【課題】被加工基材の端部から表面への微小粉末の回り込みが抑制されるレジストパターン形成方法等の提供。
【解決手段】レジストパターン形成方法は、被加工基材１０の少なくとも端部１１の微小粉末を除去するクリーニング工程と、端部の微小粉末が除去された被加工基材の表面に、インプリントレジスト層を形成するインプリントレジスト層形成工程と、複数の凸部と、該凸部の間に形成される凹部とからなる凹凸部を表面に有する凹凸型の該凹凸部を押し当て、該凹凸部のパターンが反転した、レジストパターンを前記被加工基材の表面に形成するレジストパターン形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板上の薄いレジストに対して良好にパターンを転写できる樹脂インプリントスタンパを提供する。
【解決手段】中心部に貫通孔を持つドーナツ状の樹脂材料からなり、表面の一部にトラックピッチ１００ｎｍ以下で複数のランド／グルーブが円周上に配列したパターン部を有し、前記パターン部の端から内周側へ向かって３ｍｍ未満の領域に、前記パターン部の上面に対して１０μｍを超える高さをもつ突起および段差を持たないことを特徴とする樹脂インプリントスタンパ５０。 （もっと読む）

【課題】親モールドの破損が抑えられ、微細パターンの転写精度が高く、転写の際の圧力を低くでき、かつ硬化性樹脂の使用量が抑えられる、微細パターンを有する物品の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】親モールド１００の表面に形成された微細パターンを一旦、転写基材１０４に転写して反転パターンを有するレプリカモールドを製造し、ついでレプリカモールドの表面に形成された反転パターンを物品本体１０２の表面に転写して微細パターンを有する物品を製造するに際し、親モールド１００の微細パターンが形成された表面に、第１の供給手段１７から第１の硬化性樹脂を供給し、該第１の硬化性樹脂を、親モールド１００の微細パターンの転写基材１０４への転写に用いる。 （もっと読む）

【課題】熱可塑性シートにエンボスパターンを形成する際に、シートの両端部のシワや折れ曲がりを防止することが可能な熱可塑性シートの加工装置を提供する。
【解決手段】本発明は、搬送中の熱可塑性シートにエンボスパターンを形成する熱可塑性シートの加工装置であって、熱可塑性シートの幅よりも長い軸方向長さを有し、表面に凹凸が形成され、回転可能に支持された円筒状のエンボス版と、エンボス版との間を通過する熱可塑性シートを押圧し、回転可能に支持された円筒状の圧胴と、熱可塑性シートに対し、エンボス版よりも上流側で且つこのエンボス版と同じ一方面側に配置され、熱可塑性シートの一方面を加熱するヒータと、ヒータと熱可塑性シートの一方面との間に配置され、ヒータの両側部のうち、熱可塑性シートの両側縁よりも幅方向の外側に延びる部分を覆う第１遮蔽部材と、を備え、第１遮蔽部材には、複数の貫通孔が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ラインエッジラフネスに優れ、より経済的な電子部品等の微細構造物を高い精度で安定して形成することができるナノインプリント用光硬化性樹脂組成物及びその硬化物を提供する。
【解決手段】 ナノインプリント用光硬化性樹脂組成物にナノインプリント加工を施して微細構造物を得る微細構造物の製造方法が、（１）カチオン重合性化合物及び／又はラジカル重合性化合物を含む硬化性化合物を含有するナノインプリント用光硬化性樹脂組成物からなる被膜が、支持体上に形成され、かつナノスタンパを用いた５〜１００ＭＰａの圧力のプレスによりパターンを転写される工程、及び（２）パターンが転写された被膜を硬化させて微細構造物を得る工程を含む。 （もっと読む）

【課題】光インプリントリソグラフィにより、基板と光硬化層とからなり耐光性を有し着色が少ない複合体を少ない工程で製造する方法を提供する。
【解決手段】凹凸のパターンが形成されたモールド及び可視光に対して実質的に透明で３７０ｎｍ未満の波長領域の全領域における各波長の光の透過率が１０％以下である基板を用いて光インプリントリソグラフィにより基板と光硬化層とからなる複合体を製造する方法であって、前記基板又は前記モールド上に、少なくとも１つの光重合性基を有する化合物と、３７０ｎｍ以上の波長領域の光に感光して前記光重合性基を有する化合物の重合開始剤として作用すると共に構造が変化して可視光領域にある吸収強度が減少する特性を有する光重合開始剤とを含有する液状の光硬化性組成物からなる光硬化性組成物層を形成する工程と、前記基板及びモールドで前記光硬化性組成物層を挟み込む工程と、前記基板及び前記モールドで挟み込まれた状態のままの前記光硬化性組成物層を前記基板側から３７０ｎｍ以上の波長領域を含む光で露光して光硬化層とする工程と、この光硬化層から前記モールドを離型する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の少ない湾曲部を備えたパイプ成形品を製造する。
【解決手段】パイプ成形品１０は、発泡体１４をなす発泡原料を樹脂パイプ１２の中空部１２ａに注入する注入工程と、樹脂パイプ１２の中空部１２ａに注入した発泡原料を発泡硬化させて、該樹脂パイプ１２の中空部１２ａに発泡体１４を生成する発泡体生成工程と、発泡体１４を充填した樹脂パイプ１２を加熱して、該樹脂パイプ１２を軟化する加熱工程と、この加熱工程で軟化した樹脂パイプ１２を曲げて、湾曲部１０ａを形成する曲げ工程とを経て製造される。 （もっと読む）

【課題】微細ガラスパターンを高いパターン精度で形成することができるインプリントモールド用マスクブランクを提供する。
【解決手段】ガラス基板１と該基板上に形成された薄膜２とを有するインプリントモールド用マスクブランク１０であって、上記薄膜２は、Ｔａ又はＴａ化合物、或いはＳｉまたはＳｉ化合物の何れかを主成分とし、フッ素系ガスを用いたドライエッチング処理によりエッチング加工が可能な材料で形成された上層４と、Ｃｒ又はＣｒ化合物で形成された下層３との積層膜からなる。 （もっと読む）

【課題】型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写装置において、型が薄い場合であっても、型をバックアップする部材を設けることなく、型の中央部に設けられている微細な転写パターンが被成型品に転写されない現象が発生することを防止する。
【解決手段】型Ｍに形成されている微細な転写パターンを、被成型品Ｗに転写する転写装置１において、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの部位Ｍａを、この部位Ｍａの中央部側での転写不良を回避するために、部位Ｍａの中央に向かうにしたがって、部位Ｍａの本来の形態に比べて徐々に凸になるように変形させる構成である。 （もっと読む）

【課題】シート状基材表面にインプリントモールドの微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造において、大面積のシートに賦形する場合においてもエアの噛み込みによる転写不良がなく、微細凹凸形状をシートの表面に精度良く高効率で製造できる方法及び装置を提供する。
【解決手段】微細凹凸形状の賦形面８ａを有するインプリントモールド８と中間基材６との間にシート状基材５を設置し、一対の加圧板３、４により該インプリントモールド８と該中間基材６とを該シート状基材方向に加圧することにより、該シート状基材表面に微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法及び装置であって、賦形面内に厚み変化を有するインプリントモールド８を用いることにより、該加圧板３、４の加圧力が最大となった時、該賦形面内において賦形圧力差及び最大賦形圧力部が存在し、かつ、賦形圧力が極小値を取る部位が存在しないように加圧する。 （もっと読む）

【課題】 ポリイミド樹脂をガラス転移温度以上に加熱しなくても熱転写でき、ボイドやピンホールの発生を抑制できるポリイミド樹脂への熱転写方法を提供する。
【解決手段】 金属薄板上に凹凸形状を有するポリイミド樹脂を被覆した、凹凸付金属基板の製造方法であって、金属薄板にポリアミック酸を塗布する工程と、該ポリアミック酸を加熱処理してイミド化率３０〜９６％のポリイミド樹脂とする工程と、該ポリイミド樹脂に、２００℃以下で転写用金型を押圧し、剥離して転写用金型の凹凸形状を転写する工程と、再度加熱処理によりポリイミド樹脂を硬化する工程を有する凹凸付金属基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】パターン付き媒体の注型構造に損傷を起こすことのないインプリントリソグラフィ装置および方法を提供することである。
【解決手段】インプリントリソグラフィ装置は、インプリントアクチュエータ３４に作動自在に接続したインプリントテンプレート３０を含む。インプリントアクチュエータは、テンプレートをインプリント軸線３３に沿って変位させて、テンプレートをインプリント可能な媒体と接触させるように駆動可能である。インプリント可能な媒体３１からテンプレートを剥離する間に、インプリント軸線に対して実質的に垂直である軸線に沿って、テンプレートに対してアクチュエータを実質的に自由に変位できるように構成された軸受部３８を介して、テンプレートをアクチュエータに接続する。 （もっと読む）

【課題】安価にして微細な凹凸パターンが高精度に転写されたプレス成形体を高能率に製造可能なプレス成形装置及びプレス成形方法を提供する。
【解決手段】下金型５の上面に素材シート８を載置する（手順Ｓ１）。上金型２を下降して素材シート８に所要の押圧力を負荷する（手順Ｓ２）。上ステージ３及び下ステージ６の背面に上ヒータ４及び下ヒータ７を密着し、ヒータ４，７の熱で素材シート８の表面を軟化する（手順Ｓ３）。上ヒータ４及び下ヒータ７を上ステージ３及び下ステージ６から離隔してプレス成形品を材料である可塑性プラスチックのガラス転移温度以下の所定温度まで放冷し（手順Ｓ４）。上金型２と下金型５とを型開きし（手順Ｓ５）、上金型２又は下金型５からプレス成形品を剥がし取る（手順Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】エンボス形状の高い転写精度を得つつ樹脂シートのアモルファス状態を維持できる結晶性樹脂を含む熱可塑性樹脂からなる光学シートの製造方法を提供する。
【解決手段】表面にエンボス加工が施されたアモルファス状態の透明結晶性樹脂シートからなる光学シートの製造方法であって、表面にエンボス形状が形成された金属製エンボスベルト１３を加熱ロール１１と冷却ロール１２に巻装し、エンボスベルト１３上で樹脂シート１０をそのガラス転移温度以上の温度でエンボス加工を施した後、樹脂シート１０をそのガラス転移温度よりも低い温度に急冷してエンボスベルト１３から剥離する。これにより、樹脂シート１０に対する形状転写性を維持しつつ、樹脂シート１０が結晶性樹脂である場合でもその過度の結晶化による白化を阻止できる。 （もっと読む）

【課題】 凸形状の変形を防止する。
【解決手段】 シート基材９の一方の面９ａに所定の光学機能を発揮する複数の凸形状１１、１１、・・・が設けられ成形時に所定の送り方向へ送られロール状に巻き取られた巻回状態で保存される、シート基材の上記一方の面に凸形状に隣接して位置されると共に凸形状の高さより高く形成され上記巻回状態において凸形状とシート基材の他方の面９ｂとの接触を防止する少なくとも一つの接触防止用突部１２、１２、・・・を設けた。 （もっと読む）

【課題】処理むらを大幅に低減させることができる、特に処理むらが生じ易いフッ素樹脂の表面改質処理においても処理むらを低減させることができるプラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】被処理物が配置された処理空間内を、所定のガスで処理空間外より高く、かつプラズマを発生させる圧力雰囲気にして、処理空間内で、被処理物の表面をプラズマ処理するプラズマ処理方法。前記圧力雰囲気にする方法は、処理空間の空気を所定のガスに置換した後に、処理空間内の圧力が処理空間外より高く、かつプラズマを発生させる圧力になるまで、所定のガスを処理空間に注入して行うプラズマ処理方法。所定のガスに置換する方法は、処理空間を真空引きした後に、所定のガスを処理空間に注入して行うプラズマ処理方法。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸パターンを転写した製品のバリの発生を抑制することのできる熱ナノインプリント方法を提供する。
【解決手段】型１７に形成された微細な凹凸パターン１５を熱可塑性樹脂の被成形材料９に転写する熱ナノインプリント方法であって、雌型３に形成された凹部５内に、体積が前記凹部５の体積にほぼ等しい体積の被成形材料９を配置し、前記雌型３及び被成形材料９を加熱すると共に前記型１７でもって前記被成形材料９を押圧し、押圧した状態でもって前記型１７及び被成形材料９の冷却を行い、その後に離型を行い、前記被成形材料９は、上部周縁部に予め面取り部が形成してある熱ナノインプリント方法である。 （もっと読む）

【課題】高い転写性を有する転写加工装置および転写加工方法を提供する。
【解決手段】本転写加工装置は、表面に凹凸パターン１２が形成されている原型１１と、原型１１を固定するホルダ１３と、被加工樹脂２０を載せるステージ１７と、ホルダ１３およびステージ１７を加熱する加熱装置とを有し、原型１１を被加工樹脂２０に押圧することにより被加工樹脂２０に凹凸パターン１２を転写する転写加工装置１０であって、ホルダ１３の原型１１を固定した面に、押圧方向Ｐに移動可能な樹脂堰き止め機構１５を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
プレスされる際に、シート状基材に皺が入ることなく、転写ムラを発生することなく転写成型することのできる微細形状転写シートの製造装置と微細形状転写シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】
シート状の樹脂基材および微細形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧することによって微細形状を賦形する微細形状転写シート製造装置において、中間基材として、本文中で定義する樹脂フィルムとの静摩擦係数が０．５以下のものを用いてなるか、あるいは、該中間基材の前記樹脂基材側の表面が、ゴム材質に滑り処理を施したものを用いてなるか、あるいは、該中間基材の前記樹脂基材側の表面が、ダイヤモンドライクカーボンをコーティングしたものを用いてなる微細形状転写シートの製造装置、あるいは該中間基材を用いた微細形状転写シートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】バックアップロールを所定の速度で回転させることによって、加工対象である原反に不均一に擦られた部位が発生することを防止すること。
【解決手段】本発明のエンボス加工装置は、紙層７２と合成樹脂層７１からなる原反７０を挟持して、合成樹脂層７１の表面にエンボス加工を施す。エンボス加工装置は、原反７０の合成樹脂層７１側に設けられ、合成樹脂層７１にエンボス模様を施すエンボスロール５０と、原反７０の紙層７２側に設けられ、エンボスロール５０との間で原反７０を挟持するバックアップロール４０と、エンボスロール５０に設けられ、エンボスロール５０を回転駆動する駆動機構と、エンボスロール５０とバックアップロール４０との間に設けられ、駆動機構からエンボスロール５０に加えられる駆動力を、バックアップロール４０に伝達する伝達機構とを備えている。バックアップロール４０には、当該バックアップロール４０に常時ブレーキをかけるブレーキ機構が設けられている。 （もっと読む）