【課題】数ナノから数十ナノレベルのパターンを解像でき、かつ極めて強固なドライエッチング耐性を有し、ナノサイズの凹凸構造を有する基材を製造するためのレジスト材料の提供。
【解決手段】含金属錯塩染料と有機溶剤を含有し、かつ該染料は有機溶剤に溶解していることを特徴とする耐ドライエッチング性を有する光または熱硬化型ナノインプリント用樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、より均一なベース層を形成可能な光インプリント方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、基板上に光硬化性レジストを離散的に滴下する工程と、前記光硬化性レジストに凹凸パターンが形成されたモールドを接触させ、モールドの凹凸パターンに前記光硬化性レジストを充填させる工程と、光を照射し前記光硬化性レジストを硬化させる工程と、モールドと光硬化させた光硬化性レジストを剥離する工程とを有する光インプリント方法において、モールドと基板上に滴下した光硬化性レジストとが接触するまでの間、基板上に滴下した光硬化性レジストの離散的な配置を保持する中間層を前記基板表面に形成してなる光インプリント方法を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一でシャープな先端を持つ高アスペクト比構造を有し、欠陥の少ないアレイ状に形成された高アスペクト比構造を有する機能性膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微細な凹部アレイが形成されたスタンパー１３に塗布したポリマー樹脂の溶解液１６を、前記凹部アレイの凹部１５に注入し、前記凹部アレイを前記樹脂ポリマー１６に転写することにより、表面に前記凹部アレイの反転型である高アスペクト比構造の微細な凸部アレイが形成された機能性膜を製造する方法において、前記スタンパー１３に塗布したポリマー樹脂の溶解液１６を前記スタンパー１３側に加圧することにより、前記溶解液１６を前記スタンパー１３の凹部１５先端まで注入することを特徴とする機能性膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】モールドへ流れ込み易く、ＩＺＯやＩＴＯ等の金属酸化物に対する接着性に優れた紫外線硬化型のインプリント成形用組成物を提供する。
【解決手段】ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー及びエポキシ(メタ)アクリレートオリゴマーからなる群から選択される少なくとも一種の(メタ)アクリレートオリゴマー（Ａ）と、ヒドロキシル基含有(メタ)アクリレートモノマー及びカルボキシル基含有(メタ)アクリレートモノマーからなる群から選択される少なくとも一種の(メタ)アクリレートモノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含んでなり、粘度が1000 mPa・s以下であることを特徴とするインプリント成形用組成物である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、フォトマスクが不要であり、パターンの精密度を高めることのできるパターン形成用レジン組成物及びこれを利用するインプレーンプリンティング工程方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、フォトマスクの代わりにモールド板１３０を使用してレジスト層１２０の微細パターンを形成するインプレーンプリンティング工程方法であること、及びレジスト層１２０を形成するレジンの組成物が、液体状の高分子前駆体と、親水性基のアクリレートと、粘度調節剤と、光開始剤と、添加剤とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターン付き媒体の注型構造に損傷を起こすことのないインプリントリソグラフィ装置および方法を提供することである。
【解決手段】インプリントリソグラフィ装置は、インプリントアクチュエータ３４に作動自在に接続したインプリントテンプレート３０を含む。インプリントアクチュエータは、テンプレートをインプリント軸線３３に沿って変位させて、テンプレートをインプリント可能な媒体と接触させるように駆動可能である。インプリント可能な媒体３１からテンプレートを剥離する間に、インプリント軸線に対して実質的に垂直である軸線に沿って、テンプレートに対してアクチュエータを実質的に自由に変位できるように構成された軸受部３８を介して、テンプレートをアクチュエータに接続する。 （もっと読む）

【課題】成形タクトを短くすることができるナノインプリント装置を提供する。
【解決手段】モールドホルダと、ゴムシートと、表面に微細パターンを有するモールドと、基板ホルダと、第１熱源金型と、第２熱源金型とを備え、前記モールドホルダと、前記ゴムシートと、前記モールドと、熱可塑性プラスチック基板と、前記基板ホルダとを、この順で、前記モールドの微細パターンが前記熱可塑性プラスチック基板と向かい合うように積層したものを、前記基板ホルダ側から前記第１熱源金型、前記モールドホルダ側から前記第２熱源金型によって挟み込んで加熱プレスすることによって、前記モールドの微細パターンを前記熱可塑性プラスチック基板に転写するナノインプリント装置であって、加熱プレス時に、前記第１熱源金型は前記熱可塑性プラスチック基板をそのガラス点移転温度より高温に加熱する。 （もっと読む）

【課題】離型性を大幅に改善し、形状品質及び生産効率に優れた凹凸形状を有する成形シートの製造方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸形状パターンを有するロール状成形型に電離放射線硬化樹脂を充填する塗工工程と、基材シートに前記充填された電離放射線硬化樹脂を積層して積層体を作成する積層工程と、前記基材シートと前記電離放射線硬化樹脂との積層体に対して電離放射線を照射して、前記積層体の前記電離放射線硬化樹脂を硬化する硬化工程と、前記電離放射線を前記積層体に照射しつつ前記積層体を前記ロール状成形型から分離する離型工程により成形シートの製造を行う。 （もっと読む）

【課題】過剰に湾曲形状を付与されたシートを、生産性高く、容易に適正な湾曲形状に修正する加工方法を提供する。
【解決手段】過剰に湾曲形状が付与された熱可塑性樹脂を主体とするシート１を１０〜４０ｍｍ厚さに積載し、その上下を金属製平板で挟み、荷重を掛けながら所定温度まで加熱、保持し、次いでその上に更に過剰に湾曲形状が付与された熱可塑性樹脂を主体とするシートを１０〜４０ｍｍ厚さに積載し、金属製平板で挟み、荷重を掛けながら所定温度まで加熱、保持する操作を繰り返して行い、その後、繰り返して積載した過剰に湾曲形状が付与された熱可塑性樹脂を主体とするシートを一度に略所定温度に保持してアニールした後、放冷する湾曲形状シートの加工方法。 （もっと読む）

【課題】大型の大容量の真空ポンプを必要とすることなく、ロール配置部の真空度を、転写率向上効果が得られる所要値まで高め、高い転写率による転写成形をウエブ状の樹脂フィルムに連続して行えるようにすること。
【解決手段】所定の真空圧に減圧されてモールドロール２１とバックアップロール２２とを収容する減圧主室３２の樹脂フィルム入口３６に連続して入口側準減圧室４１を設けると共に、減圧主室３２の樹脂フィルム出口３７に連続して出口側準減圧室５１を設け、入口側準減圧室４１、出口側準減圧室５１を、減圧主室３２の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧する。 （もっと読む）

【課題】凸凹構造を有する金型をフィルム表面に押圧する間欠式フィルム成形方法と成形装置。
【解決手段】微細凹凸が表面に形成された金型にフィルムを押圧して微細凹凸を成形後、剥離ロール補助ロールを回転させながら、該両ロールに該フィルムを抱きつかせた状態下で、該両ロールを前記金型表面近傍で該金型表面と略平行にかつフィルム搬送下流側から上流側に移動させることによって該金型表面から該フィルムを離型処理を行う。その後該両ロールの相対位置関係を保持させて該両ロールの回転を停止し、フィルムを該両ロールに抱きつかせ、該両ロールを前記金型表面近傍で該表面と略平行に、フィルム搬送上流側から下流側へ移動させて、金型表面近傍に新たな被加工フィルム面を供給し、しかる後、次の微細凹凸成形を行うように構成し、かつ、前記成形加工と離型処理と新たな被加工フィルム面の供給の一連の処理を繰り返し行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】ロール状のフィルムをプレス装置に配設した金型の表面から離型するだけでなく、離型動作を高精度に制御してフィルムの成形面間ピッチのばらつきを大幅に抑制する。
【解決手段】微細凹凸形状が表面に形成された金型３と、該金型の表面にフィルムを押圧するプレス装置と、該フィルムを搬送するための搬送装置と、該金型の表面からフィルムを離型するための離型装置とを、少なくとも含む間欠式フィルム成形装置１で、剥離ロール２１と、剥離ロール回転手段２３と、補助ロール２２と、剥離ロール周辺で補助ロールを移動させる補助ロール移動手段と、前記剥離ロールと前記補助ロールがフィルムを剥離ロールに抱きつかせる相対位置関係を保持したまま金型表面近傍を該表面に平行に直動させる案内ガイドと、前記両ロールの直動距離を制御する直動制御装置とを少なくとも備えた間欠式フィルム成形装置。 （もっと読む）

【課題】レジストとモールドの離型性を改善するナノインプリント方法を提供する。
【解決手段】ナノインプリント方法は、加圧気体又は超臨界流体に、低分子の撥水剤を溶解する工程と、前記撥水剤が溶解した加圧気体又は超臨界流体を加圧浸透させて、前記樹脂薄膜が塗布された基板からなる被処理体の前記樹脂薄膜を柔軟にする工程と、前記被処理体の前記樹脂薄膜側に、ナノオーダーのパターンが形成されたモールドを押し付けて前記パターンを前記柔軟化された樹脂薄膜に転写する工程と、該転写後に前記加圧気体又は前記超臨界流体を減圧することにより前記樹脂薄膜を固化する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の製造等におけるスキュー角に対応した構造体を容易に製造することができるライン状凹構造を有する構造体の製造方法、ナノインプリント用モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】ライン状凹構造を有する構造体の製造方法であって、
被加工基板における円形状の領域に、同一のモールドを用い又はプレス毎にモールドを変えて、複数回プレスによりライン状凹構造を形成するに際し、
前記複数回プレスによる前記ライン状凹構造のプレス中心点を結ぶ直線の、前記円形状の領域における右回り円周方向に対する傾き角が、
前記円形状の領域における円の中心から離れるほど大きくなるように形成する工程を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】アクリルシートの表面に基材シートをその厚みの２０％以上凹ますようなエンボス加工を施す場合であっても光沢ムラ、シワといった不都合が発生しない、エンボス化粧シート及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】ポリプロピレン系樹脂からなる基材シートの表面側にアクリル系樹脂からなる樹脂シートを有し、表面側からのエンボス凹部を有するエンボス化粧シートにおいて、前記ポリプロピレン系樹脂はホモポリプロピレンからなり、前記基材シートに、前記エンボス凹部の最深部で、エンボス凹部の無い部分の基材シートの厚みの２０％以上の凹みを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】削り加工を施すことによって樹脂板の表面に凹凸形状部を形成する製造方法であって、削り加工により形成した凹凸形状を変形させることなく、凹凸形状部の削り加工面を十分に平滑化することのできる製造方法を提供する。
【解決手段】この発明に係る表面に凹凸形状部を有する樹脂板１０の製造方法は、樹脂板の表面に削り加工を施すことによって樹脂板の表面に凹凸形状部２を形成する工程と、樹脂板における前記凹凸形状部２が形成された表面２ａに、溶媒１００質量部に対して樹脂を０．５〜３質量部含有してなる処理液をドリップコーティング法により塗布した後、乾燥させる工程と、を包含することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】樹脂(2)を加熱溶融状態でダイ(3)から連続的に押し出して連続樹脂シート(4)を得、この連続樹脂シート(4)を押圧ロール(5)と転写型(6)との間に挟み込むことにより転写型(6)の表面形状を転写して、転写型(6)の表面形状を精度よく、速やかに転写して、表面形状転写樹脂シート(1)を製造し得る方法を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、転写型(6)が、有機材料で構成されていることを特徴とする。樹脂(2)を連続的に押し出して連続樹脂シート(4)を得るダイ(3)と、押圧ロール(5)と、連続樹脂シート(4)を押圧ロール(5)との間に挟み込むことにより表面形状を連続樹脂シート(5)に転写する転写型(6)とを備えた製造装置(10)により製造される。この製造装置(10)は、転写型(6)が有機材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】加工精度の良好なマイクロデバイスを簡便に製造する製造方法を提供する。
【解決手段】金型１の表面に設けられた凹部１１付近に熱可塑性樹脂シート２を配置し、熱可塑性樹脂シート２を減圧条件下において加熱する減圧加熱工程と、加熱された熱可塑性樹脂シート２に対し、減圧条件からの昇圧に伴う押圧力を用いて熱可塑性樹脂シート２を凹部１１に押し込んで成形する凹形状転写工程と、を有することを特徴とする凹凸面を有する成形体２１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、両面の離型性が異なる場合でも、微細構造を樹脂部材の両面に同時に効率的に転写することができ、且つ離型も容易に行うことのできる転写装置及び転写方法を提供することを課題とする。
【解決手段】転写装置は、転写部材３０の表面に微細構造１３Ａ，２３Ａを転写する。転写装置は、転写部材３０を間に挟むよう構成された第１及び第２の型１０，２０を有する。第１及び第２の型１０，２０の夫々に、微細構造１３Ａ，２３Ａが形成された第１及び第２のスタンパ１３，２３が取り付けられる。第１及び第２の型１０，２０の少なくとも一方は、第１又は第２のスタンパを保持する内型１１とその周囲に配置された外型１２とを含む。内型１１と外型１２は互いに移動可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】拡散機能による明るさ、解像度、コントラストの低下を防止し、映像品質の優れた光透過型スクリーンを提供する。
【解決手段】光透過性平板基材１への入射映像信号光線を集光及び透過させる光拡散部４を有する光透過型スクリーン１２において、光透過性平板基材１の映像信号光入射側に垂直方向を長手方向として並列して設けられる断面が２等辺三角形状の立体遮光層２と、光透過性平板基材１上に水平方向を長手方向として並列して設けられルシリンドリカルレンズ３３とを有し、立体遮光層２により、水平方向に反射拡散された映像信号光が、シリンドリカルレンズ３３により垂直方向に集光拡散される。 （もっと読む）