【課題】
静電チャック部材、半導体製造部材等として好適な高剛性で低熱膨張係数を有するアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体を提供する。
【解決手段】
炭化珪素粉及び珪素粉、或いは、炭化珪素粉、窒化珪素粉及び珪素粉を使用し、反応焼結により珪素粉を窒化させてセラミックス多孔体を作製し、アルミニウムを主成分とする金属を含浸することを特徴とし、未反応の残存珪素粉が、セラミックス多孔体中の１０質量％以下であることを特徴とするアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体の製造方法。炭化珪素粉及び窒化珪素粉を含み、相対密度が６０〜８５％であるセラミックス多孔体にアルミニウムを主成分とする金属を含浸することを特徴とするアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体。
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【課題】引張強度の高い炭素繊維強化ＳｉＣ系複合材を提供する。
【解決手段】炭素繊維強化炭素複合材に、金属Ｓｉを溶融含浸させて得られる炭素繊維強化ＳｉＣ系複合材において、該炭素繊維強化炭素複合材に用いられる炭素繊維がピッチ系炭素短繊維であり、前記ピッチ系炭素短繊維の繊維が二次元ランダムに配向していることを特徴とする炭素繊維強化ＳｉＣ系複合材。炭素繊維強化炭素複合材は、嵩密度１．２〜１．７ｇ／ｃｍ^３、気孔率１５〜４０ｖｏｌ％、体積当たりの炭素繊維含有率２０〜５０ｖｏｌ％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】特別な工程や添加剤等を必要とせずに、種々の仕様用途に応じて制御された細孔径や気孔率等を有する炭化珪素系多孔質成形体、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭化珪素系多孔質成形体の表面にＳｉＣＯからなる層を形成することにより、細孔を制御した炭化珪素系多孔質成形体を製造する。炭化珪素系多孔質成形体としては、平均細孔径０．２〜２ｎｍ、平均気孔率３０〜７０％、比表面積１０〜１０００ｍ^２／ｇの成形体を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】耐酸化性にすぐれ、大気中の高温で使用可能な発熱体などの導電性セラミックス。
【解決手段】アルミニウム、珪素及び炭素粉末などからなる混合粉末を成形し、還元雰囲気で焼成することによって、炭素や炭化珪素などの導電性発熱物質がアルミニウム−珪素−炭素系化合から成る物焼結体中に存在することを特徴とする。この化合物焼結体は、大気中の加熱時に表面に酸化皮膜を形成し、これが焼結体内部に存在する導電性発熱物質の酸化防止することを特長とする。 （もっと読む）

平坦な支持表面３ｂを有すると共に容易に大型化できかつ破壊靭性を向上させた定盤を提供する。支持表面３ｂを有する定盤３であって、セラミックスからなる主物質ａと、金属からなる補助物質ｂとの複合物質Ａによって形成される。
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【課題】 難削材料の高速切削加工においても、耐摩耗性に優れ、被削材が溶着し刃先の損傷を引き起こすことのない寿命の長いサイアロン製スローアウェイチップおよびこれを装着した切削工具の提供。
【解決手段】 αサイアロン相およびβサイアロン相からなるサイアロン相と、ガラス相および／または結晶相からなる粒界相とを持つサイアロン中の、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚで表されるβサイアロン相のＺ値が０．２〜１であり、サイアロン相中のαサイアロン相の比率を示すα率が１０〜４０％であり、サイアロン中にはＳｃ、Ｙ、Ｄｙ、Ｙｂ、Ｌｕから選ばれる希土類元素１種以上を酸化物換算で合計２〜５モル％含有し、該希土類元素のうち３０〜５０モル％はαサイアロン相中に存在しているサイアロン製スローアウェイチップ、およびこのサイアロン製スローアウェイチップをホルダーに装着した切削工具。 （もっと読む）

【課題】 強度や破壊靭性などの機械的特性及び耐熱衝撃性を向上させた弁部材を提供すること。
【解決手段】 窒化珪素質焼結体からなり、液体の流路の少なくとも一部を構成する溝または穴部を備えた液体用の弁部材であって、該弁部材を成す窒化珪素質焼結体は、窒化珪素を主成分とする結晶相と、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＺｒおよびＣｕのうち少なくとも１種の第１の金属元素の珪化物からなる第１金属珪化物および上記第１の金属元素よりも融点の高い第２の金属元素の珪化物からなる第２金属珪化物を含む粒界相とを有し、且つ上記溝または穴部の表面における上記第１の金属珪化物および第２の金属珪化物のそれぞれの濃度が上記窒化硅素質焼結体の内部より低いことで耐熱衝撃性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 特殊な製造設備を使用しない簡素なプロセスで、製造工程の短縮化、コスト低減を可能とし、材料物性も焼結ＳｉＣ並みの強度、剛性を有し、かつ異方性のない繊維強化炭化ケイ素複合材料を提供する。
【解決手段】 シリコンとの反応性が異なる複数種の炭素繊維、黒鉛粉末及び粉末樹脂を混合して加熱加圧成形を施して炭素繊維強化基材を形成し、この炭素繊維強化基材を炭化した炭素繊維強化炭素基材を炭化ケイ素化して炭素繊維強化炭化ケイ素基材を形成する。 （もっと読む）

【課題】高い耐食性を有する窒化アルミニウム質セラミックスを提供する。
【解決手段】希土類元素又はアルカリ土類元素の少なくとも１つを含有する結晶相を含む粒界相２を備える窒化アルミニウム質セラミックスであって、粒界相２の中心線３の長さの総和が５×１０⁴μｍ／ｍｍ²以上であり、中心線３の分岐点４の数が１×１０²個／ｍｍ²以上である粒界連続層を備える。 （もっと読む）

【課題】 高い破壊じん性を有すると共に、高い熱伝導率及び曲げ強度を達成した窒化アルミニウム焼結体を得ることが可能な新規な窒化アルミニウム粉末およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 還元窒化法により得られ、１次粒子径について（１）０．１μｍ以上、１μｍ未満の１次粒子径の粒子の含有率が５〜８５質量％、（２）１μｍ以上、５μｍ未満の１次粒子径の粒子の含有率が０〜４０質量％、及び（３）５μｍ以上、１０μｍ以下の１次粒子径の粒子の含有率が１５〜９５質量％（但し、（１）〜（３）の粒子の含有率の合計は１００質量％である。）よりなる粒度分布を有し、且つ酸素含有率が０．４〜１．３質量％となるように表面酸化されたことを特徴とする窒化アルミニウム粉末である。 （もっと読む）

【課題】 粒径数μｍ程度の単結晶粒子からなるアルファサイアロン蛍光体とその製造方法、その中間生成物、製造に用いる原料粉末及び該蛍光体を用いたＬＥＤランプの提供。
【解決手段】 一般式：Ｍ_ｘ（Ｓｉ，Ａｌ）_１２（Ｏ，Ｎ）_１６、（式中、ＭはＣａ，Ｙ，Ｍｇ，Ｌｉ，Ｓｃ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕ，Ｓｒからなる群から選択される少なくとも１種の元素を表し、ｘは０＜ｘ≦２の範囲である。）で表され、主相がアルファサイアロン結晶構造を有し、前記式中のＭの少なくとも１種がアルファサイアロン結晶構造中に固溶されて発光中心となる元素であり、紫外光又は青色光で励起されて可視光又は近赤外光を発光するアルファサイアロン蛍光体であって、その長手方向の長さが１μｍ〜３０μｍの単結晶粒子であることを特徴とするアルファサイアロン蛍光体。 （もっと読む）

【課題】任意の部位に任意の気孔径を形成したセラミックス多孔体を提供する。
【解決手段】嵩密度の異なる３次元網目構造体のセラミックス多孔体同士が、それぞれの３次元網目構造を構成する骨格により結合されているセラミックス多孔体。 （もっと読む）

【課題】非酸化物系セラミックスの表面に安定した超平滑な表面を形成したセラミック複合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ケイ素及び酸化物を主成分とする混合粉末を成形する工程と、成形後、窒素ガスを含気流中で焼成し、前記ケイ素を窒化ケイ素に転化させると同時に焼結せしめる工程と、酸素を含む雰囲気中で加熱し、前記焼結体内部に存在する酸化物を毛管現象によって表面に染み出させた後、冷却して固化させる工程により、緻密で超平滑な表面を形成したセラミック複合体を製造する方法、及び平滑で緻密な表面を形成したセラミック複合体。
【効果】本発明によれば、加工や吹きつけでは得ることが困難な超平滑で安定な表面を有するセラミック焼結体及びその製造方法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】非酸化物焼結セラミックから作製された構成要素を互いに接合させて、継ぎ目なしのモノリスを形成させる接合方法を提供する。
【解決手段】 セラミック構成要素を接合するための方法であって、接合される前記構成要素が焼結された非酸化物セラミックからなり、前記構成要素を遮蔽ガス雰囲気存在下の拡散溶接プロセスにおいて互いに接触させ、少なくとも１６００℃、好ましくは１８００℃を超える、特に好ましくは２０００℃を超える温度をかけ、適当であれば荷重をかけて、ほとんど変形が無い状態で接合させてモノリスを形成させ、前記接合される構成要素の、力が加えられた方向における塑性変形が、５％未満、好ましくは１％未満となるようにする接合方法。 （もっと読む）

【課題】 「色むら」や「しみ」の発生を抑制できる窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 成形体を所定の焼結温度ＴＳで焼結して焼結体を得る焼結工程と、焼結体を所定のアニーリング温度ＴＡでアニーリングするアニーリング工程と、を備える。アニーリング工程においては、焼結体を所定のアニーリング温度ＴＡとなるまで加熱し、続いて焼結体をアニーリング温度ＴＡで所定時間維持し、その後焼結体の温度をアニーリング温度ＴＡから冷却する。アニーリング温度ＴＡはＴＡ≦ＴＳを満たすように定められ、焼結体を１２００℃からアニーリング温度ＴＡまで加熱する際の昇温速度が２００℃／ｈ以下であり、焼結体をアニーリング温度ＴＡから１２００℃まで降温する際の降温速度が２００℃／ｈ以下である。 （もっと読む）

炭化ケイ素焼結体の断面研磨面の炭化ケイ素粒子とケイ素粒子の面積から、気孔率（％）＝（ケイ素粒子の面積／（ケイ素粒子の面積＋炭化ケイ素粒子の面積））×１００として求めた気孔率が１５％以上３０％以下であり、残留ケイ素の含有量が炭化ケイ素焼結体の全体積に対して４％以下である炭化ケイ素焼結体。
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本発明は実質的に細孔を含まない耐火性複合材料を製造することに関し、それは増大した寸法安定性、耐摩耗性、高比物理機械的性質及び硬度を持つ複合物品の製造に、要素内の耐摩耗性挿入体の製造に及びなお摩耗技術目的のための材料に使用されることができる。耐火性複合材料を製造するための本発明の方法は多孔性炭化物加工物の金属による浸透により中間体の調製をもたらす段階を含み、それは別の金属の溶融体中で中間体の金属相の融点を越える温度で追加的に処理され、中間体内の金属の溶融体からの金属による置換をもたらす。本発明は複合材料の組成中に導入されることができる一連の金属を拡張し、従ってこの形式の複合材料の応用領域を拡張する。 （もっと読む）

炭化ケイ素被覆された炭化ケイ素構造体を含む、炭化ケイ素構造体を精製するための方法を開示する。開示する方法は、炭化ケイ素構造体内の鉄汚染の程度を、１００倍〜１０００倍の程度で減少させることができる。精製した後の炭化ケイ素構造体は、高温シリコンウエハ処理に用いるために好適である。 （もっと読む）

多数の貫通孔が壁部を隔てて長手方向に並設され、これらの貫通孔のいずれか一方の端部を封止してなるセラミックブロックにて構成されたハニカム構造体である。このハニカム構造体は、それを構成するセラミックブロックが、セラミック粒子と非晶質シリコンとからなる複合材にて形成され、その気孔率を高くした場合であっても、優れた圧縮強度を有するとともに、高温に加熱された場合であっても機械的強度の低下が少なく、耐久性に優れている。
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【課題】本発明は、プラズマ耐食部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウムを主体とし、１Ｇ（１０^９）Ｈｚ以上において誘電損失（ｔａｎ δ）が５×１０^−３以下であることを特徴とするプラズマ耐食材料、及び窒化アルミニウムを主体とし、酸化イットリウムと酸化マグネシウム又は窒化マグネシウムとを微量添加して焼結することにより、マイクロ波焼結や高ガス圧力焼結といった特別な焼結装置を用いることなく、また焼結後の再加熱や広い温度範囲において毎分０．７℃といった極端に遅い冷却速度で長時間に渡り徐冷をすることなく、フッ化物系反応ガスを含む１ＧＨｚ以上の高周波プラズマに曝されるプラズマ耐食部材の誘電損失（ｔａｎ δ）が５×１０^−３以下の誘電損失特性の優れたプラズマ耐食部材を製造する。 （もっと読む）