する。 （もっと読む）

【課題】基板上に吐出した液滴を良好に硬化させつつ、吐出不良の発生を防止することのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０を含むヘッドユニット６５と、液滴を吐出した基板に紫外線を照射する紫外線照射部９５と、ヘッドユニット６５及び紫外線照射部９５をそれぞれ移動可能に保持するガイド部６６を含むヘッドユニット移動機構６２と、を備える液滴吐出装置である。 （もっと読む）

【課題】ダイ金型の加工面および肩部に容易に被膜を形成し、ワーク表面の傷の発生を防止する。
【解決手段】耐摩耗性を有する光硬化型の樹脂Ｒをダイ金型Ｋの加工面上に吐出する樹脂吐出部２と、ダイ金型Ｋの加工面上に吐出された樹脂Ｒを所要膜厚となるようにならすスクレーパ３２を備えたスクレーパ部３と、樹脂Ｒを硬化させる光を照射する光照射部４とがダイ金型Ｋの長さ方向にこの順序に一列に組み合わせたものである。樹脂吐出部２は、樹脂Ｒを貯めるタンク１１と、タンク１１の吐出口１２を開閉する弁１３と、吐出口１２よりも前方に位置する一対のガイドローラ２２とを備え、光照射部３にガイドローラ４４を備える。一対のガイドローラ２２およびガイドローラ４４により、スクレーパ３２をダイ金型Ｋの加工面に対して間隔をおいて支持し、各部をダイ金型Ｋ上の長さ方向に沿って移動可能に案内する。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生を防止した液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴が吐出された基板に紫外線を照射するランプ部を内部に有する紫外線処理ユニットと、を備えた液滴吐出装置である。紫外線処理ユニットは、ランプ部に開閉可能に設けられ、紫外線を遮光する遮光部材を有しており、遮光部材は、紫外線処理ユニットにおける基板入口又は基板出口の開閉に対応して開閉動作を行う。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生を防止した液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０と、液滴が吐出された基板に紫外線を照射するランプ部を有する紫外線処理ユニット７と、紫外線処理ユニット７における基板入口７１ａ又は基板出口７１ａの開閉動作に対応させるようにランプ部のオンオフ動作を制御する制御部１０３と、を備えた液滴吐出装置３である。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生を防止した液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージ６ａと、ステージ６ａに載置される基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０と、液滴が吐出された基板に紫外線を照射する後処理を行う後処理部７０と、を備えた液滴吐出装置３である。後処理部７０は紫外線を照射するランプ部７３を有しており、少なくとも液滴吐出ヘッド６０の移動領域が、平面視した状態で、ランプ部７３と後処理部の基板入口又は基板出口７１ａとを結ぶ直線の延長上に配置されない。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合において信頼性の高い吐出を行うことのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴が吐出された基板に紫外線を照射する紫外線処理部７０と、液滴吐出ヘッド及び紫外線処理部７０を収容する装置本体と、を備えた液滴吐出装置３である。紫外線処理部７０は、処理チャンバー７０ａと、処理チャンバー７０ａ内に収容され、紫外線を照射するランプ部７３を有している。ランプ部７３は、紫外線を照射するランプ７３ａと、ランプ７３ａを収容する筐体７３ｂと、筐体７３ｂ内の雰囲気を装置本体の外部に排気する排気手段７４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合において装置構成の小型化が図られた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に前処理を施す前処理部と、前処理が施された基板に液滴を吐出して所定のパターンを描画する液滴吐出ヘッドを含む液滴吐出部と、液滴が吐出された基板に後処理を施す後処理部と、を備えた液滴吐出装置である。前処理部及び後処理部は、液滴吐出ヘッドの描画位置より下層に配置される。 （もっと読む）

【課題】構成部材に付着したＵＶインクの硬化を防止することができる液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】紫外線の照射により硬化するインクを液滴として基板に吐出する複数のノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、基板に紫外線を照射する紫外線照射部と、液滴吐出ヘッドのノズルを吸引するキャップ部３０Ａと、キャップ部３０Ａへの紫外線の入射を防止する遮光部３０Ｃと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの裏面に所望の厚みの樹脂被膜を形成することができる液状樹脂の塗布装置および液状樹脂の塗布装置を装備した研削機を提供する。
【解決手段】ウエーハを保持し回転可能に構成された保持テーブルと、保持テーブルに保持されたウエーハに液状樹脂を塗布する液状樹脂塗布機構とを具備する液状樹脂の塗布装置であって、液状樹脂塗布機構は液状樹脂を収容する液状樹脂収容容器と、液状樹脂収容容器の下端に接続された噴霧ノズルとを具備し、噴霧ノズルは液状樹脂収容容器と連通する通路を備えたノズル本体と、ノズル本体の下側に設けられたノズル部とからなっており、ノズル部は通路に流入した液状樹脂を流出する液状樹脂流出口と、液状樹脂流出口の下側に形成され該液状樹脂流出口から流出された液状樹脂と空気とを混合する混合室と、混合室に開口し圧縮空気供給手段に連通する圧縮空気供給口と、混合室の下側に設けられ混合室によって圧縮空気と混合された液状樹脂を噴霧する液状樹脂噴霧口とを具備している。 （もっと読む）

【課題】廃インクの回収を安全且つ簡便に行うことができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドのメンテナンス時に生じる液体の廃液を回収する廃液回収ユニット３８と、を備えた液滴吐出装置である。廃液回収ユニット３８は、廃液を吸収する廃液吸収体３９ｂと、廃液吸収体３９ｂに向けて紫外線を照射する紫外線照射部３９ｃとを含む。 （もっと読む）

【課題】構成部材に付着したＵＶインクの硬化を防止することができる液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】紫外線の照射により硬化するインクを液滴として基板に吐出する複数のノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、基板に紫外線を照射する紫外線照射部と、液滴吐出ヘッドのノズルを吸引するキャップ部３０Ａと、キャップ部３０Ａへの紫外線の入射を防止する遮光部３０Ｃと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生を防止した液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージ本体１６と、基板に紫外線硬化型インクを吐出する液滴吐出ヘッド６０と、ステージ本体に載置される基板に対して紫外線を照射する紫外線照射部９５と、液滴吐出ヘッド６０におけるフラッシング処理を行うフラッシング部１７と、少なくとも紫外線照射部９５からの紫外線照射時に、フラッシング部１７のインク被吐出面をステージ本体１６の基板載置面１６ａから退避させる退避機構１８と、を備えた液滴吐出装置である。 （もっと読む）