【課題】 インクジェット方式によって形成した塗布液の薄膜の膜厚均一性を向上させる。
【解決手段】 塗布液供給機構１２の進行方向前側に溶剤供給機構１８を、進行方向後側に気体噴射機構１４を、それぞれ連結して塗布ヘッド１０が構成されている。塗布ヘッド１０を基板Ｗに対して相対移動させながら、溶剤供給機構１８から基板Ｗ上に溶剤を供給し、続いて塗布液供給機構１２から溶剤の被膜上に塗布液を供給し、最後に、気体噴射機構１４から塗布液の凹凸表面に気体を噴射して溶剤の薄膜表面を平滑化する。 （もっと読む）

【課題】吐出幅の変更が容易でありながら、塗布した塗布液による塗膜の幅方向寸法の変動を抑える。
【解決手段】幅方向に長いスリット１６からなる吐出口１１が形成され塗布液を吐出口１１から基板Ｗに対して吐出して塗布するスリットノズル１０と、このスリットノズル１０に対して基板Ｗを前後方向に移動させる駆動部４と、スリット１１内を幅方向に移動することにより吐出口１１の幅方向寸法を変更する吐出幅変更部材１７と、吐出口１１から吐出された塗布液の幅方向両外側の領域に対してエアを吹き付けるエアノズル２２を有し吐出口１１の幅方向寸法の変更に応じてエアノズル２２によるエアの吹き付け位置の調整が可能であるエア供給ユニット２１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ウエブの両端に発生する厚塗り部を確実に除去することができる塗布システム、及び塗布方法を提供する。
【解決手段】
連続走行するウエブ１２に塗布液１４を供給し塗膜を形成する塗布システム１０は、過剰の塗布液を送液しその後塗布量を計量する塗布方式の塗布装置１６と、塗布装置１６の下流に配置され、ウエブ１２の幅方向端部の塗膜の厚塗り部をレベリングするレベリング部材１８と、レベリング部材１８の下流に配置され、ウエブ１２の幅方向端部の塗膜の一部を除去する吸引ノズル２０を備える。 （もっと読む）

【課題】上面及び両側面を有する多孔質素材に対し、均一な厚さで十分な防水性能を有する塗膜を形成する。
【解決手段】本発明に係るＡＬＣ板１の塗装方法は、その表面に凹凸模様２が形成されたＡＬＣ板１を準備し、ＡＬＣ板の上面１ａ及び両側面１ｂ，１ｂに塗料を噴射する工程と、塗料が噴射されたＡＬＣ板１の上面１ａの塗料を両側面１ｂ，１ｂに流し込むために上面１ａに対して第１のエアブローを施す工程と、前記第１のエアブローにより塗料を上面１ａから両側面１ｂ，１ｂに流し込んだ後に、両側面１ｂ，１ｂに対して第２のエアブローを施す工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で、長期的に安定した液除去（液切り）性能を享受する。
【解決手段】基板処理装置は剥離処理室１を有する。剥離処理室１には、剥離処理後の基板表面にエアを吐出し、剥離液を除去する第１エアナイフ１４が配置される。このエアナイフ１４は、送経路を横切るように支持される円筒状の本体１５と、この本体１５に所定間隔で配列されてエアを吐出するノズル部１６とを備えている。各ノズル部１６は、本体１５の軸方向と平行な方向に所定の噴角を有し、かつそれと直交する方向に扁平な形状でエアを吐出し、そのエアの吐出方向が基板搬送方向における下流側から上流側に向かう成分を含むように、本体１５に対して設けられ、かつ隣接するノズル部１６のエア吐出領域同士が基板上で前記軸方向に重複するように、ノズル部１６同士の間隔および各ノズル部１６から搬送基板Ｓまでの距離が設定されている。 （もっと読む）

【課題】建築用化粧板の側面にある凹状接合部の内面を安定して塗装できる化粧板用塗装装置、及び化粧板用塗装方法を提供する。
【解決手段】凹状接合部塗着部５は、塗料Ｘを貯留する凹状接合部用塗料タンク５５に接続された凹状接合部用ノズル５７を備えている。該凹状接合部用ノズル５７は、搬送される化粧板ａの凹状接合部ｃに対向する位置に配置されており、先端にある流出口５７ａはほぼ水平に向けられ、前記凹状接合部ｃの内面ｃ１と対面している。そして、凹状接合部用ノズル５７から塗料Ｘが自然流出すると、凹状接合部ｃ内に塗料Ｘが奥まで流入する。 （もっと読む）

【課題】液体で基板に処理を施すときに処理のムラが発生しやすい。
【解決手段】処理液６３を噴射するノズル６５から処理液６３を基板３に向けて噴射させつつ、ノズル６５から噴射された処理液６３が基板３に到達する領域である到達領域の基板３に対する位置を基板３の平面方向に変化させた後に、基板３に付着している残留液６３ａを払うことを特徴とする基板の処理方法。 （もっと読む）

【課題】シート状物上に塗工部を得る塗工方法であって、塗工液の供給による光学歪欠陥を製品内に発生させない塗工方法および装置を提供する。
【解決手段】
実質的に水平に走行するシート状物の上面に塗工液を供給し、塗工液が供給される位置よりも下流側に配設されたメインノズルからシート状物上の塗工液へ気体を吹き付けることにより、メインノズルの下流側に塗工液の厚みが均一な塗工部を形成するとともに、メインノズルの上流側に塗工液の溜まりを生ぜしめ、さらに、メインノズルの上流側かつ近接する位置でありシート状物の幅方向における両端部に近接する位置に配設された一対のサイドノズルから塗工液の溜まりへ気体を吹き付けることにより、塗工液の前記幅方向への広がりを制御する塗工方法であって、塗工液の供給位置が前記両端部近傍の一方または両方である塗工方法。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口から吐出された流動性材料の乾燥速度の均一性を向上する。
【解決手段】塗布装置の塗布ヘッド１４には、有機ＥＬ液の溶媒のガスを噴出する複数のガス噴出口１９１が主走査方向に一定の間隔にて一列に配列され、互いに隣接するガス噴出口１９１の間に吐出口１７１が配置される。複数の吐出口１７１は主走査方向に垂直な副走査方向に関して等ピッチにて配列され、基板上に有機ＥＬ液を吐出する。塗布装置では、塗布ヘッド１４が主走査方向に主走査するとともに、主走査が完了する毎に基板が副走査方向に移動することにより、基板９上にストライプ状に有機ＥＬ液が塗布される。このとき、複数の吐出口１７１から吐出された直後の有機ＥＬ液に向けてガスが噴出されることにより、複数の吐出口１７１から吐出された有機ＥＬ液の周囲の雰囲気において有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が高くされ、有機ＥＬ液の乾燥速度の均一性が向上される。 （もっと読む）

【課題】ウエブ状の被洗浄物に洗浄液を吹き付けて形成される液膜を、噴出ノズルから噴出する気体で除去する際に、除去した洗浄液の液滴やミストが被洗浄物に再付着することを防止できる。
【解決手段】搬送されるウエブＷの表面に洗浄液Ｌを吹き付ける洗浄液吹き付けノズル３０と、ウエブＷの搬送方向に対向する向きの噴出流が少なくとも形成されるように気体を噴出してウエブ表面に残存する液膜Ｌ１を除去する気体噴出ノズル３２と、の間に遮風壁３４を設けた。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口のうち副走査方向における基板の相対移動方向後側に位置する吐出口から吐出された流動性材料の乾燥速度を副走査方向において均一とする。
【解決手段】塗布装置１では、３本の第１ノズル１４１および第１ノズル１４１の副走査方向における基板９の相対移動方向後側（以下、単に「後側」という。）の第２ノズル１４２からそれぞれ吐出された有機ＥＬ液および溶媒が、基板９の塗布領域９１にストライプ状に塗布される。そして、後側の第１ノズル１４１により塗布された有機ＥＬ液のラインの後側の領域において、第２ノズル１４２により塗布された溶媒が蒸発することにより、当該有機ＥＬ液のラインの両側における溶媒成分の濃度の差が小さくされる。その結果、後側の第１ノズル１４１から吐出された有機ＥＬ液の乾燥速度を、副走査方向においてほぼ均一とすることができ、塗布ムラの発生を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布ノズル下端の進行方向後部に塗布剤が付着しないようにして、被塗布面と塗布ノズル下端との間隙を小さくできる塗布ノズルを提供すること。
【解決手段】塗布剤供給源２０から塗布剤６０が供給される供給部９４１と、該供給部９４１と連通し、該供給部９４１から流入した塗布剤６０が貯留される塗布剤貯留部９４３と、該塗布剤貯留部９４３の先端に設けられ、スリット状の吐出口９４５ａを有する塗布剤吐出部９４５と、を備えた塗布ノズル４０であって、前記吐出口９４５ａの、前記塗布ノズル４０の進行方向後側に、吐出した塗布剤６０が前記塗布ノズル４０の下面９４５ｂに接触するのを防止する接触防止手段５０Ａ（５０Ｂ、５１Ｃ、５１Ｄ、５０Ｅ）を備えた。 （もっと読む）

【課題】被塗装体に部分的に塗装することができ、しかも、塗料の無駄が生じにくい被塗装体の部分塗装装置を提供する。
【解決手段】塗料１をカーテン状に流下させて供給するフローコーター２の下方を通過させて被塗装体３を搬送する。フローコーター２から流下する塗料１を被塗装体３の表面の一部に塗着させて部分的に塗装を行なう被塗装体の部分塗装装置に関する。カーテン状に流下される塗料１の近傍に回収手段４を設けると共に塗装不要時にカーテン状に流下する塗料１にエアーを吹き付けることにより塗料１を回収手段４へと流下させるためのエアー吹き付け手段５を備える。 （もっと読む）

【課題】水性塗料の塗膜形成方法において、エネルギー消費量及び使用スペースを最小限にしながら塗膜中の固形分を制御して高品質の塗膜を得ること。
【解決手段】水性塗料の塗膜形成方法においては、水性塗料であるベース塗料をベース塗装台上で塗装ロボットを用いてワークに塗布した後、回転台に移動させてベース塗料を塗装したワークを回転させながら、湿度温度調節されたエアーをワークに吹き付ける。ワークを回転させることで風量を付加できるため、エアーを加熱する熱源は小さい熱源で良く、消費エネルギーを最小限にでき、得られた塗膜は固形分率が極めて高く、クリヤー塗料を上塗りして焼付けしても揮発する水分量は極めて微量であるため、上塗り塗膜にワキ等の不良を発生させない。また、従来のプレヒートゾーンが不要となり、スペースを大幅に節約することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、基板上の各画素領域の全域に機能液を確実に濡れ拡がらせることができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】バンク部５０７ｂにより画成した基板Ｗ上の多数の画素領域５０７ａに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド１７を相対的に移動させながら機能液を吐出・着弾させる描画手段と、機能液の吐出に伴って相対的に移動する機能液滴吐出ヘッド１７に後行して基板Ｗに臨み、基板Ｗ上にガスを吹き付けて各画素領域５０７に着弾した機能液の液面を挙動させるガス吹出し口８１と、ガス吹出し口８１に連なるガス送出手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フォトレジスト溶液を効率的に用いる噴射式フォトレジストコーティング装置および方法に関する。
【解決手段】上部の接地されたプレート２３０とイオン化されたソルベント蒸気の誘導管２４１を用い、下部の所定電圧でバイアスされた基板２２０と上部の噴射ノズル２４０の間にイオン化されたソルベント蒸気の雰囲気を維持させ、噴射されたＰＲ液滴の損失を最小化すると同時に、基板前面が均一にＰＲでコーティングされるようにする。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク用基板にレジストを面内均一の膜厚で塗布する装置及び塗布方法を提供すること、さらに塗布時に、レジスト膜厚を任意に調整する制御が可能なレジスト塗布方法を提供すること。
【解決手段】基板載置部と、上面側の基板表面と平行な位置にノズル滴下部と、全体を管理する装置制御部を備えたレジスト塗布装置であって、前記ノズル滴下部１０は、横、縦列とも同数で、且つ奇数列の複数個のノズルよりなる集合体で、中心の１個はレジスト滴下ノズル３で、それ以外の複数個はガス吹き出しノズル４である塗布装置であり、前記レジスト滴下ノズルから基板の中心表面にレジスト溶液を滴下した後、該ノズルの直近にあるガス吹き出しノズルからガスの吹き出しと、該ノズルの直近にある次のガス吹き出しノズルからガスの吹き出しとの、前記手順を繰り返し、最外周ノズルからガスの吹き出しの手順を実行してレジストを塗布するレジスト塗布装置。 （もっと読む）

【課題】 空気の吸い込み舞い上がり循環現象に伴うウェハ表面の汚損を防止してウェハ表面に対する所定の処理性能及び製品品質の著しい向上を達成できるようにする。
【解決手段】 テーブル３及び該テーブル３上に固定保持されたウェハ４を縦軸芯ａ周りで駆動回転させながら、ウェハ４表面の中心から少し変位した箇所に処理液を滴下させることで、その液を遠心力により径方向外方へ拡散流動させてウェハ表面に対する所定の処理を行う回転式ウェハ処理装置において、テーブル３上部にウェハ４の上方及び外周を覆うカバー１０が一体回転可能に設けられ、このカバー１０の回転中心部にはウェハ４とカバー１０間の微小隙間９に回転遠心力に応じた量の気体を導入する気体導入口１３が形成され、かつ、テーブル３外周辺とカバー１０外周辺部分との間には、微小隙間９内を流動した後の気体をウェハ４外方の斜め下向きに排出する排気口１４が形成されている。
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【課題】多層膜塗工において、また多層膜の塗工と重合性原料の固化とが連結された硬化層付き板状重合物の製造方法において、低速塗工条件下であっても多層膜の塗工を安定して行うことを容易にしかつ被塗工物の損傷危険性を抑える。
【解決手段】水平に走行するシート状物上に、シート状物の上方から塗工液を供給する工程Ａと、塗工液が供給されたシート状物上へエアノズルからエアを吹き付ける工程Ｂとを有し、工程Ａ及びＢの組み合わせを少なくとも２組以上順次行う多層膜の塗工方法。このための装置。２個のエンドレスベルトの相対するベルト面のうちの少なくとも一方の面に、予め上記塗工方法により形成された多層膜の硬化層を設けておき、硬化層を板状重合物の表面に移行させる硬化層付き板状重合物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】エアノズルを用いてシート状物上に塗工液の溜まりを形成して塗工部を形成する塗工方法において、シート状物の側端部に非塗工部を設けるにあたり、塗工部のエッジを直線化する。塗工液の硬化層を有する板状重合物を製造するにあたり、硬化層のエッジを直線化して生産性を改善する。
【解決手段】実質的に水平に走行するシート状物の上面に塗工液を供給し、塗工液が供給される位置よりも下流側において第一のエアノズルからシート状物へエアを吹き付けることにより、第一のエアノズルの上流側に塗工幅全域に渡る塗工液の溜まりを生ぜしめてシート状物上に塗工部を得る塗工方法において、塗工液の溜まりの両側端部にそれぞれ第二のエアノズルによってエアを吹き付けることにより、シート状物の両側端に非塗工部を形成する。この塗工方法を用いる硬化層付き板状重合物の製造方法。この塗工方法を実施するための装置。 （もっと読む）